JPH05141498A - 送りねじ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来の間座を用いることなく、ナット部の間
に軸方向伸縮部を設けて伸縮させることによって予圧を
調整する。また、両ナット部間の間隔を調整する際に作
動不良を起こすことなく回り止めを確実に行う。さら
に、予圧を直接検出して予圧を正確に制御可能とする。 【構成】 ねじ軸２に螺合する二つのナット部４，５の
間に軸方向に伸縮可能な軸方向伸縮部６を具備してなる
ことを特徴とする。軸方向伸縮部６は、軸方向に変位可
能でかつ回転方向に剛な弾性部材７と、弾性部材７を軸
方向に伸縮させる微小変位手段８と、から構成される。
ナット部４，５間に予圧を検出するための予圧検出手段
１１を設け、予圧検出手段１１の検出値に基づいて軸方
向伸縮部６の伸縮量を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば工作機械やロ
ボット等の、精密な送りと位置決めを必要とする装置に
多用される送りねじ装置に関し、特に適正な予圧を保つ
ために予圧状態を外部から自在に調整可能にした予圧可
変型の送りねじ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、送りねじ装置で高精度に位置
決めを行う場合には、送りねじ装置に予圧を与えること
により、軸方向隙間をゼロにすると共に、剛性を高めて
軸方向荷重に対する弾性変位量を小さくしている。

【０００３】このような予圧を与える方法として、ねじ
軸に螺合した二個のナットの間に間座を挿入して予圧を
与える方式のものがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような間
座予圧方式の送りねじ装置では、ねじ等の摩耗，ねじの
リードの加工誤差あるいは温度変化によって予圧状態に
変化が生じてしまうという問題があった。

【０００５】そこで、従来から、間座を軸方向に伸縮さ
せてナット間の間隔を変化させ、予圧を調整可能とした
送りねじ装置が、たとえば特開昭６１−６５９５８号公
報等において提案されている。

【０００６】これは、予圧状態の変化によりねじ軸のト
ルク変動が生じることに着目したもので、ねじ軸に作用
するトルクを検出し、所定のトルクとなるように間座を
所定量だけ伸縮させて予圧を調整し、適正なトルクを得
るようにしたものである。

【０００７】また、この他に、送りねじ装置の回転初期
の起動トルクが定常トルクに比べて高いことに着目し、
回転数に応じて間座を伸縮させて予圧を調整するものも
提案されている（特開昭６４ー６４７４７号公報参
照）。

【０００８】しかし、従来の間座予圧方式では、両ナッ
トが相対回転すると予圧が変化するために、両ナットの
送りねじ軸方向の相対変位を許容しつつ相対回転を規制
するための回り止め手段を設ける必要がある。この従来
の回り止め手段としては、次のようなものがある。

【０００９】 両ナットの外面に設けられた軸方向の
キー溝に平行キーを嵌合して回り止めを図るもの 両ナットの外形断面を円形以外の形状とし、両ナッ
トの外形に合わせて形成したスリーブを設け、このスリ
ーブを両ナットに被せた後、一方のナットに固定して回
り止めを図るもの しかし、これらのキーやスリーブ等の回り止め手段は、
各ナット間にガタが生じないように嵌め込んであるの
で、摩擦抵抗が大きく、間座の厚さを調整する際に摩擦
抵抗以上の力が加わるまでナットが動き出さないいわゆ
る不感帯が生じ、予圧調整の感度が悪く作動不良を起こ
すという問題があった。

【００１０】一方、従来の間座予圧方式のものは、いず
れも、送りねじ軸の予圧状態を直接検出するものではな
く、トルク変化により間接的に予圧状態を推測している
にすぎず、予圧状態を正確に知ることができなかった。

【００１１】そのため、予圧を調整するべく間座を軸方
向に伸縮させたとしても、実際に間座が正確に動作して
いるがどうかが不明であり、また変化させた予圧量を正
確に検出できないことから予圧を正確に制御することが
できなかった。

【００１２】本発明は、上記した従来技術の課題を解決
するためになされたもので、その目的とするところは、
ナット自体に軸方向に伸縮する部分を設けることにより
予圧調整の感度が高く、作動を安定させ得る送りねじ装
置を提供することにある。

【００１３】また、実際の予圧状態を直接検出して、予
圧をより正確に制御し得る送りねじ装置を提供すること
にある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、ねじ軸に螺合する二つのナット
部と、該ナット部の間に設けられる軸方向に伸縮可能な
軸方向伸縮部と、を備えた構成となっている。

【００１５】この軸方向伸縮部は、軸方向に変位可能で
かつ回転方向に剛な弾性部材と、該弾性部材を軸方向に
伸縮させる微小変位手段と、から構成される。

【００１６】ナット部と軸方向伸縮部の弾性部材が一体
構造となっていることが好適であるが、ナット部と軸方
向伸縮部の弾性部材が別体構造となっていてもよい。

【００１７】また、ナット部とねじ軸間に付与された軸
方向予圧を検出する予圧検出手段を備えたことを特徴と
する。

【００１８】そして、予圧検出手段の検出値に基づいて
前記軸方向伸縮部の伸縮量を制御して予圧を調整可能に
構成してなることを特徴とする。

【００１９】予圧検出手段としては、ナット部間の軸方
向変位から予圧を検出するようにしてもよいし、軸方向
伸縮部に加わる軸方向荷重から予圧を検出するようにし
てもよい。

【００２０】ナット部間の軸方向変位の検出は、弾性部
材の歪みから検出することが好適である。

【００２１】微小変位手段は、たとえば、圧電素子また
は電歪素子，流体圧や熱膨張を利用したアクチュエー
タ，ボイスコイルや磁歪素子を用いたアクチュエータ
等、要するに指令値を与えると指令値に対応して軸方向
に変位する各種微小変位手段を用いることができる。

【００２２】

【作用】上記構成の送りねじ装置にあっては、ナット部
間に設けた軸方向伸縮部を伸縮作動させることによって
予圧を適切な値に調整する。

【００２３】この軸方向伸縮部の弾性部材とナット部を
一体構造としておけば、ナット部と軸方向伸縮部の接合
が不要であり、接合部の接合誤差や接合状態による予圧
特性の変化がなく、設計通りの特性を得ることができ
る。また、両ナット部間の軸ずれや、両ナット部の軸同
士が傾くようなことも防止できる。

【００２４】一方、別体構造とすれば製作が容易であ
る。

【００２５】また、軸方向伸縮部を弾性部材と微小変位
手段とを組み合わせて構成し、弾性部材を軸方向に弾性
変形可能で回転方向に剛な構成とすることにより、ナッ
ト部間の回り止めとして用いることができる。したがっ
て、従来のように摩擦抵抗の大きいキー等が不要とな
り、摩擦による不感帯が無くなって予圧調整の際の応答
性がよくなる。

【００２６】さらに、ナット部間に予圧検出手段を設け
ることにより、実際の予圧を直接検出することができ
る。また、この検出値に基づいて軸方向伸縮部を伸縮制
御させれば、常時ナット部の予圧を適切に値に設定する
ことができる。

【００２７】

【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。

【００２８】図１(a) は本発明の送りねじ装置の基本的
な構成を示している。すなわち、１は送りねじ装置全体
を示すもので、ねじ軸２と、このねじ軸２にボール３を
介して螺合される第１，第２ナット部４，５と、第１，
第２ナット部４，５間に介在される軸方向伸縮部６と、
を備えている。

【００２９】この軸方向伸縮部６は軸方向に伸縮可能
で、第１，第２ナット部４，５間の間隔を可変制御する
ことにより予圧調整を行うようになっている。さらに、
第１，第２ナット部４，５間に予圧を検出するための予
圧検出手段７が設けられ、この予圧検出手段７の検出値
に基づいて軸方向伸縮部６の伸縮量を制御するようにな
っている。

【００３０】この予圧付与方式は、図１(b) に示すよう
に軸方向伸縮部６を予圧分だけ伸長させて第１，第２ナ
ット部４，５を軸方向に離間させる方向に押圧してねじ
軸２に引張り荷重を作用させる引張り予圧方式と、図１
(c)に示すように軸方向伸縮部６を予圧分だけ収縮させ
てねじ軸２に圧縮荷重を作用させる圧縮予圧方式とがあ
る。

【００３１】予圧検出手段７としては、図２(a) に示す
ように、第１，第２ナット部４，５間の軸方向変位を検
出する変位検出手段８を用い、予圧に対応する軸方向変
位から予圧を検出するものと、図２(b) に示すように、
軸方向伸縮部６に加わる軸方向荷重を検出する力検出手
段９を用い、予圧に対応する軸方向荷重から予圧を検出
ものがある。

【００３２】変位検出手段８としては、たとえば、図３
(a) に示すようなひずみゲージ等の抵抗式センサ８ａ、
同図(b) に示すような圧電素子や電歪素子等を用いて変
位を電圧変化として検出する電圧式センサ８ｂ、同図
(c) に示すような作動トランスやうず電流センサ等の電
磁誘導式センサ８ｃ、同図(d) に示すような静電容量式
のセンサ８ｄ、同図(e) に示すような光りファイバ等を
用いた光干渉方式のセンサ８ｅ等、微小変位を検出可能
な公知の種々のセンサを用いることができる。

【００３３】また、図３(f) ， (g)には力検出手段９の
一例を示している。すなわち、図３(f) に示すものは、
軸方向荷重に応じて軸方向に弾性変形する弾性部材９ｂ
と、この弾性部材９ｂの歪み量を検出する歪みゲージ９
ａと、から構成されており、弾性部材９ｂの歪み量の検
出値から軸方向荷重を検出するものである。

【００３４】図３ (g)に示す例は、弾性部材９ｂと、こ
の弾性部材９ｂと並べて配置される圧電素子９ｃとから
構成したものである。

【００３５】もちろん、力検出手段としては、この図示
例の他種々の検出手段を用いることができる。

【００３６】図４(a) ，(b) は、軸方向伸縮部６の基本
構成を示すもので、いずれの例も、軸方向に弾性変形可
能でかつ回転方向には剛な弾性部材１０と、この弾性部
材１０を軸方向に伸縮させるための微小変位手段１１
と、を備えている。

【００３７】図４(a) に示す例は、弾性部材１０と微小
変位手段１１を、第１，第２ナット部４，５間に互いに
並べて介在させたものである。

【００３８】図４(b) に示す例は、第１，第２ナット部
４，５の対向面間には弾性部材１０のみを介在させ、第
１，第２ナット部４，５の対向端部に設けた第１，第２
フランジ部４ａ，５ａに係合する座スリーブ１２を用い
たものである。すなわち、座スリーブ１２は第１，第２
ナット部４，５を取り囲むように配置されるもので、そ
の両端に第１，第２ナット部４，５の第１，第２フラン
ジ部４ａ，５ａと対向するように第１，第２座部１２
ａ，１２ｂが内向きに突出しており、第１，第２座部１
２ａ，１２ｂの内の一方の座部、図示例では第２座部１
２ｂを第２フランジ部５ａに固定し、第１座部１２ａと
第１フランジ部４ａとの間に微小変位手段１１を介在さ
せている。もちろん、微小変位手段１１を第２座部１２
ｂと第２フランジ部５ａ間に介在させる構成としてもよ
い。

【００３９】この微小変位手段１１は、指令値を与える
と指令値に比例して伸縮する手段であり、たとえば、圧
電素子または電歪素子の他に、物体の熱膨張を利用して
伸縮される熱アクチュエータや、図５(a) ，(b) に示す
ような流体圧によって伸縮するアクチュエータ１１ａ、
その他ボイスコイルや磁歪素子を用いたアクチュエータ
等、要するに指令値に基づいて指令値に比例して伸縮す
る各種アクチュエータを適用することができる。

【００４０】図６(a) は、弾性部材の一例を示してい
る。この弾性部材１０Ａは軸方向に対して直交する環状
平板形状の薄肉部によって構成される板ばねであり、形
状的に軸方向に弾性変形可能で回転方向に剛な構造にな
っている。図示例はこの薄肉の弾性部材１０Ａを形成す
るために、第１，第２ナット部４，５と一体的な円筒状
素材の内外周を削り出して一体構造としたもので、薄肉
の弾性部材１０Ａの軸方向両側に断面矩形状の溝１０ａ
を設けているが、図６(b) に示すように弾性部材１０Ａ
の軸方向両側に断面三角形状の溝１０ｂを設けるように
してもよい。

【００４１】図６(c) 〜(e) はこの弾性部材１０Ａの平
面形状を示すもので、同図(c) に示すように環状平板形
状としてもよく、また同図(d) ，(e) に示すような適当
な穴１０ｃを設けた形状としてもよい。

【００４２】図６(f) 〜(h) は、微小変位手段１１と弾
性部材１０Ａの配置構成例を示している。

【００４３】図６(f) は、弾性部材１０Ａと微小変位手
段１１を共にリング状に形成して同心的に配置した例で
ある。

【００４４】図６ (g)は、棒状の微小変位手段１１と、
リング状の弾性部材１０Ａを用いたもので、棒状の微小
変位手段１１を３か所に配置した例を示している。

【００４５】図６(h) は、棒状の微小変位手段１１を用
いると共に、弾性部材１０Ｂを棒状の微小変位手段１１
をさけるように円周方向に分割構成したものである。

【００４６】また、弾性部材１０Ａの形状としては、図
６(a) ，(b) に示したような軸方向に直交する薄肉の環
状平板形状である必要はなく、たとえば、同図(i) に示
すように軸方向に対して円錐状に傾斜する構造としても
よく、また同図 (j)に示すように軸方向と平行な薄肉円
筒形状としてもよく、要するに軸方向に弾性変形可能で
円周方向には剛な形状を選択すればよい。

【００４７】次に、本発明の送りねじ装置のより具体的
な実施例について説明する。

【００４８】この本発明の予圧可変型の送りねじ装置に
あっては、引張り予圧，変位検出方式、圧縮予圧，
変位検出方式、引張り予圧，力検出方式、圧縮予
圧，力検出方式、の４タイプがあり、以下タイプ別に説
明する。

【００４９】［引張り予圧，変位検出方式］ 図７は、引っ張り予圧，変位検出方式の送りねじ装置の
一例を示し、基本的には、ねじ軸２と、このねじ軸２と
螺合される第１，第２ナット部４，５と、この第１，第
２ナット部４，５間に介在される軸方向伸縮部６とから
構成される。

【００５０】軸方向伸縮部６としては、上記した図６
(a) に示す構成が用いられ、弾性部材１０Ａと、微小変
位手段１１とから構成される。

【００５１】そして、第１，第２ナット部４，５間には
予圧検出手段が設けられるが、図示例では予圧量に対応
する弾性部材１０Ａの歪み量を電気抵抗変化に変換して
検出する歪みゲージ等の抵抗式センサ８ａが用いられ、
抵抗式センサ８ａを弾性部材１０Ａに貼着して、第１，
第２ナット部４，５間の間隔の変化に応じてたわむ弾性
部材１０Ａの歪みを検出することによって、予圧量が検
出される。

【００５２】この抵抗式センサ８ａは、図７(b) ，(c)
に示すように、その応答性を向上させるために、弾性部
材１０Ａの最も歪みの大きい部位、この実施例では弾性
部材１０Ａの接続端部付近に貼着されている。

【００５３】図８は、図７の装置の制御ブロック図を示
している。すなわち、圧電素子等の微小変位手段１１を
動作させるため、指令値をアナログ信号に変換するＤ／
Ａコンバータ１００と、この信号を増幅するドライブア
ンプ１０１と、弾性部材１０Ａに貼り付けられた抵抗式
センサ８ａの抵抗値を読むためのストレインアンプ１０
２と、ストレインアンプ１０２から出力されたアナログ
の検出値をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ
１０３と、それを処理しコントロールする演算回路１０
４と、から構成されている。そして、抵抗式変位センサ
８ａによって検出された予圧状態を常時検出して演算回
路１０４にフィードバックし、適切な予圧状態となるよ
う圧電素子等の微小変位手段１１を制御して逐次予圧が
調整される。

【００５４】これによって、送りねじ装置の予圧を剛性
が必要な時は与え、必要ない時には剛性を下げることに
より不必要なトルクを減少させ、送りねじ装置の高速運
転，高精度な位置決めを行い、不必要トルクを減らし、
長寿命化を図り、発熱を抑えることが可能になる。

【００５５】また、位置決め時に発生する微小振動を、
軸方向伸縮部６の剛性を変化させて装置の共振周波数を
変えることにより止めることができる。これにより位置
決め完了時間の短縮を図ることができる。

【００５６】そして、第１，第２ナット部４，５と軸方
向伸縮部６の弾性部材１０Ａとが一体構造となっている
ので第１，第２ナット部４，５と弾性部材２０との接合
が不要であり、接合部の接合誤差や接合状態による予圧
特性の変化がなく、設計通りの特性を得ることができ
る。また、第１，第２ナット部４，５間の軸ずれや、両
ナット部４，５の軸同士が傾くようなことも防止でき
る。

【００５７】図９は、引張り予圧，変位検出方式の第２
の実施例を示すもので、図４(b) に示したような軸方向
伸縮部６に座スリーブ１２を用い、弾性部材１０Ａとし
て図６(a) に示すような板ばね構造を適用し、第１，第
２ナット部４，５と弾性部材１０Ａとを一体構造とした
ものである。

【００５８】［圧縮予圧，変位検出方式］ 図１０には、圧縮予圧，変位検出方式の送りねじ装置を
示している。

【００５９】この実施例は、基本的な構成は、図９の構
成と全く同一であり、予圧量分だけ微小変位手段１１を
軸方向に伸長させて第１，第２ナット部４，５間の間隔
を狭める方向に移動させ、予圧を付与するようになって
いる。

【００６０】［引張り予圧，力検出方式］ 図１１(a) には、引張り予圧，力検出方式の送りねじ装
置を示している。

【００６１】この実施例は、軸方向伸縮部６と直列に力
検出手段９を設けたもので、軸方向伸縮部６に作用する
軸方向荷重を検出するようになっている。

【００６２】この実施例では、力検出手段９としては、
図３(f) に示すような荷重に対応して変形する弾性部材
のひずみを抵抗式センサ９ａに検出する方式のものが用
いられている。弾性部材９ｂとしては、軸方向伸縮部６
弾性部材１０Ａと同様に、軸方向に弾性変形可能でかつ
円周方向には剛な薄肉の環状平板形状の板ばねが用いら
れ、第１，第２ナット部４，５及び軸方向伸縮部６と一
体構造となっている。そして、図１１(b) ，(c) に示す
ように、軸方向伸縮部６を所定量伸長させるとその分予
圧量が増大し、予圧量の増大分に応じて力検出手段９の
弾性部材９ｂがたわみ、そのたわみ量を抵抗式センサ９
ａにて電気抵抗変化として検出するようになっている。

【００６３】［圧縮予圧，力検出方式］ 図１２は、圧縮予圧，力検出方式の送りねじ装置を示し
ている。

【００６４】この実施例は、基本的には座スリーブ１２
を用いた軸方向伸縮部６と、この軸方向伸縮部６と直列
に配置される力検出手段９とから構成されている。力検
出手段としては、図１１に示す構成と全く同一の構成で
ある。

【００６５】以上の５つの実施例は、いずれも第１，第
２ナット部４，５と軸方向伸縮部６とが一体構造の場合
を例示しているが、一体構造でなく別体構造とすること
もできる。

【００６６】以下別体構造の例を簡単に説明すると、図
１３，図１４，図１５に示す例は、図７に示した［引張
り予圧，変位検出方式］に対応する分割タイプの構成例
である。

【００６７】この軸方向伸縮部６´は、弾性部材１０Ａ
と、この弾性部材１０Ａを軸方向に伸縮させるための微
小変位手段１１とから構成され、これらの弾性部材１０
Ａと微小変位手段１１は、互いに平行に対向して設けら
れる環状の第１，第２リング部６１，６２間に設けられ
ている。弾性部材１０Ａは薄肉の環状平板形状で、その
外端が第２リング部６２に接合され、内端が第１リング
部６１に接合されている。この第１，第２リング部６
１，６２がそれぞれ第１，第２ナット部４，５に接合さ
れる。

【００６８】図１３に示す例は、別体構造の基本構成例
であり、別体構成の軸方向伸縮部６´を第１，第２ナッ
ト部４，５間に介在させたものである。このような構成
とすると、第１，第２ナット部４，５間の回り止め機構
が必要であり、図１４は第１，第２ナット部４，５間を
キー１３によって回り止めを図ったものである。

【００６９】また、図１５に示す例は、軸方向伸縮部６
´の第１，第２リング部６１，６２に軸方向に伸びるキ
ー部１４，１５を設け、第１，第２ナット部４，５のキ
ー溝１４ａ，１５ａに嵌合させている。この場合、キー
部１４，１５は回転方向の規制をするものではなく、回
転方向の規制はあくまでも弾性部材１０Ａの円周方向の
剛性によって行い、軸方向の相対移動についても弾性部
材１０Ａの軸方向の弾性変形によって行っている。

【００７０】次に、図１６に示す例は、［引張り予圧，
変位検出方式］の図９に対応する座スリーブ１２を用い
る場合の別体構造の例である。すなわち、軸方向伸縮部
６´を別体構成として第１，第２ナット部４，５の第
１，第２フランジ部間４ａ，５ａに介在させている。

【００７１】また、図１７に示す例は、［圧縮予圧，力
検出方式］の図１１に対応する場合の別体構造の例を示
すものである。

【００７２】すなわち、軸方向伸縮部６´及び力検出手
段９´を一体物とし、第１，第２ナット部４，５間に介
在させたものである。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明はナット部
間の軸方向伸縮部を伸縮させるようにしたので、従来の
ような間座を用いることなく予圧を適切な値に調整する
ことができる。

【００７４】また、軸方向伸縮部を弾性部材と微小変位
手段とを組み合わせて構成し、弾性部材を軸方向に伸縮
可能で且つ回転方向に剛な構成とすれば、軸方向伸縮部
をナット部間の回り止めとして用いることができ、従来
のように摩擦抵抗の大きいキー等の回り止め手段が不要
となり、摩擦によるいわゆる不感帯が無くなって予圧調
整の際の応答性が格段によくなる。

【００７５】さらに、軸方向伸縮部とナット部間を一体
構造としておけば、軸方向伸縮部とナット部間の接合誤
差や接合状態による特性の変化がなく、設計通りの特性
を得ることができる。

【００７６】一方、予圧検出手段を設けて予圧を直接検
出し、軸方向伸縮部を伸縮させて予圧を調整することに
より、予圧状態を正確に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１(a) は本発明の送りねじ装置の基本的な構
成例を示す縦断面図、同図(b)は引張り予圧状態を示す
縦断面図、同図(c) は圧縮予圧状態を示す縦断面図であ
る。

【図２】図２(a) は図１の予圧検出手段として変位検出
手段を用いた場合の軸方向伸縮部近傍の構成図、同図
(b) は予圧検出手段として力検出手段を用いた場合の軸
方向伸縮部近傍の構成図である。

【図３】図３(a) 〜 (g)は変位検出手段の各種態様を示
す模式的構成図である。

【図４】図４(a) は図１の軸方向伸縮部の基本構成を示
す図、同図(b) は座スリーブを用いた軸方向伸縮部の構
成を示す図である。

【図５】図５(a) ，(b) は軸方向伸縮部の微小変位手段
として流体圧シリンダを用いた場合の概略構成図であ
る。

【図６】図６(a) ，(b) は弾性部材の一例を示す要部断
面図、同図(c) 〜(e) は弾性部材の平面図、同図(f) 〜
(h) は弾性部材と微小変位手段の各種配置構成例を示す
図、同図(i) ，(j) は弾性部材の変形例を示す要部断面
図である。

【図７】図７(a) は引張予圧，変位検出方式の送りねじ
装置の一例を示す縦断面図、同図(b) ，(c) は弾性部材
の変形状態を示す要部拡大断面図である。

【図８】図８は図７の装置の制御ブロック図である。

【図９】図９は引張予圧，変位検出方式の送りねじ装置
の座スリーブを用いた例を示す縦断面図である。

【図１０】図１０は圧縮予圧，変位検出方式の送りねじ
装置の座スリーブを用いた例を示す縦断面図である。

【図１１】図１１(a) は引張予圧，力検出方式の送りね
じ装置の一例を示す縦断面図、同図(b) ，(c) は軸方向
伸縮部及び力検出手段の変形状態を示す要部拡大断面図
である。

【図１２】図１２は圧縮予圧，力検出方式の送りねじ装
置の一例を示す縦断面図である。

【図１３】図１３は分割タイプの引張予圧，変位検出方
式の送りねじ装置を示す縦断面図である。

【図１４】図１４は分割タイプの引張予圧，変位検出方
式の送りねじ装置を示す縦断面図である。

【図１５】図１５は分割タイプの引張予圧，変位検出方
式の送りねじ装置を示す縦断面図である。

【図１６】図１６は分割タイプの引張予圧，力検出方式
の送りねじ装置を示す縦断面図である。

【図１７】図１７は分割タイプの圧縮予圧，力検出方式
の送りねじ装置を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 送りねじ装置 ２ ねじ軸 ３ ボール ４，５ 第１，第２ナット部 ６，６´ 軸方向伸縮部 ７ 予圧検出手段 ８ 変位検出手段 ９，９´ 力検出手段 １０，１０Ａ 弾性部材 １１ 微小変位手段 １２ 座スリーブ

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ねじ軸に螺合する二つのナット部と、該
   ナット部の間に設けられる軸方向に伸縮可能な軸方向伸
   縮部と、を備えた送りねじ装置。
2. 【請求項２】 軸方向伸縮部は、軸方向に変位可能でか
   つ回転方向に剛な弾性部材と、該弾性部材を軸方向に伸
   縮させる微小変位手段と、から構成される請求項１に記
   載の送りねじ装置。
3. 【請求項３】 ナット部と軸方向伸縮部の弾性部材が一
   体構造となっている請求項２に記載の送りねじ装置。
4. 【請求項４】 ナット部と軸方向伸縮部の弾性部材が別
   体構造となっている請求項２に記載の送りねじ装置。
5. 【請求項５】 ナット部とねじ軸間に付与された軸方向
   予圧を検出する予圧検出手段を備えた請求項１，２，３
   または４に記載の送りねじ装置。
6. 【請求項６】 予圧検出手段の検出値に基づいて前記軸
   方向伸縮部の伸縮量を制御して予圧を調整可能に構成し
   てなることを特徴とする請求項５に記載の送りねじ装
   置。
7. 【請求項７】 予圧検出手段は、ナット部間の軸方向変
   位から予圧を検出するものである請求項５または６に記
   載の送りねじ装置。
8. 【請求項８】 予圧検出手段は、軸方向伸縮部の弾性部
   材に固着され、ナット部間の間隔の変化に応じた歪みを
   検出する請求項５または６に記載の送りねじ装置。
9. 【請求項９】 予圧検出手段は軸方向伸縮部に加わる軸
   方向荷重から予圧を検出するものである請求項５または
   ６に記載の送りねじ装置。
10. 【請求項１０】 微小変位手段は、指令値を与えると該
    指令値に対応して軸方向に変位する手段である請求項
    ２，３，４，５，６，７，８または９に記載の送りねじ
    装置。
11. 【請求項１１】微小変位手段は圧電素子または電歪素子
    により構成される請求項１０に記載の送りねじ装置。
12. 【請求項１２】 微小変位手段は流体圧を利用して伸縮
    するアクチュエータである請求項１０に記載の送りねじ
    装置。
13. 【請求項１３】 微小変位手段は熱膨張を利用して伸縮
    するアクチュエータである請求項１０に記載の送りねじ
    装置。
14. 【請求項１４】 微小変位手段はボイスコイルを利用し
    たアクチュエータである請求項１０に記載の送りねじ装
    置。
15. 【請求項１５】 微小変位手段は磁歪素子を利用したア
    クチュエータである請求項１０に記載の送りねじ装置。