JPH05141348A - クライオポンプ用シンクロナスモーター - Google Patents
クライオポンプ用シンクロナスモーターInfo
- Publication number
- JPH05141348A JPH05141348A JP30203491A JP30203491A JPH05141348A JP H05141348 A JPH05141348 A JP H05141348A JP 30203491 A JP30203491 A JP 30203491A JP 30203491 A JP30203491 A JP 30203491A JP H05141348 A JPH05141348 A JP H05141348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- synchronous motor
- case
- cryopump
- drive shaft
- Prior art date
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】クライオポンプの小型ヘリウム冷凍機を比較的
安価なシンクロナスモーターを使用して小さな振動で駆
動すること 【構成】クライオポンプの小型ヘリウム冷凍機１を駆動
するシンクロナスモーター２に於いて、該シンクロナス
モーターのモーターケース９の内部に位置した該モータ
ーの駆動軸７に該モーターの振動を吸収するダンパーウ
エイト２０を取り付けた 【効果】安価なシンクロナスモーター自体で防振を行な
え、該モーターケースに延長ケースを設けてそこに駆動
軸に連結してダンパーウエイトを収容するので、構成が
簡単で改造が容易になり、従来のベローズの場合のよう
にクライオポンプの取り付け方向に配慮を払う面倒さが
ない
安価なシンクロナスモーターを使用して小さな振動で駆
動すること 【構成】クライオポンプの小型ヘリウム冷凍機１を駆動
するシンクロナスモーター２に於いて、該シンクロナス
モーターのモーターケース９の内部に位置した該モータ
ーの駆動軸７に該モーターの振動を吸収するダンパーウ
エイト２０を取り付けた 【効果】安価なシンクロナスモーター自体で防振を行な
え、該モーターケースに延長ケースを設けてそこに駆動
軸に連結してダンパーウエイトを収容するので、構成が
簡単で改造が容易になり、従来のベローズの場合のよう
にクライオポンプの取り付け方向に配慮を払う面倒さが
ない
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体分子を凝縮して超
高真空に排気するクライオポンプの駆動に使用されるシ
ンクロナスモーターに関する。
高真空に排気するクライオポンプの駆動に使用されるシ
ンクロナスモーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図１及び図２に示すように、クラ
イオポンプａはシンクロナスモーターｂにより駆動され
る小型ヘリウム冷凍機ｃを備えており、該小型ヘリウム
冷凍機ｃには、コンプレッサーと図２のような内部に連
動する２つのディスプレーサーｄ，ｄを収容した大小２
段のシリンダーｆ，ｆが設けられ、ディスプレーサーｄ
から延びるスコッチヨークｈがシンクロナスモーターｂ
のローターｅを取り付けた駆動軸ｉに取り付けた偏心カ
ムｊにより往復動されると、コンプレッサーで高圧に圧
縮されたヘリウムガスが両シリンダーｆ，ｆ内を循環し
てそのガス室ｋ，ｌを超低温に冷却し、これに伴ないガ
ス室ｋ，ｌに接続して設けたバッフルｍやクライオパネ
ルｎも超低温に冷却されて気体分子を凝縮する。ｏはヘ
リウムガスの流れを制御するバルブで、該バルブｏは偏
心カムｊにより動かされるロッカーアームｐにより開閉
作動する。該シンクロナスモーターｂは、ステーターｑ
を取り付けた筒状のモーターハウジングｒと、駆動軸ｉ
の前方を軸支するフロントベアリングｓを設けたフロン
トフランジｔと、該駆動軸ｉの後方を軸支するリアベア
リングｕを設けたリアフランジｖとでＯリングｙにより
気密に構成されたモーターケースｗで囲まれ、該モータ
ーケースｗはスコッチヨークｈを収めたハウジングｘに
気密に取り付けられる。該モーターケースｗ内及びハウ
ジングｘ内はヘリウムガスが充填される。ｇはポンプケ
ース、ｚは巻線である。
イオポンプａはシンクロナスモーターｂにより駆動され
る小型ヘリウム冷凍機ｃを備えており、該小型ヘリウム
冷凍機ｃには、コンプレッサーと図２のような内部に連
動する２つのディスプレーサーｄ，ｄを収容した大小２
段のシリンダーｆ，ｆが設けられ、ディスプレーサーｄ
から延びるスコッチヨークｈがシンクロナスモーターｂ
のローターｅを取り付けた駆動軸ｉに取り付けた偏心カ
ムｊにより往復動されると、コンプレッサーで高圧に圧
縮されたヘリウムガスが両シリンダーｆ，ｆ内を循環し
てそのガス室ｋ，ｌを超低温に冷却し、これに伴ないガ
ス室ｋ，ｌに接続して設けたバッフルｍやクライオパネ
ルｎも超低温に冷却されて気体分子を凝縮する。ｏはヘ
リウムガスの流れを制御するバルブで、該バルブｏは偏
心カムｊにより動かされるロッカーアームｐにより開閉
作動する。該シンクロナスモーターｂは、ステーターｑ
を取り付けた筒状のモーターハウジングｒと、駆動軸ｉ
の前方を軸支するフロントベアリングｓを設けたフロン
トフランジｔと、該駆動軸ｉの後方を軸支するリアベア
リングｕを設けたリアフランジｖとでＯリングｙにより
気密に構成されたモーターケースｗで囲まれ、該モータ
ーケースｗはスコッチヨークｈを収めたハウジングｘに
気密に取り付けられる。該モーターケースｗ内及びハウ
ジングｘ内はヘリウムガスが充填される。ｇはポンプケ
ース、ｚは巻線である。
【０００３】シンクロナスモーターｂの駆動軸ｉは、通
電により巻線ｚに発生する電磁力でローターの磁性部分
を吸引することにより回転され、通電される巻線ｚを順
次切換えることにより定められた角度（ステップ角）づ
つ回転する。巻線ｚへの通電の切換は入力信号により行
なわれ、信号１個に対して一定の角度で回転し、次の信
号が入るまで回転は停止している。即ち、入力信号が入
るたびに各ステップ毎に加速・減速を繰り返しながら回
転する。
電により巻線ｚに発生する電磁力でローターの磁性部分
を吸引することにより回転され、通電される巻線ｚを順
次切換えることにより定められた角度（ステップ角）づ
つ回転する。巻線ｚへの通電の切換は入力信号により行
なわれ、信号１個に対して一定の角度で回転し、次の信
号が入るまで回転は停止している。即ち、入力信号が入
るたびに各ステップ毎に加速・減速を繰り返しながら回
転する。
【０００４】クライオポンプを駆動するシンクロナスモ
ーターの場合、入力信号の数は駆動電源の周波数に相当
する。即ち、この場合、シンクロナスモーターｂは電源
の周波数に比例した一定の回転速度で回転し、バルブｏ
の開閉とスコッチヨークｈに接続されたディスプレーサ
ーｄ，ｅの駆動を行なう。
ーターの場合、入力信号の数は駆動電源の周波数に相当
する。即ち、この場合、シンクロナスモーターｂは電源
の周波数に比例した一定の回転速度で回転し、バルブｏ
の開閉とスコッチヨークｈに接続されたディスプレーサ
ーｄ，ｅの駆動を行なう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のクライオポ
ンプ用シンクロナスモーターｂは、電源周波数に比例し
た回転速度を持つという長所がある反面、各ステップ毎
に加速・減速を繰り返しながら回転しているため、振動
が発生する問題があった。この振動は、口径の大きい特
に１６インチ、２０インチクラスのクライオポンプの場
合、シンクロナスモーターｂの振動が例えばポンプケー
スｇ等により増幅され、その増幅された振動がクライオ
ポンプｂを取り付けた真空装置に伝達されて該真空装置
に取り付けた機器や処理物に悪影響を与えて好ましくな
い。また、該モーターｂの電源周波数が５０Ｈｚの時に
は、１００Ｈｚと２００Ｈｚに大きなピークを持つ振動
パターンとなり、これは６０Ｈｚで駆動する場合よりも
振動が大きく前記した悪影響が更に顕著になる。
ンプ用シンクロナスモーターｂは、電源周波数に比例し
た回転速度を持つという長所がある反面、各ステップ毎
に加速・減速を繰り返しながら回転しているため、振動
が発生する問題があった。この振動は、口径の大きい特
に１６インチ、２０インチクラスのクライオポンプの場
合、シンクロナスモーターｂの振動が例えばポンプケー
スｇ等により増幅され、その増幅された振動がクライオ
ポンプｂを取り付けた真空装置に伝達されて該真空装置
に取り付けた機器や処理物に悪影響を与えて好ましくな
い。また、該モーターｂの電源周波数が５０Ｈｚの時に
は、１００Ｈｚと２００Ｈｚに大きなピークを持つ振動
パターンとなり、これは６０Ｈｚで駆動する場合よりも
振動が大きく前記した悪影響が更に顕著になる。
【０００６】モーターの振動対策として、一般的にはダ
ンパーウエイトをシャフトに取り付ける方法が知られて
いる。しかし、クライオポンプに使用する小型ヘリウム
冷凍機ｃにはダンパーウエイトの取り付けスペースがな
く、また、シンクロナスモーターｂのモーターケースｗ
はその内部にヘリウムガスを充填するために気密性が必
要であるから、駆動軸ｉをダンパーウエイトの取り付け
のためにモーターケースｗの外部へ延長することも困難
である。こうした理由で、今までは、シンクロナスモー
ターｂに対して振動対策を施すのではなく、発生した振
動を真空装置側へ伝えないように、小型ヘリウム冷凍機
ｃとポンプケースｇの間に溶接ベローズを介在させ、該
小型ヘリウム冷凍機ｃをばねでポンプケースｇに支持さ
せて防振することが行なわれていた。しかし、該ばね
は、クライオポンプの大きさと取り付け方向を考慮して
設計しなければならず、かなりの困難が伴なう。シンク
ロナスモーターの代わりに、振動の少ないステッピング
モーターを使用することも対策として考えたが、このモ
ーターの駆動回路が複雑で且つ高価であるのが難点であ
る。
ンパーウエイトをシャフトに取り付ける方法が知られて
いる。しかし、クライオポンプに使用する小型ヘリウム
冷凍機ｃにはダンパーウエイトの取り付けスペースがな
く、また、シンクロナスモーターｂのモーターケースｗ
はその内部にヘリウムガスを充填するために気密性が必
要であるから、駆動軸ｉをダンパーウエイトの取り付け
のためにモーターケースｗの外部へ延長することも困難
である。こうした理由で、今までは、シンクロナスモー
ターｂに対して振動対策を施すのではなく、発生した振
動を真空装置側へ伝えないように、小型ヘリウム冷凍機
ｃとポンプケースｇの間に溶接ベローズを介在させ、該
小型ヘリウム冷凍機ｃをばねでポンプケースｇに支持さ
せて防振することが行なわれていた。しかし、該ばね
は、クライオポンプの大きさと取り付け方向を考慮して
設計しなければならず、かなりの困難が伴なう。シンク
ロナスモーターの代わりに、振動の少ないステッピング
モーターを使用することも対策として考えたが、このモ
ーターの駆動回路が複雑で且つ高価であるのが難点であ
る。
【０００７】本発明は、クライオポンプの小型ヘリウム
冷凍機を比較的安価なシンクロナスモーターを使用して
小さな振動で駆動することを目的とするものである。
冷凍機を比較的安価なシンクロナスモーターを使用して
小さな振動で駆動することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、クライオポ
ンプの小型ヘリウム冷凍機を駆動するシンクロナスモー
ターに於いて、該シンクロナスモーターのモーターケー
スの内部に位置した該モーターの駆動軸に該モーターの
振動を吸収するダンパーウエイトを取り付けることによ
り、上記の目的を達成するようにした。
ンプの小型ヘリウム冷凍機を駆動するシンクロナスモー
ターに於いて、該シンクロナスモーターのモーターケー
スの内部に位置した該モーターの駆動軸に該モーターの
振動を吸収するダンパーウエイトを取り付けることによ
り、上記の目的を達成するようにした。
【０００９】
【作用】シンクロナスモーターに商用周波数の電力を投
入すると、ローターが周波数の入力信号に比例した一定
角度で回転し、その回転により小型ヘリウム冷凍機のデ
ィスプレーサーとバルブが駆動されてクライオポンプが
気体分子の凝縮排気を行なう。該シンクロナスモーター
のモーターケースの内部には、駆動軸と共に回転するダ
ンパーウエイトが設けられており、これがローターの回
転速度の変化を少なくするように作用するので、該ロー
ターが加速・減速を繰り返してもシンクロナスモーター
の振動が少なくなる。該ダンパーウエイトをヘリウムガ
スが充填されたモーターケース内に設けることにより、
駆動軸をモーターケースの外部へ延長することが不要に
なり、駆動軸をシールする困難さがなくなると共にシー
ル部からヘリウムガスが漏れるおそれがなく、モーター
ケースのわずかな改造でダンパーウエイトを設け得る。
入すると、ローターが周波数の入力信号に比例した一定
角度で回転し、その回転により小型ヘリウム冷凍機のデ
ィスプレーサーとバルブが駆動されてクライオポンプが
気体分子の凝縮排気を行なう。該シンクロナスモーター
のモーターケースの内部には、駆動軸と共に回転するダ
ンパーウエイトが設けられており、これがローターの回
転速度の変化を少なくするように作用するので、該ロー
ターが加速・減速を繰り返してもシンクロナスモーター
の振動が少なくなる。該ダンパーウエイトをヘリウムガ
スが充填されたモーターケース内に設けることにより、
駆動軸をモーターケースの外部へ延長することが不要に
なり、駆動軸をシールする困難さがなくなると共にシー
ル部からヘリウムガスが漏れるおそれがなく、モーター
ケースのわずかな改造でダンパーウエイトを設け得る。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図３に基づき説明すると、
同図に於いて符号１はクライオポンプの小型ヘリウム冷
凍機、２は該小型ヘリウム冷凍機１を駆動するシンクロ
ナスモーターを示し、該クライオポンプとそのヘリウム
冷凍機１は、図１、図２の場合と同様の構成を備え、シ
リンダー３、３内のディスプレーサー４、４がハウジン
グ５内に延びるスコッチヨーク６により上下に移動され
る。該スコッチヨーク６はハウジング５の側方に設け該
シンクロナスモーター２はハウジング５の側方に設けら
れ、該スコッチヨーク６には、ハウジング５を挿通して
延びる該モーター２の駆動軸７に取り付けた偏心カム８
により上下方向の移動が与えられる。該ハウジング５に
該冷凍機１のヘリウムガスの流通をを制御するバルブ９
が設けられるが、偏心カム８は、その回転で該バルブ１
６に取り付けたロッカーアーム１０を上下させ、該バル
ブ９の開閉をも制御する。
同図に於いて符号１はクライオポンプの小型ヘリウム冷
凍機、２は該小型ヘリウム冷凍機１を駆動するシンクロ
ナスモーターを示し、該クライオポンプとそのヘリウム
冷凍機１は、図１、図２の場合と同様の構成を備え、シ
リンダー３、３内のディスプレーサー４、４がハウジン
グ５内に延びるスコッチヨーク６により上下に移動され
る。該スコッチヨーク６はハウジング５の側方に設け該
シンクロナスモーター２はハウジング５の側方に設けら
れ、該スコッチヨーク６には、ハウジング５を挿通して
延びる該モーター２の駆動軸７に取り付けた偏心カム８
により上下方向の移動が与えられる。該ハウジング５に
該冷凍機１のヘリウムガスの流通をを制御するバルブ９
が設けられるが、偏心カム８は、その回転で該バルブ１
６に取り付けたロッカーアーム１０を上下させ、該バル
ブ９の開閉をも制御する。
【００１１】該シンクロナスモーター２のモーターケー
ス９は、フロントフランジ１１とモーターハウジング１
２及びリアフランジ１３を備えており、該フロントフラ
ンジ１１に設けたフロントベアリング１４で該モーター
２のローター１５を取り付けた駆動軸７の前部を軸支
し、筒状のモーターハウジング１２にはステーター１７
が取り付けられる。該モーターケース９の内部は一般的
に狭く、ダンパーウエイトを収めるゆとりがないが、該
ケース９の後方に延長ケース１８をＯリング１９を介在
して取り付け、該延長ケース１８の後端をリアフランジ
１３で密閉し、これにより増大された密閉空間に非磁性
体から成るダンパーウエイト２０を収めるようにした。
該モーターケース９及び延長ケース１８、ハウジング１
２内にはヘリウムガスが充填される。該ダンパーウエイ
ト２０は、その前端面に駆動軸７の後端部を圧入する圧
入孔２１を備えると共にその後端面にリアベアリング２
２が嵌着される支軸２３を備え、該リアベアリング２２
をリアフランジ１３に支持させることにより該ダンパー
ウエイト２０が駆動軸７と共に該ケース９内で回転する
ようにした。尚、クライオポンプのポンプケースは図１
のものと同構成で、内部にバッフルとクライオパネルが
設けられる。２４はステーター１７の巻線で、これに図
示してない電源から商用周波数の電力が通電される。
ス９は、フロントフランジ１１とモーターハウジング１
２及びリアフランジ１３を備えており、該フロントフラ
ンジ１１に設けたフロントベアリング１４で該モーター
２のローター１５を取り付けた駆動軸７の前部を軸支
し、筒状のモーターハウジング１２にはステーター１７
が取り付けられる。該モーターケース９の内部は一般的
に狭く、ダンパーウエイトを収めるゆとりがないが、該
ケース９の後方に延長ケース１８をＯリング１９を介在
して取り付け、該延長ケース１８の後端をリアフランジ
１３で密閉し、これにより増大された密閉空間に非磁性
体から成るダンパーウエイト２０を収めるようにした。
該モーターケース９及び延長ケース１８、ハウジング１
２内にはヘリウムガスが充填される。該ダンパーウエイ
ト２０は、その前端面に駆動軸７の後端部を圧入する圧
入孔２１を備えると共にその後端面にリアベアリング２
２が嵌着される支軸２３を備え、該リアベアリング２２
をリアフランジ１３に支持させることにより該ダンパー
ウエイト２０が駆動軸７と共に該ケース９内で回転する
ようにした。尚、クライオポンプのポンプケースは図１
のものと同構成で、内部にバッフルとクライオパネルが
設けられる。２４はステーター１７の巻線で、これに図
示してない電源から商用周波数の電力が通電される。
【００１２】図示実施例の場合、電源からシンクロナス
モーター２のステーター１７に通電されると、ローター
１５及び駆動軸７が周波数に応じた数だけ一定角度づつ
回転し、その回転で偏心カム８がスコッチヨーク６を往
復動させると共にバルブ１６を開閉し、該スコッチヨー
ク６に連結した冷凍機１のディスプレーサー４が往復し
てシリンダー３、３及びこれに取り付けたバッフルとク
ライオパネルが超低温になり、そこに排気口から流入す
る気体分子が凝縮排気される。ローター１５及び駆動軸
７は周波数の数だけ加速・減速を繰り返すので、これら
の回転体の慣性モーメントが小さいと回転速度の変化が
大きくなって振動が大きくなるが、該駆動軸７にダンパ
ーウエイト２０を一体に設けたことにより慣性モーメン
トが大きくなり、そのため回転速度の変化が小さくなっ
て振動の発生が少なくなる。即ち、該ローター１５の慣
性モーメントがＪ0でダンパーウエイト２０の慣性モー
メントがＪならば、ダンパーウエイト２０を取り付けた
場合は、取り付けない場合に比べて振動がＪ0／（Ｊ0＋
Ｊ）倍になる。例えば、Ｊ＝Ｊ0ならば、振動は１／２
になる。また、振動の高調波成分は振動周波数が大きい
ため、単純計算で得られる減少率よりも大きな減少率と
なり、その効果が大きい。実際の場合、５０Ｈｚで非磁
性体のダンパーウエイト２０を設けて該モーター２を駆
動すると、２０インチの口径のクライオポンプでは、従
来のものと比較して２００Ｈｚのピークは約１／１０，
２ＫＨｚまでの総レベルでも約１／５にまで振動が低下
した。該ダンパーウエイト２０は、モーターケース９に
延長ケース１８を取り付けるだけで収容でき、改造が簡
単で気密性も損なわれない。
モーター２のステーター１７に通電されると、ローター
１５及び駆動軸７が周波数に応じた数だけ一定角度づつ
回転し、その回転で偏心カム８がスコッチヨーク６を往
復動させると共にバルブ１６を開閉し、該スコッチヨー
ク６に連結した冷凍機１のディスプレーサー４が往復し
てシリンダー３、３及びこれに取り付けたバッフルとク
ライオパネルが超低温になり、そこに排気口から流入す
る気体分子が凝縮排気される。ローター１５及び駆動軸
７は周波数の数だけ加速・減速を繰り返すので、これら
の回転体の慣性モーメントが小さいと回転速度の変化が
大きくなって振動が大きくなるが、該駆動軸７にダンパ
ーウエイト２０を一体に設けたことにより慣性モーメン
トが大きくなり、そのため回転速度の変化が小さくなっ
て振動の発生が少なくなる。即ち、該ローター１５の慣
性モーメントがＪ0でダンパーウエイト２０の慣性モー
メントがＪならば、ダンパーウエイト２０を取り付けた
場合は、取り付けない場合に比べて振動がＪ0／（Ｊ0＋
Ｊ）倍になる。例えば、Ｊ＝Ｊ0ならば、振動は１／２
になる。また、振動の高調波成分は振動周波数が大きい
ため、単純計算で得られる減少率よりも大きな減少率と
なり、その効果が大きい。実際の場合、５０Ｈｚで非磁
性体のダンパーウエイト２０を設けて該モーター２を駆
動すると、２０インチの口径のクライオポンプでは、従
来のものと比較して２００Ｈｚのピークは約１／１０，
２ＫＨｚまでの総レベルでも約１／５にまで振動が低下
した。該ダンパーウエイト２０は、モーターケース９に
延長ケース１８を取り付けるだけで収容でき、改造が簡
単で気密性も損なわれない。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明では、クライオポン
プの小型ヘリウム冷凍機を駆動するシンクロナスモータ
ーのモーターケースの内部に位置した該モーターの駆動
軸に該モーターの振動を吸収するダンパーウエイトを取
り付けたので、安価なシンクロナスモーター自体で防振
を行なえ、該モーターケースに延長ケースを設けてそこ
に駆動軸に連結してダンパーウエイトを収容するので、
構成が簡単で改造が容易になり、従来のベローズの場合
のようにクライオポンプの取り付け方向に配慮を払う面
倒さがない等の効果がある。
プの小型ヘリウム冷凍機を駆動するシンクロナスモータ
ーのモーターケースの内部に位置した該モーターの駆動
軸に該モーターの振動を吸収するダンパーウエイトを取
り付けたので、安価なシンクロナスモーター自体で防振
を行なえ、該モーターケースに延長ケースを設けてそこ
に駆動軸に連結してダンパーウエイトを収容するので、
構成が簡単で改造が容易になり、従来のベローズの場合
のようにクライオポンプの取り付け方向に配慮を払う面
倒さがない等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例の概略截断側面図
【図２】従来例の要部の拡大断面図
【図３】本発明の実施例の要部の断面図
【符号の説明】 １ 小型ヘリウム冷凍機 ２ シンクロナスモータ
ー ９ モーターケース ７ 駆動軸 １８ 延長ケース ２０ ダンパーウエイト
ー ９ モーターケース ７ 駆動軸 １８ 延長ケース ２０ ダンパーウエイト
Claims (2)
- 【請求項１】クライオポンプの小型ヘリウム冷凍機を駆
動するシンクロナスモーターに於いて、該シンクロナス
モーターのモーターケースの内部に位置した該モーター
の駆動軸に該モーターの振動を吸収するダンパーウエイ
トを取り付けたことを特徴とするクライオポンプ用シン
クロナスモーター。 - 【請求項２】上記モーターケースの後端に延長ケースを
気密に取り付け、その内部に、非磁性体のダンパーウエ
イトの一端を上記駆動軸の後端に圧入させると共にその
他端を軸受で軸支させて収容したことを特徴とするクラ
イオポンプ用シンクロナスモーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30203491A JP3306629B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | クライオポンプ用シンクロナスモーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30203491A JP3306629B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | クライオポンプ用シンクロナスモーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141348A true JPH05141348A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3306629B2 JP3306629B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=17904111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30203491A Expired - Lifetime JP3306629B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | クライオポンプ用シンクロナスモーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3306629B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010011403A2 (en) | 2008-05-21 | 2010-01-28 | Brooks Automation, Inc. | Linear drive cryogenic refrigerator |
| KR20170119629A (ko) | 2016-04-19 | 2017-10-27 | 아루박ㆍ크라이오 가부시키가이샤 | 크라이오 펌프, 진공 처리 장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101264371B1 (ko) | 2012-04-20 | 2013-05-14 | 진권 | 고압가스 제조용 피스톤식 압축기 |
-
1991
- 1991-11-18 JP JP30203491A patent/JP3306629B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20170119629A (ko) | 2016-04-19 | 2017-10-27 | 아루박ㆍ크라이오 가부시키가이샤 | 크라이오 펌프, 진공 처리 장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3306629B2 (ja) | 2002-07-24 |
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