JPH05125581A - 陽極部材洗浄装置 - Google Patents

陽極部材洗浄装置

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JPH05125581A
JPH05125581A JP28867391A JP28867391A JPH05125581A JP H05125581 A JPH05125581 A JP H05125581A JP 28867391 A JP28867391 A JP 28867391A JP 28867391 A JP28867391 A JP 28867391A JP H05125581 A JPH05125581 A JP H05125581A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barrel
anode member
cleaning
nickel
anode members
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Pending
Application number
JP28867391A
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English (en)
Inventor
Atsushi Oda
淳 小田
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ディスク用成形基板の金型となるスタンパ
を製作するときに使用する陽極部材の洗浄を機械式にし
て、陽極部材の清浄度を上げる。 【構成】 本装置は、陽極部材を収納するバレル4と、
バレル4の回転駆動機構と、バレル4の上下移動機構
と、バレル4を浸漬する洗浄槽3とで構成される。バレ
ル4に陽極部材を収納し、バレル4を洗浄槽3の超純水
に浸漬し、バレル4を回転させると、その中に収納され
た陽極部材はお互いに攪拌されて洗浄される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、陽極部材洗浄装置に関
し、特に板厚の均一性に優れた光ディスク用スタンパを
製作するために陽極部材を洗浄する陽極部材洗浄装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】現在、光ディスクの成形用金型に使用さ
れるニッケルスタンパの製作には、電鋳法が利用されて
いる。
【0003】ここで電鋳法とは、図2に示すように、例
えばスルファミン酸ニッケル溶液を主成分とする電鋳液
14の電解により、陰極となる母型15の上にニッケル
を析出させて、ニッケル電鋳層を成形した後、このニッ
ケル電鋳層を母型から剥離すると、母型15とは逆の形
状に転写されたニッケル電鋳板16が得られる方法をい
う。
【0004】この電鋳法では、電鋳液14の中にニッケ
ルイオンを供給する陽極部材として、硫黄を含有したニ
ッケルペレット5が使用されている。
【0005】この電鋳法によって、ニッケルペレット5
の表面にニッケルイオンと硫黄とが反応して、スラッジ
と呼ばれる黒い汚泥状の硫化ニッケルが付着してくる。
ニッケルペレット5にこのスラッジの付着が多くなる
と、スルファミン酸ニッケルを主成分とする電鋳液への
ニッケルの溶解度の低下、導電率の低下が生じて、その
結果出来上りの電鋳板の板厚分布が悪化し、裏面粗さが
増大するという悪影響がでてくる。
【0006】このため、ニッケルペレット5を定期的に
洗浄して、ニッケルペレット5に付着したスラッジを除
去する保守作業が必要となる。
【0007】従来の陽極部材の洗浄方法は、図3に示す
ように、容器20に陽極部材を収納し、純水を容器20
に流しながら、両手で陽極部材を攪拌することによって
洗浄していた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来のニッケルペレット5の洗浄方法では、作業者がニ
ッケルペレット5を直接手で攪拌して洗浄していたの
で、ニッケルペレット5のスラッジを完全に除去するこ
とが困難であり、この方法でのスラッジの除去率は50
〜60%であった。
【0009】すなわち、この洗浄方法ではニッケルペレ
ットを常に高い清浄度に保つことが困難であった。従っ
て、例えば平均板厚250〜300μmのスタンパの板
厚分布の変動を10μm以下および、電鋳面粗さを10
μm以下に保つことは困難であった。
【0010】また、洗浄が手作業のため、極めて多大の
作業工数を要するだけでなく、かつ、多量のニッケルペ
レットを扱うため、洗浄作業が重労働であるという問題
があった。
【0011】そこで、本発明の技術的課題は、上記欠点
に鑑み、陽極材に付着したスラッジを自動洗浄する陽極
材洗浄装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によれば鍍金用陽
極部材を収納するバレルと、該バレルを回転する回転駆
動手段と、前記バレルの上下方向に移動させる移動手段
と、前記バレルを浸漬する洗浄槽とを有することを特徴
とする陽極部材洗浄装置が得られる。
【0013】また、本発明によれば請求項1記載の陽極
部材洗浄装置において、前記洗浄槽は、スルファミン酸
を添加してなる超任水を有することを特徴とする陽極部
材洗浄装置が得られる。
【0014】即ち、本発明の陽極部材洗浄装置は、前記
の手作業による洗浄法の問題を解決すべくなされたもの
であり、少なくとも一種類の金属を主成分とする陽極部
材を収納するバレルと、該バレルを回転させる回転駆動
機構と、前記バレルを上下させる上下移動機構と、前記
バレルを浸漬する洗浄槽を備えている。
【0015】この装置によって、陽極部材の洗浄を機械
式にすることにより、陽極部材をきれいな状態に保つこ
とができる。このため電鋳で出来上がる電鋳板の板厚分
布および裏面粗さが従来より格段に良好な状態で維持す
ることが可能な陽極部材洗浄装置を提唱するものであ
る。
【0016】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
【0017】図1は、本発明の陽極部材洗浄装置の正面
図である。
【0018】回転機構である回転駆動モータ1と回転機
構2のギアとによって、幅600mm、奥行き600m
m、深さ300mmの洗浄槽3の中で、バレル4を回転
させる。
【0019】その結果、バレル4の中に収納されている
陽極部材はお互いに攪拌されて、スラッジが落ちること
により洗浄される。
【0020】また、上下移動機構6によって、キャリア
バー7と2本のバレルハンガー8で固定されているバレ
ル4が上下する。
【0021】続いて、本実施例による陽極部材洗浄装置
によるニッケルペレット5の洗浄の手順についてその一
例を述べる。
【0022】超純水を80リットル貯えた洗浄槽3にス
ルファミン酸を25g添加する。
【0023】このバレル4にニッケルペレット5を収納
し、バレル4をスルファミン酸水溶液が入っている洗浄
槽3内に浸漬させる。
【0024】バレル4を回転させることによって、その
中に収納したニッケルペレット5はスルファミン酸溶液
の中で洗浄される。
【0025】10分間洗浄後、バレル4の回転を停止
し、排水用電磁弁9を開き、洗浄槽3内のスラッジで汚
れたスルファミン酸水溶液を排出する。
【0026】排出後、排水用電磁弁9を閉じ、給水用電
磁弁10を開き、超純水を洗浄槽3に給水し、バレル4
を回転させながら、ニッケルペレット5のすすぎ洗浄を
行う。
【0027】5分間洗浄後、回転を停止し、ニッケルペ
レット5の洗浄は終了する。
【0028】バレル4を洗浄槽より引き上げ、バレル4
からニッケルペレット5を取り出す。
【0029】この陽極部材洗浄装置で洗浄したニッケル
ペレット5を使用して電鋳を行ったところ、板厚分布の
バラツキが3〜4μm以下、裏面粗さが2μm以下の電
鋳板が製造でき、均一性、安定性が向上できた。
【0030】本実施例においては陽極部材としてニッケ
ルペレット5の場合について説明したが、他の金属の場
合についても同様、本発明が適用できる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、陽極部材
に付着したスラッジを自動洗浄にすることにより、毎
回、陽極部材に付着したスラッジの除去率を90%以上
と、従来に比べて格段に向上させることができ、電鋳板
の板厚分布が均一になり、かつ、裏面粗さが少なくな
り、スタンパ板厚の均一性、安定性を向上できる効果が
ある。
【0032】さらに、作業軽減の面でも効果があった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のペレット洗浄装置の正面図である。
【図2】電鋳法を表わす概念図である。
【図3】従来の洗浄方法を示す図である。
【符号の説明】
1 回転駆動モータ 2 回転機構 3 洗浄槽 4 バレル 5 ニッケルペレット 6 上下移動機構 7 キャリアバー 8 バレルハンガー 9 排水用電磁弁 10 給水用電磁弁 11 バスケット 12 シャフト 13 電鋳槽 14 電鋳液 15 母型 16 電鋳板 17 流入パイプ 18 流出パイプ 19 モータ 20 容器 21 給水口 22 手

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 鍍金用陽極部材を収納するバレルと、該
    バレルを回転する回転駆動手段と、前記バレルの上下方
    向に移動させる移動手段と、前記バレルを浸漬する洗浄
    槽とを有することを特徴とする陽極部材洗浄装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の陽極部材洗浄装置におい
    て、前記洗浄槽は、スルファミン酸を添加してなる超純
    水を有することを特徴とする陽極部材洗浄装置。
JP28867391A 1991-11-05 1991-11-05 陽極部材洗浄装置 Pending JPH05125581A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28867391A JPH05125581A (ja) 1991-11-05 1991-11-05 陽極部材洗浄装置

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JP28867391A JPH05125581A (ja) 1991-11-05 1991-11-05 陽極部材洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05125581A true JPH05125581A (ja) 1993-05-21

Family

ID=17733206

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28867391A Pending JPH05125581A (ja) 1991-11-05 1991-11-05 陽極部材洗浄装置

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JP (1) JPH05125581A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100800925B1 (ko) * 2006-12-21 2008-02-04 동부일렉트로닉스 주식회사 구리 도금 공정에서의 애노드 세정장치 및 방법

Cited By (1)

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KR100800925B1 (ko) * 2006-12-21 2008-02-04 동부일렉트로닉스 주식회사 구리 도금 공정에서의 애노드 세정장치 및 방법

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990908