JPH05151543A - ダブルアジマス磁気ヘツドのトラツク高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装置 - Google Patents
ダブルアジマス磁気ヘツドのトラツク高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装置Info
- Publication number
- JPH05151543A JPH05151543A JP3316853A JP31685391A JPH05151543A JP H05151543 A JPH05151543 A JP H05151543A JP 3316853 A JP3316853 A JP 3316853A JP 31685391 A JP31685391 A JP 31685391A JP H05151543 A JPH05151543 A JP H05151543A
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- Japan
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- chip
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- adjusting
- stage
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 １枚目のチップに対して２枚目のチップのＨ
ＤＦを許容公差内に調整してダブルアジマス磁気ヘッド
を得る。 【構成】 ２枚目のチップ１Ａをチップ受台５上に載置
する。１枚目のチップ１を貼付したベース２をベースク
ランプ部１３に位置決め固定する。この１枚目のチップ
を顕微鏡１５にて観察して焦点を合せ、干渉縞を出して
おく。次に、前記２枚目のチップ１Ａを１枚目のチップ
１に対してＸＹ軸ステージ１２及び回転ステージ１１に
て位置合せを施して該２枚目のチップ１Ａを上昇させ、
そしてベースに押し当てる。このとき、該２枚目のチッ
プ１ＡのＨＤＦが公差外であれば、該２枚目のチップ１
Ａを下降させ、浮き・アジマス調整ステージ１０にて前
記ＨＤＦを調整して再度上昇させ、ＨＤＦが公差内であ
ることを確認してベース２に貼着する。
ＤＦを許容公差内に調整してダブルアジマス磁気ヘッド
を得る。 【構成】 ２枚目のチップ１Ａをチップ受台５上に載置
する。１枚目のチップ１を貼付したベース２をベースク
ランプ部１３に位置決め固定する。この１枚目のチップ
を顕微鏡１５にて観察して焦点を合せ、干渉縞を出して
おく。次に、前記２枚目のチップ１Ａを１枚目のチップ
１に対してＸＹ軸ステージ１２及び回転ステージ１１に
て位置合せを施して該２枚目のチップ１Ａを上昇させ、
そしてベースに押し当てる。このとき、該２枚目のチッ
プ１ＡのＨＤＦが公差外であれば、該２枚目のチップ１
Ａを下降させ、浮き・アジマス調整ステージ１０にて前
記ＨＤＦを調整して再度上昇させ、ＨＤＦが公差内であ
ることを確認してベース２に貼着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダブルアジマス磁気ヘ
ッドのトラック高さ調整方法並びに該調整方法に用いる
装置に関するものであり、特に、１枚目のチップに対し
て、２枚目のチップのトラック高さを公差内に調整して
ベースに貼着できるようにしたダブルアジマス磁気ヘッ
ドのトラック高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装
置に関するものである。
ッドのトラック高さ調整方法並びに該調整方法に用いる
装置に関するものであり、特に、１枚目のチップに対し
て、２枚目のチップのトラック高さを公差内に調整して
ベースに貼着できるようにしたダブルアジマス磁気ヘッ
ドのトラック高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のダブルアジマス磁気ヘッドを形成
するには、予めチップ状態で各チップのトラック高さ寸
法を測定して細分類し、そして、細分類されたチップ相
互をペア組みしておき、之をベースに貼着している。又
は、１枚目のチップをベースに貼着した後、該１枚目の
チップのトラック高さ寸法を測定し、この値に適応して
公差内にあるチップを選択し、そして、選択されたチッ
プを２枚目のチップとして用い、之を前記１枚目のチッ
プに対峙してベースに貼着している。
するには、予めチップ状態で各チップのトラック高さ寸
法を測定して細分類し、そして、細分類されたチップ相
互をペア組みしておき、之をベースに貼着している。又
は、１枚目のチップをベースに貼着した後、該１枚目の
チップのトラック高さ寸法を測定し、この値に適応して
公差内にあるチップを選択し、そして、選択されたチッ
プを２枚目のチップとして用い、之を前記１枚目のチッ
プに対峙してベースに貼着している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ベースに貼着せらるべ
き１枚目のチップと２枚目のチップとの間のトラック高
さの相互差（ＨＤＦ）の許容公差は極めて厳格である。
従って、ベースに貼着された１枚目のチップに対して２
枚目のチップを前記許容公差内にて貼着する従来の方法
は極めて面倒であり、作業性が悪く、且つ、不良品も出
て製品のコスト高の要因となっている。
き１枚目のチップと２枚目のチップとの間のトラック高
さの相互差（ＨＤＦ）の許容公差は極めて厳格である。
従って、ベースに貼着された１枚目のチップに対して２
枚目のチップを前記許容公差内にて貼着する従来の方法
は極めて面倒であり、作業性が悪く、且つ、不良品も出
て製品のコスト高の要因となっている。
【０００４】そこで、１枚目のチップに対して２枚目の
チップのＨＤＦを許容公差内に調整してダブルアジマス
磁気ヘッドを容易に製造するために解決せらるべき技術
的課題が生じてくるのであり、本発明は該課題を解決す
ることを目的とする。
チップのＨＤＦを許容公差内に調整してダブルアジマス
磁気ヘッドを容易に製造するために解決せらるべき技術
的課題が生じてくるのであり、本発明は該課題を解決す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために提案されたものであり、２枚目のチップを
チップ受台に載置し、１枚目のチップを貼付したベース
をベースクランプ部に位置決めして固定し、該１枚目の
チップに対して顕微鏡の焦点を合せて干渉縞を出し、次
に、前記チップ受台上の２枚目のチップを１枚目のチッ
プに対して、ＸＹ軸ステージ及び回転ステージにて位置
合せを施して後、該２枚目のチップを上昇させて前記ベ
ースに押し当て、１枚目のチップと２枚目のチップとの
トラック高さ相互差が公差内であれば該２枚目のチップ
をベースに貼着せしめ、公差外であれば、該２枚目のチ
ップを下降させて浮き・アジマス調整ステージにて調整
して再度上昇させ、前記トラック高さ相互差が公差内に
調整されていることを確認して接着剤にて貼着せしめる
ことを特徴とするダブルアジマス磁気ヘッドのトラック
高さ調整方法、及びベースを位置決めして固定するベー
スクランプ部とチップ受台とを有し、該チップ受台の下
部に昇降ガイドを取付けて昇降自在に構成すると共に、
チップの浮きアジマス調整用の浮き・アジマス調整ステ
ージ及びチップの姿勢を調整するための回転ステージ、
２枚目のチップのベースに対するＸＹ方向の位置調整用
のＸＹ軸ステージを夫々連設し、更に、チップの姿勢観
察用の干渉対物レンズ付の顕微鏡を備えたことを特徴と
するダブルアジマス磁気ヘッドのトラック高さ調整方法
に用いる装置を提供するものである。
成するために提案されたものであり、２枚目のチップを
チップ受台に載置し、１枚目のチップを貼付したベース
をベースクランプ部に位置決めして固定し、該１枚目の
チップに対して顕微鏡の焦点を合せて干渉縞を出し、次
に、前記チップ受台上の２枚目のチップを１枚目のチッ
プに対して、ＸＹ軸ステージ及び回転ステージにて位置
合せを施して後、該２枚目のチップを上昇させて前記ベ
ースに押し当て、１枚目のチップと２枚目のチップとの
トラック高さ相互差が公差内であれば該２枚目のチップ
をベースに貼着せしめ、公差外であれば、該２枚目のチ
ップを下降させて浮き・アジマス調整ステージにて調整
して再度上昇させ、前記トラック高さ相互差が公差内に
調整されていることを確認して接着剤にて貼着せしめる
ことを特徴とするダブルアジマス磁気ヘッドのトラック
高さ調整方法、及びベースを位置決めして固定するベー
スクランプ部とチップ受台とを有し、該チップ受台の下
部に昇降ガイドを取付けて昇降自在に構成すると共に、
チップの浮きアジマス調整用の浮き・アジマス調整ステ
ージ及びチップの姿勢を調整するための回転ステージ、
２枚目のチップのベースに対するＸＹ方向の位置調整用
のＸＹ軸ステージを夫々連設し、更に、チップの姿勢観
察用の干渉対物レンズ付の顕微鏡を備えたことを特徴と
するダブルアジマス磁気ヘッドのトラック高さ調整方法
に用いる装置を提供するものである。
【０００６】
【作用】２枚目のチップはチップ受台上に載置される。
又、１枚目のチップを貼着したベースをベースクランプ
部に位置決めして固定する。そこで、該１枚目のチップ
に対して顕微鏡の焦点を合せて干渉縞を出しておく。次
に、前記２枚目のチップを前記チップ受台上に載置した
状態でＸＹ軸ステージ並びに回転ステージによって調整
し乍ら位置合せを為す。斯くして、位置合せが終了次第
チップ受台を昇降ガイドの動作によって上昇せしめ、該
チップ受台上の２枚目のチップを前記１枚目のチップに
対峙してベースに押し付ける。このとき、２枚目のチッ
プが１枚目のチップに対してそのトラック高さの相互差
（ＨＤＦ）が許容公差内であれば瞬間接着剤にて該２枚
目のチップをベースに貼着してダブルアジマス磁気ヘッ
ドを形成する。
又、１枚目のチップを貼着したベースをベースクランプ
部に位置決めして固定する。そこで、該１枚目のチップ
に対して顕微鏡の焦点を合せて干渉縞を出しておく。次
に、前記２枚目のチップを前記チップ受台上に載置した
状態でＸＹ軸ステージ並びに回転ステージによって調整
し乍ら位置合せを為す。斯くして、位置合せが終了次第
チップ受台を昇降ガイドの動作によって上昇せしめ、該
チップ受台上の２枚目のチップを前記１枚目のチップに
対峙してベースに押し付ける。このとき、２枚目のチッ
プが１枚目のチップに対してそのトラック高さの相互差
（ＨＤＦ）が許容公差内であれば瞬間接着剤にて該２枚
目のチップをベースに貼着してダブルアジマス磁気ヘッ
ドを形成する。
【０００７】このとき、２枚目のチップが１枚目のチッ
プに対するＨＤＦが許容公差外であれば、上昇させたチ
ップ受台を昇降ガイドの作動によって下降せしめ、この
下降したチップ受台上の２枚目のチップを浮き・アジマ
ス調整ステージを用いて前記ＨＤＦを許容公差内に調整
し、そして、再び該チップ受台を上昇せしめて該調整さ
れた２枚目のチップをベースに押し当て、許容公差内の
ＨＤＦを確認して接着剤を用いて該２枚目のチップを１
枚目のチップに対峙せしめて貼着してダブルアジマス磁
気ヘッドを形成する。
プに対するＨＤＦが許容公差外であれば、上昇させたチ
ップ受台を昇降ガイドの作動によって下降せしめ、この
下降したチップ受台上の２枚目のチップを浮き・アジマ
ス調整ステージを用いて前記ＨＤＦを許容公差内に調整
し、そして、再び該チップ受台を上昇せしめて該調整さ
れた２枚目のチップをベースに押し当て、許容公差内の
ＨＤＦを確認して接着剤を用いて該２枚目のチップを１
枚目のチップに対峙せしめて貼着してダブルアジマス磁
気ヘッドを形成する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図７に従
って詳述する。尚、説明の都合上、請求項１記載の発明
と請求項２記載の発明とを同時に説明し、更に、１枚目
のチップ１及び２枚目のチップ１Ａのトラック高さＨ及
びベース２に対する浮きｈに付いて図１及び図２によっ
て説明する。図に於て、該チップ１，１Ａはトラック１
ａを有し、該トラック１ａにはギャップ１ｂが設けられ
ている。２は該チップ１を貼着するベースである。そこ
で、チップ１，１Ａは図２に示す如く、ベース２に貼着
されるのであるが、図１に示す如き浮きｈが常に生じ
る。更に、ベース２に対して前記ギャップ１ｂの端部ま
での距離をトラック高さＨと称する。
って詳述する。尚、説明の都合上、請求項１記載の発明
と請求項２記載の発明とを同時に説明し、更に、１枚目
のチップ１及び２枚目のチップ１Ａのトラック高さＨ及
びベース２に対する浮きｈに付いて図１及び図２によっ
て説明する。図に於て、該チップ１，１Ａはトラック１
ａを有し、該トラック１ａにはギャップ１ｂが設けられ
ている。２は該チップ１を貼着するベースである。そこ
で、チップ１，１Ａは図２に示す如く、ベース２に貼着
されるのであるが、図１に示す如き浮きｈが常に生じ
る。更に、ベース２に対して前記ギャップ１ｂの端部ま
での距離をトラック高さＨと称する。
【０００９】図３はベース２の端部に対峙してチップ
１，１Ａが貼着されて形成されたダブルアジマス磁気ヘ
ッド３の平面図であり、図４は図３のＡ−Ａ線断面図、
図５はチップの貼着状態を示す正面図であるが、先ず、
１枚目のチップ１が該ベース２の端部に貼着される。そ
して、之に対峙して２枚目のチップ１Ａが該ベース２の
他端部に貼着される。このとき、１枚目のチップ１の前
記トラック高さＨと２枚目のチップ１Ａのトラック高さ
Ｈとの相互差（ＨＤＦ）が生じたとき、この相互差（Ｈ
ＤＦ）の許容される公差が極めて厳格であるので、１枚
目のチップ１をベース２に貼着したとき、２枚目のチッ
プ１Ａを前記許容公差内のＨＤＦに調整しようとするの
が本発明である。
１，１Ａが貼着されて形成されたダブルアジマス磁気ヘ
ッド３の平面図であり、図４は図３のＡ−Ａ線断面図、
図５はチップの貼着状態を示す正面図であるが、先ず、
１枚目のチップ１が該ベース２の端部に貼着される。そ
して、之に対峙して２枚目のチップ１Ａが該ベース２の
他端部に貼着される。このとき、１枚目のチップ１の前
記トラック高さＨと２枚目のチップ１Ａのトラック高さ
Ｈとの相互差（ＨＤＦ）が生じたとき、この相互差（Ｈ
ＤＦ）の許容される公差が極めて厳格であるので、１枚
目のチップ１をベース２に貼着したとき、２枚目のチッ
プ１Ａを前記許容公差内のＨＤＦに調整しようとするの
が本発明である。
【００１０】図６及び図７は本発明に用いる調整装置４
を示し、図６はその側面図、図７はベース２と該ベース
２に貼着せらるべきチップとの相互の位置関係を示す斜
面図である。図に於て、調整装置４はＨＤＦを調整して
前記ダブルアジマス磁気ヘッド３を製造する装置であ
る。該調整装置４はチップ受台５が設けられており、該
チップ受台５上面にはベース２に貼着せらるべき２枚目
のチップ１Ａが載置される。而も、該チップ受台５はモ
ータ６の駆動にて回転するカム７にて上下動できるよう
に構成されている。又、該チップ受台５には真空吸着用
チューブ８が取付けられており、チップ受台５上に載置
された２枚目のチップ１Ａを下面より吸着して該チップ
１の揺動を防止する。
を示し、図６はその側面図、図７はベース２と該ベース
２に貼着せらるべきチップとの相互の位置関係を示す斜
面図である。図に於て、調整装置４はＨＤＦを調整して
前記ダブルアジマス磁気ヘッド３を製造する装置であ
る。該調整装置４はチップ受台５が設けられており、該
チップ受台５上面にはベース２に貼着せらるべき２枚目
のチップ１Ａが載置される。而も、該チップ受台５はモ
ータ６の駆動にて回転するカム７にて上下動できるよう
に構成されている。又、該チップ受台５には真空吸着用
チューブ８が取付けられており、チップ受台５上に載置
された２枚目のチップ１Ａを下面より吸着して該チップ
１の揺動を防止する。
【００１１】又、該チップ受台５の下部には該チップ受
台５を上下動させるための昇降ガイド９が取付けられて
おり、該昇降ガイド９はカム駆動によって上部のチップ
受台５を上下動させるのである。更に、該昇降ガイド９
の下部には浮き・アジマス調整ステージ１０が連結され
ており、２枚目のチップ１Ａのトラック高さＨと１枚目
のチップ１のトラック高さＨとのＨＤＦを許容公差内に
調整するものである。更に又、該浮き・アジマス調整ス
テージ１０の下部に回転ステージ１１を連設し、前記チ
ップ受台５上に載置された２枚目のチップ１Ａの姿勢を
調整し、更に、該回転ステージ１１の下部にＸＹ軸ステ
ージ１２を連設して、前記チップ受台５上に載置された
２枚目のチップ１Ａの１枚目のチップ１に対するＸＹ方
向の位置を調整する。
台５を上下動させるための昇降ガイド９が取付けられて
おり、該昇降ガイド９はカム駆動によって上部のチップ
受台５を上下動させるのである。更に、該昇降ガイド９
の下部には浮き・アジマス調整ステージ１０が連結され
ており、２枚目のチップ１Ａのトラック高さＨと１枚目
のチップ１のトラック高さＨとのＨＤＦを許容公差内に
調整するものである。更に又、該浮き・アジマス調整ス
テージ１０の下部に回転ステージ１１を連設し、前記チ
ップ受台５上に載置された２枚目のチップ１Ａの姿勢を
調整し、更に、該回転ステージ１１の下部にＸＹ軸ステ
ージ１２を連設して、前記チップ受台５上に載置された
２枚目のチップ１Ａの１枚目のチップ１に対するＸＹ方
向の位置を調整する。
【００１２】又、１３はベースクランプ部を示す。該ベ
ースクランプ部１３の上端部に１枚目のチップ１を貼着
したベース２をベース位置決め用肩押し板１４によって
位置決めして固定する。図６及び図７に於てはベースク
ランプ部１３上に載置した前記ベース２の上面からベー
ス押え１３ａにて該ベース２が押圧され固定されてい
る。
ースクランプ部１３の上端部に１枚目のチップ１を貼着
したベース２をベース位置決め用肩押し板１４によって
位置決めして固定する。図６及び図７に於てはベースク
ランプ部１３上に載置した前記ベース２の上面からベー
ス押え１３ａにて該ベース２が押圧され固定されてい
る。
【００１３】尚、該ベースクランプ部１３は枠体１３ｂ
上に固定されている。又、１５は顕微鏡である。該顕微
鏡１５は視野合成顕微鏡が用いられ、チップ１Ａの姿勢
観察用の干渉対物レンズ１６を先端部に備えている。更
に、該顕微鏡１５は同一視野内の１枚目及び２枚目のチ
ップ１，１Ａの各ギャップ１ｂ，１ｂを観察し、そし
て、各トラック高さＨ，ＨのＨＤＦを抜き出して観察で
きるように構成されており、且つ、顕微鏡用ＸＹ軸ステ
ージ１７及びＺ軸ステージ１８によってＸＹ方向並びに
上下方向の位置が調整できるようになっている。尚、図
中符号１９はモニタースコープであってチップ１，１Ａ
を上方向から観察するものであり、２０は該モニタース
コープ１９のＸＹ方向の位置の調整を為すためのモニタ
ースコープ用ＸＹ軸ステージであり、２１，２１はＣＣ
Ｄカメラ、２２，２２…は調整摘子、２３はカムフォロ
アープレート、２４はクロスローラーガイドを夫々示
す。
上に固定されている。又、１５は顕微鏡である。該顕微
鏡１５は視野合成顕微鏡が用いられ、チップ１Ａの姿勢
観察用の干渉対物レンズ１６を先端部に備えている。更
に、該顕微鏡１５は同一視野内の１枚目及び２枚目のチ
ップ１，１Ａの各ギャップ１ｂ，１ｂを観察し、そし
て、各トラック高さＨ，ＨのＨＤＦを抜き出して観察で
きるように構成されており、且つ、顕微鏡用ＸＹ軸ステ
ージ１７及びＺ軸ステージ１８によってＸＹ方向並びに
上下方向の位置が調整できるようになっている。尚、図
中符号１９はモニタースコープであってチップ１，１Ａ
を上方向から観察するものであり、２０は該モニタース
コープ１９のＸＹ方向の位置の調整を為すためのモニタ
ースコープ用ＸＹ軸ステージであり、２１，２１はＣＣ
Ｄカメラ、２２，２２…は調整摘子、２３はカムフォロ
アープレート、２４はクロスローラーガイドを夫々示
す。
【００１４】上記本発明の調整装置４を用いてダブルア
ジマス磁気ヘッド３を製造するには、先ず、２枚目のチ
ップ１Ａをチップ受台５上に載置する。次に、ベースク
ランプ部１３上にベース２を位置決めして固定する。該
ベース２には１枚目のチップ１が貼着されている。そこ
で、顕微鏡１５にて該１枚目のチップ１のギャップ１ｂ
に焦点を合せ、干渉縞を出しておく。次に、前記チップ
受台５上に載置されている２枚目のチップ１Ａを前記回
転ステージ１１及びＸＹ軸ステージ１２の各調整摘子２
２，２２…を回動させ乍ら前記１枚目のチップ１に対す
る位置合せを施す。該位置合せが終了すれば、チップ受
台５を昇降ガイド９の作動にて上昇せしめ、該チップ受
台５上の２枚目のチップ１Ａをベース２に押し当てて、
前記１枚目のチップ１に対峙せしめる。このとき、２枚
目のチップ１Ａが１枚目のチップ１に対するＨＤＦが許
容される公差内であれば瞬間接着剤にて貼着し、もし、
該ＨＤＦが許容される公差外であれば、チップ受台５を
下降せしめ、前記浮き・アジマス調整ステージ１０によ
ってＨＤＦを調整し、そして、再び該チップ受台５を上
昇せしめ、該チップ受台５上の前記調整された２枚目の
チップ１Ａが１枚目のチップ１に対するＨＤＦが許容さ
れる公差内であることを確認して該２枚目のチップ１Ａ
をベース２に瞬間接着剤にて貼着し、ダブルアジマス磁
気ヘッド３を完成する。
ジマス磁気ヘッド３を製造するには、先ず、２枚目のチ
ップ１Ａをチップ受台５上に載置する。次に、ベースク
ランプ部１３上にベース２を位置決めして固定する。該
ベース２には１枚目のチップ１が貼着されている。そこ
で、顕微鏡１５にて該１枚目のチップ１のギャップ１ｂ
に焦点を合せ、干渉縞を出しておく。次に、前記チップ
受台５上に載置されている２枚目のチップ１Ａを前記回
転ステージ１１及びＸＹ軸ステージ１２の各調整摘子２
２，２２…を回動させ乍ら前記１枚目のチップ１に対す
る位置合せを施す。該位置合せが終了すれば、チップ受
台５を昇降ガイド９の作動にて上昇せしめ、該チップ受
台５上の２枚目のチップ１Ａをベース２に押し当てて、
前記１枚目のチップ１に対峙せしめる。このとき、２枚
目のチップ１Ａが１枚目のチップ１に対するＨＤＦが許
容される公差内であれば瞬間接着剤にて貼着し、もし、
該ＨＤＦが許容される公差外であれば、チップ受台５を
下降せしめ、前記浮き・アジマス調整ステージ１０によ
ってＨＤＦを調整し、そして、再び該チップ受台５を上
昇せしめ、該チップ受台５上の前記調整された２枚目の
チップ１Ａが１枚目のチップ１に対するＨＤＦが許容さ
れる公差内であることを確認して該２枚目のチップ１Ａ
をベース２に瞬間接着剤にて貼着し、ダブルアジマス磁
気ヘッド３を完成する。
【００１５】尚、この発明は、この発明の精神を逸脱し
ない限り種々の改変を為すことができ、そして、この発
明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
ない限り種々の改変を為すことができ、そして、この発
明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【００１６】
【発明の効果】本発明は上記一実施例にて詳述せる如
く、ヘッドのチップ状態でのトラック高さの測定誤差、
或はベース、チップの形状による寸法不良、更に、１枚
目のチップの貼着状態等に影響をうけず、該１枚目のチ
ップの貼着精度に２枚目のチップを効率良く合せて貼着
することができるので、チップの歩留りが向上し、高精
度のダブルアジマス磁気ヘッドを効率良く製造すること
ができ、コストダウンにも寄与することが可能となる
等、正に諸種の著大なる価値ある発明である。
く、ヘッドのチップ状態でのトラック高さの測定誤差、
或はベース、チップの形状による寸法不良、更に、１枚
目のチップの貼着状態等に影響をうけず、該１枚目のチ
ップの貼着精度に２枚目のチップを効率良く合せて貼着
することができるので、チップの歩留りが向上し、高精
度のダブルアジマス磁気ヘッドを効率良く製造すること
ができ、コストダウンにも寄与することが可能となる
等、正に諸種の著大なる価値ある発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】チップのベースに対する浮き及びトラック高さ
を示す解説図。
を示す解説図。
【図２】チップのベースに対する正常なる貼着状態を示
す解説図。
す解説図。
【図３】本発明によって製造したダブルアジマス磁気ヘ
ッドの平面図。
ッドの平面図。
【図４】図３のＸ−Ｘ線断面図。
【図５】図３のヘッド部を正面より見た解説図。
【図６】本発明の調整装置の側面図。
【図７】ベースとチップとの相互の位置関係を示す斜面
図。
図。
１，１Ａ チップ ２ ベース ３ ダブルアジマス磁気ヘッド ４ 調整装置 ５ チップ受台 ９ 昇降ガイド １０ 浮き・アジマス調整ステージ １１ 回転ステージ １２ ＸＹ軸ステージ １３ ベースクランプ部 １５ 顕微鏡
Claims (2)
- 【請求項１】 ２枚目のチップをチップ受台に載置し、
１枚目のチップを貼付したベースをベースクランプ部に
位置決めして固定し、該１枚目のチップに対して顕微鏡
の焦点を合せて干渉縞を出し、次に、前記チップ受台上
の２枚目のチップを１枚目のチップに対して、ＸＹ軸ス
テージ及び回転ステージにて位置合せを施して後、該２
枚目のチップを上昇させて前記ベースに押し当て、１枚
目のチップと２枚目のチップとのトラック高さ相互差が
公差内であれば該２枚目のチップをベースに貼着せし
め、公差外であれば、該２枚目のチップを下降させて浮
き・アジマス調整ステージにて調整して再度上昇させ、
前記トラック高さ相互差が公差内に調整されていること
を確認して接着剤にて貼着せしめることを特徴とするダ
ブルアジマス磁気ヘッドのトラック高さ調整方法。 - 【請求項２】 ベースを位置決めして固定するベースク
ランプ部とチップ受台とを有し、該チップ受台の下部に
昇降ガイドを取付けて昇降自在に構成すると共に、チッ
プの浮きアジマス調整用の浮き・アジマス調整ステージ
及びチップの姿勢を調整するための回転ステージ、２枚
目のチップのベースに対するＸＹ方向の位置調整用のＸ
Ｙ軸ステージを夫々連設し、更に、チップの姿勢観察用
の干渉対物レンズ付の顕微鏡を備えたことを特徴とする
請求項１記載のダブルアジマス磁気ヘッドのトラック高
さ調整方法に用いる装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316853A JPH05151543A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ダブルアジマス磁気ヘツドのトラツク高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316853A JPH05151543A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ダブルアジマス磁気ヘツドのトラツク高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05151543A true JPH05151543A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18081646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3316853A Pending JPH05151543A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ダブルアジマス磁気ヘツドのトラツク高さ調整方法並びに該調整方法に用いる装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05151543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980045402A (ko) * | 1996-12-10 | 1998-09-15 | 조희재 | 자기헤드의 트랙높이 맞춤장치 및 그 맞춤방법 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3316853A patent/JPH05151543A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980045402A (ko) * | 1996-12-10 | 1998-09-15 | 조희재 | 자기헤드의 트랙높이 맞춤장치 및 그 맞춤방법 |
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