JPH0511455A - 光強度の調節方法 - Google Patents
光強度の調節方法Info
- Publication number
- JPH0511455A JPH0511455A JP3166824A JP16682491A JPH0511455A JP H0511455 A JPH0511455 A JP H0511455A JP 3166824 A JP3166824 A JP 3166824A JP 16682491 A JP16682491 A JP 16682491A JP H0511455 A JPH0511455 A JP H0511455A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shutter
- light intensity
- adjusted
- galvanometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光等の強度を安定かつ高精度に、速い
応答速度で容易に調節することができる光強度の調節方
法を提供する。 【構成】 光路L上にガルバノメータ式シャッタ2を配
置し、ガルバノメータ式シャッタ2を短周期にて開閉さ
せると共に、該シャッタの開放時間を長短調節すること
により光強度を調節する。 【効果】 シャッタ2の開閉周期において、単位時間当
りの開放時間を長短調節することにより、単位時間当り
のシャッタ透過光量を増減させ、光強度を調節する。ガ
ルバノメータ式シャッタは高速応答性能に優れることか
ら、レーザ発振器から発振されるレーザ光等の光強度
を、安定かつ精度良く、しかも迅速に調節できる。
応答速度で容易に調節することができる光強度の調節方
法を提供する。 【構成】 光路L上にガルバノメータ式シャッタ2を配
置し、ガルバノメータ式シャッタ2を短周期にて開閉さ
せると共に、該シャッタの開放時間を長短調節すること
により光強度を調節する。 【効果】 シャッタ2の開閉周期において、単位時間当
りの開放時間を長短調節することにより、単位時間当り
のシャッタ透過光量を増減させ、光強度を調節する。ガ
ルバノメータ式シャッタは高速応答性能に優れることか
ら、レーザ発振器から発振されるレーザ光等の光強度
を、安定かつ精度良く、しかも迅速に調節できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光強度の調節方法に係
り、特に、光硬化性樹脂に光束を照射して目的形状の硬
化体を製造する光学的造形法において照射する光強度を
容易かつ安定に調節することができる光強度の調節方法
に関する。
り、特に、光硬化性樹脂に光束を照射して目的形状の硬
化体を製造する光学的造形法において照射する光強度を
容易かつ安定に調節することができる光強度の調節方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】光硬化性樹脂に光束を照射して該照射部
分を硬化させ、この硬化部分を水平方向に連続させると
共に、さらにその上側に光硬化性樹脂を供給して同様に
して硬化させることにより上下方向にも硬化体を連続さ
せ、これを繰り返すことにより目的形状の硬化体を製造
する光学的造形法は特開昭60−247515号、62
−35966号、62−101408号などにより公知
である。光束を走査する代りにマスクを用いる方法も公
知である。
分を硬化させ、この硬化部分を水平方向に連続させると
共に、さらにその上側に光硬化性樹脂を供給して同様に
して硬化させることにより上下方向にも硬化体を連続さ
せ、これを繰り返すことにより目的形状の硬化体を製造
する光学的造形法は特開昭60−247515号、62
−35966号、62−101408号などにより公知
である。光束を走査する代りにマスクを用いる方法も公
知である。
【0003】この種の光学的造形法として、光硬化性樹
脂を収容する容器と、該容器内に光を照射する装置と、
該容器内において移動可能に設けられたベースを有する
ものがある。この光学的造形法について第2図を参照し
て説明する。
脂を収容する容器と、該容器内に光を照射する装置と、
該容器内において移動可能に設けられたベースを有する
ものがある。この光学的造形法について第2図を参照し
て説明する。
【0004】第2図において、容器11内は光硬化性樹
脂12が収容されている。容器11の底面には、石英ガ
ラス等の透光板よりなる透光窓13が設けられており、
該透光窓13に向けて光束14を照射するように、レン
ズを内蔵した光出射部15、光ファイバー16、光出射
部15を水平面内のX−Y方向(X,Yは直交する2方
向)に移動させるX−Y移動装置17、光シャッタ1
8、光源20等よりなる光学系が設けられている。
脂12が収容されている。容器11の底面には、石英ガ
ラス等の透光板よりなる透光窓13が設けられており、
該透光窓13に向けて光束14を照射するように、レン
ズを内蔵した光出射部15、光ファイバー16、光出射
部15を水平面内のX−Y方向(X,Yは直交する2方
向)に移動させるX−Y移動装置17、光シャッタ1
8、光源20等よりなる光学系が設けられている。
【0005】容器11内にはベース21が設置され、該
ベース21はエレベータ22により昇降可能とされてい
る。これら移動装置17、エレベータ22はコンピュー
タ23により制御される。
ベース21はエレベータ22により昇降可能とされてい
る。これら移動装置17、エレベータ22はコンピュー
タ23により制御される。
【0006】上記装置により硬化体を製造する場合、ま
ずベース21を透光窓13よりもわずか上方に位置さ
せ、光束14を目的形状物の水平断面に倣って走査させ
る。この走査はコンピュータ制御されたX−Y移動装置
17により行なわれる。
ずベース21を透光窓13よりもわずか上方に位置さ
せ、光束14を目的形状物の水平断面に倣って走査させ
る。この走査はコンピュータ制御されたX−Y移動装置
17により行なわれる。
【0007】目的形状物の一つの水平断面(この場合は
底面又は上面に相当する部分)のすべてに光を照射した
後、ベース21を所定ピッチだけ上昇させ、硬化層24
と透光窓13との間に未硬化の光硬化性樹脂を流入させ
た後、上記と同様の光照射を行なう。この手順を繰り返
すことにより、目的形状の硬化体(造形体)が多層積層
体として得られる。
底面又は上面に相当する部分)のすべてに光を照射した
後、ベース21を所定ピッチだけ上昇させ、硬化層24
と透光窓13との間に未硬化の光硬化性樹脂を流入させ
た後、上記と同様の光照射を行なう。この手順を繰り返
すことにより、目的形状の硬化体(造形体)が多層積層
体として得られる。
【0008】第2図に示した光束14を容器11の底面
側から照射するものに対して、光束14を光硬化性樹脂
の液面の上方から照射する方法も公知である。即ち、ベ
ース又はその上の硬化物と光硬化性樹脂の液面との間に
所定厚さとなるように光硬化性樹脂を介在させた後、光
束を液面の上方から照射して目的形状物の一水平断面の
硬化層を形成した後、ベースを所定ピッチだけ下降させ
るようにしたものである。
側から照射するものに対して、光束14を光硬化性樹脂
の液面の上方から照射する方法も公知である。即ち、ベ
ース又はその上の硬化物と光硬化性樹脂の液面との間に
所定厚さとなるように光硬化性樹脂を介在させた後、光
束を液面の上方から照射して目的形状物の一水平断面の
硬化層を形成した後、ベースを所定ピッチだけ下降させ
るようにしたものである。
【0009】また、光出射部15をX−Y方向に移動さ
せる代わりに、光源からの光を造形部に向って反射する
ミラーを傾動させることにより光束を走査する方法も公
知である。
せる代わりに、光源からの光を造形部に向って反射する
ミラーを傾動させることにより光束を走査する方法も公
知である。
【0010】なお、光束としては、使用する光硬化性樹
脂に応じ、可視光、紫外光等種々の光が用いられるが、
エネルギーレベルを高めて造形時間を短縮することがで
きる、良好な集光性を有し造形精度を向上させることが
できるという効果が奏されることから、一般にはレーザ
光が用いられる。
脂に応じ、可視光、紫外光等種々の光が用いられるが、
エネルギーレベルを高めて造形時間を短縮することがで
きる、良好な集光性を有し造形精度を向上させることが
できるという効果が奏されることから、一般にはレーザ
光が用いられる。
【0011】ところで、光学的造形法においては、光
束、即ち、レーザ光の出力(エネルギー密度)は、その
走査速度に対応して変化させる必要がある。即ち、光学
的造形法において、高精度の造形体を製造するために
は、光硬化性樹脂の硬化の度合いを、すべての硬化部位
において均一なものとする必要がある。しかして、この
均一硬化のためには、レーザ光の過剰照射や過少照射が
おきることがないように、単位面積当りの照射エネルギ
ー量を一定にする必要がある。このため、レーザ光の出
力はレーザ光の走査速度にリアルタイムで対応させ、一
般には出力と走査速度とが比例関係となるように調節す
ることが必要とされる。
束、即ち、レーザ光の出力(エネルギー密度)は、その
走査速度に対応して変化させる必要がある。即ち、光学
的造形法において、高精度の造形体を製造するために
は、光硬化性樹脂の硬化の度合いを、すべての硬化部位
において均一なものとする必要がある。しかして、この
均一硬化のためには、レーザ光の過剰照射や過少照射が
おきることがないように、単位面積当りの照射エネルギ
ー量を一定にする必要がある。このため、レーザ光の出
力はレーザ光の走査速度にリアルタイムで対応させ、一
般には出力と走査速度とが比例関係となるように調節す
ることが必要とされる。
【0012】従来、レーザ光の出力調節方法としては、
次のような方法が行なわれている。
次のような方法が行なわれている。
【0013】 He−Cdレーザの場合:レーザ発振
器内部の反射ミラーの角度を変える。或いは、光変調器
を用いて出力調節を行なう。
器内部の反射ミラーの角度を変える。或いは、光変調器
を用いて出力調節を行なう。
【0014】 Arレーザの場合:印加電圧を変化さ
せる。或いは、光変調器を用いて出力調節を行なう。
せる。或いは、光変調器を用いて出力調節を行なう。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】上記従来法のうち、反
射ミラーの角度調節や印加電圧の調節による方法では、
微調節が困難であり、また再現性が悪い上に、応答時間
が長くなり、光学的造形法に適用した場合、造形精度を
高めることが難しいという欠点がある。また、光変調器
を用いる方法は、その制御が困難である上に、コストが
高いという欠点がある。
射ミラーの角度調節や印加電圧の調節による方法では、
微調節が困難であり、また再現性が悪い上に、応答時間
が長くなり、光学的造形法に適用した場合、造形精度を
高めることが難しいという欠点がある。また、光変調器
を用いる方法は、その制御が困難である上に、コストが
高いという欠点がある。
【0016】本発明は、上記従来の問題点を解決し、レ
ーザ光等の強度を安定かつ高精度に、速い応答速度で容
易に調節することができ、しかも安価に実施できる光強
度の調節方法を提供することを目的とする。
ーザ光等の強度を安定かつ高精度に、速い応答速度で容
易に調節することができ、しかも安価に実施できる光強
度の調節方法を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明の光強度の調節方
法は、光路上にガルバノメータ式シャッタを配置し、該
ガルバノメータ式シャッタを短周期にて開閉させると共
に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光
強度を調節することを特徴とする。
法は、光路上にガルバノメータ式シャッタを配置し、該
ガルバノメータ式シャッタを短周期にて開閉させると共
に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光
強度を調節することを特徴とする。
【0018】
【作用】ガルバノメータ式シャッタは、印加電圧の有無
によるガルバノメータのヘッドの回転を利用して、光を
透過又は遮光するものであり、数msという非常に速い
応答速度で動作することができる。本発明においては、
このガルバノメータ式シャッタの高速応答性を利用し
て、光路上に配置したガルバノメータ式シャッタを短い
周期にて開閉させ、シャッタの開放時間を長短調節する
ことにより光強度を調節する。即ち、大きな光強度を必
要とする場合には、シャッタの開閉周期における単位時
間当りの開放時間を長くとる。これにより、ガルバノメ
ータ式シャッタを透過する単位時間当りの光の量が増大
し、大きな光強度を得ることができる。逆に、小さな光
強度を必要とする場合には、シャッタの開閉周期におけ
る単位時間当りの開放時間を短くとる。これにより、ガ
ルバノメータ式シャッタを透過する単位時間当りの光の
量が減少し、小さな光強度を得ることができる。
によるガルバノメータのヘッドの回転を利用して、光を
透過又は遮光するものであり、数msという非常に速い
応答速度で動作することができる。本発明においては、
このガルバノメータ式シャッタの高速応答性を利用し
て、光路上に配置したガルバノメータ式シャッタを短い
周期にて開閉させ、シャッタの開放時間を長短調節する
ことにより光強度を調節する。即ち、大きな光強度を必
要とする場合には、シャッタの開閉周期における単位時
間当りの開放時間を長くとる。これにより、ガルバノメ
ータ式シャッタを透過する単位時間当りの光の量が増大
し、大きな光強度を得ることができる。逆に、小さな光
強度を必要とする場合には、シャッタの開閉周期におけ
る単位時間当りの開放時間を短くとる。これにより、ガ
ルバノメータ式シャッタを透過する単位時間当りの光の
量が減少し、小さな光強度を得ることができる。
【0019】このように、高速応答性能に優れたガルバ
ノメータ式シャッタを利用する本発明の光強度の調節方
法によれば、光強度を、安定かつ高精度に、速い応答速
度で容易に調節することができる。
ノメータ式シャッタを利用する本発明の光強度の調節方
法によれば、光強度を、安定かつ高精度に、速い応答速
度で容易に調節することができる。
【0020】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。第1図は本発明の光強度の調節方法の一実
施例を示す説明図である。
て説明する。第1図は本発明の光強度の調節方法の一実
施例を示す説明図である。
【0021】なお、第1図において、第2図に示す部材
と同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
と同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
【0022】図示の実施例において、レーザ発振器1か
ら出力されたレーザ光Lは、その光路上に設置されたガ
ルバノメータ式シャッタ2、入射コリメータ3及び出射
コリメータ4を経て光学的造形装置の光硬化性樹脂12
に照射される。なお、5はガルバノメータ式シャッタの
電源である。
ら出力されたレーザ光Lは、その光路上に設置されたガ
ルバノメータ式シャッタ2、入射コリメータ3及び出射
コリメータ4を経て光学的造形装置の光硬化性樹脂12
に照射される。なお、5はガルバノメータ式シャッタの
電源である。
【0023】ガルバノメータ式シャッタ2は、印加電圧
の有無により、10-3秒(ms)オーダーの短周期にて
シャッタを開閉動作させることが可能である。本発明に
おいては、このような短周期の開閉動作において、単位
時間当りの開放時間の長短を調節することにより、ガル
バノメータ式シャッタ2を透過する光束量を増減させ、
光強度を調節する。
の有無により、10-3秒(ms)オーダーの短周期にて
シャッタを開閉動作させることが可能である。本発明に
おいては、このような短周期の開閉動作において、単位
時間当りの開放時間の長短を調節することにより、ガル
バノメータ式シャッタ2を透過する光束量を増減させ、
光強度を調節する。
【0024】例えば、開放時間をAms、閉鎖時間をB
msに設定したガルバノメータ式シャッタにおいて、1
秒間の開放時間、即ち、光透過時間は、A/(A+B)
秒であり、閉鎖時間、即ち、光遮断時間はB/(A+
B)秒である。同一の光束についての光強度は、その透
過時間に比例するのであるから、ガルバノメータ式シャ
ッタの印加電圧のON/OFF周期を調節して、開放時
間Aを大きく、閉鎖時間Bを小さく設定することによ
り、光強度を大きくすることができる。逆に、Aを小さ
く、Bを大きく設定することにより、光強度を小さくす
ることができる。
msに設定したガルバノメータ式シャッタにおいて、1
秒間の開放時間、即ち、光透過時間は、A/(A+B)
秒であり、閉鎖時間、即ち、光遮断時間はB/(A+
B)秒である。同一の光束についての光強度は、その透
過時間に比例するのであるから、ガルバノメータ式シャ
ッタの印加電圧のON/OFF周期を調節して、開放時
間Aを大きく、閉鎖時間Bを小さく設定することによ
り、光強度を大きくすることができる。逆に、Aを小さ
く、Bを大きく設定することにより、光強度を小さくす
ることができる。
【0025】なお、図示の光強度の調節方法は本発明の
一実施例であって、本発明はその要旨を超えない限り、
何ら図示のものに限定されるものではない。
一実施例であって、本発明はその要旨を超えない限り、
何ら図示のものに限定されるものではない。
【0026】本発明の光強度の調節方法は、このように
光学的造形法の光照射方法として、高精度造形に極めて
有効であるが、本発明は光学的造形法に限らず、光強度
の調節を必要とする他のあらゆる分野に適用できること
は言うまでもない。
光学的造形法の光照射方法として、高精度造形に極めて
有効であるが、本発明は光学的造形法に限らず、光強度
の調節を必要とする他のあらゆる分野に適用できること
は言うまでもない。
【0027】なお、本発明の光強度の調節方法を光学的
造形法に適用する場合、ガルバノメータ式シャッタの開
閉周期における単位時間当りのシャッタの開放時間に対
する光強度のデータを予めコンピュータに入力してお
き、造形に必要な光強度となるようにシャッタの開閉周
期及び開放時間を制御することにより、光強度を自動制
御することができ、極めて有利である。
造形法に適用する場合、ガルバノメータ式シャッタの開
閉周期における単位時間当りのシャッタの開放時間に対
する光強度のデータを予めコンピュータに入力してお
き、造形に必要な光強度となるようにシャッタの開閉周
期及び開放時間を制御することにより、光強度を自動制
御することができ、極めて有利である。
【0028】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の光強度の調
節方法によれば、レーザ発振器から発振されるレーザ光
等の光強度を、安定かつ精度良く、しかも迅速に要求値
となるように調節することが可能とされる。
節方法によれば、レーザ発振器から発振されるレーザ光
等の光強度を、安定かつ精度良く、しかも迅速に要求値
となるように調節することが可能とされる。
【0029】本発明の光強度の調節方法は、特に光学的
造形方法の光強度調節方法として極めて好適である。
造形方法の光強度調節方法として極めて好適である。
【図1】第1図は本発明の光強度の調節方法の一実施例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図2】第2図は光学的造形装置を示す断面図である。
1 レーザ発振器 2 ガルバノメータ式シャッタ 3 入射コリメータ 4 出射コリメータ 12 光硬化性樹脂 13 透光窓 14 光束 15 光出射部 16 光ファイバー 20 光源 21 ベース 22 エレベータ 23 コンピュータ 24 硬化層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 光路上にガルバノメータ式シャッタを配
置し、該ガルバノメータ式シャッタを短周期にて開閉さ
せると共に、 該シャッタの開放時間を長短調節することにより光強度
を調節することを特徴とする光強度の調節方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3166824A JPH0511455A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 光強度の調節方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3166824A JPH0511455A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 光強度の調節方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0511455A true JPH0511455A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=15838349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3166824A Withdrawn JPH0511455A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 光強度の調節方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0511455A (ja) |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP3166824A patent/JPH0511455A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |