JPH05153764A - サーフエスパルスモータ可動子の絶対位置検出方法と装置 - Google Patents

サーフエスパルスモータ可動子の絶対位置検出方法と装置

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JPH05153764A
JPH05153764A JP33628191A JP33628191A JPH05153764A JP H05153764 A JPH05153764 A JP H05153764A JP 33628191 A JP33628191 A JP 33628191A JP 33628191 A JP33628191 A JP 33628191A JP H05153764 A JPH05153764 A JP H05153764A
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JP
Japan
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mover
stator
magnetic flux
coordinates
pulse motor
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JP33628191A
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English (en)
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Yoshikazu Koba
佳和 木葉
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Yaskawa Electric Corp
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、自動製図機やICの組み付け装置等
に使用されているサーフェスパルスモータの可動子の絶
対位置検出方法と装置に関し、小スペースで精度よく可
動子の絶対位置検出をすることを目的とする。 【構成】突極を格子状に配置した固定子と、歯を有する
継鉄に励磁コイルを巻回した電機子1対を永久磁石でブ
リッジした可動子よりなるサーフェスパルスモータにお
いて、固定子の裏面に突極の格子座標に対応させて磁束
検出手段を設け、可動子が発生する漏れ磁束を検出し、
磁束量のレベルを判定・数値化し格子座標に対応してマ
トリックス状に設けたメモリに各点のレベルを記憶し、
記憶してある数値の配置状態から可動子の中心位置の座
標を演算し、可動子の絶対位置を検出するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動製図機やICの組
み付け装置等に使用されているサーフェスパルスモータ
における可動子の絶対位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】サーフェスパルスモータは、可動子がx
軸、y軸方向に、同時に移動するために市販の検出器で
は一軸のみの計測しかできず、可動子の絶対位置を平面
上で検出するのには適さない。また、固定子平面上で、
複数の可動子を同時に動作させることが多く、各可動子
の干渉衝突、防止の機能が不可欠である。更に、サーフ
ェスパルスモータは、一度脱調してしまうと復帰でき
ず、イニシャライズする必要が生じ作業が面倒であっ
た。また、複数の可動子のイニシャライズ作業は、可動
子の数だけする必要がある。従来のサーフェスパルスモ
ータは、例えば、実開昭56−120789公報に開示
されたものがあり、また、一軸のリニアモータの可動子
の位置検出を行うものとして、例えば、特開昭62−1
14462公報に記載のものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば、特開
昭62−114462に開示された一軸のリニアモータ
の可動子の位置検出器を直交させて設け、実開昭56−
120789に開示されたサーフェスパルスモータと組
み合わせて、x、y方向の各々の検出器の位置から可動
子の中心位置を、演算で割り出す方法は考えられるが、
複数個のサーフェスパルスモータの可動子が同一平面内
を動く場合、各々の可動子が近接したとき、干渉せず、
小さなスペースで精度よく可動子の絶対位置を検出する
ことは困難である。そこで、本発明は、小スペースで精
度よくサーフェスパルスモータの可動子の絶対位置検出
を実現することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、突極を格子状に配置した固定子と、歯を
有する継鉄に励磁コイルを巻回した電機子1対を永久磁
石でブリッジした可動子よりなるサーフェスパルスモー
タにおいて、固定子の裏面に突極の格子座標に対応させ
て設けた、可動子が発生する漏れ磁束を検出する複数の
磁束検出手段と、前記磁束検出手段の出力信号を数値化
する手段と、数値化する手段の出力量を記憶する記憶手
段と、前記数値化する手段の出力量のレベルを判定し前
記記憶手段に転送する演算器を備え、可動子から発せら
れた磁束のうち、固定子の裏面へ漏れた磁束を検出する
ことで可動子の絶対位置を検出するものである。
【0005】
【作用】上記手段により、可動子が移動すると、格子座
標に設けた磁束検出手段が、固定子の裏面への漏れ磁束
を検出し、演算器内で磁束量のレベルを判定し、該当す
る可動子の絶対位置を特定する。
【0006】
【実施例】以下に、図1、図2、図3、図4および図5
により、2相のハイブリッド形サーフェスパルスモータ
を例にとり、本発明の第1の実施例を説明する。図1に
示すように、突極22を格子状に直交させて所定ピッチ
P で配置した固定子2と、固定子1の突極ピッチとは
異なるピッチTM で歯切りした可動子1の歯14を有す
る継鉄11、11に、励磁コイル12、12を巻回した
電機子を永久磁石13でブリッジした可動子1を対面さ
せて、励磁コイル12、12を交替励磁することによ
り、固定子2の平面上を、可動子1が移動する。このと
き、可動子1の永久磁石13が作る磁界に励磁コイル1
2、12が作る磁界が重畳し、図1のA矢印の様な主磁
界が発生する。この磁界が、表面に格子状突極22を形
成した固定子2を通過するとき、固定子2の裏面21に
破線で示す漏れ磁束Bが生ずる。固定子2の裏面21に
は、表面に設けた突極22に対応する位置に、漏れ磁束
Bを検出するための磁束検出器3を、図2に示すよう
に、所定のピッチ(例えば、固定子突極22のピッチT
P )で、格子座標上に(座標aij:i=1〜m、j=1
〜n)にm*n個配置する。一例として、歯ピッチTM
の歯をTT の間隔で設けたX方向電機子と、同じ構成の
Y方向電機子を直交させて構成した可動子1が移動する
場合を考える。固定子2の突極22と可動子1の歯14
の重なり具合は、2つのパターンがある。その1つは、
図3(1)に示すように、X方向(もしくは、Y方向)
では、固定子2の突極22と可動子1の歯14が全部が
重なものが1か所あり、この歯と対面して、半分重なっ
たものが1か所、Y方向では、前記X方向の歯のY座標
に最も近い位置に、半分重なったものが1か所ある。す
なはち、コの字状に囲まれた区域がある。この例では、
X方向では、歯X2が座標ai,j とai,j+1 に設けた突
極22全部、歯X3が座標ai+3,j とai+3,J+1 に設け
た突極22の半分と重なる。Y方向では、歯Y2が座標
i+1,j-1 ,ai+2,j-1 に設けた突極22の半分重な
る。前記座標で囲まれた区域があり、この区域内に可動
子1の中心がある。第2のパターンは、図3(2)に示
すもので、X方向では、前記第1のパターンと同様であ
るが、Y方向では、歯Y3が座標ai+1,J+2,i+2,j+2
に設けた突極22の半分と重なり、歯Y2が座標a
i+1,j-1,i+2,j-1 で全部重なる。すなはち、この座標
で囲まれるロの字の区域があり、この区域内に可動子1
の中心がある。すなはち、どのパターンも、可動子1の
中心は格子座標に三方以上を囲まれた区域内にある。可
動子1の中心座標の特定は、固定子2の突極22の幅W
とピッチTP 、可動子の歯のピッチTM 、TT と、突極
22と歯の重なり具合から演算で求める。X方向では、
突極と歯が全部重なった座標(歯X2が重なるai,j
i,j+1 )を基準にすると、(歯X3が重なるa
i+3,j+1 とai+3,j )の方向にTT /2の位置になる。
Y座標は、前記X方向の歯のY座標に最も近い半分もし
くは全部重なった座標(歯Y2が重なるai+1,j-1,
i+2,j-1 )を基準にする。すなはち、第1のパターン
(コの字状区域内)の場合は、可動子1の中心のX座標
は、X方向の基準座標から対面する歯の座標の方向にT
T /2の位置になる。Y座標は、Y方向の基準座標から
コの字状区域の方向にTT /2+W/2位置になる。た
だし、コの字状区域がX方向に開いている場合、XとY
が逆になる。第2のパターン(ロの字状区域内)の場合
は、X方向の基準座標から対面する歯の座標の方向にT
T /2の位置になり、Y方向の基準座標からロの字状区
域の方向にTT /2になる。ここで、図3(1)に示す
ような位置に可動子がある場合、主磁束Aは、X方向で
は歯X2−エアギャップ−歯X2と重なる突極22−固
定子継鉄−歯X3・X4−各々のエアギャップ−歯X3
および歯X4−可動子継鉄−永久磁石を通り帰還する。
Y方向では歯Y1−エアギャップ−歯Y1と重なる突極
22−歯Y3・Y4と重なる突極22−固定子継鉄−歯
Y3・Y4−可動子継鉄−永久磁石を通り帰還する。こ
のとき、漏れ磁束Bは、X方向では、座標ai,j-1 とa
i,j で最大となる。次いで、座標ai+1,j+1 、a
i+2,J+1 、ai+3,j およびai+3,J-1 に設けた突極22
部で大きくなる。 従って、固定子2の裏面に設けた磁
束検出器3の検出する磁束量もこの順になる。他の場合
も同様になるので説明を省略する。以下に、本発明の可
動子1の絶対位置の検出装置を図3に示す可動子1の歯
の配置を例にとり、図4のブロック図をもとに説明す
る。ここで注意を要するのは、各座標の磁束検出器3の
検出する磁束量は、固定子の突極と歯の重なり具合と、
電機子の励磁の状態(停電時等、永久磁石のみの場合と
励磁コイルで励磁する場)で異なることである。2相V
R形交替励磁の場合を例にとると、磁束検出器3の検出
する磁束量は、表1に示すようになる。表中、hphは永
久磁石のみの場合のハイ・レベル、hplは同じくロー・
レベル、hh は励磁した場合のハイ・レベル、hl は同
じくロー・レベル、h0 はほぼゼロを示す。一般に、h
h >hl >hPh>hpl>h0 の関係がある。なお、多相
の場合は、相数+1だけレベルを設定すればよい。
【0007】
【表1】
【0008】格子座標上に設けたm*n個の磁束検出器
3の各々の出力hi,j (i=1〜m,j=1〜n)は、
例えば、h1,1 、h1,2 、h1,3 ・・h1,n 、h2,1
・h2,n 、・・・hm,n のように、逐次ディストリビュ
ータ4によりスキャンされ、増幅器5に入力される。増
幅器5は微弱な出力を増幅し、バンドパス・フイルタ等
でノイズを除去し、出力Vi,j を出力する。出力Vi,j
は比較器6で、基準電圧設定器61の出力Vref と比較
される。ここで、Vref の値は、停電時等のように永久
磁石の磁束のみで励磁される場合はVref-phとVref-Pl
を、定常時のように励磁コイルで励磁する場合はVref-
h とVref-l である。比較器6は、Vi,j とVref
ら、固定子突極22と可動子1の歯の重なり具合を判定
し、レベルを3値化(0:全く重なっていない、1:半
分重なっている、2:全部重なっている)し、CPU8
にレベルを出力する。なお、多相の場合は、判定レベル
を相数+1設定すればよい。CPU8は、可動子1の座
標を演算する演算器7、ディストリビュータ4の指示す
る座標に従い、比較器6の出力レベルを、格子座標
(i,j)位置に対応する座標にレベルL(i,j)を
状態マトリックスとして記憶する記憶装置81と可動子
1の現在位置座標(X,Y)を座標マトリックスとして
記憶する記憶装置82とで構成する。なお、記憶装置8
1内の状態マトリックス(i,j)と座標マトリックス
(X,Y)に記憶される値は、クロック72により、サ
ンプル時間毎に更新さる。状態マトリックスのメモリー
マップは、図3(1)に対応するものは図5(1)、図
3(2)に対応するものは図5(2)のようになる。そ
の他の場合は、同様であるので説明を省略する。演算器
7の演算部71は、状態マトリックスに記憶している値
をもとに、下記ステップで可動子1の現在位置を固定子
の格子座標上に特定する。
【0009】ステップ 1:記憶装置81の状態マトリ
ックス(i,j)に記憶している値が2である格子座標
(図5(1)の場合は、ai,j とai,j-1 、図5(2)
の場合は、X方向のai,J とai,j-1 およびY方向のa
i+1,j+1 とai+2,j+1 が該当する)を探し、基準座標に
する。 ステップ 2:記憶装置81の状態マトリックス(i,
j)に記憶している値が1で、しかもステップ 1で特
定した格子座標に最も近いX方向(もしくはY方向)の
格子座標(図5(1)の場合は、ai+3,j
i+3,j-1 、図5(2)の場合は、X方向のai+3,J
i+3,j-1 、Y方向のai+1,j-2 とai+2,J-2 が該当す
る)を探す。 この段階で、ステップ 1で求めた基準座標に、対面す
るX方向(もしくはY方向)の座標(図5(1)の場合
は、ai,J とai+3,j およびai,j-1 とai+3, j-1 、図
5(2)の場合は、X方向は前記と同一、Y方向はa
i+1,j+1 とai+1, j-2 およびai+2,j+1 とai+2,j-2
該当する)を特定できる。 ステップ 3:記憶装置81の状態マトリックス(i,
j)に記憶している値が1または2で、X座標(もしく
はY座標)が、ステップ 3で特定した1対の座標系の
間にある、Y方向(もしくはX方向)の座標(図5
(1)の場合は、ai, J+1 ,ai+1,j+1 とai+2,j+1
該当し、図5(2)の場合はai+1,j+1 、ai+ 2,j+1
i+1,J-2 とai+2,J-2 が該当する)を探す。 この段階で、X軸方向(もしくはY方向)とY方向(も
しくはX方向)の格子座標が囲むコの字もしくはロの字
状の区域が特定できる。すなはち、可動子の中心がある
区域を特定できる。 ステップ 4:ステップ 3で特定した区域がコの字か
ロの字かを記憶する。 ステップ 5:基準とする座標(図5(1)、(2)の
場合は、X方向はi、Y方向はj+1)から対面する座
標の方向(図5(1)、(2)の場合は、X方向はi+
3、Y方向はj−2)を、増加方向は+、減少方向は−
とし符号を判定する。 ステップ 6:ステップ 1で見つけた座標(図5
(1)の場合は、ai,j とai,j-1 、図5(2)の場合
は、X方向のai,J とai,j-1 およびY方向のai+1,
j+1 とai+2,j+1 )を基準に、固定子の突極22の幅
W、ピッチTP 、可動子1の歯のピッチTM および間隔
T から、下記の式により、可動子の中心座標を演算す
る。 コの字区域の場合は、
【0010】
【数1】
【0011】ロの字区域の場合は、
【0012】
【数2】
【0013】上記で演算した、可動子1の現在位置の座
標(X,Y)は、座標マトリックスのメモリに記憶す
る。なお、一般的には、可動子の歯の配置は、図3のよ
うに、X、Y方向の歯を包絡面上に配置する必要はな
く、また、相数により固定子突極22と歯の重なり具合
は異なるが、可動子1の歯の内中心に近いももの内1つ
は、かならず固定子突極22と全部重なり、その他の可
動子の歯はピッチ/相数づつのピッチずれで重なる。従
って、固定子の突極22と可動子1の歯が重なっている
格子座標を基準に、その他の突極と歯の重なり具合か
ら、上記と同様なステップで、可動子1の中心を判定で
きる。また、固定子の表面を、複数の可動子が移動して
いる場合は、状態マトリックスに記憶されるレベルが複
数のブロックに分かれるだけであり、どこに可動子があ
るかを特定できることは自明であるので、説明を省略す
る。
【0014】図6に、定常状態で移動中の可動子に適用
する、第2の実施例を説明する。ここでは、第1の実施
例の磁束検出器3を、図8に示すサーチコイル9に換
え、図7で示すように、固定子2の裏面に碁盤目に配置
する。第1の実施例と同様に漏れ磁束Bが発生すると、
各々のコイル9の両端(X方向はa1 〜am 、Y方向は
1 〜bn )に電圧Vk =Bk *Lk *V(L:磁束が
切るコイルの長さ、V:磁束がコイルを横切る速さ)が
生じる。サーチコイル9の各端子a1 〜am およびb1
〜bn の出力電圧VK を、ディストリビュータ4を介
し、基準電圧電圧設定器の出力と比較し、レベルを判定
し、状態マトリックスにレベルを記憶することにより、
第1の実施例と同様なやり方で、可動子の絶対座標を特
定する。ただし、この場合は可動子の移動速度によっ
て、基準電圧設定器の出力の種類を、微速、中速と高速
に区分し追加する。
【0015】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によって、複
数台の可動子をもつサーフェスパルスモータの可動子の
絶対位置検出が可能となった。従って、干渉・衝突防止
機構をソフトウェアで形成できるという効果がある。ま
た、検出器を固定子の裏面に取りつけることにより、通
常使用しない裏面が活用でき、スペースの節約ができ
る。さらに、可動子に何ら細工する必要がない為に、現
在あるモータを簡単に改造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す、サーフェスパルスモー
タの側断面図
【図2】磁束検出器の配置を示す、平面図
【図3】固定子と可動子の移動状態を示す、平面図
【図4】第1の実施例を示す、装置のブロック図
【図5】記憶手段の中における信号の状態を示す、メモ
リマップ
【図6】磁束の流れと磁束検出コイルの配置を示す、側
断面図
【図7】第2の実施例の磁束検出コイルの配置を示す、
平面図
【図8】コイルの形状を示す平面図
【図9】磁束検出コイルと端子を示す平面図
【符号の説明】
1 可動子 11 継鉄 12 励磁コイル 13 永久磁石 14 歯 2 固定子 21 固定子の裏面 22 突極 3 磁束検出器 4 ディストリビュータ 5 増巾器 6 比較器 61 基準電圧発生器 7 演算器 72 クロック 8 CPU 81 記憶手段 A 主磁界 B 漏れ磁束 a1 〜am 、b1 〜bn 端子

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 突極を格子状に配置した固定子と、歯を
    有する継鉄に励磁コイルを巻回した電機子1対を永久磁
    石でブリッジした可動子よりなるサーフェスパルスモー
    タの可動子の位置検出方法において、 突極位置に対応させて固定子の裏面に格子状に設けた磁
    束検出器により可動子が発生する漏れ磁束を検出し、格
    子状の各座標点の漏れ磁束のレベルを判定し、判定結果
    を数値化しマトリックス状のメモリに記憶し、マトリッ
    クス状のメモリの数値の配置状態から可動子の中心があ
    る区域を特定し、固定子の突極ピッチと可動子の歯ピッ
    チから可動子の中心位置の絶対座標を演算することを特
    徴とするサーフェスパルスモータ可動子の絶対位置検出
    方法。
  2. 【請求項2】 突極を格子状に配置した固定子と、歯を
    有する継鉄に励磁コイルを巻回した電機子1対を永久磁
    石でブリッジした可動子よりなるサーフェスパルスモー
    タの位置検出装置において、 前記固定子の突極位置に対応させて裏面に設けた前記可
    動子が発生する漏れ磁束を検出する磁束検出手段と、前
    記磁束検出手段の出力信号を数値化する手段と、数値化
    する手段の出力量を記憶する記憶手段と、前記数値化す
    る手段の出力量を判定し前記記憶手段に転送する演算器
    を備えたことを特徴とするサーフェスパルスモータ可動
    子の絶対位置検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9346371B2 (en) 2009-01-23 2016-05-24 Magnemotion, Inc. Transport system powered by short block linear synchronous motors
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