JPH05124206A - Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head

Info

Publication number
JPH05124206A
JPH05124206A JP28665491A JP28665491A JPH05124206A JP H05124206 A JPH05124206 A JP H05124206A JP 28665491 A JP28665491 A JP 28665491A JP 28665491 A JP28665491 A JP 28665491A JP H05124206 A JPH05124206 A JP H05124206A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
ink
recording head
ink jet
jet recording
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28665491A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Isao Imamura
Tadaki Inamoto
功 今村
忠喜 稲本
Original Assignee
Canon Inc
キヤノン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Abstract

PURPOSE: To prevent foreign particles in ink from reaching the delivery ports or thereabouts to reduce failures in delivering the ink without increasing the number of component parts and production processes.
CONSTITUTION: Two electrothermal energy conversion bodies 2 are juxtaposed on one surface of a first substrate 1. A structural member 10 and a second substrate 4 are laminated in order. The structural member 10 is provided with delivery ports 16 for delivering ink, a liquid chamber 11 temporarily storing the ink, a common liquid flow path 14 connecting to the liquid chamber 11, and discrete liquid flow paths 15 connecting the common liquid flow path 14 to the respective delivery ports 16 on the surface thereof opposed to the surface of the first substrate 1. In the common liquid flow path 14, a plurality of pillar parts 12 are integrally formed apart from each other. The cross sectional area of an open part 13 formed by the adjacent pillar parts 12 is smaller than that of the delivery port 16. Foreign particles existing in the ink are screened by the open parts 13 and hardly reach the delivery ports 16 or thereabouts. Thus, failures in delivering ink caused by the clogging of the devivery ports 16 or the like are reduced.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクを吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッドと、その製造方法と、前記インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置に関する。 The present invention relates to an ink jet recording head for recording on a recording medium by ejecting ink, and a manufacturing method thereof, an ink jet recording apparatus having the ink jet recording head.

【0002】 [0002]

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるインクジェット記録ヘッド(以下、「記録ヘッド」という)には、一般に、図10に示すように、インクが吐出されるための吐出口116と、前記吐出口116に供給するためのインクを貯える液室111と、前記吐出口1 Ink jet recording head applied to an ink jet recording system (hereinafter, referred to as "recording head"), the general, as shown in FIG. 10, the discharge port 116 of the ink is ejected, the ejection a liquid chamber 111 to store ink to be supplied to the outlet 116, the discharge port 1
16と前記液室111とを連通する液流路115と、前記液流路115の一部位に設けられたインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子102 16 and the liquid flow path 115 for communicating the liquid chamber 111, the energy generating elements 102 for generating energy for discharging ink provided in a part position of the liquid flow path 115
と、前記液室111に外部からインクを供給するための供給口106とが設けられている。 When a supply port 106 for supplying ink from the outside to the liquid chamber 111 is provided.

【0003】そして、従来の前記記録ヘッドの製造方法としては、以下に示すようなものが知られる。 [0005] As a conventional method of manufacturing the recording head, it is known those as described below.

【0004】まず、エネルギー発生素子102が設けられた第1の基板101にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィルムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうち吐出口116、液流路115および液室111の一部に相当するパターンをマスクしもしくは露出させて露光し、現像して前記吐出口116、液流路115および液室111の一部に相当するパターンの固体層(不図示) [0004] First, the first substrate 101 to the energy generating element 102 is provided to paste the photosensitive dry film of positive type or negative type, the photosensitive dry discharge port 116 of the film, the liquid flow path 115 and the liquid chamber a pattern corresponding to a part of the 111 exposed by mask or exposed, said developing discharge port 116, a solid layer of the pattern corresponding to a part of the liquid flow path 115 and the liquid chamber 111 (not shown)
を第1の基板101上に設ける。 The provided first substrate 101. 次に、前記固体層および第1の基板101の上に活性エネルギー線により硬化する活性エネルギー線硬化性材料107を適宜厚さに塗布する。 Then, applying the active energy ray curable material 107 is cured by active energy rays on the solid layer and the first substrate 101 to the appropriate thickness. 次に、液室111の他の一部を形成するための凹部105および供給口106が設けられた活性エネルギー線透過性の第2の基板104を前記活性エネルギー線硬化性材料107の上に前記凹部105を液室111 Next, the recesses 105 and the supply port 106 is an active energy ray transparent second substrate 104 provided for forming the other part of the liquid chamber 111 on the active energy ray curable material 107 a liquid chamber recess 105 111
が形成される予定位置に合わせて貼り付け積層体を作る。 Make a paste laminate in accordance with the planned position but is formed. さらに、前記活性エネルギー線硬化性材料107のうち液室111が形成される予定部分を隠すように第2 Further, the second to hide scheduled portion among liquid chamber 111 of the active energy ray curable material 107 is formed
の基板104をマスクして活性エネルギー線をその第2 Masking the substrate 104 of the second active energy rays
の基板104を通して活性エネルギー線硬化性材料10 The active energy ray-curable material through the substrate 104 10
7に照射し硬化させる。 7 irradiated cured to. ついで、前記活性エネルギー線硬化性材料107が硬化された積層体を吐出口116を形成する位置で切断して前記固体層の端面を露出させたのち前記固体層と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料とを溶解する溶剤中に浸漬し、前記積層体から前記固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除去して内部に液流路115および液室111を形成する空間を設ける方法(特開昭62−253457号公報参照)。 Then, the active energy ray-curable material 107 is the solid layer and the uncured radiation curable after exposing the end face of the solid layer is cut at a position for forming the discharge port 116 a laminate is cured how immersed in a solvent, providing a space for forming a liquid flow path 115 and the liquid chamber 111 therein to dissolve and remove the solid layer and the uncured active energy ray-curable material from the laminate to dissolve the material (see JP-A-62-253457).

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の記録ヘッドは、インクを吐出口へ安定して供給するために、液流路の断面積は吐出口の断面積より大きなものとなっている。 [SUMMARY OF THE INVENTION A conventional recording head described above, in order to supply ink stably to the discharge port, the cross-sectional area of ​​the liquid flow path has a larger than the cross-sectional area of ​​the discharge port.

【0006】このため、インク中に不純物粒子等のゴミが存在する場合には、記録に際してインクが液流路に供給されたときに、前記ゴミが吐出口近傍に達することがあった。 [0006] Therefore, if there is dust impurities particles or the like in the ink, when the ink during recording is supplied to the liquid flow paths, there is that the dust reaches the discharge opening neighborhood. 前記ゴミが吐出口近傍に達すると、インク吐出の際に、インクの吐出方向がずれたり、インクの吐出量が変化してむらが生じる等、正常な吐出が行われなくなるという問題点があった。 When the dust reaches the discharge opening neighborhood, during ink ejection, or shift the discharge direction of the ink, such as ink discharge amount is uneven change occurs, the normal discharge is disadvantageously not performed . また、場合によっては前記ゴミが吐出口を塞いでしまい、インクが吐出されなくなってしまうという問題点があった。 Further, in some cases the dust will block the discharge port, ink is disadvantageously no longer discharged.

【0007】さらに、記録ヘッドに強い振動等が与えられると、吐出口よりインクが漏れたり、逆に、インクが液室側に逆流して、インクの正常な吐出が行われなくなる場合があるという問題点もあった。 Furthermore, a strong vibration is applied to the recording head, or leaking ink from the discharge port, conversely, the ink flows back into the liquid chamber side, that there is a case where the normal ejection of ink is not performed there was also a problem.

【0008】そして、上述した各問題点を解決するためには、液流路にフィルタ等を設けるとよいが、フィルタ等を設けることによって、記録ヘッドを構成する部品点数が増えたり、記録ヘッドの製造工程が増えるため、記録ヘッドの製造コストが上ったり、さらには部品点数が増えたり製造工程が増えることによって、かえってゴミの発生につながるおそれがあるという問題点があった。 [0008] Then, to solve each problem described above, but may be provided a filter or the like in the liquid flow path, by providing a filter or the like, or increasing the number of parts constituting the recording head, the recording head since the manufacturing process is increased, or up the cost of manufacturing the recording head, more by increasing or manufacturing process increases the number of parts, there is a problem that it may rather lead to generation of dust.

【0009】本発明は、上記従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、部品点数や製造工程を増やさずに、インク中のゴミを吐出口近傍に達しにくくするインクジェット記録ヘッド、その製造方法および前記インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。 [0009] The present invention has been made in view of the problems of the prior art, without increasing the number of parts and manufacturing process, the ink jet recording head is hardly reaches the vicinity of the discharge port of the dust in the ink, and to provide an ink jet recording apparatus having the production method and the ink jet recording head.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法は、吐出口からインクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子に対応して設けられ、前記吐出に連通する液流路を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜形成して素子面とし、該素子面に、前記液流路と、前記液流路の、前記エネルギー発生素子が設けられた部位より反吐出口側の少なくとも一部の断面に形成される、前記吐出口の断面積より小さい断面積を有する開口部とに相当する、除去可能な材料からなる固体層を形成する工程と、前記基板および前記固体層を構造部材で覆う工程と、前記基板から前記固体層を除去する工程とを有 Of the present invention for achieving the above object, according to the Invention The production method of the ink jet recording head, corresponding to the energy generating element for generating energy utilized for discharging ink from the discharge ports It provided, in the manufacturing method of the ink jet recording head having a liquid flow path communicating with the discharge, in advance, the element surface by forming forming said energy generating element on one surface of the substrate, to the element surface, the liquid flow and road, the fluid flow path, said energy generating element is formed on at least a portion of the cross-section of vomiting outlet side of the site provided, corresponding to an opening having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port to a step of forming a solid layer made of removable material, a step of covering said substrate and said solid layer with a structural member, and removing the solid layer from the substrate Yes ることを特徴とする。 And wherein the Rukoto.

【0011】本発明のインクジェット記録ヘッドは、上述した製造方法で製造されることを特徴とする。 [0011] inkjet recording head of the present invention is characterized in that it is manufactured by the manufacturing method described above.

【0012】また、エネルギー発生素子として、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換体が設けられているものや、吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって形成されているフルラインタイプであるものでもよい。 Further, as the energy generating element, those and the electrothermal transducer is provided for generating thermal energy utilized for discharging ink, the discharge port is formed over the entire width of the recording area of ​​the recording medium and it may be one that is full-line type is.

【0013】そして、本発明のインクジェット記録装置は、上述したインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドを載置するための手段とを有することを特徴とし、エネルギー発生素子として、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換体で設けられているものや、吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって複数設けられているフルラインタイプであるものでもよい。 [0013] Then, the ink jet recording apparatus of the present invention, an ink jet recording head described above, characterized by having a means for mounting the ink jet recording head, as the energy generating elements, to eject ink and those provided by the electrothermal transducer for generating thermal energy utilized may be one discharge port is full-line type which is provided a plurality over the entire width of the recording area of ​​the recording medium.

【0014】 [0014]

【作用】上記のように構成された本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法においては、基板の素子面に、吐出口と、エネルギー発生素子の位置に対応する液流路と、前記液流路のエネルギー発生素子が設けられた部位より反吐出口側の少なくとも一部の断面に形成される、吐出口の断面積より小さい断面積を有する開口部とに相当する、除去可能な材料からなる固体層を形成する。 [Action] of the present invention configured as described above, in the manufacturing method of the ink jet recording head, the element surface of the substrate, a discharge port, a liquid flow path corresponding to the position of the energy generating elements, the liquid flow path energy generating element is formed on at least a portion of the cross-section of vomiting outlet side of the site provided a solid layer corresponding to the opening, made of removable material having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port to form. そして、前記基板および前記固体層を構造部材で覆ったのち、前記基板から前記固体層を除去することで、 Then, the substrate and the solid layer then covered with a structural member, by removing the solid layer from the substrate,
前記素子面と前記構造部材とで囲まれた部位には、液流路が形成されるとともに、製造工程や部品点数を増やすことなく、フィルタとして作用する開口部が一体的に形成される。 The portion surrounded by the said structural member and said element surface, along the liquid flow path is formed, without increasing the number of manufacturing steps and parts, opening to act as a filter are integrally formed.

【0015】また、本発明のインクジェット記録ヘッドにおいては、液流路の、エネルギー発生素子が設けられた部位より反吐出口側の少なくとも一部の断面に、吐出口の断面積より小さい断面積を有する開口部が形成されているので、記録に際し、インクジェット記録ヘッド外部から供給されたインクは前記開口部を通って吐出口より吐出される。 Further, in the ink jet recording head of the present invention, the liquid flow path, from the site where energy generating element is provided on at least a portion of the cross-section of vomiting outlet side, has a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port since the opening is formed, upon recording, the ink supplied from the ink jet recording head outside is discharged from the discharge port through the opening. このとき、インク中に吐出口の断面積より大きいゴミが存在すると、前記開口部がフィルタとして作用し、前記ゴミは前記開口部で遮られるため、前記ゴミが吐出口近傍に詰まること等によるインクの吐出不良が抑えられる。 In this case, the larger dust than the cross-sectional area of ​​the discharge port is present in the ink, the opening acts as a filter, since the dust is blocked by the aperture, the ink by such that the dust is clogged in the discharge opening neighborhood discharge failure is suppressed. そして、インクは前記開口部を必ず通るため、液流路内でのインクの流動性が抑えられ、インクジェット記録ヘッドに強い振動等が与えられた際に、吐出口からのインクの漏れや、インクのインク貯蔵部側への逆流の発生が抑えられる。 Since the ink is always through the opening, is suppressed fluidity of the ink in the liquid flow path, when strong vibration or the like to the ink jet recording head is provided, and ink leakage from the discharge port, ink occurrence of backflow into the ink reservoir side is suppressed.

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。 EXAMPLES will be described with reference to the accompanying drawings embodiments of the present invention.

【0016】まず、インクジェット記録ヘッド(以下、 [0016] First of all, the ink-jet recording head (hereinafter,
「記録ヘッド」という)の一実施例について説明する。 It describes an example of a) referred to as "recording head".

【0017】図1に示すように、ガラス、セラミック、 [0017] As shown in FIG. 1, glass, ceramic,
プラスチックあるいは金属等からなる第1の基板1の一面には、エネルギー発生素子としての電気熱変換体2 On one surface of the first substrate 1 made of plastic or metal or the like, electrothermal transducers 2 as energy generating elements
が、エッチング、蒸着、スパッタリング等の半導体製造プロセスにより成膜形成されて所定の間隔をおいて並んでおり、前記一面が素子面1aとなっている。 But etching, deposition, are arranged at predetermined intervals are formed as film by a semiconductor manufacturing process such as sputtering, the one face is in the element surface 1a. 各電気熱変換体2には、それぞれ各電気熱変換体2を動作させるための制御信号入力用電極(不図示)が接続されており、前記各電極からの信号入力によって、各電気熱変換体2がその近傍のインクを加熱することで吐出エネルギーを発生する。 Each electrothermal transducer 2 is connected with a control signal input electrodes for operating the respective electrothermal transducers 2, respectively (not shown), by the signal input from the electrodes, the electro-thermal converter 2 generates the discharge energy by heating the ink in the vicinity thereof.

【0018】素子面1aには、活性エネルギー線の照射により硬化した1つの部材からなる構造部材10が積層されている。 [0018] element surface 1a, a structure member 10 consisting of a single member that is cured by irradiation of an active energy ray is laminated. 構造部材10の、素子面1aに対向する面には、各電気熱変換体2の位置に対応する複数個の個別溝部が形成され、前記各個別溝部と素子面1aとにより囲まれる空間がそれぞれ個別液流路15を構成する。 Of the structural member 10, the surface facing the element surface 1a, the plurality of individual grooves corresponding to the position of the electrothermal transducer 2 is formed, a space surrounded the by the individual grooves and the element surface 1a, respectively configuring the individual liquid flow path 15. 前記各個別溝部の一端は、構造部材10の一端面に開放し、それぞれ吐出口16を構成している。 Wherein one end of each individual groove is open to one end face of the structural member 10 constitutes a respective discharge ports 16. 前記各個別溝部の他端の、素子面1aに対向する面には、前記各個別溝部に連通する共通溝部が形成され、前記共通溝部と素子面1aとにより囲まれる空間が共通液流路14を構成する。 The other end of each individual groove, the surface facing the element surface 1a, the common groove communicating with each individual groove portions are formed, the common groove and the element surface 1a and the common liquid flow path 14 is a space surrounded by the constitute a. これら共通液流路14および各個別液流路15で液流路を構成している。 Constitute the liquid flow paths in these common liquid flow path 14 and the individual liquid flow path 15. また、共通液流路14の中間部には、各吐出口16の並び方向と平行に複数の柱部12 Further, the intermediate portion of the common liquid flow paths 14, a plurality of pillar portions 12 in parallel with the arrangement direction of the respective discharge ports 16
が所定の間隔をおいて形成されており、隣りあう柱部1 There are formed at predetermined intervals, the pillar adjacent section 1
2の間は、吐出口16の断面積より小さい断面積を有する開口部13となっている。 During 2 has a opening 13 having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port 16.

【0019】構造部材10の、共通液流路14の一端には、素子面1aを底壁とする開口が形成されており、前記開口は、構造部材10に積層された第2の基板4に形成された凹部5とあわせて液室11を構成する。 The structural member 10, to one end of the common liquid flow path 14 is formed with an opening to a bottom wall of the element surface 1a, the opening, the second substrate 4 laminated to the structural member 10 together with the recess 5 formed constituting the liquid chamber 11. 液室1 The liquid chamber 1
1は、吐出口16にインクを安定して供給する目的で設けられているが、本発明において、液室11は必ずしも必要なものではない。 1, the ink is provided in a stable supplying purposes to the discharge port 16, in the present invention, the liquid chamber 11 is not necessarily required.

【0020】一方、第2の基板4には、液室11と記録ヘッドの外部とを連通する開口が形成されて供給口6となっている。 Meanwhile, the second substrate 4, and has a supply opening 6 is formed an opening which communicates with the outside of the liquid chamber 11 and the recording head. 供給口6には、インクタンク(不図示)等に接続された供給管(不図示)が接続されており、インクが前記供給管を介してインクタンクから液室11に供給される構成となっている。 The supply port 6, the ink tank supply pipe connected to a (not shown) or the like (not shown) are connected, a configuration in which ink is supplied to the liquid chamber 11 from the ink tank through the supply tube ing.

【0021】ここで、前記各吐出口16からインクが吐出されるときの動作について説明すると、液室11に供給されて一時的に貯えられたインクは毛管現象により開口部13を通って個別液流路15に侵入し、吐出口16 [0021] Here, to describe the operation when the ink is ejected from each ejection port 16, the individual liquid through the opening 13 temporarily ink that is stored is supplied to the liquid chamber 11 by capillary action penetrate the flow path 15, discharge ports 16
でメニスカスを形成して個別液流路15を満たした状態を保つ。 In keeping the state filled with the individual liquid flow path 15 forms a meniscus. このとき、電極(不図示)を介して電気熱変換体2が通電されて発熱すると、電気熱変換体2上のインクが急激に加熱されて個別液流路15内に気泡が発生し、この気泡の膨張により吐出口16からインクが吐出される。 At this time, the electrode (not shown) electrothermal transducers 2 through generates heat is energized, the ink on the electrothermal transducer 2 is rapidly heated bubbles are generated in the individual liquid flow path 15, the ink is discharged from the discharge port 16 by the expansion of the bubble.

【0022】このとき、インク中に吐出口16の断面積より大きいゴミが存在すると、開口部13がフィルタとして作用し、前記ゴミは開口部13に遮られるため、前記ゴミが吐出口近傍に詰まって吐出不良となることがなくなる。 [0022] At this time, the larger dust than the cross-sectional area of ​​the discharge port 16 is present in the ink, the opening 13 acts as a filter, the dust because they are blocked by the opening 13, the dust is clogged in the discharge opening neighborhood the ejection failure Te it is eliminated.

【0023】本実施例では、液流路を共通液流路14と個別液流路15とで構成し、吐出口16の断面積より小さい断面積を有する開口部13を共通液流路14内に設けたが、共通液流路14は必ずしも設ける必要はなく、 [0023] In the present embodiment, constitutes the liquid flow paths in the common liquid flow path 14 and the individual liquid flow path 15, an opening 13 having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port 16 in the common liquid flow path 14 is provided to the common liquid flow path 14 is not necessarily provided,
開口部13も前記液流路の少なくとも一部に設けられていればよい。 Opening 13 may also be provided in at least a portion of the liquid flow path.

【0024】また、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子として、前記電極に電気熱変換体2を設けた例を示したが、これに限らず、インクに瞬間的に吐出圧力を加える機械的エネルギーを発生する圧電素子などを用いてもよい。 Further, as an energy generating element for generating energy utilized for discharging ink, an example in which a electrothermal transducer 2 to the electrode is not limited to this, momentarily the ink the mechanical energy applied to the discharge pressure may be used such as a piezoelectric element for generating.

【0025】さらに、前記吐出口16は、16個/mmといった高密度で128個もしくは256個形成することができ、さらに被記録媒体の記録領域の全幅にわたるだけの数を形成してフルラインタイプとすることもできる。 Furthermore, the discharge port 16, 16 / mm high density can be 128 or 256 formed such, full-line type by forming a number of further by over the entire width of the recording area of ​​the recording medium It can also be a.

【0026】次に、記録ヘッドの製造方法の一実施例について説明する。 Next, a description will be given of an embodiment of a manufacturing method of the recording head.

【0027】まず、図2に示すように、ガラス、セラミック、プラスチックあるいは金属等からなる第1の基板1の素子面1aには、それぞれ電極(不図示)が接続された2つの電気熱変換体2が、エッチング、蒸着、スパッタリング等の半導体製造プロセスにより成膜形成されて、所定の間隔をおいて設けられている。 [0027] First, as shown in FIG. 2, glass, ceramic, the first element surface 1a of the substrate 1 made of plastic or metal or the like, each electrode (not shown) is connected to two electrothermal transducer 2, etching, deposition, is deposited formed by a semiconductor manufacturing process such as sputtering, it is provided at a predetermined interval. 本実施例では、エネルギー発生素子が2個設けられたものについて説明を進めるが、エネルギー発生素子ならびにそれに対応する液流路および吐出口の数を前記2個に限るものではなく、その他の数に適宜変更して設けることができることはいうまでもない。 In this embodiment, the energy generating element is an explanation will be given on those provided two, rather than the number of the liquid flow path and the discharge port corresponding to the energy generating element and it limited to two said, the other numbers it can of course be provided appropriately changed.

【0028】また、図示されていないが、耐久性の向上などを目的として、前記各電極、各電気熱変換体2を含めて素子面1aに、保護膜などの各種の機能層を設けることが一般的である。 Further, although not shown, the purpose of improving the durability, the each electrode element surface 1a including the electrothermal transducer 2, be provided with various functional layers such as protective layer it is common. 本実施例は、これら機能層の有無、材質に関わりなくその効果を発揮するものである。 This embodiment includes the presence of these functional layers, is intended to exert its effect regardless of the material.

【0029】第1の基板1は、液流路および液室構成材料の一部として機能し、また後述する固体層および構造部材の支持体として機能させるものである。 The first substrate 1 functions as a part of the liquid flow path and a liquid chamber component materials, also those to function as a support for the solid layer and the structural member to be described later. 本実施例のように液室を設ける場合、後述する活性エネルギー線照射の工程を第1の基板1側から行う場合には、第1の基板1は活性エネルギー線透過性であることが必要であるが、その他の場合には、その形状、材質等、特に限定されることなく使用することができる。 When providing the liquid chamber as in the present embodiment, when performing active energy ray irradiation process described below from the first substrate 1 side, it requires that the first substrate 1 is an active energy ray permeable some, but otherwise, it is possible to use the shape, material and the like, without being particularly limited.

【0030】次に、図3の(A)に示すように、素子面1a上の、各電気熱変換体2を含む個別液流路形成部位、液室形成部位、および各個別液流路形成部位と液室形成部位とを連絡し、吐出口の断面積より小さい断面積を有する開口部(以下、「フィルタ」という)を有する共通液流路形成部位に、固体層3を積層する。 Next, as shown in FIG. 3 (A), on the element surface 1a, the individual liquid passage forming portion comprising the electrothermal transducer 2, the liquid chamber forming portion, and each of the individual liquid flow path forming contact the site and the liquid chamber forming portion, the opening having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port (hereinafter, referred to as "filters") in the common liquid flow path forming portion having the laminated solid layer 3. また、説明が前後するが、図3の(B)に、第2の基板4の一例を示す。 Although description is longitudinal, in (B) of FIG. 3 shows an example of the second substrate 4. 本実施例では、第2の基板4は、液室形成予定部位に凹部5および2つの供給口6を有したものとして構成されている。 In this embodiment, the second substrate 4 is configured as having a recess 5 and the two supply ports 6 to the liquid chamber forming the proposed site. 以後、図4〜図7のそれぞれ(A) Thereafter, each of FIGS. 4 to 7 (A)
は、図3のA−A′線で切断した模式的断面図を示し、 Shows a schematic cross-sectional view taken along the line A-A 'in FIG. 3,
図4〜図7のそれぞれ(B)は、図3のB−B′線で切断した模式的断面図を示し、図4〜図7のそれぞれ(C)は、図3のC−C′線で切断した模式的断面図を示すものとする。 Each FIGS 7 (B) is, 'shows a schematic cross-sectional view taken along a line, each of FIGS. 4 to 7 (C), the C-C in FIG. 3' B-B in FIG. 3 lines in intended to indicate a schematic sectional view taken along.

【0031】固体層3は、後述する各工程を経た後に除去され、該除去部分に液流路、液室およびフィルタが構成される。 The solid layer 3 is removed after passing through the steps described below, liquid flow path, the liquid chamber and the filter configured to the removed portion. もちろん、液流路、液室およびフィルタの形状は所望のものとすることが可能であり、固体層3も該液流路、液室およびフィルタの形状に応じたものとすることができる。 Of course, the liquid flow path, the shape of the liquid chamber and the filter is capable to desired ones, the solid layer 3 is also the liquid flow path, it can be made in accordance with the shape of the liquid chamber and the filter. 因に、本実施例では、2つの電気熱変換体2に対応して設けられる2つの吐出口のそれぞれからインク小滴を吐出させることが可能なように、液流路は2つに分岐され、液室は該流路の各々にインクを供給し得るようにこれらと連通したものとされている。 In this connection, in this embodiment, as the each of the two discharge ports provided corresponding to the two electrothermal transducer 2 capable of discharging an ink droplet, the liquid flow path is branched into two , the liquid chamber is assumed that communication with these so as to supply ink to each of the flow channel.

【0032】このような固体層3を構成するに際して用いられる材料および手段としては、例えば下記に列挙するようなものが具体的なものとして挙げられる。 Examples of the materials and means used when forming such a solid layer 3, for example, those as listed below can be cited as concrete.

【0033】感光性ドライフィルムを用い、所謂ドライフィルムの画像形成プロセスに従って固体層3を形成する。 [0033] using a photosensitive dry film, to form a solid layer 3 in accordance with the image forming process of the so-called dry film.

【0034】第1の基板1上に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマー層およびフォトレジスト層を順に積層し、該フォトレジスト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択的に除去する。 The desired thickness solvent-soluble polymer layer on the first substrate 1 and laminating a photoresist layer in this order, after the patterning of the photoresist layer, selectively removing the solvent-soluble polymer layer.

【0035】樹脂を印刷する。 [0035] to print the resin.

【0036】に挙げた感光性ドライフィルムとしては、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができるが、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネルギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライフィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解あるいは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適している。 [0036] As the photosensitive dry film mentioned can be used in an others also negative ones positive, for example, if the positive type dry film, by the active energy ray irradiation, solubilized in a developer the positive dry film and, if a negative type dry film, is a photopolymerization type negative type dry film which can dissolve or peeled off with methylene chloride or strong alkali is suitable.

【0037】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的には、例えば「OZATEC R225 」〔商品名、ヘキストジャパン(株)〕等、またネガ型ドライフィルムとしては、 [0037] Examples of the positive-type dry film, specifically, for example, "OZATEC R225" [trade name, Hoechst Japan Co., Ltd.] and the like, also as a negative type dry film,
「OZATEC Tシリーズ」〔商品名、ヘキストジャパン(株)〕、「PHOTEC PHTシリーズ」〔商品名、日立化成工業(株)〕、「RISTON」〔商品名、デュ・ポン・ド・ "OZATEC T Series" [trade name, Hoechst Japan (Ltd.), "PHOTEC PHT series" [trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.], "RISTON" [trade name, Du Pont de
ネモアース・ Co 〕等が用いられる。 Nemours · Co] or the like is used.

【0038】もちろん、これらの市販材料のみならず、 [0038] Of course, not only those of commercially available materials,
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフトキノンジアド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする樹脂組成物、及びネガティブに作用する樹脂組成物、 Resin composition which acts positively, for example, a resin composition mainly comprising a naphthoquinonediazide add derivative and a novolac type phenol resin, and a resin composition which acts negatively,
例えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマーと熱可塑性高分子化合物および増感剤を主体とする組成物、あるいはポリチオールとポリエン化合物および増感剤とからなる組成物等が同様に用いることができる。 For example, the composition as a main component acrylic oligomer and a thermoplastic polymer compound and a sensitizer for the acrylic ester with the reactive group, or a composition comprising a polythiol and a polyene compound and sensitizers, etc. can be used as well.

【0039】に挙げた溶剤可溶性ポリマーとしては、 [0039] As the solvent-soluble polymers mentioned, the
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって被膜形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得る。 There is a solvent for dissolving it may be used any one as long as the polymer compound capable of film formation by coating. ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノンジアジドから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシンナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、環化ゴムとビスアジドから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感光性ドライフィルム、熱硬化型および紫外線硬化型のインキ等が挙げられる。 Examples of the photoresist layer may be used, typically the positive type liquid photoresist composed of novolak type phenolic resin and naphthoquinone diazide, the negative type liquid photoresist composed of polyvinyl cinnamate, negative type liquid consisting of cyclized rubber and a bisazide photoresist, negative photosensitive dry film, thermosetting type and ultraviolet curing inks and the like.

【0040】に挙げた印刷法によって固体層3を形成する材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている平板インキ、スクリーンインキならびに転写型の樹脂等が用いられる。 As a material for forming the solid layer 3 by a printing method listed in [0040], for example, evaporative drying type, flat ink that is used in each of the drying system of the thermosetting type or ultraviolet curing type or the like, screen ink and transfer type of the resin is used.

【0041】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除去の容易性あるいは作業性等の面から見て、の感光性ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。 [0041] Among the above-mentioned group of materials, as viewed from the surface, such as ease or workability of the machining accuracy and removed, preferably it means using photosensitive dry film, to use a positive type dry film among them It is particularly preferred. すなわち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光性材料よりも優れている、レリーフパターンが垂直かつ平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ型の断面形状が容易につくれるという特長を持ち、液流路を形づくる上で最適である。 That is, positive type photosensitive material, for example the resolution is better than the light-sensitive material of the negative relief pattern has a vertical and smooth side wall surface or cross-sectional shape of the tapered or reverse tapered easily build It has a feature that is optimal in shaping the liquid flow path. また、レリーフパターンを現像液や有機溶剤で溶解除去できる等の特長も有しており、本発明における固体層形成材料として好ましいものである。 Further, also it has features such as a relief pattern can be dissolved and removed with a developer or an organic solvent, is preferred as a solid layer formation material in the present invention. 特に、例えば先に挙げたナフトキノンジアジドとノボラック型フェノール樹脂を用いたポジ型感光性材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完全溶解できるので、エネルギー発生素子の損傷を何ら与えることがなく、かつ後工程での除去もきわめて速やかである。 In particular, for example, in the positive photosensitive material using the naphthoquinone diazide and novolak phenolic resins listed above, it is possible to completely dissolve in a weak alkaline aqueous solution or an alcohol, without damaging the energy generating elements in any way, and post-process removal in is also very rapidly. このようなポジ型感光性材料の中でも、ドライフィルム状のものは、10〜100μmの厚膜のものが得られる点で、最も好ましい材料である。 Among such positive type photosensitive material, a dry film-shaped ones, in that having a thickness in the 10~100μm is obtained, the most preferred material.

【0042】固体層3が形成された第1の基板1には、 The first substrate 1 solid layer 3 is formed,
図4の(A)、(B)および(C)に示されるように、 In FIG. 4 (A), as shown in (B) and (C),
固体層3を覆うように、活性エネルギー線により硬化して構造部材となる、活性エネルギー線硬化性材料7が積層される。 So as to cover the solid layer 3, the structural members cured by active energy ray, the active energy ray curable material 7 is laminated.

【0043】構造部材としては、固体層3を覆設し得るものであれば好適に使用することができるが、該部材は、液流路、液室およびフィルタを形成して記録ヘッドとしての構造材料と成るものであるので、基板との接着性、機械的強度、寸法安定性、耐蝕性の面で優れたものを選択し用いることが好ましい。 [0043] As the structural member, it can be suitably used as long as it can Kutsugae設 the solid layer 3, the member, the structure of the recording head to form a liquid flow path, liquid chamber and the filter since those made with material, adhesion to the substrate, mechanical strength, dimensional stability, it is preferable to use select excellent in terms of corrosion resistance. そのような材料を具体的に示せば、液状で、紫外線硬化および電子ビーム硬化などの活性エネルギー線硬化性材料が適しており、中でもエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコールジアルキルカーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂等が用いられる。 If Shimese such materials Specifically, in liquid form, the active energy ray-curable material such as ultraviolet curing and electron beam curing are suitable, inter alia epoxy resin, acrylic resin, diglycol dialkyl carbonate resin, unsaturated polyester resin , polyurethane resins, polyimide resins, melamine resins, phenol resins, urea resins or the like is used. 特に、光によってカチオン重合を開始することのできるエポキシ樹脂、光によってラジカル重合できるアクリルエステル基を持ったアクリルオリゴマー類、ポリチオールとポリエンを用いた光付加重合型樹脂、不飽和シクロアセタール樹脂等は、重合速度が大きく、重合体の物性も優れており、構造部材として適している。 In particular, epoxy capable of initiating cationic polymerization by light resins, acrylic oligomers having acrylic ester groups capable of radical polymerization by light, the light addition polymerization type resin using polythiol and polyene, unsaturated cyclo acetal resin or the like, polymerization rate is large, the physical properties of the polymer are also excellent, are suitable as a structural member.

【0044】活性エネルギー線硬化性材料7の積層方法としては、例えば基板形状に即したノズルを用いた吐出器具、アプリケータ、カーテンコータ、ロールコータ、 [0044] As the lamination method of the active energy ray curable material 7, for example, the dispensing appliance using a nozzle in line with the substrate shape, applicator, curtain coater, roll coater,
スプレコータ、スピンコータ等の手段で積層する方法が具体的なものとして挙げられる。 Supurekota, a method of laminating by means such as spin coater can be mentioned as concrete. 尚、液状の硬化性材料を積層する場合には、該材料の脱気を行った後、気泡の混入を避けながら行うのが好ましい。 In the case of laminating a curable material in liquid form, after degassing of the material, preferably carried out while avoiding incorporation of air bubbles.

【0045】次に、図5の(A)、(B)および(C) Next, in FIG. 5 (A), (B) and (C)
に示すように、第1の基板1の活性エネルギー線硬化性材料7上に第2の基板4を積層する。 As shown in, laminating the second substrate 4 on the first active energy ray curable material 7 of the substrate 1. 尚、第2の基板4 The second substrate 4
は、本発明に必ずしも必要なものではない。 It is not necessarily required in the present invention. この際、第2の基板4には、所望の液室容積を得るための凹部5を必要に応じて液室形成部位に設けてもよい。 At this time, the second substrate 4, may be provided in the liquid chamber forming site as required recess 5 for obtaining a desired liquid chamber volume. もちろん第2の基板4も第1の基板1と同様に、ガラス、プラスチック、感光性樹脂、金属、セラミックス等の所望の材質のものを用いることができるが、後述する活性エネルギー線照射の工程を第2の基板4側から行なう場合は、活性エネルギー線透過性であることが必要である。 Of course similarly the second substrate 4 is also a first substrate 1, glass, plastic, photosensitive resin, metal, and can be used as the desired material such as a ceramic, an active energy ray irradiation process described below If performed from the second substrate 4 side, it is necessary that the active energy ray transmissive. また、 Also,
第2の基板4には、インク供給用の供給口6が予め設けられていてもよい。 The second substrate 4, the supply port 6 of the ink supply may be provided in advance.

【0046】上記においては特に示さなかったが、活性エネルギー線硬化性材料7の積層は、第2の基板4を固体層3に積層した後に行なってもよい。 [0046] Although not specifically shown in the above, the lamination of the active energy ray-curable material 7, the second substrate 4 may be performed after laminating the solid layers 3. この場合の積層方法としては、第2の基板4を第1の基板1と圧着した後、内部を減圧にし、その後、活性エネルギー線硬化性材料7を注入する等の方法が好ましく用いられる。 As the method for laminating a case, after the second substrate 4 to crimp the first substrate 1 and the internal pressure was reduced, then a method such as injection of the active energy ray curable material 7 is preferably used. また、第2の基板4を積層するに際しては、活性エネルギー線硬化性材料7を所要の厚さにするべく、例えば各基板1、4間にスペーサーを設けたり、第2の基板4の端部に凸部を設ける等の工夫をしてもよい。 Further, when stacking the second substrate 4, to the active energy ray curable material 7 to a desired thickness, for example, or providing a spacer between the substrates 1 and 4, the end portion of the second substrate 4 it may be devised, such as providing projections on.

【0047】こうして第1の基板1、固体層3、活性エネルギー線硬化性材料7および第2の基板4が順次積層された積層体を得た後、図6の(A)、(B)および(C)に示すように、液室形成予定部位に対して、それを活性エネルギー線9から遮蔽するように、活性エネルギー線透過性の基板側(本実施例では第2の基板4)にマスク8を積層し、マスク8の上方から活性エネルギー線9を照射する(図中に示したマスク8の黒塗りの部分が活性エネルギー線を透過しない部分であり、黒塗り部以外が活性エネルギー線を透過する部分である)。 [0047] Thus the first substrate 1, the solid layer 3, after the active energy ray curable material 7 and the second substrate 4 was obtained sequentially stacked laminate of Fig. 6 (A), (B) and (C), the relative liquid chamber forming the proposed site, it to shield the active energy ray 9, mask the active energy ray transparent substrate side (the second substrate 4 in this embodiment) 8 was laminated a upward from an active energy ray is applied 9 (parts black portion of the mask 8 shown in the figure does not transmit the active energy ray mask 8, except black portion of the active energy ray it is a part that transmits). この活性エネルギー線9の照射により、該照射部分の活性エネルギー線硬化性材料7(図5参照)が硬化して構造部材10が形成されるとともに、該硬化によって第1の基板1と第2の基板4の接合も行なわれる。 By irradiation of the active energy ray 9, together with the structural member 10 by the irradiation portion of the active energy ray curable material 7 (see FIG. 5) is cured is formed, the first substrate 1 and the second by curing bonding of the substrate 4 is also performed. 活性エネルギー線9が照射されない活性エネルギー線硬化性材料は未硬化のままである。 Active energy ray-curable material active energy ray 9 is not irradiated remains uncured.

【0048】活性エネルギー線9としては、紫外線、電子線、可視光線等が利用できるが、基板を透過させての露光であるので紫外線、可視光線が好ましく、また重合速度の面から紫外線が最も適している。 [0048] As the active energy ray 9, ultraviolet rays, electron rays, visible rays or the like can be used, UV, visible light preferably because it is exposed to by transmitting substrate, also suitable ultraviolet most in terms of rate of polymerization ing. 紫外線の線源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、 As a source of ultraviolet light, a high-pressure mercury lamp, ultra-high pressure mercury lamp, a halogen lamp,
キセノンランプ、メタルハライドランプ、カーボンアーク等のエネルギー密度の高い光源が好ましく用いられる。 Xenon lamp, a metal halide lamp, a high light energy density, such as carbon arc are preferably used. 光源からの光線は、平行性が高く、熱の発生が少ないもの程精度の良い加工が行なえるが、印刷製版ないしプリント配線板加工あるいは光硬化型塗料の硬化に一般に用いられている紫外線光源であれば概ね利用可能である。 Light from the light source has a high parallelism, heat generation is small ones as highly accurate machining can be performed, an ultraviolet light source that is commonly used in the curing of the printing plate making to printed wiring board processing or light curable coating material it is generally available, if any.

【0049】活性エネルギー線9に対するマスク8としては、特に紫外線もしくは可視光線を用いる場合、メタルマスク、銀塩のエマルジョンマスク、ジアゾマスク等が挙げられ、その他、単に液室形成部位に黒色のインクの印刷もしくはシールを貼りつける等の方法でもかまわない。 [0049] As the mask 8 with respect to active energy rays 9, particularly when using ultraviolet or visible light, a metal mask, a silver salt emulsion mask, Jiazomasuku and the like, other, simply printing the black ink in the liquid chamber forming site or it may be a method such as pasting a seal.

【0050】次いで、例えば吐出口面が露出していない場合等、必要に応じてダイヤモンドブレードを用いたダイシングソー等によって、活性エネルギー線9の照射による硬化を終了した積層体を所要の位置で切断し、吐出口面を露出させる。 [0050] Then, for example, or when the discharge port surface is not exposed, a dicing saw or the like using a diamond blade as needed, cut the laminate was terminated curing by irradiation of an active energy ray 9 in the required position and, exposing the discharge port surface. しかし、このような切断の操作は、 However, operation of such cutting,
本発明の実施のために必ずしも必要ではなく、例えば液状の硬化性材料を用い、該材料を積層する際に型を使用し、吐出口が閉じて覆われてしまうことがなく、且つ吐出口面が平滑に成型されるようにした場合等には、切断は不要である。 Not necessary for the practice of this invention, for example using a curable liquid material, using the mold for laminating the material, without the discharge port will be covered closed, and the discharge port surface the like if is to be molded smooth cutting is not required.

【0051】次いで、活性エネルギー線照射を終了した上記積層体から、固体層3および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料7を図7の(A)、(B)および(C) [0051] Then, from the laminate exit active energy ray irradiation, the solid layer 3 and the uncured radiation curable material 7 Figure 7 of (A), (B) and (C)
に示すように除去して、液室11、開口部(フィルタ) Was removed as shown in, the liquid chamber 11, openings (filter)
13を有する共通液流路14(図1参照)および個別液流路15を形成する。 Common liquid flow path 14 having 13 (see FIG. 1) and forming the individual liquid flow path 15.

【0052】固体層3および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料7(図6参照)の除去手段としては特に限定されるものではないが、具体的には例えば固体層3と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料7とを溶解または膨潤あるいは剥離する液体に浸漬して除去する等の方法が好ましいものとして挙げられる。 [0052] There is no particular limitation on the means for removing the solid layer 3 and the uncured active energy ray-curable material 7 (see FIG. 6), the active energy uncured specifically the solid layer 3, for example method for removing by dipping the line curable material 7 dissolved or swelled or peeled to liquid are mentioned as preferred. この際、必要に応じて超音波処理、スプレー、加熱、攪拌、振とう、加圧循環、その他の除去促進手段を用いることも可能である。 In this case, ultrasonic treatment, if necessary, spraying, heating, stirring, shaking, pressure circulation, it is also possible to use other removal promoting means.

【0053】上記除去手段に対して用いられる液体としては、例えば含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、 [0053] As the liquid used for the above removal means, for example, halogen-containing hydrocarbons, ketones, esters,
芳香族炭化水素、エーテル、アルコール、N−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、フェノール、水、酸あるいはアルカリを含む水、等が挙げられる。 Aromatic hydrocarbons, ethers, alcohols, N- methylpyrrolidone, dimethylformamide, phenol, water, water containing acid or alkali, and the like. これら液体には、必要に応じて界面活性剤を加えても良い。 These liquids may be added a surfactant if necessary. また、固体層3としてポジ型ドライフィルムを用いる場合には、除去を容易にするために固体層3に改めて紫外線照射を施すのが好ましく、その他の材料を用いた場合は、40〜60℃に液体を加温するのが好ましい。 In case of using the positive type dry film as the solid layer 3 is preferably subjected to a renewed ultraviolet radiation to the solid layer 3 in order to facilitate removal, in the case of using other materials, to 40 to 60 ° C. preferably, to heat the liquid.

【0054】図7の(A)、(B)および(C)には、 [0054] Figure 7 (A), (B) and (C),
上記のような固体層3および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料7の除去を行なった後の状態が示されているが、本実施例の場合、固体層3および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料7は、これを溶解する液体中に浸漬され、記録ヘッドの吐出口16(図1参照)と液供給口6を通して溶解除去されている。 Although the state after performing the removal of the solid layer 3 and the uncured active energy ray curable material 7 as described above are shown, in this embodiment, the active energy ray curable solid layer 3 and the uncured sex material 7 is immersed in a liquid that dissolves it, it is dissolved and removed with the discharge ports 16 of the recording head (see FIG. 1) through the liquid supply port 6.

【0055】以上の各工程を終了したあと、電気熱変換体2と吐出口との間隔を最適化するために、必要に応じて吐出口面の切断、研摩、平滑化を行なってもよい。 [0055] After completing the above steps, in order to optimize the distance between the electrothermal transducer 2 and the discharge port, disconnection of the discharge port surface as necessary, polishing may be performed smoothing.

【0056】つぎに、インクジェット記録装置の第1実施例について説明する。 Next, a description will be given of a first embodiment of an ink jet recording apparatus.

【0057】図8において、所定の記録信号に基づいてインクを吐出し、所望の画像を記録する記録ヘッド21 [0057] In FIG. 8, ejecting ink based on a predetermined recording signal, the recording head records a desired image 21
は、前述した記録ヘッドの実施例に示したものと同様の構成のものであり、また、前述した記録ヘッドの製造方法の実施例の方法により製造されたものである。 Is of the same configuration as that shown in the embodiment of the recording head described above, also those which are prepared by the method of Example of the manufacturing method of the recording head described above.

【0058】前記記録ヘッド21を搭載した、記録ヘッドを載置するための手段としてのキャリッジ22は、2 [0058] mounted with the recording head 21, a carriage 22 as a means for mounting the recording head 2
本のガイド軸23、24に矢印B方向に摺動自在に嵌合され、キャリッジモータ25の出力軸に固着されたプーリ27と回転自在に軸支されたプーリ26とにかけまわされたタイミングベルト28の一部位に結合されている。 Of guide shafts 23 and 24 slidably fitted in the direction of arrow B, the carriage pulley 27 secured to the output shaft of the motor 25 and rotatably supported by the pulley 26 DOO sieved wrapped timing belt 28 It is coupled to some position of. 記録ヘッド21は、キャリッジモータ25の駆動力によりプーリ27が正転、逆転することによりタイミングベルト28が正転、逆転し、矢印B方向に往復移動する構成となっている。 Recording head 21, the pulley 27 forward, the timing belt 28 forward, reversed by reversing it is configured to reciprocate in the direction of arrow B by the driving force of the carriage motor 25.

【0059】被記録媒体である記録紙29は、ペーパーパン30によってガイドされ、ピンチローラで圧接させられている図示しない紙送りローラによって搬送される。 The recording paper 29 as a recording medium is guided by the paper pan 30, it is conveyed by the paper feed roller (not shown) that is brought into pressure contact with the pinch roller. この搬送は、紙送りモータ36を駆動源として行なわれる。 This transport is carried out paper feed motor 36 as a driving source. 搬送された記録紙29は、排紙ローラ33と拍車34とによりテンションを加えられていて、弾性部材で形成される紙押え板32によってヒータ31に圧接させられているため、ヒータ31に密着させられながら搬送される。 Recording paper 29 which is conveyed is not applied tension by the sheet discharging roller 33 and the spur 34, because it is then pressed against the heater 31 by a paper presser plate 32 formed of an elastic member is brought into close contact with the heater 31 It is is conveyed while. 記録ヘッド21により噴射されたインクが付着した記録紙29は、ヒータ31によって温められ、付着したインクはその水分が蒸発して記録紙29に定着する。 Recording paper 29 with ink ejected by the recording head 21 is attached is warmed by the heater 31, deposited ink is its moisture is fixed on the recording paper 29 and evaporated.

【0060】回復ユニット35は、記録ヘッド21の吐出口(図示せず)に付着した異物や粘度の高くなったインクを除去することにより、吐出特性を正規の状態に維持するためのものである。 [0060] recovery unit 35, by removing the raised ink foreign matter and the viscosity adhering to the discharge port of the recording head 21 (not shown), is intended to maintain the discharge characteristics in normal state .

【0061】前記回復ユニット35にはキャップ38a [0061] cap 38a is in the recovery unit 35
が設けられており、記録ヘッド21の吐出口をキャッピングして、目詰まりの発生を防止するためのものである。 Is provided to cap the discharge ports of the recording head 21, it is intended to prevent the occurrence of clogging. 前記キャップ38aの内部にはインク吸収体38が配設されている。 Ink absorber 38 is disposed on the inside of the cap 38a.

【0062】また、前記回復ユニット35の記録領域側には、記録ヘッド21の吐出口が形成された面と当接し、前記吐出口が形成された面に付着した異物やインク滴をクリーニングするためのクリーニングブレード37 [0062] Also, the recording area side of the recovery unit 35 is in contact with the surface of the discharge port is formed in the recording head 21 equivalents, to clean the foreign matter and ink droplets adhering to the discharge port is formed a surface of the cleaning blade 37
が設けられている。 It is provided.

【0063】つぎに、インクジェット記録装置の第2実施例について説明する。 Next, description will be given of a second embodiment of an ink jet recording apparatus.

【0064】図9は、インクジェット記録装置の第2実施例の要部のみを示す概略斜視図であり、所定の記録信号に基づいてインクを吐出し、所望の画像を記録する記録ヘッド41は、前述した記録ヘッドの実施例に示したものと同様の構成を有し、吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって複数設けられたフルラインタイプであり、また、前述した記録ヘッドの製造方法の実施例の方法により製造されたものである。 [0064] Figure 9 is a schematic perspective view showing only essential portions of a second embodiment of the ink jet recording apparatus ejects ink based on a predetermined recording signal, the recording head 41 to record a desired image is It has the same configuration as that shown in the embodiment of the recording head described above, the discharge port is more provided a full-line type over the entire width of the recording area of ​​the recording medium, the manufacturing method of the recording head described above examples are those prepared by the method of.

【0065】前記記録ヘッド41は、図示しないインクジェット記録装置本体に装着されており、複数個の吐出口が列設された吐出口面41aが搬送ベルト42の搬送面42aと所定の間隙だけ離反した位置にある。 [0065] The recording head 41 is mounted on the ink jet recording apparatus main body, not shown, a plurality of discharge ports rows set to discharge port surface 41a is separated by conveying surface 42a with a predetermined gap between the conveyor belt 42 It is in the position.

【0066】前記搬送ベルト42は、インクジェット記録装置本体にそれぞれ回転自在に軸支された2個のローラ43a、43bにかけまわされており、少なくとも1 [0066] The conveyor belt 42, two rollers 43a, which are respectively rotatably supported on the main body of the ink jet recording apparatus, are wound around the 43 b, at least one
個のローラが強制回転されることにより、矢印C方向に回転するものである。 By number of rollers are forced rotation, and rotates in an arrow C direction.

【0067】本実施例のインクジェット記録装置は、図示しない給紙部(図示右側)から搬送ベルト42に向けて送り出された被記録媒体が前記搬送ベルト42の搬送面42aに吸着されて記録ヘッド41の吐出口面41a [0067] inkjet recording apparatus of this embodiment, the recording head 41 is adsorbed recording medium fed toward the conveyance belt 42 from the paper supply unit (not shown) (the right side) of the conveying surface 42a of the conveyor belt 42 the discharge port surface 41a of
と搬送面42aとの間隙を通過し、このとき、前記記録ヘッド41の各吐出口からインクが吐出されて記録が行なわれる構成となっている。 And passes through the gap between the conveying surface 42a, this time, the recording ink is ejected from each ejection port of the recording head 41 has a configuration to be performed.

【0068】次に、本発明の記録ヘッドの実験例について説明する。 Next, a description will be given experimental example of the recording head of the present invention.

【0069】本実験に先立ち、図2〜図7に示した記録ヘッドの製作手順に準じて、表1に示す、フィルタ開口部の断面積が異なる5種類の記録ヘッドを各100個ずつ作成した。 [0069] Prior to this experiment, according to the fabrication steps of the recording head shown in FIGS. 2-7, are shown in Table 1, the filter openings five different cross-sectional area of ​​the recording head created by the 100 .

【0070】 [0070]

【表1】 [Table 1] 表1に示す各試料の吐出口の断面積は、2500μm 2 Sectional area of the discharge port of each sample shown in Table 1, 2500 [mu] m 2
(50μm×50μm)である。 It is a (50μm × 50μm).

【0071】以下に、本実験に使用する記録ヘッドの試料の製作手順を説明する。 [0071] The following describes the manufacturing procedure of the specimen of the recording head used in this experiment.

【0072】まず、エネルギー発生素子としての電気熱変換体(材質HfB 2 )を、第1の基板としてのガラス基板(厚さ1.1mm)上に形成した後、該第1の基板上にポジ型ドライフィルム「OZATEC R225 」〔ヘキストジャパン(株)〕から成る厚さ50μmの感光層をラミネーションによって形成した。 [0072] First, an electrothermal transducer as energy generating elements (material HfB 2), after forming on a glass substrate (thickness 1.1 mm) as the first substrate, the positive on the first substrate the photosensitive layer of the type dry film "OZATEC R225" thickness 50μm consisting of [Hoechst Japan Co., Ltd.] formed by lamination. この感光層に各試料の液流路の形状に相当するパターンのマスクを重ね、液流路、 Superimposing a mask pattern corresponding to the shape of the liquid flow path of each sample to the photosensitive layer, the liquid flow path,
液室およびフィルタ形成予定部位を除く部分に70mJ/c Liquid chamber and 70mJ the portion excluding the filter forming the proposed site / c
m 2の紫外線照射を行なった。 It was performed with ultraviolet irradiation m 2.

【0073】次に5%のメタケイ酸ナトリウム水溶液にてスプレー現像を行ない、上記電気熱変換体を含むガラス基板上の液流路および液室形成予定部分に厚さ約50 [0073] Next subjected to spray development with a 5% sodium metasilicate solution, having a thickness of about 50 in the liquid flow path and liquid chamber portion reserved for formation of the glass substrate including the electrothermal transducers
ミクロンのレリーフの固体層を形成した。 To form a solid layer of the relief of microns.

【0074】上記同様の操作手順で、上記同様の固体層を積層した基板を各試料ごとに100個ずつ合計500 [0074] Total in the above same operating procedure, by 100 pieces of substrate laminated with the same solid layer for each sample 500
個作成した後、該固体層が形成されている基板のそれぞれに、液状の活性エネルギー線硬化性材料としてエポキシ樹脂「Cyracure UVR-6110」〔日本ユニオンカーバイト(株)製〕を積層した。 After pieces created, each of the substrate on which the solid layer is formed, an epoxy resin "Cyracure UVR-6110" as the active energy ray-curable liquid material obtained by laminating a [Japanese Union Carbide Co.]. その積層手順は以下のように行なった。 Its lamination procedure was carried out as follows.

【0075】活性エネルギー線硬化性材料を、触媒(トリフェニルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)と混合し、真空ポンプを用いて脱泡した。 [0075] The active energy ray curable material, is mixed with catalyst (triphenyl phosphonium hexafluoroantimonate), defoaming using a vacuum pump. その後、上記脱泡した活性エネルギー線硬化性材料を前記固体層が積層されている第1の基板のそれぞれにアプリケータを用いて、該基板の上面から70ミクロンの厚さに塗布した。 Thereafter, the defoaming activity energy ray-curable material with an applicator, each of the first substrate on which the solid layer is laminated, coated from the upper surface of the substrate to a thickness of 70 microns.

【0076】次に、この活性エネルギー線硬化性材料を積層した第1の基板のそれぞれに、その厚さが1.1mm Next, each of a thickness of the first substrate obtained by laminating the active energy ray curable material is 1.1mm
で、液室形成予定部位に深さ0.3mmの凹部と、該凹部の中央に記録液供給のための貫通孔(供給口)を持つ第2の基板としてのガラス基板を、液室形成予定部位の位置を合わせて積層した。 In a recess of depth 0.3mm the liquid chamber forming the proposed site, a glass substrate as a second substrate having a through hole for the recording liquid supplied to the center of the recess (supply port), a liquid chamber to be formed It was laminated to suit the location of the site.

【0077】次に、この積層体の第2の基板の上面にフィルムマスクを密着させ、液室形成予定部位に対して活性エネルギー線を遮蔽して、上方から超高圧水銀灯「ユニアーク」[ウシオ電機(株)製]による照射を行なった。 Next, on the upper surface of the second substrate of the laminate is adhered to a film mask to shield the active energy ray to the liquid chamber forming the proposed site, ultra-high pressure mercury lamp from above "Yuniaku" [USHIO It was subjected to irradiation by Co., Ltd.]. このときの365nm付近の光の積算強度は、100 The integrated intensity of the light in the vicinity of 365nm at this time, 100
0mW/cm 2であった。 It was 0mW / cm 2. 次いで、フィルムマスクを取りはずし、電気熱変換体が、吐出口から0.1mmの位置となるように切断し、吐出口面を形成した。 Then, remove the film mask, the electrothermal converting body is cut from the discharge port so that the position of 0.1 mm, to form the discharge port surface.

【0078】吐出口面を露出させた500個の積層体をそれぞれエタノール中に浸漬し、液室中にエタノールを充填し、かつ吐出口面をエタノールに接触した状態で超音波洗浄槽中にて約3分間溶解除去操作を行なった。 [0078] The discharge port surface 500 of the laminate was exposed was immersed in each of ethanol, then filled with ethanol in the liquid chamber, and in a state in which the discharge port surface in contact with ethanol in an ultrasonic cleaning bath It was carried out dissolving and removing operation for about 3 minutes. 溶解除去が終了した後、5%のNaOH水溶液及び純水で洗浄を行なった。 After the dissolution and removal is completed, it was subjected to washing with 5% aqueous NaOH solution and pure water. 洗浄後これら積層体を乾燥し、高圧水銀灯を用いて10J/cm 2の後露光を行ない活性エネルギー線硬化性材料を完全硬化させた。 These laminates dried after washing, was completely cured with an active energy ray curable material subjected to exposure after 10J / cm 2 using a high pressure mercury lamp.

【0079】このようにして作成された500個の記録ヘッドの液流路中には、いずれの場合にも固体層の残渣が全く存在しなかった。 [0079] The liquid flow path in this way 500 of the recording heads that were created, the residue of the solid layer in each case did not exist at all. 更に、これら記録ヘッドをインクジェット記録装置に装着し、純水/グリセリン/ダイレクトブラック154(水溶性黒色染料)=65/30 Further, wearing these recording head to the ink jet recording apparatus, pure water / glycerin / Direct Black 154 (water soluble black dye) = 65/30
/5(重量部)から成るインクジェットインクを用いて吐出試験を行なった。 / 5 was performed discharge test using the ink jet ink comprising a (parts by weight). 吐出試験の結果を表2に示す。 The results of the discharge test are shown in Table 2.

【0080】 [0080]

【表2】 [Table 2] 表2において、「ノズル詰まり」とは、個別液流路にゴミが詰っているのが顕微鏡で観察される場合をいい、ノズル詰まり発生率は、ノズル詰まりが発生している個別液流路の数/記録ヘッドの数で表わしたものである。 In Table 2, "nozzle clogging" and refers to a case where the clogged dust in the individual liquid flow path is observed with a microscope, nozzle clogging incidence of the individual liquid passage nozzle clogging has occurred those expressed by the number of number / recording head. また、「不吐」は、個別液流路に詰ったゴミが、個別液流路を狭くして、インクが吐出されなかった回数、そして、「ヨレ」は、個別液流路に詰ったゴミにより吐出力が低下して、インクがまっすぐに吐出されなかった回数を示す。 Further, "non-discharge" is waste dust clogged individual liquid flow path, by narrowing the individual liquid flow path, the number of times the ink has not been discharged, and, "twist" is jammed in the individual liquid flow path discharge force is reduced by, indicating the number of times the ink has not been straight ejected.

【0081】表2より、液流路中にフィルタを設けることで、ノズル詰まりが大幅に減少し、印字における不吐やヨレの発生も少なくなることがわかる。 [0081] From Table 2, by providing a filter in the liquid flow path, nozzle clogging is greatly reduced, it can be seen that the less the occurrence of discharge failure or twist in the print. しかも、フィルタ開口部の断面積が小さくなるほどその効果は大きく、フィルタ開口部の断面積が吐出口の断面積より小さくなると、より顕著な効果が見られる。 Moreover, the effect as the cross-sectional area of ​​the filter opening is reduced greatly, when the cross-sectional area of ​​the filter opening is smaller than the cross-sectional area of ​​the discharge port, more pronounced effect is seen.

【0082】本発明は、特にインクジェット記録方式の中でもキヤノン(株)が提唱している、熱エネルギーを利用してインクを吐出する方式の記録ヘッド、インクジェット記録装置に於いて、優れた効果をもたらすものである。 [0082] The present invention is particularly proposes Canon Inc. is among the ink jet recording system, utilizing thermal energy recording head method of discharging ink, in the ink jet recording apparatus, resulting in an excellent effect it is intended.

【0083】その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第4723129号明細書、同第4740 [0083] As the typical arrangement and principle, for example, U.S. Pat. No. 4,723,129, the first 4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうものが好ましい。 It is preferable to carry out by use of the basic principle disclosed in 796 Pat. この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク) Although this system can be applied either to on-demand type and continuous type, particularly, in the case of the on-demand type, the liquid (ink)
が保持されているシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、 To but electrothermal transducer is disposed on a sheet or liquid passage that retains body, by not retaining sheet or liquid passage, the driving signal being enough to provide such a quick temperature rise beyond a departure from nucleation boiling , heat energy brought occur electrothermal transducer to produce film boiling on the heating portion of the recording head,
結果的にこの駆動信号に一対一対応し液体(インク)内の気泡を形成出来るので有効である。 Whereby a bubble can be formed in one-to-one correspondence with the liquid (ink) to the driving signals. この気泡の成長, Growth of the bubble,
収縮により吐出用開口を介して液体(インク)を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。 Contracts due By discharging the liquid (ink) through a discharge opening to form at least one droplet. この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成でき、より好ましい。 When the drive signal has a pulse shape, since immediately the development and contraction of the bubble can be achieved ejected with excellent liquid-responsive (ink), more preferably. このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第4463359号明細書、同第4 As the driving signals of such pulse shape, U.S. Patent No. 4463359, the fourth
345262号明細書に記載されているようなものが適している。 It is suitable such as described in 345262 Pat. 尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第4313124号明細書に記載されている条件を採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。 Incidentally, by adopting the condition disclosed in U.S. Pat. No. 4,313,124 of the invention concerning the temperature elevation rate of the heat acting surface, it is possible to achieve better recording.

【0084】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体の組合わせ構成(直線状液流路又は直角液流路)の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第4558333号明細書、米国特許第44 [0084] The structure of the recording head, the other discharge ports as disclosed in the specifications of, liquid channels, the combination structure of the electrothermal transducers (linear liquid channel or right angle liquid channels) U.S. Patent No. 4558333 the heat acting portion is disclosed a structure which is disposed in a bent region, the U.S. Patent No. 44
59600号明細書を用いた構成も本発明に有効である。 Configuration using a 59,600 Pat also effective in the invention. 加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭59年第123670号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭59年第138461号公報に基づいた構成としても本発明は有効である。 In addition, openings for absorbing applicable to the structure, the pressure wave of common JP 1959 No. 123,670 discloses and thermal energy slit discloses an arrangement for the discharge portion of the electrothermal transducer also the present invention as a configuration based on Japanese 1959 No. 138,461 Publication discloses a configuration to correspond to the discharge section is effective.

【0085】更に、インクジェット記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組合わせによって、その長さを満たす構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれでも良いが、本発明は、上述した効果を一層有効に発揮することができる。 [0085] Furthermore, as a full line type printhead having a length inkjet recording apparatus corresponding to the width of a maximum printing medium which can be recorded by a combination of plural recording heads as disclosed in the foregoing specification may be either the arrangement as a single recording head structure and integrally formed to the length is satisfied, the present invention can more effectively exhibit the effect described above.

【0086】加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。 [0086] In addition, by being attached to the main body, the apparatus main body and electrically connected and apparatus replaceable chip type recording head which is capable of supplying ink from the main body of or integral with the recording head itself, also the present invention when using a cartridge type recording head provided is valid.

【0087】又、本発明のインクジェット記録装置の構成として設けられる、記録ヘッドに対しての回復手段、 [0087] Also provided as configuration of the inkjet recording apparatus of the present invention, recovery means for the recording head,
予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できるので好ましいものである。 Adding auxiliary means, etc. is preferable, because the effect of the present invention can be further stabilized. これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャピング手段、 Specific examples of these may include, for the recording head, capping means,
クリーニング手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或はこれらの組合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安定した記録を行なうために有効である。 Cleaning means, pressurizing or suction means, another heating element or preliminary heating means according to a combination of these electrothermal transducers or this is also stable to perform a preliminary discharge mode which performs discharge independently of printing it is effective for performing the recording.

【0088】更に、インクジェット記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってでもよいが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効である。 [0088] Further, as the recording mode of the ink jet recording apparatus not only a printing mode using only a main color such as black, the recording head may be in the plurality of colors or a full, but different colors multi colors Color or even present invention to an apparatus having at least one recording heads is extremely effective.

【0089】以上説明した本発明各実施例においては、 [0089] In each of the embodiments the present invention described above,
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体或いは、上述のインクジェットではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温度調整を行なってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。 While the ink has been described as liquid, an ink which is solid at room temperature or less, the softening or liquid or at room temperature, subjected to temperature control within a range of 30 ° C. or higher 70 ° C. or less of the ink itself in the ink jet above since those temperature control is generally such that the viscosity of the ink in a stable discharge range Te, ink when the recording signal is applied as long as it is liquid. 加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとして使用せしめることで防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用可能である。 Use In addition, actively the Atsushi Nobori caused by heat energy or prevent by consuming it energy state change of the ink from the solid state to the liquid state, an ink which will be solidified when left intact for the purpose of preventing evaporation of the ink and dolphin, any case such as those start already solidified at the time when the ink by application of the recording signal producing thermal energy reaches the or a recording medium to eject an ink liquid and liquefied by thermal energy ink use liquefied in also the present invention is applicable. 本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。 In the present invention, the most effective one for the ink materials described above is the one capable of implementing the film boiling method as described above.

【0090】 [0090]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載する効果を奏する。 According to the present invention, which is configured as described above, the effects described below.

【0091】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法は、吐出口や液流路の形成時に、それらと同じ方法でフィルタとして作用する開口部が一体的に形成される。 [0091] of the present invention, a method of manufacturing an ink jet recording head, during the formation of the discharge ports and liquid flow path, opening to act as a filter in the same way as they are formed integrally. このことにより、インクの吐出の際に、インク中に存在する吐出口の断面積より大きいゴミは前記開口部で遮られるため、前記ゴミが吐出口近傍に達することがなくなり、吐出不良を大幅に減少させることができ、さらに、前記開口部によりインクの流動性が抑えられ、インクジェット記録ヘッドに強い振動等が与えられた際に発生する、吐出口からのインクの漏れや、インクの、インク貯蔵部側への逆流による吐出不良を抑えることができるので、従来の製造方法に対して工程を増やしたり、部品点数を増やすことなく、インクジェット記録ヘッドとしての機能を向上させることができる。 Thus, upon ejection of ink, larger dust than the cross-sectional area of ​​the discharge port present in the ink to be blocked by the opening, prevents said dust reaches the discharge opening neighborhood, greatly ejection failure can be reduced, further, fluidity of the ink is suppressed by the opening portion, occurs when a strong vibration in the ink jet recording head is provided, and ink leakage from the discharge ports, the ink, the ink storage since it is possible to suppress the defective ejection by backflow into the parts side, or increasing the process on conventional production method, without increasing the number of parts, thereby improving the function of the ink jet recording head.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施例の一部を破断した斜視図である。 1 is a perspective view partially broken of an embodiment of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図を示し、固体層形成前の第1 [Figure 2] of the present invention, it shows a diagram for explaining one embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, the first pre-solid layer formation
の基板の斜視図である。 It is a perspective view of the substrate.

【図3】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図を示し、(A)は固体層形成後の第1の基板の平面図、(B)は第2の基板の平面図である。 [Figure 3] of the present invention, it shows a diagram for explaining one embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, (A) is a plan view of a first substrate after the solid layer formation, (B) a second substrate it is a plan view of the.

【図4】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図で、固体層および活性エネルギー線硬化性材料積層後の第1の基板の断面図を示し、 Of the present invention; FIG, a view for explaining an embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, shows a cross-sectional view of the first substrate after the solid layer and the active energy ray curable material laminate,
(A)は図3に示すA−A′断面、(B)は図3に示すB−B′断面、(C)は図3に示すC−C′断面である。 (A) is A-A 'cross section, (B) is B-B' shown in FIG. 3 shown in FIG. 3 section, (C) is a C-C 'cross section shown in FIG.

【図5】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図で、第2の基板積層後の積層体の断面図を示し、(A)は図3に示すA−A′断面図、(B)は図3に示すB−B′断面図、(C)は図3 [5] of the present invention, a view for explaining an embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, a cross-sectional view of the laminate after the second substrate laminated, (A) is A-A shown in FIG. 3 'sectional view, (B) is B-B' shown in FIG. 3 a cross-sectional view, (C) is 3
に示すC−C′断面図である。 Is a C-C 'sectional view shown in.

【図6】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図で、マスク積層後の積層体の断面図を示し、(A)は図3に示すA−A′断面図、 [6] of the present invention, a view for explaining an embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, a cross-sectional view of the laminate after the mask lamination, (A) is A-A 'sectional view shown in FIG. 3 ,
(B)は図3に示すB−B′断面図、(C)は図3に示すC−C′断面図である。 (B) is cross section B-B 'view, (C) is C-C' shown in FIG. 3 shown in FIG. 3 is a cross-sectional view.

【図7】本発明の、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施例を説明する図で、固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料除去後の積層体の断面図を示し、(A)は図3に示すA−A′断面図、(B)は図3 In [7] The present invention, in view for explaining an embodiment of a method for manufacturing an ink jet recording head, a cross-sectional view of the solid layer and the uncured active energy ray curable material removed after laminate, (A) a-a 'sectional view shown in FIG. 3, (B) is 3
に示すB−B′断面図、(C)は図3に示すC−C′断面図である。 Cross section B-B 'view, (C) is C-C' shown in FIG. 3 shown in a sectional view.

【図8】本発明のインクジェット記録装置の第1実施例の要部斜視図である。 8 is a main part perspective view of a first embodiment of an ink jet recording apparatus of the present invention.

【図9】本発明のインクジェット記録装置の第2実施例の要部斜視図である。 9 is a main part perspective view of a second embodiment of an ink jet recording apparatus of the present invention.

【図10】従来のインクジェット記録ヘッドの一部を破断した斜視図である。 10 is a broken perspective view a portion of a conventional ink jet recording head.

【符号の説明】 1 第1の基板 2 電気熱変換体 3 固体層 4 第2の基板 5 凹部 6 供給口 7 活性エネルギー線硬化性材料 8 マスク 9 活性エネルギー線 10 構造部材 11 液室 12 柱部 13 開口部 14 共通液流路 15 個別液流路 16 吐出口 21、41 記録ヘッド 22 キャリッジ 23、24 ガイド軸 25 キャリッジモータ 26、27 プーリ 28 タイミングベルト 29 記録紙 30 ペーパーパン 31 ヒータ 32 紙押え板 33 排紙ローラ 34 拍車 35 回復ユニット 36 紙送りモータ 37 クリーニングブレード 38 インク吸収体 38a キャップ 41a 吐出口面 42 搬送ベルト 42a 搬送面 43a、43b ローラ [EXPLANATION OF SYMBOLS] 1 first substrate 2 electrothermal transducers 3 solid layer 4 and the second substrate 5 recesses 6 supply port 7 active energy ray-curable material 8 mask 9 active energy ray 10 structural member 11 liquid chamber 12 pillar part 13 opening 14 a common liquid flow path 15 individual liquid flow path 16 discharge ports 21, 41 the printhead 22 carriage 23, 24 guide shaft 25 the carriage motor 26, 27 a pulley 28 a timing belt 29 recording paper 30 paper pan 31 heater 32 paper pressing plate 33 discharge rollers 34 spur 35 recovery unit 36 ​​the paper feed motor 37 cleaning blade 38 ink absorber 38a cap 41a discharge port surface 42 the conveyor belt 42a conveying surface 43a, 43b roller

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 吐出口からインクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子に対応して設けられ、前記吐出口に連通する液流路を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、 予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を形成して素子面とし、該素子面に、前記液流路と、前記液流路の前記エネルギー発生素子が設けられた部位より反吐出口側の少なくとも一部の断面に形成される、前記吐出口の断面積より小さい断面積を有する開口部とに相当する、 1. A provided corresponding to the energy generating element for generating energy utilized for discharging ink from the discharge ports, in the manufacturing method of the ink jet recording head having a liquid flow path communicating with the discharge port previously, the element surface to form said energy generating elements on one surface of the substrate, to the element surface, and the liquid flow path, of the liquid flow path wherein the energy generating element side vomiting outlet from the site provided at least is formed on a part of the cross section corresponds to the opening having a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of ​​the discharge port,
    除去可能な材料からなる固体層を形成する工程と、 前記基板および前記固体層を構造部材で覆う工程と、 前記基板から前記固体層を除去する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 Forming a solid layer made of removable material, a step of covering said substrate and said solid layer with a structural member, from the substrate of the ink jet recording head is characterized in that a step of removing the solid layer Production method.
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 2. An ink jet recording head is characterized in that it is manufactured by the manufacturing method according to claim 1.
  3. 【請求項3】 エネルギー発生素子として、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換体が設けられている請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。 Wherein as an energy generating element, an ink jet recording head according to claim 2, electrothermal transducers are provided for generating thermal energy utilized for discharging ink.
  4. 【請求項4】 吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって複数設けられているフルラインタイプである請求項2または3に記載のインクジェット記録ヘッド。 4. The ink-jet recording head according to claim 2 or 3 discharge ports are full-line type which is provided a plurality over the entire width of the recording area of ​​the recording medium.
  5. 【請求項5】 請求項2に記載のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドを載置するための手段とを有することを特徴とするインクジェット記録装置。 5. A ink-jet recording head according to claim 2, the ink jet recording apparatus characterized by having a means for mounting the ink jet recording head.
  6. 【請求項6】 エネルギー発生素子として、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換体が設けられている請求項5に記載のインクジェット記録装置。 As 6. The energy generating element, an ink jet recording apparatus according to claim 5, electrothermal transducers are provided for generating thermal energy utilized for discharging.
  7. 【請求項7】 吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって複数設けられているフルラインタイプのインクジェット記録ヘッドを有する請求項5または6に記載のインクジェット記録装置。 7. discharge ports ink jet recording apparatus according to claim 5 or 6 having an ink jet recording head of full-line type provided with a plurality over the entire width of the recording area of ​​the recording medium.
JP28665491A 1991-10-31 1991-10-31 Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head Pending JPH05124206A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28665491A JPH05124206A (en) 1991-10-31 1991-10-31 Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28665491A JPH05124206A (en) 1991-10-31 1991-10-31 Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head
DE1992614481 DE69214481T2 (en) 1991-02-20 1992-02-19 An ink jet recording head, ink jet recording apparatus using these, and methods for its preparation
EP19920102748 EP0500068B1 (en) 1991-02-20 1992-02-19 Ink jet recording head, recording apparatus using same and method for manufacturing same
AT92102748T AT144197T (en) 1991-02-20 1992-02-19 Ink jet recording head, ink jet recording apparatus using this method and to its production
DE1992614481 DE69214481D1 (en) 1991-02-20 1992-02-19 An ink jet recording head, ink jet recording apparatus using these, and methods for its preparation
US08744382 US5808644A (en) 1991-02-20 1996-11-07 Method for manufacturing an ink jet recording head having ink filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05124206A true true JPH05124206A (en) 1993-05-21

Family

ID=17707228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28665491A Pending JPH05124206A (en) 1991-10-31 1991-10-31 Ink jet recording head, production thereof, and ink jet recorder provided with the ink jet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05124206A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07323547A (en) * 1994-05-31 1995-12-12 Nec Corp Ink jet type printing head
US5708465A (en) * 1993-12-27 1998-01-13 Fuji Xerox Co., Ltd. Thermal ink-jet head
JP2007044969A (en) * 2005-08-09 2007-02-22 Canon Finetech Inc Inkjet recording head and inkjet recorder equipped with it
US7331656B2 (en) 2005-03-24 2008-02-19 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and method of manufacturing the same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5708465A (en) * 1993-12-27 1998-01-13 Fuji Xerox Co., Ltd. Thermal ink-jet head
JPH07323547A (en) * 1994-05-31 1995-12-12 Nec Corp Ink jet type printing head
US7331656B2 (en) 2005-03-24 2008-02-19 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and method of manufacturing the same
JP2007044969A (en) * 2005-08-09 2007-02-22 Canon Finetech Inc Inkjet recording head and inkjet recorder equipped with it

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4775445A (en) Process for producing a liquid jet recording head
US5208604A (en) Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US6354698B1 (en) Liquid ejection method
US6582064B2 (en) Fluid ejection device having an integrated filter and method of manufacture
US6267251B1 (en) Filter assembly for a print cartridge container for removing contaminants from a fluid
EP0367541A2 (en) Method of manufacturing an ink jet head
US7275817B2 (en) Formation of novel ink jet filter printhead using transferable photopatterned filter layer
US6520626B1 (en) Liquid ejection head, method for preventing accidental non-eject using the ejection head and manufacturing method of the ejection head
US6186616B1 (en) Ink jet head having an improved orifice plate, a method for manufacturing such ink jet heads, and an ink jet apparatus provided with such ink jet head
US6123863A (en) Process for producing liquid-jet recording head, liquid-jet recording head produced thereby, and recording apparatus equipped with recording head
JPH079712A (en) Ink jet recording apparatus
JP2002144576A (en) Liquid jet head and liquid jet device
US6659588B2 (en) Liquid discharge head and producing method therefor
US5916452A (en) Process for the production of an ink jet head
US20070146428A1 (en) Circuit board for ink jet head, ink jet head having the same, method for cleaning the head and ink jet printing apparatus using the head
US6582060B1 (en) Liquid ejecting method, liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US5524784A (en) Method for producing ink jet head by multiple development of photosensitive resin, ink jet head produced thereby, and ink jet apparatus with the ink jet head
US5682187A (en) Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
US5808644A (en) Method for manufacturing an ink jet recording head having ink filter
JP2003080717A (en) Liquid jet recording head and its manufacturing method
JP2008119955A (en) Inkjet recording head and manufacturing method of this head
JPH06143601A (en) Ink jet recorder
JPH06183029A (en) Printer employing ink jet line recording head
US6984009B2 (en) Ink jet printing apparatus and preliminary ink ejection method
JP2008229962A (en) Head maintenance device and inkjet recording device