JPH05126765A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
- Publication number
- JPH05126765A JPH05126765A JP3319768A JP31976891A JPH05126765A JP H05126765 A JPH05126765 A JP H05126765A JP 3319768 A JP3319768 A JP 3319768A JP 31976891 A JP31976891 A JP 31976891A JP H05126765 A JPH05126765 A JP H05126765A
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- Japan
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- ray
- sample
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体をＸ
線検出器として用いるＸ線回折装置において、実用上十
分な精度の分解能を得ること。 【構成】 試料２に平行Ｘ線ビームを照射し、その試料
２で回折したＸ線を位置感応型Ｘ線検出器４又は蓄積性
蛍光体を用いて検出するＸ線回折装置において、位置感
応型Ｘ線検出器４又は蓄積性蛍光体と試料２との間の間
隔を１２０ｍｍ以上に離す。
線検出器として用いるＸ線回折装置において、実用上十
分な精度の分解能を得ること。 【構成】 試料２に平行Ｘ線ビームを照射し、その試料
２で回折したＸ線を位置感応型Ｘ線検出器４又は蓄積性
蛍光体を用いて検出するＸ線回折装置において、位置感
応型Ｘ線検出器４又は蓄積性蛍光体と試料２との間の間
隔を１２０ｍｍ以上に離す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線検出器として位置
感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体を用いるＸ線回折装
置に関する。
感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体を用いるＸ線回折装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にＸ線回折装置においては、試料に
Ｘ線を入射し、その試料で回折するＸ線をＸ線検出器に
よって検出する。このようなＸ線回折装置において、Ｘ
線検出器として位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体
を用いたものは既に知られている。
Ｘ線を入射し、その試料で回折するＸ線をＸ線検出器に
よって検出する。このようなＸ線回折装置において、Ｘ
線検出器として位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体
を用いたものは既に知られている。
【０００３】位置感応型Ｘ線検出器とは、位置敏感型Ｘ
線検出器あるいはＰＳＰＣ （Position Sensitive
Proportional Counter）等とも呼ばれるＸ線検出器で
あって、イオン化されたＸ線光量子を捕獲するための陽
極芯線に位置分解能を持たせたものである。すなわち、
ある範囲を持って張設された陽極芯線の個々の位置にお
けるＸ線量を検出できる能力を持ったＸ線検出器であ
る。
線検出器あるいはＰＳＰＣ （Position Sensitive
Proportional Counter）等とも呼ばれるＸ線検出器で
あって、イオン化されたＸ線光量子を捕獲するための陽
極芯線に位置分解能を持たせたものである。すなわち、
ある範囲を持って張設された陽極芯線の個々の位置にお
けるＸ線量を検出できる能力を持ったＸ線検出器であ
る。
【０００４】蓄積性蛍光体とは、輝尽性蛍光体とも呼ば
れるＸ線感応体であって、次のような性質を有する物質
である。すなわち、その蓄積性蛍光体にＸ線等の放射光
を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍
光体内にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄
積性蛍光体にレーザ光等の輝尽励起光を照射すると上記
潜像エネルギが光となって外部に放射される。このよう
な物質としては、例えば、ＢａＦＸ：Ｅｕ（Ｘはハロゲ
ン）で示される蛍光体、あるいは特開昭５６−１１３９
２号公報において可視ないし赤外輝尽性蛍光体としてあ
げられている各種の蛍光体が知られている。
れるＸ線感応体であって、次のような性質を有する物質
である。すなわち、その蓄積性蛍光体にＸ線等の放射光
を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍
光体内にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄
積性蛍光体にレーザ光等の輝尽励起光を照射すると上記
潜像エネルギが光となって外部に放射される。このよう
な物質としては、例えば、ＢａＦＸ：Ｅｕ（Ｘはハロゲ
ン）で示される蛍光体、あるいは特開昭５６−１１３９
２号公報において可視ないし赤外輝尽性蛍光体としてあ
げられている各種の蛍光体が知られている。
【０００５】従来より広く用いられているＸ線回折測定
方法として、比例計数管等のＸ線検出器を試料のまわり
で走査移動（２θ回転移動と呼ばれることがある）させ
ながら、試料に対する各角度位置における回折Ｘ線の強
度を測定する測定方法がある。この測定方法では、Ｘ線
検出器を走査移動させるのに長い時間を必要とし、Ｘ線
回折測定を短時間で終らせることができなかった。それ
故、内部構造が時々刻々変化するような試料について、
信頼性の高いＸ線回折測定を行なうことができないとい
う問題があった。
方法として、比例計数管等のＸ線検出器を試料のまわり
で走査移動（２θ回転移動と呼ばれることがある）させ
ながら、試料に対する各角度位置における回折Ｘ線の強
度を測定する測定方法がある。この測定方法では、Ｘ線
検出器を走査移動させるのに長い時間を必要とし、Ｘ線
回折測定を短時間で終らせることができなかった。それ
故、内部構造が時々刻々変化するような試料について、
信頼性の高いＸ線回折測定を行なうことができないとい
う問題があった。
【０００６】これに対し、位置感応型Ｘ線検出器又は蓄
積性蛍光体をＸ線検出器として用いると、位置感応型Ｘ
線検出器であれば陽極芯線が張設された線状範囲内、蓄
積性蛍光体であればそれが存在する面状範囲内におい
て、試料で回折したＸ線を広い範囲内で同時に検出する
ことができる。従って、Ｘ線検出器を走査移動させる必
要がなくなり、Ｘ線回折測定を短時間で終らせることが
可能となる。
積性蛍光体をＸ線検出器として用いると、位置感応型Ｘ
線検出器であれば陽極芯線が張設された線状範囲内、蓄
積性蛍光体であればそれが存在する面状範囲内におい
て、試料で回折したＸ線を広い範囲内で同時に検出する
ことができる。従って、Ｘ線検出器を走査移動させる必
要がなくなり、Ｘ線回折測定を短時間で終らせることが
可能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら本発明者
は、位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体をＸ線検出
器として用いる場合、それらの検出器と試料との間の間
隔が適切でないと測定結果であるデータにおいて十分な
分解能が得られないという事実を知見した。また、種々
の実験を行なった結果、上記検出器と試料との間の間隔
が１２０ｍｍ以上離れていると、十分な分解能が得られ
ることを知見した。
は、位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体をＸ線検出
器として用いる場合、それらの検出器と試料との間の間
隔が適切でないと測定結果であるデータにおいて十分な
分解能が得られないという事実を知見した。また、種々
の実験を行なった結果、上記検出器と試料との間の間隔
が１２０ｍｍ以上離れていると、十分な分解能が得られ
ることを知見した。
【０００８】以上の点に鑑み本発明は、位置感応型Ｘ線
検出器又は蓄積性蛍光体をＸ線検出器として用いるＸ線
回折装置において、実用上十分な精度の分解能を得るこ
とを目的とする。
検出器又は蓄積性蛍光体をＸ線検出器として用いるＸ線
回折装置において、実用上十分な精度の分解能を得るこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るＸ線回折装置は、試料に平行Ｘ線ビー
ムを照射し、その試料で回折したＸ線を位置感応型Ｘ線
検出器又は蓄積性蛍光体を用いて検出するＸ線回折装置
において、位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体と試
料中心との間の間隔を１２０ｍｍ以上離したことを特徴
としている。
め、本発明に係るＸ線回折装置は、試料に平行Ｘ線ビー
ムを照射し、その試料で回折したＸ線を位置感応型Ｘ線
検出器又は蓄積性蛍光体を用いて検出するＸ線回折装置
において、位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体と試
料中心との間の間隔を１２０ｍｍ以上離したことを特徴
としている。
【００１０】
【作用】位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体と試料
との間の間隔を１２０ｍｍ以上に離したことにより、求
められる測定結果において、実用上十分な精度の分解能
を得ることができる。
との間の間隔を１２０ｍｍ以上に離したことにより、求
められる測定結果において、実用上十分な精度の分解能
を得ることができる。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明に係るＸ線回折装置の一実施
例を示している。このＸ線回折装置は、Ｘ線を発生する
Ｘ線源１と、試料２に向かう入射Ｘ線を平行ビームに規
制するスリット３と、試料２で回折したＸ線を検出する
位置感応型Ｘ線検出器４とを有している。位置感応型Ｘ
線検出器４のうち試料２に対向する面には、細長いＸ線
取り込み用の開口５が設けられており、その内部にはタ
ングステン等によって形成された陽極芯線６が設けられ
ている。
例を示している。このＸ線回折装置は、Ｘ線を発生する
Ｘ線源１と、試料２に向かう入射Ｘ線を平行ビームに規
制するスリット３と、試料２で回折したＸ線を検出する
位置感応型Ｘ線検出器４とを有している。位置感応型Ｘ
線検出器４のうち試料２に対向する面には、細長いＸ線
取り込み用の開口５が設けられており、その内部にはタ
ングステン等によって形成された陽極芯線６が設けられ
ている。
【００１２】位置感応型Ｘ線検出器４には、Ｘ線強度測
定回路７が電気的に接続されている。開口５を通って位
置感応型Ｘ線検出器４内にＸ線が取り込まれると、その
Ｘ線量子がイオン化されて陽極芯線６に到達し、そこに
電気的パルス信号が発生する。Ｘ線強度測定回路７は、
そのパルス信号が発生した位置を検出し、その位置に対
応したメモリ番地に該パルス信号を記憶して蓄積する。
これにより、Ｘ線強度測定回路７内のメモリ内には、陽
極芯線６の各位置におけるＸ線強度、換言すれば試料２
で回折する回折Ｘ線の各回折角度位置におけるＸ線強度
が記憶される。
定回路７が電気的に接続されている。開口５を通って位
置感応型Ｘ線検出器４内にＸ線が取り込まれると、その
Ｘ線量子がイオン化されて陽極芯線６に到達し、そこに
電気的パルス信号が発生する。Ｘ線強度測定回路７は、
そのパルス信号が発生した位置を検出し、その位置に対
応したメモリ番地に該パルス信号を記憶して蓄積する。
これにより、Ｘ線強度測定回路７内のメモリ内には、陽
極芯線６の各位置におけるＸ線強度、換言すれば試料２
で回折する回折Ｘ線の各回折角度位置におけるＸ線強度
が記憶される。
【００１３】Ｘ線強度測定回路７内のＸ線強度情報は、
ＣＲＴ、機械式記録系等といった記録装置８に適時に読
み出され、測定者が目視によって確認できる状態で表示
される。符号９は、試料２を加熱したり、あるいは試料
２に引張り又は圧縮荷重を付与したりする環境装置を示
している。
ＣＲＴ、機械式記録系等といった記録装置８に適時に読
み出され、測定者が目視によって確認できる状態で表示
される。符号９は、試料２を加熱したり、あるいは試料
２に引張り又は圧縮荷重を付与したりする環境装置を示
している。
【００１４】本Ｘ線回折装置は以上のように構成されて
いるので、試料２に平行Ｘ線ビームが照射され、試料２
から回折Ｘ線が出射すると、位置感応型Ｘ線検出器４の
芯線６が張設されている範囲内にわたって、回折Ｘ線の
強度が短時間の間に測定され、その測定結果が記録装置
８によって表示又は記録される。この測定中、試料２は
環境装置９によって環境変化を受け、ときによってその
内部の結晶状態が変化する。その変化は、回折Ｘ線の強
度変化となって記録装置８に読み取られる。一般に、試
料２の内部変化はごく短時間の間に生じる。従って、従
来のようなＸ線検出器を走査移動させながらＸ線回折測
定を行なう測定方法では時間がかかり過ぎて正確な測定
結果を得ることができない。これに対して、位置感応型
Ｘ線検出器を用いた本実施例によれば、ごく短時間の間
にＸ線回折測定が終了するので、上記のような短時間の
試料内状態変化をも捉えることができる。
いるので、試料２に平行Ｘ線ビームが照射され、試料２
から回折Ｘ線が出射すると、位置感応型Ｘ線検出器４の
芯線６が張設されている範囲内にわたって、回折Ｘ線の
強度が短時間の間に測定され、その測定結果が記録装置
８によって表示又は記録される。この測定中、試料２は
環境装置９によって環境変化を受け、ときによってその
内部の結晶状態が変化する。その変化は、回折Ｘ線の強
度変化となって記録装置８に読み取られる。一般に、試
料２の内部変化はごく短時間の間に生じる。従って、従
来のようなＸ線検出器を走査移動させながらＸ線回折測
定を行なう測定方法では時間がかかり過ぎて正確な測定
結果を得ることができない。これに対して、位置感応型
Ｘ線検出器を用いた本実施例によれば、ごく短時間の間
にＸ線回折測定が終了するので、上記のような短時間の
試料内状態変化をも捉えることができる。
【００１５】以下、上記実施例を用いて行なったＸ線回
折測定の実験例について説明する。この実験は、同一の
試料２を使って、位置感応型Ｘ線検出器４と試料２との
間の間隔Ｌを種々変化させながら、記録装置８に現れる
測定結果の変化を観察したものである。 （実験例１）位置感応型Ｘ線検出器４と試料２との間の
間隔Ｌを８０ｍｍとしてＸ線回折測定を行なった。その
結果として、図２に示すようなＸ線回折図形が得られ
た。 （実験例２）間隔Ｌを１５０ｍｍとしてＸ線回折測定を
行なった。その結果として、図３に示すようなＸ線回折
図形が得られた。
折測定の実験例について説明する。この実験は、同一の
試料２を使って、位置感応型Ｘ線検出器４と試料２との
間の間隔Ｌを種々変化させながら、記録装置８に現れる
測定結果の変化を観察したものである。 （実験例１）位置感応型Ｘ線検出器４と試料２との間の
間隔Ｌを８０ｍｍとしてＸ線回折測定を行なった。その
結果として、図２に示すようなＸ線回折図形が得られ
た。 （実験例２）間隔Ｌを１５０ｍｍとしてＸ線回折測定を
行なった。その結果として、図３に示すようなＸ線回折
図形が得られた。
【００１６】図２と図３を比較すると、Ｌ＝１５０ｍｍ
とした場合の方が鋭敏な図形が得られ、従って試料２に
対して信頼性の高い、正確な判定を行ない得ることがわ
かった。発明者は、これら２種類のＬ値以外に、他の種
々のＬ値についても実験を行ない、その結果、Ｌ＝１２
０ｍｍを境としてそれ以上であれば、実用上十分な分解
能のＸ線回折図形が得られることを知見した。
とした場合の方が鋭敏な図形が得られ、従って試料２に
対して信頼性の高い、正確な判定を行ない得ることがわ
かった。発明者は、これら２種類のＬ値以外に、他の種
々のＬ値についても実験を行ない、その結果、Ｌ＝１２
０ｍｍを境としてそれ以上であれば、実用上十分な分解
能のＸ線回折図形が得られることを知見した。
【００１７】図４は、本発明に係るＸ線回折装置の他の
実施例を示している。この実施例が図１に示した先の実
施例と異なる点は、Ｘ線検出器として湾曲して配置され
た蓄積性蛍光体１０を用いたことである。周知の通り、
蓄積性蛍光体１０はその全面でＸ線を受光し、Ｘ線が当
たった部分にエネルギ潜像を蓄積する。従って、Ｘ線回
折測定において試料２から回折Ｘ線が出射すると、その
Ｘ線が蓄積性蛍光体１０に当たり、その蓄積性蛍光体１
０上にＸ線像が潜像として描かれる。蓄積性蛍光体１０
は、広い面積を有しているから、広い回折角度範囲内の
Ｘ線像が短時間の間に得られる。それ故、位置感応型Ｘ
線検出器を用いたＸ線回折装置（図１）の場合と同様
に、短時間の間に状態変化するような試料２に対して信
頼性の高い測定を行なうことができる。
実施例を示している。この実施例が図１に示した先の実
施例と異なる点は、Ｘ線検出器として湾曲して配置され
た蓄積性蛍光体１０を用いたことである。周知の通り、
蓄積性蛍光体１０はその全面でＸ線を受光し、Ｘ線が当
たった部分にエネルギ潜像を蓄積する。従って、Ｘ線回
折測定において試料２から回折Ｘ線が出射すると、その
Ｘ線が蓄積性蛍光体１０に当たり、その蓄積性蛍光体１
０上にＸ線像が潜像として描かれる。蓄積性蛍光体１０
は、広い面積を有しているから、広い回折角度範囲内の
Ｘ線像が短時間の間に得られる。それ故、位置感応型Ｘ
線検出器を用いたＸ線回折装置（図１）の場合と同様
に、短時間の間に状態変化するような試料２に対して信
頼性の高い測定を行なうことができる。
【００１８】発明者は、この蓄積性蛍光体１０を用いた
Ｘ線回折装置についても、蓄積性蛍光体１０と試料２と
の間の間隔Ｌを種々に変化させて測定を行なった。その
結果、この回折装置においても、位置感応型Ｘ線検出器
を用いたＸ線回折装置（図１）と同様に、Ｌの値を１２
０ｍｍ以上に設定すると信頼性の高いＸ線回折図形が得
られることを知見した。
Ｘ線回折装置についても、蓄積性蛍光体１０と試料２と
の間の間隔Ｌを種々に変化させて測定を行なった。その
結果、この回折装置においても、位置感応型Ｘ線検出器
を用いたＸ線回折装置（図１）と同様に、Ｌの値を１２
０ｍｍ以上に設定すると信頼性の高いＸ線回折図形が得
られることを知見した。
【００１９】以上、好ましい実施例をあげて本発明を説
明したが本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、試料２とＸ線源１との間に配設されるスリ
ット３に代えて、筒状部材であるコリメータを用いるこ
とができる。
明したが本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、試料２とＸ線源１との間に配設されるスリ
ット３に代えて、筒状部材であるコリメータを用いるこ
とができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、Ｘ線検出器として位置
感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体を用いたので、Ｘ線
回折測定においてＸ線検出器を走査移動させることな
く、広い範囲の回折角度範囲にわたって回折Ｘ線情報を
短時間に得ることができる。
感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体を用いたので、Ｘ線
回折測定においてＸ線検出器を走査移動させることな
く、広い範囲の回折角度範囲にわたって回折Ｘ線情報を
短時間に得ることができる。
【００２１】また、位置感応型Ｘ線検出器等と試料との
間の間隔を１２０ｍｍ以上に設定したので、実用上十分
な分解能の測定結果を得ることができるようになった。
また、このように、Ｘ線検出器と試料との間を広くして
おくと、試料加熱装置、試料引張り・圧縮装置等といっ
た比較的大きな環境装置を容易に試料のまわりに設置す
ることができるという利点もある。
間の間隔を１２０ｍｍ以上に設定したので、実用上十分
な分解能の測定結果を得ることができるようになった。
また、このように、Ｘ線検出器と試料との間を広くして
おくと、試料加熱装置、試料引張り・圧縮装置等といっ
た比較的大きな環境装置を容易に試料のまわりに設置す
ることができるという利点もある。
【図１】本発明に係るＸ線回折装置の一実施例を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図２】上記Ｘ線回折装置を用いて行なったＸ線回折測
定の測定結果の一例を示すグラフである。
定の測定結果の一例を示すグラフである。
【図３】Ｘ線回折測定の測定結果の別の一例を示すグラ
フである。
フである。
【図４】本発明に係るＸ線回折装置の他の実施例を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
１ Ｘ線源 ２ 試料 ３ スリット ４ 位置感応型Ｘ線検出器 １０ 蓄積性蛍光体
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に平行Ｘ線ビームを照射し、その試
料で回折したＸ線を位置感応型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍
光体を用いて検出するＸ線回折装置において、位置感応
型Ｘ線検出器又は蓄積性蛍光体と試料との間の間隔が１
２０ｍｍ以上離れていることを特徴とするＸ線回折装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3319768A JPH05126765A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3319768A JPH05126765A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | Ｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126765A true JPH05126765A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=18113967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3319768A Pending JPH05126765A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05126765A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9417195B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-08-16 | Rigaku Corporation | Method and its apparatus for x-ray diffraction |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63149548A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Kawasaki Steel Corp | Ｘ線回折装置 |
| JPS6425046A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Shimadzu Corp | X-ray diffraction apparatus |
| JPS6431042A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | Shimadzu Corp | X-ray deffraction method |
| JPH0235343A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-05 | Rigaku Corp | 微小領域ｘ線回折装置及びその試料セッティング方法 |
| JPH04346060A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Nippon Steel Corp | Ｘ線回折像露光装置 |
-
1991
- 1991-11-07 JP JP3319768A patent/JPH05126765A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63149548A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Kawasaki Steel Corp | Ｘ線回折装置 |
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| JPS6431042A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | Shimadzu Corp | X-ray deffraction method |
| JPH0235343A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-05 | Rigaku Corp | 微小領域ｘ線回折装置及びその試料セッティング方法 |
| JPH04346060A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Nippon Steel Corp | Ｘ線回折像露光装置 |
Cited By (1)
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| US9417195B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-08-16 | Rigaku Corporation | Method and its apparatus for x-ray diffraction |
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