KR101212879B1 - 입체 포토레지스트 미세구조물의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 입체 미세구조물 제조방법에 관한 것으로, 정합액이 마스크와 포토레지스트층 사이에 배치되는데, 상기 마스크와 포토레지스트층에 대해 상대적인 스캔과 조사(照射) 공정을 동시에 수행하여, 그레이레벨 조사선량(照射線量)의 효과가 달성될 수 있도록 한다. 이를 통해 상기 정합액이 회절 오류를 감소시키도록 하고, 이에 따라 마스크와 포토레지스트층 사이의 갭이 더 허용될 수 있도록 한다; 부가하여, 정합액은 또한 마스크와 포토레지스트층에 대한 상대적인 스캔을 위한 윤활제로서 작용할 수 있는데, 원할한 스캐닝(smooth scanning)이 이루어질 수 있도록 하고, 이에 따라 고정밀 및 대영역 입체 포토레지스트 미세구조물을 제조할 수 있게 된다.
미세구조물 제조방법, 입체 포토레지스트 미세구조물

Description

입체 포토레지스트 미세구조물의 제조방법{METHOD FOR FABRICATING 3D MICROSTRUCTURE}
본 발명은 입체 포토레지스트 미세구조물의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 스캔(scan) 조사(照射)방식으로 대영역의 입체 포토레지스트 미세구조물을 제작하는 방법에 관한 것이다.
굴절과 회절 반응으로 인해, 입체 미세구조물은 입사광의 진행을 교묘하게 변형시켜, 분광, 집광, 발산, 편광 및 균등화의 목적을 달성한다. 이로인해 입체 미세구조물은 이미 보편적으로 디스플레이장치의 도광판(Light Guide Panel), 조명, 광학마이크로렌즈, 프로젝터 및 분광레스터에 응용되고 있는 등, 광전기 산업기술분야에서 핵심적인 역할을 맡고 있다.
종래의 입체 광학 미세구조물은 정밀한 기계가공을 통해서 몰드(mold)를 생성하고, 몰드를 통해서 고분자 입체 미세구조물을 양산하였다. 그러나 이러한 제조방법은 기하 형상이 비교적 간단한 미세구조물의 제작에는 적합할 수 있으나, 근래의 광학제품이 달성하고자 하는 고차원의 광학표현, 예를 들어 굴절과 회절 효과가 결합된 복합렌즈의 경우에는 전통적인 기계가공기술로는 훨씬 더 정밀하고 대영역 을 요구되는 입체 미세구조물을 제작할 수 없다.
이 때문에, 광학 리소그래피(lithography) 기술을 이용한 입체 미세구조물이 발전하게 되었는데, 주요 방법 및 그 장단점은 다음과 같다:
(1) 레이저와 입자빔 다이렉트-라이트(direct-write) 기술은, 레이저, 전자빔, 또는 이온빔 직접쓰기를 진행하되, 그레이레벨 조사선량(照射線量)을 이용하여 입체 미세구조물을 생성한다. 이 방법은 간단하다는 장점이 있으나, 제작시간이 오래 걸리고 가공품질이 이상적이지 못하다는 단점이 있다.
(2) 그레이레벨 마스크 기술은, 그레이레벨 마스크를 통해 그레이레벨 조사 효과를 생성하고, 현상(develop)하여 입체 미세구조물을 생성한다. 이 방법은 포토레지스트 제작공정이 간단하다는 장점이 있으나, 그레이레벨 마스크의 시뮬레이션 및 제작이 모두 아주 복잡해서, 마스크의 가격이 매우 비싸다는 단점이 있다.
(3) 스캔식 포토레지스트 기술은, 마스크와 포토레지스트 사이의 상대적인 스캐닝을 변화시켜 그레이레벨 조사(照射) 효과를 생성하고, 현상(develop)하여 입체 미세구조물을 생성한다; 스캔 조사 과정에서, 마스크와 포토레지스트 사이는 반드시 적당한 간격이 유지되면서 상대적인 스캐닝이 진행되어야 하는데, 만일 상기 간격이 너무 클 경우에는 회절 오류가 증대되어 가공정밀도에 영향을 미치게 된다. 반면 만일 상기 간격이 너무 좁을 경우에는 마스크와 포토레지스트가 마찰 접촉되어, 미세구조물의 완전성을 훼손시키거나 또는 스캔 조사의 진행에 영향을 미칠 수 있다.
종래 기술에서는 단파장의 X선을 광원(光源)으로 하여 스캔 조사를 진행하여 회절오류를 감소시켰다. 그러나 X선의 광원 자원은 유한하고, 조사의 진공 챔버를 대폭 증대시키는 것이 쉽지 않다. 따라서 대영역의 광학부재에 응용하는 것이 쉽지 않다; 그 밖에 종래 기술 중에는 자외선(UV) 광원을 통해 스캔 조사를 진행한 것이 있는데, 마스크와 포토레지스트 사이의 거리를 대폭 줄여 포토레지스트의 회절오차가 대폭 감소되도록 하였다. 그러나 상기 거리가 대폭 감소된 경우, 포토레지스트 도포의 균일도와 기계 정밀도를 엄격하게 요구하기 때문에, 포토레지스트에 대하여 스캔을 진행하는 스캔작업대의 비용이 대폭 증가되기 때문에, 대영역의 광학 미세구조물을 제작하는 것이 쉽지 않다.
도 1은 간단한 UV 광원을 포토레지스트의 광원으로 사용하여 스캔 조사를 하고 현상을 한 후의 포토레지스트 미세구조물 SEM을 보여주는 설명도인데, 이를 참조한다. 마스크와 포토레지스트 사이에 일정 간격이 존재하고 상기 간격에 어떠한 액체 매개물질이 존재하지 않을 경우, SEM 설명도를 통해서 명백히 알 수 있는 바와 같이, 포토레지스트(10) 표면의 균일도는 완전하지 못하고, 포토에칭(Photo etching)의 품질이 우수하지 못하며, 나아가 입체 고분자 정밀 미세구조물의 제작에 영향을 미치게 된다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 정합액이 마스크와 포토레지스트 사이에 배치되고, 마스크와 포토레지스트에 대해 상대적인 스캐닝을 할 때 침윤 조사 공정을 동시에 수행하여, 정합액이 마스크와 포토레지스트 사이의 굴 절계수를 조절하여 스캔 포토에칭의 정밀도를 높일 수 있는 입체 미세구조물 제조방법을 제공하는 것이다; 부가하여, 정합액은 또한 마스크와 포토레지스트에 대한 상대적인 스캐닝을 위한 윤활제로서 작용할 수 있는데, 스캔 조사가 용이하게 이루어질 수 있도록 하고, 이에 따라 마스크와 포토레지스트가 적당한 간격을 유지하도록 하여, 스캔의 고정밀를 높이고 스캔 작업대의 비용을 낮출 수 있도록 한다.
본 발명의 목적은 정합액을 부가하고, 간단한 UV 광원을 사용하여 조사 단계가 진행되도록 함으로써, 값비싼 단파 광원을 사용할 필요가 없도록 하여 비용 절감의 효과를 달성할 수 있는 입체 미세구조물 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은, 레이저 또는 입자빔 다이렉트-라이트(direct-write)의 문제점을 극복하여, 단시간 내에 고정밀도 대영역의 입체 미세구조물을 제작할 수 있는 입체 미세구조물 제조방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명이 제공하는 입체 미세구조물 제조방법은, 포토레지스트 테스트피스(test piece)를 제공하는 단계; 포토레지스트 테스트피스 상에 정합액을 부가하는 단계; 포토레지스트 테스트피스 상에 마스크를 장착하여, 상기 정합액이 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이에 위치하도록 하는 단계; 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 중 적어도 어느 하나에 대하여 수평 스캔을 진행하고, 상기 수평스캔을 진행하는 동시에 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 조사를 진행하여, 그레이레벨 조사 효과를 당성하도록 하는 단계; 및 상기 정합액을 제거하고, 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 현상을 진행하는 단계를 포함하여 구성된다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 입체 포토레지스트 미세구조물의 제조방법 흐름을 보여주는 설명도인데, 이를 참조한다: 우선, 도 2a에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 테스트피스(20)를 제공하되, 포토레지스트 테스트피스(20)는 베이스판(201) 및 상기 베이스판에 도포되는 포토레지스트층(202; 양성형 감광재료와 음성형 감광재료를 포함)을 포함하여 구성된다. 본 실시예에서, 회전도포방식으로 상기 포토레지스트층(202)을 모두 베이스판(201) 상에 장착하고, 소프트 베이킹(soft baking) 가열건조(Dry heat) 후에 스캔 작업대(22) 상게 고정한다. 포토레지스트층(202)의 두께는 필요에 따라 결정하며 두 베이스판(201) 상에 균등하게 도포되도록 한다.
다음 단계로, 도 2b에 도시된 바와 같이, 포토레지스트층(202) 상에 정합액(24)을 부가한다. 그 후에, 도 2c에 도시된 바와 같이, 스캔 작업재(22)을 상승시켜 점차적으로 고정된 마스크(26)에 접근하도록 하여, 마스크(26)가 포토레지스트 테스트피스(20) 상에 장착되도록 한다. 또한 정합액(24)이 힘을 받아 확산되어 마스크(26)와 포토레지스트 테스트피스(20) 사이에 균등하게 확산되도록 한다.
다음 단계로, 도 2d에 도시된 바와 같이, 스캔 작업대(22)를 제어하여 수평스캔을 진행하고, 상기 수평스캔을 진행하는 동시에 이동 중인 포토레지스트 테스트피스(20)에 대하여 조사를 진행하여, 수평스캔 작동의 스캔 속도, 움직이는 경로 및 회수를 제어하여, 포토레지스트층(202)의 그레이레벨 조사 효과를 달성하도록 함으로써, 그레이레벨 조사선량(照射線量)을 제어한다. 본 실시에에서는 스캔 작업재(22)의 스캔 속도를 0.5㎜/s가 되도록 제어하고, 왕복스캔횟수가 설계된 조사선량(照射線量)에 도달하도록 한다.
여기서, 수평스캔은 포토레지스트 테스트피스(20)와 마스크(26) 사이의 상대적인 운동에 의해 이루어지는데, 예를 들어 포토레지스트 테스트피스(20)를 고정시키고 마스크(26)를 이동시키거나, 또는 마스크(26)를 고정시키고 포토레지스트 테스트피스(20)를 이동시키거나, 또는 이들을 조합하여 이루어지도록 한다; 수평스캔은 단일축 방향, 양축 방향 또는 세개축(x, y, θ) 방향으로 진행될 수 있는데, 순서에 따라 작동하거나 또는 여러 개의 축으로 동시에 작동할 수도 있다. 수평스캔은 등속 또는 변속 진행이 모두 가능하며, 더욱 다양한 형태의 그레이레벨 조사 효과를 창출할 수 있도록 한다. 다른 한편으로, 다른 실시예에서는, 마스크와 포토레지스트 테스트피스의 기판은 평면 결합 구조가 되도록 하거나, 또는 곡면 결합구조가 되도록 하여, 각기 다른 윤곽의 입체 포토레지스트 미세구조물을 제작한다.
여기서, 조사 단계에서 자외선(UV) 광원(28)이 조사(照射) 광원이 되도록 하는데, UV 광원(28)의 파장범위는 포토레지스트층의 특성에 따라 달라진다. 본 발명의 실시예에서는 250㎚ 내지 500㎚ 사이의 UV광원(28)을 사용한다. UV광원(28)은 고압 수은등, 레이저 또는 발광다이오드(LED)에 의해 생성될 수 있다. 가장 바람직스러운 것은, UV 광원(28)으로 조사를 시작한 후, UV광원(28)이 안정될 때를 기다려, 스캔 작업대(22)를 움직여 적당한 스캔 속도와 회수를 설정하여 스캔을 진행하면서 동시에 조사도 진행하는데, 포토레지스트 테스트피스(20)가 마스크의 은폐구 역(도면에 미도시)에 위치하도록 한다.
마지막으로, 조사 단계를 완성한 후, UV광원(28)을 닫고, 스캔작업대(22)를 하강시켜, 마스크(26)를 분리시키고, 포토레지스트 테스트피스(20)를 얻는다. 도 2e에 도시된 바와 같이, 정합액(24)을 제거하고 포토레지스트 테스트피스(20)에 대하여 현상(develop) 단계를 진행하여 입체 포토레지스트 미세구조물(30)을 얻는다. 본 실시예에서는 증류수를 사용하여 포토레지스트 테스트피스(20) 표면의 정합액(24)이 제거되도록 하였고, 다시 압축공기를 불어 넣어 포토레지스트 테스트피스(20)를 건조시켰다; 다음으로, 포토레지스트 테스트피스(20)를 현상액에 넣어 적당한 강도로 흔드는데, 약 5분 정도 경과 한 후 입체 포토레지스트 미세구조물(30)을 얻는다.
본 실시예에서, 마스크의 재질은 유리, 석영 또는 소프트 고분자가 될 수 있는데, 이들은 도형화된 투광구조를 구비한다. 정합액의 굴절계수는 마스크의 굴절계수와 포토레지스트 굴절계수 사이의 값을 가질 수 있으며, 또는 마스크 또는 포토레지스트 굴절계수에 근접한 값을 가질 수도 있다. 정합액의 굴절계수는 1.01 내지 1.99 사이일 수 있고, 바람직스럽게는 1.3 내지 1.6 사이이다; 한편, 정합액을 선택할 때, 정합액은 적당한 점도와 표면장력을 갖추도록 하여, 스캔 조사 시, 마스크와 포토레지스트 테스트피스 사이에 놓인 정합액이 안전하게 연결 상태를 유지할 수 있도록 해야 한다; 또한 정합액은 양호한 화학 안정성을 구비하여, 포토레지스트 테스트피스와 화학반응되어 포토레지스트 미세구조물의 품질에 영향을 미치지 않도록 해야 한다. 또한 정합액은 쉽게 제거되어야 하는데, 이는 다음 단계의 포토레지스트 현상(develop) 작업을 용이하게 수행하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 정합액으로 글리세롤(glycerol)을 사용하고 있다. 광원의 파장이 420㎚가 될 때, 글리세롤의 굴절계수는 1.47인데, 유리 마스크의 굴절계수(1.54)와 포토레지스트의 굴절계수(1.5)에 근접해 있다. 여기서, 글리세롤은 우선 공기를 제거하는 진공과정을 수행한 후 포토레지스트 테스트피스 상에 장착되어, 잔여 기포가 조사 단계에 영향을 미치지 못하도록 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 첨가되는 글리세롤이 정합액으로서 조사 현상을 진행한 후에 완성된 입체 포토레지스트 미세구조물 SEM을 보여주는 설명도인데, 이를 참조한다. 도 1에서 보여주는 SEM도와 동일한 실험 변수(동일한 UV광원, 동일형의 감광포토레지스터, 동일한 마스크 및 포토레지스트 사이의 간격 및 동일한 스캔 속도와 회수)를 사용한 경우, 정합액이 추가 되지 않은 종래의 포토레지스트 미세구조물과 본 발명에 의해 생산된 포토레지스트 미세구조물을 비교하여 보면, 본 발명에 의한 포토레지스트 미세구조물(30)은 모두 완전한 외관을 구비하고 있고, 나아가 포토에칭몰드(LIGA) 기술, 즉 리가 금형가공을 통해서, 열압착 또는 사출 등의 몰드 기술을 이용하여 입체 고분자 정밀 미세구조물을 대량으로 생산한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 포토레지스트에 대하여 스캔을 진행할 때의 마스크와 포토레지스트의 배치관계를 보여주는 설명도인데, 이를 참조한다. 도면에 도시된 바와 같이, 마스크(26)는 도형화된 투광결합구조인데, 본 실시예에서는, 마스크(26)는 삼각형 투광결합구조(261)를 구비하고 있다; 스캔 작업대(22)는 포토레 지스트 테스트피스(20)(베이스판(201)과 포토레지스트층(202) 포함)를 상승시켜, 즉 z축 방향을 따라 이동시켜, 포토레지스트 테스트피스(20)와 마스크(26) 사이의 정합액(24) 두께를 결정한다; 조사 단계를 진행할 때, 스캔 작업대(22)는 포토레지스트 테스트피스(20)를 y축 방향에서 움직여 왕복스캔 작업이 진행되도록 하여, 도 3의 포토레지스트 테스트피스(20)거 보여주는 포토레지스트 미세구조물(30)이 형성되도록 한다.
본 발명에서, 정합액은 마스크와 포토레지스트에 대한 상대적인 스캐닝을 위한 윤활제와 완충제로서 작용할 수 있는데, 스캔 리소그래피가 용이하게 이루어질 수 있도록 한다; 또한, 정합액을 마스크와 포토레지스트 사이에 삽입하여 마스크와 포토레지스트의 굴절계수를 조절하여 스캔 포토에칭의 정밀도를 높이고, 마스크와 포토레지스트층 사이의 갭이 더 허용될 수 있도록 하여 상대 운동에 유리하도록 한다. 이를 통해 스캔 작업대의 스캔 정밀도가 높아지고, 스캔 작업대의 비용을 대폭 줄일 수 있으며, 대영역의 입체 미세구조물 제작공정에 더욱 유리하도록 한다. 더욱이 종래의 레이저 또는 입자빔 다이렉트-라이트(direct-write)의 문제점을 극복하여, 단시간 내에 고정밀도 대영역의 입체 미세구조물을 제작할 수 있게 된다. 그 밖에, 본 발명은 간단한 UV 광원을 사용하여 조사 단계가 진행되도록 함으로써, 값비싼 단파광원을 사용할 필요가 없도록 하여 비용 절감의 효과를 달성할 수 있다.
상술한 실시예는 본 발명의 기술적 특징을 설명하기 위하여 예로서 든 실시태양에 불과한 것으로, 청구범위에 기재된 본 발명의 보호범위를 제한하기 위하여 사용되는 것이 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하며, 따라서 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
삭제
도 1은 간단한 UV 광원을 포토레지스트의 광원으로 사용하여 스캔 조사를 하고 현상을 한 후의 포토레지스트 미세구조물 SEM을 보여주는 설명도이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 입체 포토레지스트 미세구조물의 제조방법 흐름도를 보여주는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 첨가되는 글리세롤이 정합액으로서 조사 현상을 진행한 후의 입체 포토레지스트 미세결합구조물 SEM을 보여주는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 포토레지스트에 대하여 스캔을 진행할 때의 마스크와 포토레지스트의 배치관계를 보여주는 설명도이다.
* 주요 구성에 대한 도면부호의 설명 *
10 : 토포레지스트 미세구조물 20 : 포토레지스트 테스트피스(test piece)
201 : 베이스판 202 : 포토레지스트층
22 : 스캔작업대 24 : 정합액
26 : 마스크 261 : 투광결합구조
28 : UV광원 30 : 토포레지스트 미세구조물

Claims (14)

  1. 포토레지스트 테스트피스(test piece)를 제공하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 정합액을 부가하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 적어도 하나의 패턴을 포함하는 마스크를 장착하고, 상기 정합액이 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이에 위치하도록 하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스와 상기 마스크 중 적어도 어느 하나에 대하여 수평스캔을 진행하고, 상기 수평스캔을 진행하는 동시에 스캔 방향을 따라 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 조사(照射)를 진행하는 단계; 및
    상기 정합액을 제거하고, 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 현상(develop)을 진행하는 단계를 포함하고,
    상기 패턴은 상기 스캔 방향으로 서로 다른 길이를 가짐으로써, 상기 포토레지스트 테스트피스가 상기 스캔 방향의 수직 방향으로 누적 조사량이 서로 다른 조사 영역을 갖도록 하는 입체 미세구조물 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 수평스캔은 단일축 방향, 양축 방향 또는 세개축 방향으로 진행되는 입체 미세구조물 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 스캔 작업대를 부가하여, 상기 스캔 작업대가 상기 포토레지스트 테스트피스를 승하강시켜, 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이의 정합액 두께를 제어하도록 하는 입체 미세구조물 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 정합액의 굴절계수는 1.01 내지 1.99 사이가 되는 입체 미세구조물 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 조사(照射) 단계에서 자외선(UV) 광원을 사용하는 입체 미세구조물 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 자외선 광원의 파장은 250㎚ 내지 500㎚ 사이가 되는 입체 미세구조물 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 마스크는 도형화된 투광구조를 구비하고, 상기 마스크의 재질은 유리, 석영 또는 소프트 고분자가 되는 입체 미세구조물 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 포토레지스트 테스트피스는 베이스판 및 상기 베이스판에 도포되는 포토레지스트층을 포함하는 입체 미세구조물 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 포토레지스트층은 양성형 감광재료 또는 음성형 감광재료일 수 있는 것을 특징으로 하는 입체 미세구조물 제조방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 정합액의 굴절계수는 상기 마스크 굴절계수와 상기 포토레지스트층 굴절계수 사이의 값을 갖는 입체 미세구조물 제조방법.
  11. 제 8 항에 있어서, 상기 마스크와 상기 베이스판은 평면 결합 구조 또는 곡면 결합구조가 되는 입체 미세구조물 제조방법.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 수평스캔은 등속 또는 변속 방식으로 진행되는 입체 미세구조물 제조방법.
  13. 스캔 작업대 상에 포토레지스트 테스트피스(test piece)를 제공하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 정합액을 부가하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 마스크를 장착하고, 상기 정합액이 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이에 위치하도록 하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스와 상기 마스크 중 적어도 어느 하나에 대하여 수평스캔을 진행하고, 상기 수평스캔을 진행하는 동시에 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 조사(照射)를 진행하며, 상기 스캔 작업대는 승하강 동작을 수행하여 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이의 정합액의 두께를 조정하는 단계; 및
    상기 정합액을 제거하고, 상기 포토레지스트 테스트피스를 현상(develop)하는 단계를 포함하는 입체 미세구조물 제조방법.
  14. 베이스판 및 상기 베이스판 상에 도포된 포토레지스트층을 포함하는 포토레지스트 테스트피스를 제공하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 정합액을 제공하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스 상에 마스크를 장착하고, 상기 정합액이 상기 마스크와 상기 포토레지스트 테스트피스 사이에 위치하도록 하며, 상기 정합액의 굴절계수는 상기 마스크의 굴절계수와 상기 포토레지스트층의 굴절계수 사이의 값을 갖도록 하는 단계;
    상기 포토레지스트 테스트피스와 상기 마스크 중 적어도 어느 하나에 대하여 수평스캔을 진행하고, 상기 수평스캔을 진행하는 동시에 상기 포토레지스트 테스트피스에 대하여 조사(照射)를 진행하는 단계; 및
    상기 정합액을 제거하고, 상기 포토레지스트 테스트피스를 현상(develop)하는 단계를 포함하는 입체 미세구조물 제조방법.
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