JPH05142302A - Sampling clock supplier of digital/analog mixed lsi tester - Google Patents

Sampling clock supplier of digital/analog mixed lsi tester

Info

Publication number
JPH05142302A
JPH05142302A JP3305165A JP30516591A JPH05142302A JP H05142302 A JPH05142302 A JP H05142302A JP 3305165 A JP3305165 A JP 3305165A JP 30516591 A JP30516591 A JP 30516591A JP H05142302 A JPH05142302 A JP H05142302A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sampling clock
original
digital
clock
analog mixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3305165A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3085322B2 (en
Inventor
Shigeru Murayama
茂 村山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP03305165A priority Critical patent/JP3085322B2/en
Publication of JPH05142302A publication Critical patent/JPH05142302A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3085322B2 publication Critical patent/JP3085322B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a sampling clock supplier for controlling start timing at good reproducibility. CONSTITUTION:A clock part C for supplying an original oscillation pulse P from an original pulse oscillator G is provided on both of a plurality of an arbitrary waveform generator W and a plurality of waveform digitizer D of a sampling clock supplier of a digital/analog mixed LSI tester. The clock part C is composed of a start controller for gating the original oscillation pulse P given from the original pulse oscillator G by a trigger signal, and of a frequency divider for dividing the output of the start controller into the required number of sampling clocks.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ディジタル・アナロ
グ混在LSI試験装置のサンプリング・クロック供給装
置に関し、特に複数の任意波形発生器および複数の波形
ディジタイザを非同期の各別のサンプリング・クロック
により動作せしめるディジタル・アナログ混在LSI試
験装置のサンプリング・クロック供給装置のスタート・
タイミング或いはトリガ・タイミングを再現性よく制御
するサンプリング・クロック供給装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sampling clock supply device for a digital / analog mixed LSI test device, and more particularly to operating a plurality of arbitrary waveform generators and a plurality of waveform digitizers by different asynchronous sampling clocks. Sampling clock starter for digital / analog mixed LSI test equipment
The present invention relates to a sampling clock supply device that controls timing or trigger timing with good reproducibility.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディジタル・アナログ混在LSI試験装
置のサンプリング・クロック供給装置の従来例を図1を
参照して説明する。図1において、Tはディジタル・ア
ナログ混在LSI試験装置であり、複数の任意波形発生
器7、8および複数の波形ディジタイザ9、10を具備
している。Cはサンプリング・クロック供給装置であ
り、原パルス発振器1およびその分周器3、4、および
原パルス発振器2およびその分周器5、6を具備してい
る。任意波形発生器7は分周器3を介して原パルス発振
器1に接続し、任意波形発生器2は分周器4を介して原
パルス発振器1に接続しており、波形ディジタイザ9は
分周器5を介して原パルス発振器2に接続しており、そ
して波形ディジタイザ10は分周器6を介して原パルス
発振器2に接続している。複数の任意波形発生器7、8
および複数の波形ディジタイザ9、10には上述の通り
各別に分周されたサンプリング・クロックが供給されて
いる。
2. Description of the Related Art A conventional example of a sampling clock supply device for a digital / analog mixed LSI test device will be described with reference to FIG. In FIG. 1, T is a mixed digital / analog LSI test apparatus, which is provided with a plurality of arbitrary waveform generators 7 and 8 and a plurality of waveform digitizers 9 and 10. C is a sampling clock supply device, which includes an original pulse oscillator 1 and frequency dividers 3 and 4 thereof, and an original pulse oscillator 2 and frequency dividers 5 and 6 thereof. The arbitrary waveform generator 7 is connected to the original pulse oscillator 1 via the frequency divider 3, the arbitrary waveform generator 2 is connected to the original pulse oscillator 1 via the frequency divider 4, and the waveform digitizer 9 is used for frequency division. It is connected to the original pulse oscillator 2 via the frequency divider 5, and the waveform digitizer 10 is connected to the original pulse oscillator 2 via the frequency divider 6. Multiple arbitrary waveform generators 7, 8
The plurality of waveform digitizers 9 and 10 are supplied with the sampling clocks, which are frequency-divided separately as described above.

【0003】ここで、図2(a)を参照するに、問題
は、波形ディジタイザ1がトリガ・パルスを受信した場
合、波形ディジタイザ9はサンプリング・クロック*1
でスタートするか或いはサンプリング・クロック*2で
スタートするか定かではないのである。スタート・タイ
ミングは、結局、1クロック分だけ不定であるというこ
とになる。サンプリング・クロック周波数の大きい図2
(a)の場合は1クロック分の時間差は小さく、問題は
少ないのであるが、サンプリング・クロック周波数の更
に小さい図2(b)に示される場合は1クロック分の時
間差は大きくなり、これを無視することはできなる。即
ち、クロック周波数の小さいサンプリング・クロックを
供給されている波形ディジタイザがスタート・タイミン
グに大きな誤差を持つことに起因して測定データの再現
性が低下するのである。
Here, referring to FIG. 2A, the problem is that when the waveform digitizer 1 receives a trigger pulse, the waveform digitizer 9 has a sampling clock * 1.
It is uncertain whether to start with or with the sampling clock * 2. After all, the start timing is uncertain for one clock. Large sampling clock frequency Figure 2
In the case of (a), the time difference for one clock is small and the problem is small. However, in the case where the sampling clock frequency is smaller as shown in FIG. 2 (b), the time difference for one clock becomes large and this is ignored. You can't do it. That is, the reproducibility of the measured data deteriorates because the waveform digitizer supplied with the sampling clock having a small clock frequency has a large error in the start timing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の通
りの問題を解消したディジタル・アナログ混在LSI試
験装置のサンプリング・クロック供給装置を提供しよう
とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to provide a sampling clock supply apparatus for a digital / analog mixed LSI test apparatus which solves the above problems.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】ディジタル・アナログ混
在LSI試験装置のサンプリング・クロック供給装置に
おいて、複数の任意波形発生器および複数の波形ディジ
タイザのそれぞれに原パルス発振器から原発振パルスが
供給されるクロック部を具備せしめ、クロック部は原パ
ルス発振器から供給される原発振パルスをトリガ信号に
よりゲートするスタート・コントローラとスタート・コ
ントローラの出力を必要なサンプリング・クロックに分
周する分周器とより成るものとした。
In a sampling clock supply device of a digital / analog mixed LSI test device, a clock in which an original oscillation pulse is supplied from an original pulse oscillator to each of a plurality of arbitrary waveform generators and a plurality of waveform digitizers. The clock section comprises a start controller that gates the original oscillation pulse supplied from the original pulse oscillator by a trigger signal, and a divider that divides the output of the start controller into the required sampling clock. And

【0006】[0006]

【実施例】この発明の実施例を図3を参照して説明す
る。図3(a)はこの発明によるディジタル・アナログ
混在LSI試験装置のサンプリング・クロック供給装置
の概要を示す図であり、複数の任意波形発生器Wおよび
複数の波形ディジタイザDそれぞれに原パルス発振器G
から原発振パルスPが供給されるクロック部Cを具備せ
しめるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 (a) is a diagram showing an outline of a sampling clock supply device of a digital / analog mixed LSI test device according to the present invention, wherein an original pulse oscillator G is provided for each of a plurality of arbitrary waveform generators W and a plurality of waveform digitizers D.
The clock section C to which the original oscillation pulse P is supplied from is provided.

【0007】図3(b)は各クロック部Cの構成を示す
図であり、原パルス発振器Gから供給される原発振パル
スPをトリガ信号によりゲートするスタート・コントロ
ーラ11とスタート・コントローラ11の出力を必要な
サンプリング・クロックに分周する分周器12とより成
る。これら分周器12の逓降率は各任意波形発生器Wお
よび波形ディジタイザDに対応して所定の値とされる。
FIG. 3B is a diagram showing the configuration of each clock section C. The start controller 11 that gates the original oscillation pulse P supplied from the original pulse oscillator G by a trigger signal and the outputs of the start controller 11 Is divided into a necessary sampling clock. The step-down rate of these frequency dividers 12 is set to a predetermined value corresponding to each arbitrary waveform generator W and waveform digitizer D.

【0008】図3(c)は各任意波形発生器Wおよび波
形ディジタイザDをスタートさせる時のタイミング・チ
ャートであり、図3(d)はその一部拡大図である。即
ち、スタート・コントローラ11に供給されている原発
振パルスPはここにおいてトリガ信号によりゲートさ
れ、分周器12に出力する。以上はクロック部Cを各任
意波形発生器Wおよび波形ディジタイザDそれぞれに具
備せしめたものについての説明であるが、図4に示され
るが如くに各クロック部Cをクロック・ソース・ユニッ
トとして1カ所に集中することもできる。
FIG. 3 (c) is a timing chart when starting each arbitrary waveform generator W and waveform digitizer D, and FIG. 3 (d) is a partially enlarged view thereof. That is, the original oscillation pulse P supplied to the start controller 11 is gated here by the trigger signal and output to the frequency divider 12. The above is a description of the clock section C provided in each of the arbitrary waveform generator W and the waveform digitizer D. As shown in FIG. 4, each clock section C is used as a clock source unit at one location. You can also focus on.

【0009】[0009]

【発明の効果】分周器12に対する出力開始は各任意波
形発生器Wおよび波形ディジタイザDのスタートを意味
するのであるが、このスタートにも従来例と同様サンプ
リング・クロック*1でスタートするか或いはサンプリ
ング・クロック*2でスタートするかというトリガ誤差
は存在する。しかし、このトリガ誤差は、何れの各任意
波形発生器Wおよび波形ディジタイザDについてそれぞ
れのサンプリング・クロックとは無関係な常に一定の原
発振パルスPの1周期分に相当するものとなり、これは
通常極く短時間である。この極く短時間のトリガ誤差に
よる測定データの再現性に対する影響は殆ど考えられな
い。
The start of the output to the frequency divider 12 means the start of each arbitrary waveform generator W and the waveform digitizer D, and this start is also started by the sampling clock * 1 as in the conventional example, or There is a trigger error as to whether to start with the sampling clock * 2. However, this trigger error corresponds to one cycle of the constant oscillation pulse P which is always constant regardless of the sampling clock of any arbitrary waveform generator W and waveform digitizer D, and this is usually a pole. It is a short time. The influence of the trigger error in this extremely short time on the reproducibility of the measured data is hardly considered.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】ディジタル・アナログ混在LSI試験装置のサ
ンプリング・クロック供給装置の従来例を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing a conventional example of a sampling clock supply device of a digital / analog mixed LSI test device.

【図2】任意波形発生器および波形ディジタイザをスタ
ートさせる時のタイミング・チャートであり、(a)は
サンプリング・クロック周波数の大きい場合を示す図、
(b)はサンプリング・クロック周波数の小さい場合を
示す図である。
FIG. 2 is a timing chart when starting an arbitrary waveform generator and a waveform digitizer, (a) showing a case where a sampling clock frequency is high,
FIG. 6B is a diagram showing a case where the sampling clock frequency is small.

【図3】この発明によるディジタル・アナログ混在LS
I試験装置のサンプリング・クロック供給装置を説明す
る図であり、(a)はその概要を示す図、(b)は各ク
ロック部の構成を示す図、(c)は任意波形発生器およ
び波形ディジタイザをスタートさせる時のタイミング・
チャート、(d)はその一部拡大図である。
FIG. 3 is a digital / analog mixed LS according to the present invention.
3A and 3B are diagrams illustrating a sampling clock supply device of the I test apparatus, FIG. 1A is a diagram showing an outline thereof, FIG. 1B is a diagram showing the configuration of each clock unit, and FIG. 2C is an arbitrary waveform generator and a waveform digitizer. Timing when starting
The chart and (d) are partially enlarged views.

【図4】この発明の他の実施例を示す図。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

W 任意波形発生器 D 波形ディジタイザ G 原パルス発振器 C クロック部 P 原発振パルス 11 スタート・コントローラ 12 分周器 W Arbitrary waveform generator D Waveform digitizer G Original pulse oscillator C Clock section P Original oscillation pulse 11 Start controller 12 Frequency divider

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の任意波形発生器および複数の波形
ディジタイザのそれぞれに原パルス発振器から原発振パ
ルスが供給されるクロック部を具備せしめ、クロック部
は原パルス発振器から供給される原発振パルスをトリガ
信号によりゲートするスタート・コントローラとスター
ト・コントローラの出力を必要なサンプリング・クロッ
クに分周する分周器とより成るものであることを特徴と
するディジタル・アナログ混在LSI試験装置のサンプ
リング・クロック供給装置。
1. A plurality of arbitrary waveform generators and a plurality of waveform digitizers are each provided with a clock unit to which an original oscillation pulse is supplied from an original pulse oscillator, and the clock unit supplies the original oscillation pulse supplied from the original pulse oscillator. Sampling clock supply for digital / analog mixed LSI test equipment characterized by comprising a start controller gated by a trigger signal and a frequency divider for dividing the output of the start controller into a required sampling clock apparatus.
JP03305165A 1991-11-21 1991-11-21 Sampling clock supply device for digital / analog mixed LSI test equipment Expired - Fee Related JP3085322B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03305165A JP3085322B2 (en) 1991-11-21 1991-11-21 Sampling clock supply device for digital / analog mixed LSI test equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03305165A JP3085322B2 (en) 1991-11-21 1991-11-21 Sampling clock supply device for digital / analog mixed LSI test equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05142302A true JPH05142302A (en) 1993-06-08
JP3085322B2 JP3085322B2 (en) 2000-09-04

Family

ID=17941851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03305165A Expired - Fee Related JP3085322B2 (en) 1991-11-21 1991-11-21 Sampling clock supply device for digital / analog mixed LSI test equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3085322B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008286660A (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Yokogawa Electric Corp Semiconductor testing device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008286660A (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Yokogawa Electric Corp Semiconductor testing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3085322B2 (en) 2000-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3499051B2 (en) Timing signal generation circuit
US6956395B2 (en) Tester for testing an electronic device using oscillator and frequency divider
JPH08220144A (en) Sampling signal generation circuit
US6378098B1 (en) Semiconductor test system
US20040117143A1 (en) Method and apparatus providing interleaved data from multiple signal acquisition devices
US6650162B2 (en) Digital clock generator circuit with built-in frequency and duty cycle control
JPH05142302A (en) Sampling clock supplier of digital/analog mixed lsi tester
CA2024746A1 (en) Circuit and method for pulse width measurement
JPH05203702A (en) Lsi tester
JPH1114714A (en) Semiconductor testing device
JP2842446B2 (en) Test equipment for hybrid analog-digital ICs.
JPH09232922A (en) Accurate matching of clock in mixed signal tester
JP2002022810A (en) Semiconductor testing apparatus
JP2978603B2 (en) Phase control circuit between digital frequency generators
JP2883664B2 (en) Analog-to-digital converter
JPH01136203A (en) Digital primary holding circuit
JP3049127B2 (en) Calibration method for variable delay circuit, timing signal generator, and semiconductor test apparatus
JP2950350B2 (en) Signal generation circuit
JPH063416A (en) Lsi tester
JP4290255B2 (en) Semiconductor test equipment
JP4336001B2 (en) IC test equipment
JP2001272443A (en) Semiconductor testing device and semiconductor testing method using the device
JPH08221151A (en) Clock supply device
JPH0422570Y2 (en)
JPH05264659A (en) Control circuit of delay time generation

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000530

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees