JPH05144278A - Flash memory - Google Patents
Flash memoryInfo
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- JPH05144278A JPH05144278A JP30489491A JP30489491A JPH05144278A JP H05144278 A JPH05144278 A JP H05144278A JP 30489491 A JP30489491 A JP 30489491A JP 30489491 A JP30489491 A JP 30489491A JP H05144278 A JPH05144278 A JP H05144278A
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- block
- redundant
- blocks
- erase
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置のう
ち、メモリセル・トランジスタとして、EEPROM
(Electrically Erasable and Programmable Read Only
Memory)セル・トランジスタ(以下、セル・トランジ
スタという)を有し、かかるセル・トランジスタに書き
込まれているデータの消去をチップあるいはブロックを
単位として電気的に一括して行うように構成されるフラ
ッシュ・メモリに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an EEPROM as a memory cell transistor in a semiconductor memory device.
(Electrically Erasable and Programmable Read Only
Memory) A flash that has a cell transistor (hereinafter referred to as a cell transistor), and is configured to electrically erase data written in the cell transistor in a unit of a chip or a block. Regarding memory.
【0002】一般に、半導体記憶装置においては、製造
歩留りが製造コストに直接影響するため、製造歩留りの
向上が重要視される。かかる製造歩留りの向上を図る一
方法として冗長技術がある。フラッシュ・メモリでは、
その動作の関係上、コラム冗長(不良のビット線を冗長
用のビット線で置き換える)技術が一般的に採用されて
いる。Generally, in a semiconductor memory device, since the manufacturing yield directly affects the manufacturing cost, it is important to improve the manufacturing yield. There is a redundancy technique as one method for improving the manufacturing yield. In flash memory,
Due to its operation, column redundancy (replacement of defective bit lines with redundant bit lines) is generally adopted.
【0003】[0003]
【従来の技術】従来、フラッシュ・メモリとして、図3
にその要部を示すようなものが知られている。図中、1
は、欠陥セルがなければ、そのまま使用される本来的な
ブロック、2は、ブロック1に欠陥セルがある場合、こ
の欠陥セルを含むコラムに代えて使用される冗長用のブ
ロックである。2. Description of the Related Art Conventionally, a flash memory shown in FIG.
It is known that the main part is shown in. 1 in the figure
If there is no defective cell, the original block is used as it is, and if there is a defective cell in block 1, 2 is a redundant block used in place of the column including the defective cell.
【0004】また、30、31、40、41は本来的なセル
・トランジスタ、50、51は冗長用のセル・トランジス
タ、60、61はセル・トランジスタの選択を行うワード
線、X0、X1はロウアドレスをデコードするロウデコー
ダ(図示せず)から出力されるワード線選択信号であ
る。Further, 3 0 , 3 1 , 4 0 , 4 1 are original cell transistors, 5 0 , 5 1 are redundant cell transistors, and 6 0 , 6 1 are cell transistors. Word lines X 0 and X 1 are word line selection signals output from a row decoder (not shown) that decodes a row address.
【0005】また、70、7nは本来的なビット線、7R
は冗長用のビット線、80、8nは本来的なコラムゲート
をなすnMOSトランジスタ、8Rは冗長用のコラムゲ
ートをなすnMOSトランジスタ、Y0、Ynは本来的な
コラム選択信号、REDは冗長コラム選択信号、9は読
み出されたデータを増幅するセンスアンプである。Further, 7 0 and 7 n are original bit lines, and 7 R
Is a bit line for redundancy, 8 0 and 8 n are nMOS transistors forming an original column gate, 8 R is an nMOS transistor forming a column column for redundancy, Y 0 and Y n are original column selection signals, and RED Is a redundant column selection signal, and 9 is a sense amplifier for amplifying the read data.
【0006】また、10は本来的なブロック1のセル・
トランジスタ30、31・・・、40、41・・・及び冗長
用のブロック2のセル・トランジスタ50、51・・・に
共通に設けられたソース線、11はソース線10を介し
てセル・トランジスタ30、31・・・、40、41・・
・、50、51・・・にソース電圧を供給するソース電源
回路である。[0006] Further, 10 is the cell of the original block 1
Source lines commonly provided to the transistors 3 0 , 3 1 ... 4 0 , 4 1 ... And the cell transistors 5 0 , 5 1 ... Of the block 2 for redundancy, 11 is a source line 10 Through the cell transistors 3 0 , 3 1 ... 4 0 , 4 1 ...
A source power supply circuit that supplies a source voltage to 5 0 , 5 1 ...
【0007】ここに、セル・トランジスタ30、31・・
・、40、41・・・、50、51・・・は、図4にその概
略的断面図を示すように構成されている。図中、12は
P-型シリコン基板、13はN+拡散層からなるドレイ
ン、14はN+拡散層からなるソース、15はフローテ
ィングゲート、16はコントロールゲート、VGはコン
トロールゲート電圧、VDはドレイン電圧、VSはソース
電圧である。Here, the cell transistors 3 0 , 3 1, ...
-, 4 0, 4 1 ..., 5 0, 5 1 ... are configured to indicate its schematic cross-sectional view in FIG. In the figure, P 12 - -type silicon substrate, 13 is a drain made of N + diffusion layer, the source 14 is composed of N + diffusion layer, 15 a floating gate, 16 a control gate, V G is the control gate voltage, V D Is the drain voltage and V S is the source voltage.
【0008】かかるセル・トランジスタでは、書込み
時、例えば、VG=12[V]、VD=6[V]、VS=
0[V]とされ、ドレイン13からフローティングゲー
ト15に電子が注入され、読出し時は、例えば、VG=
5[V]、VD=1[V]、VS=0[V]とされる。ま
た、消去時には、例えば、VG=0[V]、VD=開放、
VS=12[V]とされ、フローティングゲート15か
らソース14に電子が引き抜かれる。In such a cell transistor, at the time of writing, for example, V G = 12 [V], V D = 6 [V], V S =
0 [V], electrons are injected from the drain 13 to the floating gate 15, and when reading, for example, V G =
It is set to 5 [V], V D = 1 [V], and V S = 0 [V]. At the time of erasing, for example, V G = 0 [V], V D = open,
Since V S = 12 [V], electrons are extracted from the floating gate 15 to the source 14.
【0009】かかる従来のフラッシュ・メモリにおいて
は、本来的なブロック1のセル・トランジスタ30、31
・・・、40、41・・・と、冗長用のブロック2のセル
・トランジスタ50、51・・・とで1本のソース線10
を共用するように構成されているので、セル・トランジ
スタ30、31・・・、40、41・・・のデータと、セル
・トランジスタ50、51・・・のデータは一括消去され
ることになる。In such a conventional flash memory, the cell transistors 3 0 , 3 1 of the original block 1 are originally used.
... 4 0 , 4 1, ... And one source line 10 for the cell transistors 5 0 , 5 1, ... Of the block 2 for redundancy.
Are shared, the data of the cell transistors 3 0 , 3 1 ... 4 0 , 4 1 ... And the data of the cell transistors 5 0 , 5 1 ... Will be erased.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】このように、本来的な
ブロック1と、冗長用のブロック2とに共通のソース線
10を設け、本来的なブロック1と、冗長用のブロック
2とを一括消去の単位とする従来のフラッシュ・メモリ
の構成に従えば、ユーザの要求に応えて、本来的なブロ
ック1を更に区分化し、この区分化したブロック毎にソ
ース線を設け、この区分化したブロック毎に一括消去を
行うことができるようにする場合、この区分化したブロ
ック毎には必ずしも必要でない冗長用のブロックを、区
分化したブロック毎にソース線を共通にして設けること
になり、チップ面積の増大を招いてしまうという問題点
があった。As described above, the source line 10 common to the original block 1 and the redundant block 2 is provided, and the original block 1 and the redundant block 2 are collectively packaged. According to the configuration of the conventional flash memory which is a unit of erasing, the original block 1 is further divided in response to a user's request, a source line is provided for each divided block, and the divided block is provided. When batch erasing can be performed for each divided block, a redundant block that is not necessarily required for each divided block is provided with a common source line for each divided block. However, there is a problem in that
【0011】また、例えば、出力が8ビット、いわゆる
×8構成の場合、ソース線を共通にしてなる8個の×1
構成の本来的なブロックが必要になるが、従来のフラッ
シュ・メモリの構成に従えば、これら8個の×1構成の
本来的なブロックの各ブロック毎に冗長用のブロックを
設けることになり、チップ面を有効に利用することがで
きないという問題点があった。For example, in the case of a so-called x8 configuration in which the output is 8 bits, eight x1s having common source lines are used.
Although the original block of the configuration is required, according to the configuration of the conventional flash memory, a block for redundancy is provided for each of the 8 original blocks of the x1 configuration, There is a problem that the chip surface cannot be effectively used.
【0012】本発明は、かかる点に鑑み、チップ面積の
増大を招くことなく、一括消去すべき対象となる消去ブ
ロックの数を増加することができ、また、消去ブロック
の数を増加しない場合においても、多ビット構成とする
場合においては、チップ面を有効に利用し、チップの小
型化を図ることができるようにしたフラッシュ・メモリ
を提供することを目的とする。In view of the above points, the present invention can increase the number of erase blocks to be collectively erased without increasing the chip area, and in the case where the number of erase blocks is not increased. Another object of the present invention is to provide a flash memory in which the chip surface can be effectively used and the chip can be miniaturized in the case of a multi-bit configuration.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明によるフラッシュ
・メモリは、ソース線を共通にしてなる複数の本来的な
セル・トランジスタからなる複数の消去ブロックを設
け、これら複数の消去ブロックのそれぞれを一括消去の
単位ブロックとすると共に、前記複数の消去ブロックと
別個独立したソース線を共通にしてなる複数の冗長用の
セル・トランジスタからなる冗長用のブロックを前記複
数の消去ブロックに共通に設けて構成される。A flash memory according to the present invention is provided with a plurality of erase blocks composed of a plurality of original cell transistors having a common source line, and the plurality of erase blocks are collectively formed. A unit block for erasing, and a redundant block composed of a plurality of redundant cell transistors having a common source line independent of the plurality of erasing blocks is provided commonly to the plurality of erasing blocks. To be done.
【0014】[0014]
【作用】本発明においては、ソース線を共通にしてなる
複数のセル・トランジスタからなる複数の消去ブロック
を設けているが、これら複数の消去ブロックのそれぞれ
にソース線を共通とする冗長ブロックを設けず、これら
複数の消去ブロックとは別個独立したソース線を共通に
してなる複数の冗長用のセル・トランジスタからなる冗
長用のブロックを複数の消去ブロックに共通に設けてい
る。In the present invention, a plurality of erase blocks composed of a plurality of cell transistors having a common source line are provided. A redundant block having a common source line is provided for each of the plurality of erase blocks. Instead, a redundant block composed of a plurality of redundant cell transistors having a common source line independent of the plurality of erase blocks is provided commonly to the plurality of erase blocks.
【0015】したがって、本発明によれば、冗長用のブ
ロックのコラム数を減らし、チップ面積の増大を招くこ
となく、ユーザの要求に応えて、消去ブロックの数を増
加することができ、また、消去ブロックの数を増加しな
い場合においても、多ビット構成とする場合において
は、冗長用のブロックのコラム数を減らし、チップ面を
有効に利用し、チップの小型化を図ることができる。Therefore, according to the present invention, it is possible to increase the number of erase blocks in response to a user's request without reducing the number of columns of redundant blocks and increasing the chip area. Even when the number of erase blocks is not increased, the number of columns of redundant blocks can be reduced, the chip surface can be effectively used, and the chip size can be reduced in the case of a multi-bit configuration.
【0016】[0016]
【実施例】以下、図1及び図2を参照して、本発明の一
実施例について、出力が多ビット構成のフラッシュ・メ
モリを例にして説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 by taking a flash memory having a multi-bit output as an example.
【0017】図1は、本発明の一実施例の要部を示すブ
ロック図である。図中、17はロウアドレスが入力され
るロウデコーダ、18はコラムアドレス、冗長セル選択
信号及びテストセル選択信号が入力されるコラムデコー
ダである。FIG. 1 is a block diagram showing a main part of an embodiment of the present invention. In the figure, 17 is a row decoder to which a row address is input, and 18 is a column decoder to which a column address, a redundant cell selection signal and a test cell selection signal are input.
【0018】また、19は本来的なセル・トランジスタ
が配列された×8構成のブロック、20は冗長用のセル
・トランジスタが配列された冗長用のブロック、21は
テスト用のセル・トランジスタが配列されたテスト用の
ブロックである。Further, 19 is a block of x8 configuration in which original cell transistors are arranged, 20 is a redundant block in which redundant cell transistors are arranged, and 21 is a testing cell transistor. This is a test block.
【0019】また、220、22mはブロック19のソー
ス電源回路、23は冗長用のブロック20のソース電源
回路、24はテスト用のブロック21のソース電源回路
である。Further, 22 0 and 22 m are the source power supply circuits of the block 19, 23 is the source power supply circuit of the redundancy block 20, and 24 is the source power supply circuit of the test block 21.
【0020】また、図2は本来的なブロック19及び冗
長用のブロック20の一部分を示す回路図であり、図
中、27はブロック19のうち、×1構成のブロックの
1個、280、28mは消去ブロックである。FIG. 2 is a circuit diagram showing a part of the original block 19 and the redundant block 20. In FIG. 2, 27 is one of the blocks 19 of the block 19, 28 0 , 28 m is an erase block.
【0021】また、290、291、300、301、31
0、311、320、321は本来的なセル・トランジス
タ、330、331は冗長用のセル・トランジスタ、34
0、341はセル・トランジスタの選択を行うワード線、
X0、X1はワード線選択信号である。Further, 29 0 , 29 1 , 30 0 , 30 1 , 31
0 , 31 1 , 32 0 , 32 1 are original cell transistors, 33 0 , 33 1 are redundant cell transistors, 34
0 and 34 1 are word lines for selecting cell transistors,
X 0 and X 1 are word line selection signals.
【0022】また、350、35a、35b、35nは本来
的なビット線、36Rは冗長用のビット線、370、37
a、37b、37nは本来的なコラムゲートをなすnMO
Sトランジスタ、38Rは冗長用のコラムゲートをなす
nMOSトランジスタ、Y0、Ynは本来的なコラム選択
信号、REDは冗長コラム選択信号、39は読み出され
たデータを増幅するセンスアンプ、400、40m、40
Rはソース線である。Further, 35 0 , 35 a , 35 b , and 35 n are original bit lines, 36 R is a redundant bit line, and 37 0 and 37.
a , 37 b , and 37 n are nMOs that form the original column gates.
S transistor, 38 R is an nMOS transistor forming a column column for redundancy, Y 0 and Y n are original column selection signals, RED is a redundancy column selection signal, 39 is a sense amplifier for amplifying read data, 40 0 , 40 m , 40
R is the source line.
【0023】かかる本実施例においては、ブロック27
を、独立したソース線400・・・40mを有するm+1
個の消去ブロック280・・・28mに区分化しているの
で、消去ブロック280・・・28mを単位として一括消
去することができる。この場合、本実施例においては、
冗長用のブロック20の一括消去は、冗長したコラムを
含む消去ブロックの一括消去時に併せて行われるように
される。In this embodiment, the block 27
The, m + 1 having a separate source line 40 0 ··· 40 m
Since the erase blocks 28 0 ... 28 m are sectioned, the erase blocks 28 0 ... 28 m can be collectively erased. In this case, in this embodiment,
The collective erase of the redundant block 20 is performed at the same time as the collective erase of the erase block including the redundant column.
【0024】このように、かかる本実施例によれば、本
来的なブロック27を消去ブロック280・・・28mに
区分しているが、これら区分された消去ブロック280
・・・28mのそれぞれにソース線を共通にしてなる冗
長用のブロックを設けず、消去ブロック280・・・2
8mとは別個独立のソース線40Rを設けてなる冗長用の
ブロック20を消去ブロック280・・・28mに共通に
設けているので、冗長用のブロックのコラム数を減ら
し、例えば、1個の冗長用のコラムを設けるようにし、
チップ面積の増大を招くことがないようにすることがで
きる。As described above, according to this embodiment, the original block 27 is divided into the erase blocks 28 0 ... 28 m , but these divided erase blocks 28 0 are divided.
... Erase blocks 28 0 ... 2 without providing a redundant block having a common source line for each of 28 m
Since the redundant block 20 having the source line 40 R independent of 8 m is provided in common to the erase blocks 28 0 ... 28 m , the number of columns of the redundant block is reduced. One redundant column should be provided,
It is possible to prevent an increase in chip area.
【0025】また、本実施例の構成を応用する場合に
は、消去ブロックの数を増加しない場合においても、多
ビット構成とする場合において、本来的な×1構成のブ
ロックのそれぞれと、冗長用のブロックとを、ソース線
を独立して設ける場合には、本来的な×1構成のブロッ
ク毎に冗長用のブロックを設ける場合に比較して、冗長
用のブロックのコラム数を減らし、例えば、1個の冗長
用のコラムを設けるようにし、チップ面を有効に利用
し、チップの小型化を図ることができる。Further, when the structure of this embodiment is applied, even if the number of erase blocks is not increased, in the case of a multi-bit structure, each of the blocks of the original × 1 structure and the redundant block are used. When the source lines are independently provided, the number of columns of the redundant blocks is reduced as compared with the case where the redundant block is provided for each block of the original × 1 configuration. By providing one redundant column, the chip surface can be effectively used and the chip can be miniaturized.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ソース
線を共通にしてなる複数のセル・トランジスタからなる
複数の消去ブロックを設けているが、これら複数の消去
ブロックのそれぞれにソース線を共通とする冗長用のブ
ロックを設けず、これら複数の消去ブロックとは別個独
立したソース線を有する冗長用のブロックを複数の消去
ブロックに共通に設けているので、冗長用のブロックの
コラム数を減らし、チップ面積の増大を招くことなく、
消去ブロックの数を増加することができ、また、消去ブ
ロックの数を増加しない場合においても、多ビット構成
とする場合においては、冗長用のブロックのコラム数を
減らし、チップ面を有効に利用し、チップの小型化を図
ることができる。As described above, according to the present invention, a plurality of erase blocks including a plurality of cell transistors having a common source line are provided. The source line is provided in each of the plurality of erase blocks. The number of columns of the redundancy block is not provided because a redundancy block having a source line independent of these erase blocks is provided in common to the erase blocks. Is reduced, without increasing the chip area,
The number of erase blocks can be increased, and even when the number of erase blocks is not increased, the number of columns in the redundant block is reduced and the chip surface is effectively used in the case of a multi-bit configuration. It is possible to reduce the size of the chip.
【図1】本発明の一実施例の要部を示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing a main part of an embodiment of the present invention.
【図2】×8構成のブロック及び冗長用のブロックの一
部分を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a part of a block of x8 configuration and a block for redundancy.
【図3】従来のフラッシュ・メモリの要部を示す回路図
である。FIG. 3 is a circuit diagram showing a main part of a conventional flash memory.
【図4】セル・トランジスタの概略的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a cell transistor.
19 ×8構成のブロック 20 冗長用のブロック 21 テスト用のブロック 220、22m、23、24 ソース電源回路19 × 8 configuration block 20 Redundancy block 21 Test block 22 0 , 22 m , 23, 24 Source power supply circuit
Claims (2)
セル・トランジスタからなる複数の消去ブロックを設
け、これら複数の消去ブロックのそれぞれを一括消去の
単位ブロックとすると共に、前記複数の消去ブロックと
別個独立したソース線を共通にしてなる複数の冗長用の
セル・トランジスタからなる冗長用のブロックを前記複
数の消去ブロックに共通に設けて構成されていることを
特徴とするフラッシュ・メモリ。1. A plurality of erase blocks composed of a plurality of original cell transistors having a common source line are provided, each of the plurality of erase blocks is a unit block for collective erase, and the plurality of erase blocks are provided. A flash memory, characterized in that a redundancy block composed of a plurality of redundancy cell transistors having a common source line independent of the block is provided commonly to the plurality of erase blocks.
たコラムを含む消去ブロックの一括消去時に併せて行わ
れることを特徴とする請求項1記載のフラッシュ・メモ
リ。2. The flash memory according to claim 1, wherein the batch erase of the redundant blocks is performed at the same time as the batch erase of erase blocks including redundant columns.
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KR19980077451A (en) * | 1997-04-18 | 1998-11-16 | 윤종용 | Nonvolatile Semiconductor Memory Devices |
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1991
- 1991-11-20 JP JP30489491A patent/JP3144002B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH07230700A (en) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Nec Corp | Non-volatile semiconductor memory |
KR19980077451A (en) * | 1997-04-18 | 1998-11-16 | 윤종용 | Nonvolatile Semiconductor Memory Devices |
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JP3144002B2 (en) | 2001-03-07 |
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