JPH0510747A - 穴の中心位置測定方法 - Google Patents
穴の中心位置測定方法Info
- Publication number
- JPH0510747A JPH0510747A JP18345891A JP18345891A JPH0510747A JP H0510747 A JPH0510747 A JP H0510747A JP 18345891 A JP18345891 A JP 18345891A JP 18345891 A JP18345891 A JP 18345891A JP H0510747 A JPH0510747 A JP H0510747A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- sphere
- center position
- light
- measuring method
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 穴のエッジや外周面にできた欠けやゴミ等に
影響されずに、穴の中心位置を測定できる方法を提供す
る。 【構成】 測定の対象とする穴１の上に球体２をのせ、
この球体２の中心軸３を測定することで、同穴１の中心
位置４を測定する。
影響されずに、穴の中心位置を測定できる方法を提供す
る。 【構成】 測定の対象とする穴１の上に球体２をのせ、
この球体２の中心軸３を測定することで、同穴１の中心
位置４を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板状試料等に開けられ
ている穴の中心位置を測定する方法に関するものであ
る。
ている穴の中心位置を測定する方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より穴の中心位置を測定する方法に
は各種の方法があるが、例えば図５（ａ）に示すような
方法がある。これは穴Ａの開けられた試料Ｂの下方に、
穴Ａを照射するライトＣを設け、穴Ａの上方に前記ライ
トＣからの光量を検出する光検出器Ｄが同図のＸ、Ｙ、
Ｚの各方向に移動できるようにセットされている。この
装置において前記光検出器６をＸ又はＹ方向に移動させ
たときに光検出器Ｄにより受光される光量分布は図５
（ｂ）に示すようになる。この光量レベルが予め設定さ
れているしきい値を越えた点を穴ＡのエッジＥとみな
し、このＸ，Ｙ方向の走査を多数回繰返せば、光量レベ
ルから判断される穴ＡのエッジＥが定まり、これより最
小２乗法等の演算により穴Ａの中心位置Ｆ｛図５（ａ）
（ｃ）｝が求められるようにしたものである。
は各種の方法があるが、例えば図５（ａ）に示すような
方法がある。これは穴Ａの開けられた試料Ｂの下方に、
穴Ａを照射するライトＣを設け、穴Ａの上方に前記ライ
トＣからの光量を検出する光検出器Ｄが同図のＸ、Ｙ、
Ｚの各方向に移動できるようにセットされている。この
装置において前記光検出器６をＸ又はＹ方向に移動させ
たときに光検出器Ｄにより受光される光量分布は図５
（ｂ）に示すようになる。この光量レベルが予め設定さ
れているしきい値を越えた点を穴ＡのエッジＥとみな
し、このＸ，Ｙ方向の走査を多数回繰返せば、光量レベ
ルから判断される穴ＡのエッジＥが定まり、これより最
小２乗法等の演算により穴Ａの中心位置Ｆ｛図５（ａ）
（ｃ）｝が求められるようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記測定方法は穴Ａの
エッジＥを光量レベルより判断するものであるため、図
５（ｃ）に示すように穴ＡのエッジＥ部分に局所的に欠
けＧが多数個存在する場合は、最小２乗法で求められる
円の形状が同図（ｃ）に仮想線円Ｈで示すようになり、
実際の穴Ａの円形と異なる。従って穴Ａの中心位置Ｆも
かわってしまう。これは穴Ａの外周にゴミ等が付着して
いる場合も同様である。
エッジＥを光量レベルより判断するものであるため、図
５（ｃ）に示すように穴ＡのエッジＥ部分に局所的に欠
けＧが多数個存在する場合は、最小２乗法で求められる
円の形状が同図（ｃ）に仮想線円Ｈで示すようになり、
実際の穴Ａの円形と異なる。従って穴Ａの中心位置Ｆも
かわってしまう。これは穴Ａの外周にゴミ等が付着して
いる場合も同様である。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、測定しようとする穴の
エッジや外周面にできた欠けやゴミ等に影響されずに穴
の中心位置を精密測定できる方法を提供することにあ
る。
エッジや外周面にできた欠けやゴミ等に影響されずに穴
の中心位置を精密測定できる方法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の穴の中心位置測
定方法は図１に示すように、測定の対象とする穴１の上
にその穴径よりも大きい径の球体２をのせ、この球体２
の中心軸３の位置を測定することで、同穴１の中心位置
４を測定するものである。
定方法は図１に示すように、測定の対象とする穴１の上
にその穴径よりも大きい径の球体２をのせ、この球体２
の中心軸３の位置を測定することで、同穴１の中心位置
４を測定するものである。
【０００６】
【作用】本発明の穴の中心位置測定方法では、図１、図
２に示すように、試料５に開けられた円形の穴１上にそ
の直径よりも大きい球体２を載せる。このとき図２
（ｂ）に示すように、球体２で穴１が完全に塞がれるの
で、同穴１のエッジ（円周）６に欠け７等が存在して
も、同欠け７等がエッジ６の１／４以上にわたって連続
して存在しなければ、同穴１の中心位置４は球体２の中
心軸３と一致する。このため前記球体２の中心軸３の位
置を求めれば、穴１の中心位置４を求めることができ
る。
２に示すように、試料５に開けられた円形の穴１上にそ
の直径よりも大きい球体２を載せる。このとき図２
（ｂ）に示すように、球体２で穴１が完全に塞がれるの
で、同穴１のエッジ（円周）６に欠け７等が存在して
も、同欠け７等がエッジ６の１／４以上にわたって連続
して存在しなければ、同穴１の中心位置４は球体２の中
心軸３と一致する。このため前記球体２の中心軸３の位
置を求めれば、穴１の中心位置４を求めることができ
る。
【０００７】
【実施例１】本発明の穴の中心位置測定方法の第１実施
例を図１に示す。この実施例ではガラス製で且つ外径が
精密に仕上げられた球体２を試料５に開けられた穴１の
上に載せ、穴１の下方のライト８から同球体２に光を照
射し、球体２の上方にＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動できるよう
に設けた光検出器９により、同球体２を通過した光を検
出するようにしてある。このとき球体２に照射された光
は同球体２で屈折されて、焦点を結び、球体２の上方か
ら出射する。この光を上方の光検出器９で検出し、従来
技術を用いて球体２の中心軸３の位置、すなわち穴１の
中心位置４を求めるようにしてある。
例を図１に示す。この実施例ではガラス製で且つ外径が
精密に仕上げられた球体２を試料５に開けられた穴１の
上に載せ、穴１の下方のライト８から同球体２に光を照
射し、球体２の上方にＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動できるよう
に設けた光検出器９により、同球体２を通過した光を検
出するようにしてある。このとき球体２に照射された光
は同球体２で屈折されて、焦点を結び、球体２の上方か
ら出射する。この光を上方の光検出器９で検出し、従来
技術を用いて球体２の中心軸３の位置、すなわち穴１の
中心位置４を求めるようにしてある。
【０００８】
【実施例２】本発明の穴の中心位置測定方法の第２実施
例を図３に示す。この実施例では球体２として金属製で
且つ外径が精密に仕上げられた球体を使用し、前例と同
様に穴１の上に載せる。この場合は球体２の中心軸３の
位置を求めるために図４に示すプローブ１０を使用す
る。このプローブ１０は光検出面１１に球体２に光を投
射する光投射用ファイバＯが中心に設置され、球体２か
らの反射光を検出する光入射用ファイバＩ1 ，Ｉ2 ，Ｉ
3 がその外周に同心円状に配置され、それらの間にダミ
ー用ロッドＲ1 ，Ｒ2 ，Ｒ2 が設けられたものである。
同プローブ１０はＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能に球体２の
上方にセットする。このプローブ１０をＸ，Ｙ方向に走
査して、球体２からの反射光を光入射用ファイバＩ1 ，
Ｉ2 ，Ｉ3で検出し、光入射用ファイバＩ1 ，Ｉ2 ，Ｉ3
の出力Ｐ1 、Ｐ2 、Ｐ3 がＰ1 ＝Ｐ2 ＝Ｐ3 となった
時、光投射用ファイバＯは球体２の頂点、すなわち穴１
の中心位置４に位置することになる。この場合、測定精
度を上げるためには、例えばプローブ１０を１８０°回
転させて前回と同様に再度測定をし、この測定値と前回
の測定値との平均を求めるようにしてもよい。
例を図３に示す。この実施例では球体２として金属製で
且つ外径が精密に仕上げられた球体を使用し、前例と同
様に穴１の上に載せる。この場合は球体２の中心軸３の
位置を求めるために図４に示すプローブ１０を使用す
る。このプローブ１０は光検出面１１に球体２に光を投
射する光投射用ファイバＯが中心に設置され、球体２か
らの反射光を検出する光入射用ファイバＩ1 ，Ｉ2 ，Ｉ
3 がその外周に同心円状に配置され、それらの間にダミ
ー用ロッドＲ1 ，Ｒ2 ，Ｒ2 が設けられたものである。
同プローブ１０はＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能に球体２の
上方にセットする。このプローブ１０をＸ，Ｙ方向に走
査して、球体２からの反射光を光入射用ファイバＩ1 ，
Ｉ2 ，Ｉ3で検出し、光入射用ファイバＩ1 ，Ｉ2 ，Ｉ3
の出力Ｐ1 、Ｐ2 、Ｐ3 がＰ1 ＝Ｐ2 ＝Ｐ3 となった
時、光投射用ファイバＯは球体２の頂点、すなわち穴１
の中心位置４に位置することになる。この場合、測定精
度を上げるためには、例えばプローブ１０を１８０°回
転させて前回と同様に再度測定をし、この測定値と前回
の測定値との平均を求めるようにしてもよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明の穴の中心位置測定方法によれ
ば、穴１のエッジ６及び穴１の内周面に発生した欠け７
やゴミ等の付着物に影響されることなく、穴１の中心位
置４を高い精度で測定することができる。
ば、穴１のエッジ６及び穴１の内周面に発生した欠け７
やゴミ等の付着物に影響されることなく、穴１の中心位
置４を高い精度で測定することができる。
【図１】本発明の穴の中心位置測定方法の一実施例を示
す断面図。
す断面図。
【図２】同図（ａ）は穴に球体を載せた状態の平面図、
同図（ｂ）は同状態の側面図。
同図（ｂ）は同状態の側面図。
【図３】本発明の穴の中心位置測定方法の他の実施例を
示す断面図。
示す断面図。
【図４】図３の穴の中心位置測定方法に用いられるプロ
ーブの一例を示す説明図。
ーブの一例を示す説明図。
【図５】同図（ａ）は従来の穴の中心位置測定方法の一
例を示す概略図、同図（ｂ）は従来の測定方法における
光検出器の光量レベルとしきい値との関係を示す説明
図、同図（ｃ）は同方法により穴の中心位置を求めた場
合のずれの説明図。
例を示す概略図、同図（ｂ）は従来の測定方法における
光検出器の光量レベルとしきい値との関係を示す説明
図、同図（ｃ）は同方法により穴の中心位置を求めた場
合のずれの説明図。
１ 穴 ２ 球体 ３ 中心軸 ４ 中心位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田辺 悦男 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 測定の対象とする穴１の上にその穴１径
よりも大きい径の球体２をのせ、この球体２の中心軸３
の位置を測定することで、同穴１の中心位置４を測定す
ることを特徴とする穴の中心位置測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18345891A JPH0510747A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 穴の中心位置測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18345891A JPH0510747A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 穴の中心位置測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510747A true JPH0510747A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=16136135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18345891A Pending JPH0510747A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 穴の中心位置測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0510747A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030005856A (ko) * | 2001-07-10 | 2003-01-23 | 현대자동차주식회사 | 홀 측정장치 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP18345891A patent/JPH0510747A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030005856A (ko) * | 2001-07-10 | 2003-01-23 | 현대자동차주식회사 | 홀 측정장치 |
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