JPH05141379A - 流体機械 - Google Patents

流体機械

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Publication number
JPH05141379A
JPH05141379A JP32708091A JP32708091A JPH05141379A JP H05141379 A JPH05141379 A JP H05141379A JP 32708091 A JP32708091 A JP 32708091A JP 32708091 A JP32708091 A JP 32708091A JP H05141379 A JPH05141379 A JP H05141379A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scroll
fluid
grooves
fluid machine
blades
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP32708091A
Other languages
English (en)
Inventor
Akitami Kaneko
昭民 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP32708091A priority Critical patent/JPH05141379A/ja
Publication of JPH05141379A publication Critical patent/JPH05141379A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/0207Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
    • F04C18/0246Details concerning the involute wraps or their base, e.g. geometry
    • F04C18/0269Details concerning the involute wraps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空ポンプ等のスクロール式流体機械におい
て、2枚のスクロール羽根間の半径方向ギャップを変化
させることなく、排気速度及び到達圧力を向上させる。 【構成】 同心状に組み合わせた2枚のスクロール羽根
11,12の各半径方向表裏面に、それぞれ、周方向の
一部分にわたって多数の溝13を形成する。両側の吸気
口15から吸入された流体は、スクロール羽根11,1
2の一方又は双方を回転させることにより、連続的に圧
縮されながら排気口14に移送され排気されるが、上記
溝13に噛み込んだ状態で移送されるため、これら溝1
3が形成されたスクロール羽根面での流体のすべりが抑
えられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、流体機械に関し、特に
真空ポンプに適用して好適なスクロール式流体機械に関
する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のスクロール羽根を有した
スクロール式真空ポンプを示す。図4に示すごとく、ス
クロール式真空ポンプは同心状に組み合わされた2枚の
スクロール羽根1,2を有しており、該スクロール羽根
1,2は共にそれらの半径方向表裏面が周方向にわたっ
て平滑形状の構造となっている。なお、これらのスクロ
ール羽根1,2の半径方向ギャップ3は、最小部分で
0.1mm程度に設定されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述したよ
うにスクロール羽根1,2の半径方向表裏面が平滑形状
であると、真空ポンプの場合、排気口4の圧力が大気圧
(約760Torr)のとき、一般に吸気口5の圧力
(到達圧力)が10-2〜10-3Torr程度にとどま
り、また排気速度を向上させるには真空ポンプを大きく
する必要があった。
【0004】一方、排気速度及び到達圧力を向上させる
手段として、上記半径方向ギャップ3の最小部分をさら
に小さくすることが考えられるが、加工精度、組立精度
の制約から現状の約0.1mmより小さくすることは技
術的に困難が伴い、コスト的にも問題があった。なお、
上記課題は、吸気口圧力よりも排気口圧力を高める必要
のある圧縮機においても同様であった。
【0005】本発明は、このような従来技術の課題を解
決するためになされたもので、2枚のスクロール羽根間
の半径方向ギャップを変化させることなく、排気速度及
び到達圧力を向上させることの可能な流体機械を提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、2枚のスクロール羽根を同心状に組み
合わせて流体を移送する流体機械において、少なくとも
一方のスクロール羽根の半径方向表裏面の少なくとも一
方の面に、周方向の少なくとも一部分にわたって多数の
溝を形成したものである。
【0007】
【作用】上記の手段によれば、吸気口から吸入された流
体は、排気口へ向かって流れる過程において連続的に圧
縮されていくが、スクロール羽根の半径方向表面及び/
又は裏面に形成された多数の溝にガスが噛み込んだ状態
で移送されるため、これら溝が形成されたスクロール羽
根面でのすべりが低減する。また、連続圧縮時、半径方
向ギャップが最小部分になっている箇所で逆流を抑制し
ており、溝のくさび効果により、逆流量が低減される。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。図1は本発明の一実施例に係る流体
機械における2枚のスクロール羽根を示す概略構成図、
図2は図1のA−A線矢視図である。
【0009】図1に示すように、本実施例に係る流体機
械は同心状に組み合わされる2枚のスクロール羽根1
1,12を有しており、該スクロール羽根11,12の
半径方向表裏面には、それぞれ、該スクロール羽根1
1,12の周方向の一部分にわたって多数の溝13が形
成されている。また、スクロール羽根11,12の中心
部にはガス等の流体の排気口14が設けられていると共
に、外側の両位置には吸気口15が設けられている。な
お、符号16は2枚のスクロール羽根11,12間に設
けられた半径方向ギャップである。
【0010】以上のような構成においては、2枚のスク
ロール羽根11,12間の半径方向ギャップ16の最小
値を0.1mm程度に保ちながら、スクロール羽根1
1,12の一方あるいは双方を回転させると、吸気口1
5から吸入された流体が連続的に圧縮されながら、排気
口14に移送され排気されることになる。そして、この
吸入,圧縮,排気の過程で、スクロール羽根11,12
の半径方向表裏面に設けられた多数の溝13により、流
体はこれら溝13が形成されたスクロール羽根面でのす
べりを抑制されることになる。
【0011】溝13の形状は、図2に詳細に示すよう
に、スクロール羽根11,12の周方向に対し斜めに設
けられた形状となっており、該溝13の深さ寸法は、お
よそ0.01〜0.1mm程度に設定されている。
【0012】図3は溝13の他の形状を示すもので、溝
13が山型状に形成されている。なお、図2,図3に示
した各溝13は、放電加工、エッチング加工等で加工で
き、更に上述した作用効果を発揮できる形状のものであ
ればどのような形状であってもよい。
【0013】また、上述した実施例によればスクロール
羽根11,12の両方に溝13を設けた構成としている
が、別に両方のスクロール羽根11,12に設ける必要
はなく、少なくとも一方のスクロール羽根11,12に
設けてあればよい。更に、該溝13は上述した実施例に
あっては各スクロール羽根11,12の半径方向表裏面
にそれぞれ設けられているが、別にこれに限定されるも
のではなく、スクロール羽根11,12の半径方向表裏
面の少なくとも一方の面に設けていればよい。更にま
た、溝13はスクロール羽根11,12の周方向の一部
分に設けられているが、必要に応じてスクロール羽根1
1,12の全周にわたって設けた構成としてもよい。
【0014】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、2
枚のスクロール羽根を同心状に組み合わせて流体を移送
する流体機械において、少なくとも一方のスクロール羽
根の半径方向表裏面の少なくとも一方の面に、周方向の
少なくとも一部分にわたって複数の溝を形成した構成と
したことにより、溝の形成したスクロール羽根面での流
体のすべりを低減できるため、排気速度、到達圧力共に
増大させることができるという効果を奏する。加えて、
半径方向ギャップの最小部分の箇所での逆流を低減でき
るため、これによる排気速度及び到達圧力の増大も図る
ことができる。
【0015】したがって、本発明によれば、2枚のスク
ロール羽根間の半径方向ギャップは従来どおりのままで
圧縮効率が増大、すなわち到達圧力(吸気口圧力)が従
来よりも高真空となり、排気速度も増大することにな
る。よって、従来と同等の大きさの流体機械で、かつ2
枚のスクロール羽根間の半径方向の最小ギャップも従来
と同等のままで、高性能の流体機械を得ることができる
という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る流体機械における2枚
のスクロール羽根を示す概略構成図である。
【図2】図1のA−A線矢視図である。
【図3】本発明にしたがってスクロール羽根面に形成さ
れる溝の他の例を示す、図2と同様な図である。
【図4】従来の流体機械における2枚のスクロール羽根
を示す概略構成図である。
【符号の説明】
11 スクロール羽根 12 スクロール羽根 13 溝 14 排気口 15 吸気口 16 半径方向ギャップ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2枚のスクロール羽根を同心状に組み合わ
    せて流体を移送する流体機械において、少なくとも一方
    のスクロール羽根の半径方向表裏面の少なくとも一方の
    面に、周方向の少なくとも一部分にわたって多数の溝を
    形成したことを特徴とする流体機械。
JP32708091A 1991-11-15 1991-11-15 流体機械 Withdrawn JPH05141379A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32708091A JPH05141379A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 流体機械

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32708091A JPH05141379A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 流体機械

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Publication Number Publication Date
JPH05141379A true JPH05141379A (ja) 1993-06-08

Family

ID=18195067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32708091A Withdrawn JPH05141379A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 流体機械

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JP (1) JPH05141379A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6808373B2 (en) 2002-09-27 2004-10-26 Tokico Ltd. Scroll fluid machine having projections on a wrap peripheral surface
CN100359176C (zh) * 2003-09-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 涡旋式流体机械

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6808373B2 (en) 2002-09-27 2004-10-26 Tokico Ltd. Scroll fluid machine having projections on a wrap peripheral surface
CN100359176C (zh) * 2003-09-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 涡旋式流体机械

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990204