JPH05118296A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JPH05118296A JPH05118296A JP27963891A JP27963891A JPH05118296A JP H05118296 A JPH05118296 A JP H05118296A JP 27963891 A JP27963891 A JP 27963891A JP 27963891 A JP27963891 A JP 27963891A JP H05118296 A JPH05118296 A JP H05118296A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- refrigerant
- vacuum pump
- dry vacuum
- cooling jacket
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポンプ流路部に昇華温度の高い気体が吸い込
まれても、気体が固体化することなく、ポンプ流路部へ
の反応生成物の付着堆積を防止すること。 【構成】 ステータ５の外周部に冷却ジャケット９を設
け、冷却ジャケット９内に冷媒を供給し、ステータ５を
冷却するようにしたドライ真空ポンプにおいて、冷却ジ
ャケット９内に、背の低いリブ１０のごとき冷媒の流れ
に澱みを生じさせる手段を設け、冷却効率を下げ、ステ
ータ５を凝縮性の気体が凝縮しない温度に制御するよう
に構成した。
まれても、気体が固体化することなく、ポンプ流路部へ
の反応生成物の付着堆積を防止すること。 【構成】 ステータ５の外周部に冷却ジャケット９を設
け、冷却ジャケット９内に冷媒を供給し、ステータ５を
冷却するようにしたドライ真空ポンプにおいて、冷却ジ
ャケット９内に、背の低いリブ１０のごとき冷媒の流れ
に澱みを生じさせる手段を設け、冷却効率を下げ、ステ
ータ５を凝縮性の気体が凝縮しない温度に制御するよう
に構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排気口を大気圧で運転
するドライ真空ポンプに係り、特に反応生成物の付着し
やすい半導体製造プロセスに使用するのに好適なドライ
真空ポンプに関する。
するドライ真空ポンプに係り、特に反応生成物の付着し
やすい半導体製造プロセスに使用するのに好適なドライ
真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドライ真空ポンプは、吸気口から流入す
る気体が通過する流路に、油や水が無いため、クリーン
な真空が得られるという優れた特徴をもっているが、気
体を圧縮する際の発熱を取り去る効果が無くなるため、
ポンプ内の温度が高くなってしまう。そこで、従来は発
熱部の外周部に冷却ジャケットを設けて冷却していた。
る気体が通過する流路に、油や水が無いため、クリーン
な真空が得られるという優れた特徴をもっているが、気
体を圧縮する際の発熱を取り去る効果が無くなるため、
ポンプ内の温度が高くなってしまう。そこで、従来は発
熱部の外周部に冷却ジャケットを設けて冷却していた。
【０００３】図６は従来のドライ真空ポンプの断面図で
ある。
ある。
【０００４】この図６に示すドライ真空ポンプでは、吸
気口１と排気口２とをもったケーシング３の内部に、ポ
ンプ機構部６と、冷却ジャケット９とが設けられてい
る。
気口１と排気口２とをもったケーシング３の内部に、ポ
ンプ機構部６と、冷却ジャケット９とが設けられてい
る。
【０００５】前記ポンプ機構部６は、軸受７によって回
転自在に支承されたロータ４と、静止しているステータ
５とを有している。前記ロータ４は、モータケーシング
内に設置されたモータ８に連結されている。
転自在に支承されたロータ４と、静止しているステータ
５とを有している。前記ロータ４は、モータケーシング
内に設置されたモータ８に連結されている。
【０００６】前記冷却ジャケット９は、金属製でステー
タ５の外周部に設けられている。この冷却ジャケット９
には、給水口１３と、排水口１４とが設けられている。
タ５の外周部に設けられている。この冷却ジャケット９
には、給水口１３と、排水口１４とが設けられている。
【０００７】前記ドライ真空ポンプにおいて、吸気口１
から吸い込まれた気体は、ロータ４とステータ５による
圧縮作用によって順次圧縮され、排気口２から大気へ排
出される。その圧縮過程で、気体は圧縮熱を発生する
が、排気口２に近い程、その圧縮熱量は多くなる。この
圧縮熱を取り去るために、図６の例では給水口１３から
冷却ジャケット９内に冷却水を供給し、この冷却水によ
りステータ５をその外側から冷却し、冷却後の水を排水
口１４から排出するようにしている。
から吸い込まれた気体は、ロータ４とステータ５による
圧縮作用によって順次圧縮され、排気口２から大気へ排
出される。その圧縮過程で、気体は圧縮熱を発生する
が、排気口２に近い程、その圧縮熱量は多くなる。この
圧縮熱を取り去るために、図６の例では給水口１３から
冷却ジャケット９内に冷却水を供給し、この冷却水によ
りステータ５をその外側から冷却し、冷却後の水を排水
口１４から排出するようにしている。
【０００８】なお、この種ドライ真空ポンプに関連する
従来技術として、特開昭６１−２４７８９３号公報に記
載のものがある。
従来技術として、特開昭６１−２４７８９３号公報に記
載のものがある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術では、金
属製の冷却ジャケット９に、直接冷却水を通して冷却し
ており、ステータ５の内部で圧縮されたときに発生する
圧縮熱が伝わる部分では、連続的に温度の低い水が圧縮
熱を奪うため冷却効率が非常に良い。しかし、昇華温度
の高い気体を吸い込む場合は、ポンプ内部温度が低いと
気体が固体化し、ポンプ内部に反応生成物として付着堆
積し、ポンプ流路を塞ぎ、ついにはロータロックを生じ
る問題がある。また、冷却水量をある量以下に減少させ
ると、温度の不均一が生じてポンプ性能が低下したり、
ステータ５が変形するなどの問題があった。
属製の冷却ジャケット９に、直接冷却水を通して冷却し
ており、ステータ５の内部で圧縮されたときに発生する
圧縮熱が伝わる部分では、連続的に温度の低い水が圧縮
熱を奪うため冷却効率が非常に良い。しかし、昇華温度
の高い気体を吸い込む場合は、ポンプ内部温度が低いと
気体が固体化し、ポンプ内部に反応生成物として付着堆
積し、ポンプ流路を塞ぎ、ついにはロータロックを生じ
る問題がある。また、冷却水量をある量以下に減少させ
ると、温度の不均一が生じてポンプ性能が低下したり、
ステータ５が変形するなどの問題があった。
【００１０】本発明の目的は、ポンプ流路部に昇華温度
の高い気体が吸い込まれても、気体が固体化することな
く、ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止し得
るドライ真空ポンプを提供することにある。
の高い気体が吸い込まれても、気体が固体化することな
く、ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止し得
るドライ真空ポンプを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は冷却ジャケットの内部に、ステータの外周
面に多段に配列したリブや、ハニカム構造体、多孔板等
のごとき、冷媒の流れに澱みを生じさせる手段を設けて
冷却効率を下げるようにしている。
に、本発明は冷却ジャケットの内部に、ステータの外周
面に多段に配列したリブや、ハニカム構造体、多孔板等
のごとき、冷媒の流れに澱みを生じさせる手段を設けて
冷却効率を下げるようにしている。
【００１２】また、前記目的を達成するために、本発明
はステータの外周部に設けた冷却ジャケットを、ステー
タ外面に冷媒が直接接する部分と、直接には接しない部
分との２個の部屋に分けた２重室構造とし、冷媒がステ
ータ外面に接する部分の冷却効率を下げるようにしてい
る。
はステータの外周部に設けた冷却ジャケットを、ステー
タ外面に冷媒が直接接する部分と、直接には接しない部
分との２個の部屋に分けた２重室構造とし、冷媒がステ
ータ外面に接する部分の冷却効率を下げるようにしてい
る。
【００１３】
【作用】本発明では、ステータの外周面に多段に配列さ
れたリブや、ハニカム構造体、多孔板等の、冷媒の流れ
に澱みを生じさせる手段により、冷媒によるステータの
冷却効率を下げ、ステータを凝縮性の気体が凝縮しない
温度に制御するようにしているので、ポンプ流路部に昇
華温度の高い気体が吸い込まれても、気体が固体化する
ことなく、ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防
止することが可能となる。
れたリブや、ハニカム構造体、多孔板等の、冷媒の流れ
に澱みを生じさせる手段により、冷媒によるステータの
冷却効率を下げ、ステータを凝縮性の気体が凝縮しない
温度に制御するようにしているので、ポンプ流路部に昇
華温度の高い気体が吸い込まれても、気体が固体化する
ことなく、ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防
止することが可能となる。
【００１４】また、本発明ではステータの外周部に設け
た冷却ジャケットを、ステータ外面に冷媒が直接接する
部分と、直接には接しない部分との２個の部屋に分けて
おり、ステータ外面に冷媒が直接接しない部分により、
冷媒によるステータの冷却効率を下げ、ステータを凝縮
性の気体が凝縮しない温度に制御するようにしているの
で、この発明によってもポンプ流路部に昇華温度の高い
気体が吸い込まれても、気体が固体化することなく、ポ
ンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止することが
可能となる。
た冷却ジャケットを、ステータ外面に冷媒が直接接する
部分と、直接には接しない部分との２個の部屋に分けて
おり、ステータ外面に冷媒が直接接しない部分により、
冷媒によるステータの冷却効率を下げ、ステータを凝縮
性の気体が凝縮しない温度に制御するようにしているの
で、この発明によってもポンプ流路部に昇華温度の高い
気体が吸い込まれても、気体が固体化することなく、ポ
ンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止することが
可能となる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。
る。
【００１６】図１は本発明の第１の実施例を示す縦断面
図、図２は塩化アルミニウム（Ａｌｃｌ3）の昇華温度
特性を示す図である。
図、図２は塩化アルミニウム（Ａｌｃｌ3）の昇華温度
特性を示す図である。
【００１７】その図１に示す第１の実施例では、吸気口
１と排気口２とをもったケーシング３内に、ポンプ部で
あるポンプ機構部６と、冷却ジャケット９とが設けられ
ている。
１と排気口２とをもったケーシング３内に、ポンプ部で
あるポンプ機構部６と、冷却ジャケット９とが設けられ
ている。
【００１８】前記ポンプ機構部６は、ロータ４と、この
ロータ４を囲むようにして取り付けられたステータ５と
を有して構成されている。前記ロータ４は、軸受７によ
り回転自在に支承され、かつモータケーシング内に設置
されたモータ８に連結され、駆動されるようになってい
る。
ロータ４を囲むようにして取り付けられたステータ５と
を有して構成されている。前記ロータ４は、軸受７によ
り回転自在に支承され、かつモータケーシング内に設置
されたモータ８に連結され、駆動されるようになってい
る。
【００１９】前記冷却ジャケット９は、ステータ５の外
周面との間に所定の間隔をおいて取り付けられたジャケ
ットカバー１２により形成されている。このジャケット
カバー１２とケーシング３との接続面は、ゴム製のＯリ
ング１１によりシールされていて、ジャケットカバー１
２により閉空間が形成されている。前記ジャケットカバ
ー１２には、これの軸方向に位相を変えて、給水口１３
と排水口１４とが設けられている。前記給水口１３から
は、冷却ジャケット９内に冷媒として冷却水を供給し、
排水口１４からは、ポンプ機構部６で気体が圧縮される
ときに発生する圧縮熱を奪った水を排出するようになっ
ている。
周面との間に所定の間隔をおいて取り付けられたジャケ
ットカバー１２により形成されている。このジャケット
カバー１２とケーシング３との接続面は、ゴム製のＯリ
ング１１によりシールされていて、ジャケットカバー１
２により閉空間が形成されている。前記ジャケットカバ
ー１２には、これの軸方向に位相を変えて、給水口１３
と排水口１４とが設けられている。前記給水口１３から
は、冷却ジャケット９内に冷媒として冷却水を供給し、
排水口１４からは、ポンプ機構部６で気体が圧縮される
ときに発生する圧縮熱を奪った水を排出するようになっ
ている。
【００２０】前記ステータ５の外周面には、冷媒の流れ
に澱みを生じさせる手段であるリブ１０が設けられてい
る。このリブ１０は、ステータ５の軸方向に多段に配列
されており、各リブ１０は背が低く形成されている。
に澱みを生じさせる手段であるリブ１０が設けられてい
る。このリブ１０は、ステータ５の軸方向に多段に配列
されており、各リブ１０は背が低く形成されている。
【００２１】次に、前記第１の実施例のドライ真空ポン
プの動作について説明する。
プの動作について説明する。
【００２２】吸気口１から吸い込まれた気体は、ロータ
４とステータ５よりなるポンプ機構部６の流路内で順次
圧縮され、排気口２を通って大気へ排気される。排気の
過程で、ロータ４が高速回転している部分では気体は高
温になり、その熱がステータ５に伝達される。このまま
の状態では気体温度が高くなり、ポンプ機構部６の圧縮
作用が悪くなってポンプ性能が低下したり、熱膨張によ
りロータ４とステータ５が接触し、ロータロックを起こ
したりするので、給水口１３から冷却ジャケット９に冷
媒である冷却水を通して冷却する。
４とステータ５よりなるポンプ機構部６の流路内で順次
圧縮され、排気口２を通って大気へ排気される。排気の
過程で、ロータ４が高速回転している部分では気体は高
温になり、その熱がステータ５に伝達される。このまま
の状態では気体温度が高くなり、ポンプ機構部６の圧縮
作用が悪くなってポンプ性能が低下したり、熱膨張によ
りロータ４とステータ５が接触し、ロータロックを起こ
したりするので、給水口１３から冷却ジャケット９に冷
媒である冷却水を通して冷却する。
【００２３】ドライ真空ポンプの吸気口１が、例えば半
導体製造装置のアルミエッチング装置に連結されている
場合には、エッチング後の反応生成物として凝縮性の塩
化アルミニウム（Ａｌｃｌ3）が生成される。この昇華
温度特性図は、図２に示すように、圧力と温度の関係に
よって固相側と気相側に分かれる。
導体製造装置のアルミエッチング装置に連結されている
場合には、エッチング後の反応生成物として凝縮性の塩
化アルミニウム（Ａｌｃｌ3）が生成される。この昇華
温度特性図は、図２に示すように、圧力と温度の関係に
よって固相側と気相側に分かれる。
【００２４】図２において、符号１５は従来技術におけ
るデータ、符号１６は本発明の第１の実施例におけるデ
ータを示す。
るデータ、符号１６は本発明の第１の実施例におけるデ
ータを示す。
【００２５】冷却ジャケット９に直接冷却水を流して冷
却すると、ステータ５の内部温度はＡｌｃｌ3の昇華温
度特性図の固相側（図２の左側）に位置し、ステータ５
の内壁にＡｌｃｌ3が付着堆積する。そこで、この第１
の実施例のごとく、冷媒の流れに澱みを生じさせる手段
として、ステータ５の外周面に多段に配列された背の低
いリブ１０を設けると、ステータ５に接触している部分
の冷却水が滞留して温度が上昇し、冷却効率が下がり、
ポンプ流路内の気体の温度を高くかつ均一に保つことが
できる。その結果、ステータ５の内部温度を、Ａｌｃｌ
3の昇華温度特性図の気相側（図２の右側）の位置にす
ることができ、ステータ５の内壁への反応生成物の付着
堆積を防止することができる。
却すると、ステータ５の内部温度はＡｌｃｌ3の昇華温
度特性図の固相側（図２の左側）に位置し、ステータ５
の内壁にＡｌｃｌ3が付着堆積する。そこで、この第１
の実施例のごとく、冷媒の流れに澱みを生じさせる手段
として、ステータ５の外周面に多段に配列された背の低
いリブ１０を設けると、ステータ５に接触している部分
の冷却水が滞留して温度が上昇し、冷却効率が下がり、
ポンプ流路内の気体の温度を高くかつ均一に保つことが
できる。その結果、ステータ５の内部温度を、Ａｌｃｌ
3の昇華温度特性図の気相側（図２の右側）の位置にす
ることができ、ステータ５の内壁への反応生成物の付着
堆積を防止することができる。
【００２６】次に、図３は本発明の第２の実施例を示す
縦断面図、図４は図３のＡ矢視図である。
縦断面図、図４は図３のＡ矢視図である。
【００２７】これらの図に示す第２の実施例では、冷媒
の流れに澱みを生じさせる手段として、ステータ５の外
周面にハニカム構造体１７が設けられている。
の流れに澱みを生じさせる手段として、ステータ５の外
周面にハニカム構造体１７が設けられている。
【００２８】この第２の実施例において、ハニカム構造
体１７の各々の部屋は、冷却水で満たされるが、各々の
部屋の仕切りに邪魔されて流れることができず、温度の
低い冷却水と入れ替わることが難しくなり、温度が高く
なる。したがって、ポンプ流路内の気体の温度を高くか
つ均一に保つことができ、前記第１の実施例と同様の効
果を得ることができる。
体１７の各々の部屋は、冷却水で満たされるが、各々の
部屋の仕切りに邪魔されて流れることができず、温度の
低い冷却水と入れ替わることが難しくなり、温度が高く
なる。したがって、ポンプ流路内の気体の温度を高くか
つ均一に保つことができ、前記第１の実施例と同様の効
果を得ることができる。
【００２９】また、本発明では冷媒の流れに澱みを生じ
させる手段として、第１の実施例のリブ１０や、第２の
実施例のハニカム構造体１７に代えて、ステータ５の外
周面に多孔板を取り付けても同様の効果が得られる。そ
の場合は、孔の直径が５mm以上で、貫通している孔が多
数存在しているような多孔板を用いる必要がある。
させる手段として、第１の実施例のリブ１０や、第２の
実施例のハニカム構造体１７に代えて、ステータ５の外
周面に多孔板を取り付けても同様の効果が得られる。そ
の場合は、孔の直径が５mm以上で、貫通している孔が多
数存在しているような多孔板を用いる必要がある。
【００３０】ついで、図５は本発明の第３の実施例を示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
【００３１】この図５に示す第３の実施例では、冷却ジ
ャケット９の内部に、ステータ５の外周面との間に所定
の間隔をおいて中間壁１８が設けられている。そして、
この中間壁１８により冷却ジャケット９が、ステータ外
面に冷媒である冷却水が直接接する部分と、直接には接
しない部分との２個の部屋に分けた２重室構造に構成さ
れている。
ャケット９の内部に、ステータ５の外周面との間に所定
の間隔をおいて中間壁１８が設けられている。そして、
この中間壁１８により冷却ジャケット９が、ステータ外
面に冷媒である冷却水が直接接する部分と、直接には接
しない部分との２個の部屋に分けた２重室構造に構成さ
れている。
【００３２】前記中間壁１８には、小径の穴１９が上部
と下部にそれぞれ１カ所以上設けられていて、この穴１
９を通じて中間壁１８の外側の部屋と内側の部屋とが連
通している。
と下部にそれぞれ１カ所以上設けられていて、この穴１
９を通じて中間壁１８の外側の部屋と内側の部屋とが連
通している。
【００３３】この第３の実施例において、中間壁１８の
内側の部屋の冷却水は、ステータ５の外壁に接している
ため、ポンプ機構部６で発生する圧縮熱により加熱され
るが、中間壁１８で仕切られているため、中間壁１８の
外側の部屋に供給された温度の低い冷却水と入れ替わる
ことが容易にはできない。したがって、中間壁１８の内
側の部屋内の冷却水は温度が高くなるため、ポンプ流路
内の気体の温度を高くかつ均一に保つことができ、前記
第１，第２の実施例と同様の効果を得ることができる。
内側の部屋の冷却水は、ステータ５の外壁に接している
ため、ポンプ機構部６で発生する圧縮熱により加熱され
るが、中間壁１８で仕切られているため、中間壁１８の
外側の部屋に供給された温度の低い冷却水と入れ替わる
ことが容易にはできない。したがって、中間壁１８の内
側の部屋内の冷却水は温度が高くなるため、ポンプ流路
内の気体の温度を高くかつ均一に保つことができ、前記
第１，第２の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００３４】なお、中間壁１８に設けられた穴１９を通
じて、中間壁１８の外側の冷却水と内側の冷却水とは少
しずつ入れ替わることができる。したがって、穴１９の
大きさと数を適切に選定することにより、ステータ５の
温度、およびポンプ流路部を流れる気体の温度を必要な
範囲に納めることが可能となる。
じて、中間壁１８の外側の冷却水と内側の冷却水とは少
しずつ入れ替わることができる。したがって、穴１９の
大きさと数を適切に選定することにより、ステータ５の
温度、およびポンプ流路部を流れる気体の温度を必要な
範囲に納めることが可能となる。
【００３５】さらに、本発明ではステータ５の外周面
に、熱伝導性の不良な物質を塗布または貼り付け、冷媒
による冷却効率を下げるようにしても、前記第１，第
２，第３の実施例と同様の効果が期待できる。
に、熱伝導性の不良な物質を塗布または貼り付け、冷媒
による冷却効率を下げるようにしても、前記第１，第
２，第３の実施例と同様の効果が期待できる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、冷却ジャ
ケットの内部に、ステータの外周面に多段に配列された
リブや、ハニカム構造体、多孔板等のごとき、冷媒の流
れに澱みを生じさせる手段を設けて冷却効率を下げるよ
うにしているので、ポンプ流路部を高い温度に均一に保
つことができ、したがってポンプ流路部に昇華温度の高
い気体が吸い込まれても、気体が固体化することなく、
ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止し得る効
果がある。
ケットの内部に、ステータの外周面に多段に配列された
リブや、ハニカム構造体、多孔板等のごとき、冷媒の流
れに澱みを生じさせる手段を設けて冷却効率を下げるよ
うにしているので、ポンプ流路部を高い温度に均一に保
つことができ、したがってポンプ流路部に昇華温度の高
い気体が吸い込まれても、気体が固体化することなく、
ポンプ流路部への反応生成物の付着堆積を防止し得る効
果がある。
【００３７】また、本発明によれば、ステータの外周部
に設けたジャケットを、ステータ外面に冷媒が直接接す
る部分と、直接には接しない部分との２個の部屋に分け
た２重室構造とし、冷媒がステータ外面に接する部分の
冷却効率を下げるようにしているので、この発明におい
てもポンプ流路部を高い温度に均一に保つことができ、
したがってポンプ流路部に昇華温度の高い気体が吸い込
まれても、気体が固体化することなく、ポンプ流路部へ
の反応生成物の付着堆積を防止し得る効果がある。
に設けたジャケットを、ステータ外面に冷媒が直接接す
る部分と、直接には接しない部分との２個の部屋に分け
た２重室構造とし、冷媒がステータ外面に接する部分の
冷却効率を下げるようにしているので、この発明におい
てもポンプ流路部を高い温度に均一に保つことができ、
したがってポンプ流路部に昇華温度の高い気体が吸い込
まれても、気体が固体化することなく、ポンプ流路部へ
の反応生成物の付着堆積を防止し得る効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示す縦断面図
【図２】Ａｌｃｌ3の昇華温度特性図およびステータ内
面の温度分布を示す図
面の温度分布を示す図
【図３】本発明の第２の実施例を示す縦断面図
【図４】図３のＡ矢視図であって、ハニカム構造体の詳
細図
細図
【図５】本発明の第３の実施例を示す縦断面図
【図６】従来のドライ真空ポンプの縦断面図
１…吸気口、２…排気口、３…ケーシング、４…ロー
タ、５…ステータ、６…ポンプ機構部、８…ロータ駆動
用のモータ、９…冷却ジャケット、１０…リブ、１３…
給水口、１４…排水口、１７…ハニカム構造体、１８…
中間壁、１９…中間壁に設けられた穴。
タ、５…ステータ、６…ポンプ機構部、８…ロータ駆動
用のモータ、９…冷却ジャケット、１０…リブ、１３…
給水口、１４…排水口、１７…ハニカム構造体、１８…
中間壁、１９…中間壁に設けられた穴。
Claims (5)
- 【請求項１】 ケーシング内に設けたロータとステータ
よりなるポンプ部の作用で、吸気口から吸い込んだ低圧
の凝縮性の気体を圧縮し、排気口より大気へ排気すると
ともに、ステータの外周部に冷却ジャケットを設け、冷
却ジャケット内に冷媒を供給し、ステータを冷却するよ
うにしたドライ真空ポンプにおいて、前記ステータの外
周部に設けた冷却ジャケット内に、冷媒の流れに澱みを
生じさせる手段を設け、冷却効率を下げ、ステータを凝
縮性の気体が凝縮しない温度に制御するように構成した
ことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記冷媒の流れに澱みを生じさせる手段
が、ステータの外周面に多段に配列されたリブであるこ
とを特徴とする請求項１項記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記冷媒の流れに澱みを生じさせる手段
が、ハニカム構造体であることを特徴とする請求項１記
載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記冷媒の流れに澱みを生じさせる手段
が、多孔板であることを特徴とする請求項１記載のドラ
イ真空ポンプ。 - 【請求項５】 ケーシング内に設けたロータとステータ
よりなるポンプ部の作用で、吸気口から吸い込んだ低圧
の凝縮性の気体を圧縮し、排気口より大気へ排気すると
ともに、ステータの外周部に冷却ジャケットを設け、冷
却ジャケット内に冷媒を供給し、ステータを冷却するよ
うにしたドライ真空ポンプにおいて、前記ステータの外
周部に設けた冷却ジャケットを、ステータ外面に冷媒が
直接接する部分と、直接には接しない部分との２個の部
屋に分けた２重室構造とし、冷媒がステータ外面に接す
る部分の冷却効率を下げ、ステータを凝縮性の気体が凝
縮しない温度に制御するように構成したことを特徴とす
るドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963891A JPH05118296A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27963891A JPH05118296A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118296A true JPH05118296A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17613771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27963891A Pending JPH05118296A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118296A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001096744A1 (fr) * | 2000-06-15 | 2001-12-20 | Alcatel | Regulation thermique a debit et temperature de refroidissement constants pour dispositif de generation de vide |
| JP2002039092A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | ターボ形ドライポンプ |
| EP1108893A3 (en) * | 1999-12-17 | 2002-05-02 | The BOC Group plc | Temperature control system for vacuum pumps |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP27963891A patent/JPH05118296A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1108893A3 (en) * | 1999-12-17 | 2002-05-02 | The BOC Group plc | Temperature control system for vacuum pumps |
| WO2001096744A1 (fr) * | 2000-06-15 | 2001-12-20 | Alcatel | Regulation thermique a debit et temperature de refroidissement constants pour dispositif de generation de vide |
| FR2810375A1 (fr) * | 2000-06-15 | 2001-12-21 | Cit Alcatel | Regulation thermique a debit et temperature de refroidissement constants pour dispositif de generation de vide |
| JP2002039092A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | ターボ形ドライポンプ |
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