JPH05107407A - Optical mirror - Google Patents

Optical mirror

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JPH05107407A
JPH05107407A JP27070791A JP27070791A JPH05107407A JP H05107407 A JPH05107407 A JP H05107407A JP 27070791 A JP27070791 A JP 27070791A JP 27070791 A JP27070791 A JP 27070791A JP H05107407 A JPH05107407 A JP H05107407A
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JP
Japan
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mirror
curable resin
radiation
resin layer
optical mirror
Prior art date
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Application number
JP27070791A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiji Takasu
慶治 鷹栖
Masaki Yoshii
正樹 吉井
Yasuo Amano
泰雄 天野
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide an optical mirror which can prevent its mirror surface from deteriorating its surface condition and from cracking, which is excellent in mass productivity and which is manufactured at a low cost. CONSTITUTION:A surface of a metal substrate 2 on which a mirror surface is to be formed is thereover with a first radiation cure type soft resin layer 4, and is then formed with a second radiation cure type hard resin layer 6 is formed. Further, a metal reflection film 5 made of aluminum or the like, is formed over the layer 6 in order to attain stress relaxation which is caused by variations in dimensions of the resin layers 4, 6 due to a change in temperature or humidity. Thereby it is possible to obtain an optical mirror 1 which may maintain the accuracy of the mirror surface 3 and which may prevent the mirror surface from cracking.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光学ミラーに係り、特に
反射面性状に優れた光学ミラーおよび製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical mirror, and more particularly to an optical mirror having an excellent reflecting surface property and a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学ミラーの従来の製造方法としては鉄
系の硬質金属の切削、研削加工後に研磨加工する方法
や、あるいはAl系、Cu系、Ni系金属の鏡面切削加工
による方法がある。しかし、これらの加工法では加工工
数が多く、その量産性、製造コスト低減についての配慮
に欠けていた。そこで、特開平2−161401では、
高剛性部材からなる母材を切削し一定のピッチをもつ波
状斜面を作成し、この波状斜面状に感光性樹脂を均一に
塗布し、この感光性樹脂の上から平面性及び鏡面性に優
れた透明なマスタ−部材を密着させ吸収波長に見合う光
を露光してその感光性樹脂を硬化し、前記マスタ−部材
を剥離した後、前記感光性樹脂の表面に高反射率部材を
蒸着して反射面(ミラ−面)を形成していた。
2. Description of the Related Art As a conventional method for manufacturing an optical mirror, there is a method of cutting and polishing an iron-based hard metal, and a method of polishing after grinding, or a method of mirror-cutting an Al-based, Cu-based, and Ni-based metal. However, these processing methods have a large number of processing steps, and lack of consideration for mass productivity and reduction of manufacturing cost. Therefore, in Japanese Patent Laid-Open No. 2-161401,
A base material made of high-rigidity material is cut to create a wavy slope with a constant pitch, and a photosensitive resin is evenly applied to this wavy slope, and the flatness and specularity of this photosensitive resin are excellent. A transparent master member is brought into close contact with the photosensitive resin to expose it to light having a wavelength matching the absorption wavelength, the master resin is peeled off, and a high-reflectance member is vapor-deposited on the surface of the photosensitive resin for reflection. The surface (mirror surface) was formed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術はミラー
が使用される温湿度環境の変化による金属基体と放射線
硬化樹脂との熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差について配慮
されておらず、金属反射膜に亀裂が生じるという問題が
あった。本発明の目的は、上記問題点を解決して反射面
性状の優れた光学ミラーおよび製造方法を提供すること
にある。
The above-mentioned prior art does not consider the difference in thermal expansion (contraction) and the difference in hygroscopic expansion between the metal substrate and the radiation curable resin due to changes in the temperature and humidity environment in which the mirror is used. There is a problem that cracks occur in the reflective film. An object of the present invention is to solve the above problems and provide an optical mirror having an excellent reflecting surface property and a manufacturing method.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的は、金属基体の
上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、さらに該軟質
の放射線硬化性樹脂層の上に硬質の放射線硬化樹脂層を
設け、放射線を透過する母型によりミラー面を形成し、
放射線照射により該放射線硬化樹脂層を硬化させた後、
金属反射膜を該放射線硬化樹脂層上に形成する。
The above object is to form a soft radiation-curable resin layer on a metal substrate, and further provide a hard radiation-curable resin layer on the soft radiation-curable resin layer, A mirror surface is formed by a mother die that transmits radiation,
After curing the radiation curable resin layer by irradiation with radiation,
A metal reflective film is formed on the radiation curable resin layer.

【0005】[0005]

【作用】一般に、異なる材質のものを一体重合してなる
成形品は、温度や湿度の変化に伴う熱膨張(収縮)差、吸
湿膨張差により反り、うねりが生じたり、表面に亀裂が
生じたりする場合がある。金属基体が高剛性体である場
合は、放射線硬化樹脂層にしわが生じることがある。こ
れは、熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差により金属基体と放
射線硬化樹脂層との間に応力が発生するためである。そ
こで、ヤング率(弾性係数)の小さい軟質の放射線硬化
性樹脂を第1の樹脂層として設けることにより応力を緩
和し、その上に硬質の放射線硬化樹脂層を設けさらにそ
の表面に金属反射膜を形成すれば、そり、うねり、しわ
のない光学ミラ−を得ることができる。
[Function] Generally, a molded product obtained by integrally polymerizing different materials has a difference in thermal expansion (contraction) due to a change in temperature and humidity and a difference in hygroscopic expansion, which causes warping, swelling, or cracking on the surface. There is a case. When the metal substrate is a highly rigid body, wrinkles may occur in the radiation curable resin layer. This is because a stress is generated between the metal substrate and the radiation curable resin layer due to the difference in thermal expansion (contraction) and the difference in hygroscopic expansion. Therefore, a soft radiation curable resin having a small Young's modulus (elastic coefficient) is provided as the first resin layer to relieve the stress, and a hard radiation curable resin layer is provided on the first resin layer to form a metal reflection film on the surface. If formed, an optical mirror free from warp, undulation and wrinkle can be obtained.

【0006】[0006]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.

【0007】〔実施例1〕本発明による第1の実施例は
図1に示す如く構成されている。即ち、光学ミラー1は
金属基体のミラー面を形成する側の面にまず第1の放射
線硬化樹脂層4を形成し、その上に第2の放射線硬化樹
脂層6を形成し、さらにその上にアルミニウム等の金属
反射膜5を形成して、所望の光学ミラー面を得るもので
ある。該ミラー1の製造方法を図3〜7に示す。先ず、
金属基体2はアルミダイカスト法によって、ミラー面を
形成する面8は最終のミラー面3の概略の形状に加工さ
れたもので、表面あらさは10〜30μmRmaxである。この
ミラー形成面8の上に表1に示す放射線硬化樹脂のうち
軟質の放射線硬化樹脂、ポリ1,2ブタジエンジアクリ
レート(平均分子量2000)を70重量部と1,6ヘキサン
ジオールジメタクリレート30重量部との混合樹脂をビス
フェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート樹脂
4を図3に示すように供給する。
[Embodiment 1] A first embodiment according to the present invention is constructed as shown in FIG. That is, in the optical mirror 1, the first radiation-curable resin layer 4 is first formed on the surface of the metal substrate on which the mirror surface is formed, the second radiation-curable resin layer 6 is formed thereon, and further thereon. A metal reflection film 5 such as aluminum is formed to obtain a desired optical mirror surface. A method of manufacturing the mirror 1 is shown in FIGS. First,
A surface 8 forming a mirror surface of the metal substrate 2 is processed into an approximate shape of the final mirror surface 3 by an aluminum die casting method, and the surface roughness is 10 to 30 μm Rmax. On this mirror forming surface 8, 70 parts by weight of a soft radiation curing resin, poly-1,2 butadiene diacrylate (average molecular weight 2000) and 30 parts by weight of 1,6 hexanediol dimethacrylate were selected from the radiation curing resins shown in Table 1. A mixed resin of bisphenol A diglycidyl ether diacrylate resin 4 is supplied as shown in FIG.

【0008】[0008]

【表1】 [Table 1]

【0009】次に、所望のミラー面形状および表面あら
さに研磨されたミラー面10を有するガラス型9で該放射
線硬化樹脂4を押圧し(図4)、10〜200μm程度の該樹脂
4の薄層を形成する。その後、ガラス型9の後方より放
射線、ここでは波長λ=365nmの紫外線を照射する。 紫
外線強度150mW/cm2で約 15secで該樹脂4は硬化する。
硬化中(紫外線照射中)は、樹脂の硬化収縮によるヒケ防
止や寸法精度の劣化を防止するために厚み方向に圧力を
負荷しておく。硬化後、ガラス型9を除去し(図5)、図
6〜7に示す手順、即ち基本的には図3〜5に示した手
順によって表1に示した硬質の放射線硬化樹脂6、ビス
フェノールAジグリシジルエーテルジアクリレートを該
軟質の放射線硬化樹脂4の層の上に1〜200μmの層を、
所望のミラー面形状および表面あらさに研磨されたミラ
ー面形成面10を有するガラス型9によって形成し硬化さ
せる。ミラー面が転写成形された該樹脂4の上にアルミ
ニウム蒸着により600〜2000Åのアルミニウム反射膜5
を形成する。今回、蒸着法を採用したが、スパッタ法、
イオンプレーティング法を用いても良い。
Next, the radiation curable resin 4 is pressed by a glass mold 9 having a mirror surface 10 polished to a desired mirror surface shape and surface roughness (FIG. 4), and the resin 4 is thinned to a thickness of about 10 to 200 μm. Form the layers. After that, the glass mold 9 is irradiated with radiation, here, ultraviolet rays having a wavelength λ = 365 nm. The resin 4 cures in about 15 seconds at an ultraviolet intensity of 150 mW / cm 2 .
During curing (during UV irradiation), pressure is applied in the thickness direction in order to prevent sink marks and deterioration in dimensional accuracy due to curing shrinkage of the resin. After curing, the glass mold 9 was removed (FIG. 5), and the hard radiation curable resin 6 and bisphenol A shown in Table 1 were prepared by the procedure shown in FIGS. 6 to 7, that is, basically the procedure shown in FIGS. Diglycidyl ether diacrylate was applied onto the soft radiation curable resin 4 layer to form a layer of 1 to 200 μm.
It is formed and cured by a glass mold 9 having a mirror surface forming surface 10 that is polished to a desired mirror surface shape and surface roughness. 600-2000 Å aluminum reflective film 5 by aluminum vapor deposition on the resin 4 on which the mirror surface is transfer molded
To form. This time, the evaporation method was adopted, but the sputtering method,
An ion plating method may be used.

【0010】以上の工程によって図1に示す所望のミラ
ー面3を有する光学ミラー1が製造される。ここに示し
たミラーはトーリック状ミラーであったが、平面ミラ
ー、球面ミラー、非球面ミラー、トロイダルミラー、パ
ラボロイダルミラー、エリプソロイダルミラーなどの面
形状であっても同様である。また、金属基体としてアル
ミニウムダイカスト品を用いたが、他の金属で切削、研
削などの加工品であっても本発明の域を出ない。ガラス
型8の材質としては、紫外域における吸収が少ない石英
ガラスが望ましい。なお、軟質の放射線硬化樹脂として
は表1に示したNo.4の樹脂水素添加ポリ1,2ブタジエ
ンジアクリレート(平均分子量 2000)を70重量部と
1,6ヘキサンジオールジメタクリレート30重量部との
混合樹脂を用いても良く、また硬質の放射線硬化樹脂と
しても表1に示したNo.2の樹脂水素添加ビスフェノ−
ルAエ−テルジグリシジルエ−テルジアクリレ−トを用
いても良い。
Through the above steps, the optical mirror 1 having the desired mirror surface 3 shown in FIG. 1 is manufactured. The mirrors shown here are toric mirrors, but the same applies to plane mirrors, spherical mirrors, aspherical mirrors, toroidal mirrors, paraboloidal mirrors, ellipsoidal mirrors and the like. Further, although an aluminum die-cast product is used as the metal substrate, a processed product such as cutting or grinding made of another metal does not go beyond the scope of the present invention. As the material of the glass mold 8, quartz glass, which has a small absorption in the ultraviolet region, is desirable. As the soft radiation curable resin, 70 parts by weight of No. 4 resin hydrogenated poly 1,2 butadiene diacrylate (average molecular weight 2000) shown in Table 1 and 30 parts by weight of 1,6 hexanediol dimethacrylate were used. A mixed resin may be used, or as a hard radiation curable resin, No. 2 resin hydrogenated bisphenol shown in Table 1 may be used.
Le A ether diglycidyl ether diacrylate may be used.

【0011】〔実施例2〕本発明による第2の実施例は
図2に示す如く構成されている。即ち、金属基体2のミ
ラーを形成する側の面に表1に示した軟質の放射線硬化
樹脂層6、ポリ1,2ブタジエンジアクリレート(平均
分子量2000)70重量部と1,6ヘキサンジオールジメタ
クリレート30重量部との混合樹脂の層の上にニトロセル
ロースあるいはエチルセルロースの薄膜を形成し、その
上に金属反射膜5を形成したものである。これは、〔実
施例2〕による効果を有し、且つその製造プロセスを簡
易化したものである。その製造方法は下記に示す通りで
ある。先ず、図8に示すように、所望のミラー面を形成
するためのガラス型9のミラー面10にニトロセルロース
あるいはエチルセルロース(いずれも平均分子量約10,0
00)の酢酸n−ブチル溶液を、スピンコート法等により
0.01〜1μmの薄膜7を形成し、自然乾燥法により乾燥さ
せる。該ガラス型9を用いて、基本的には先に示した図
3〜5の手順によって軟質の放射線硬化樹脂4、即ち表
1に示すNo.3の樹脂の10〜200μmの層を形成し、硬化
させる。その後、ガラス型を除去すると、該硬質放射線
硬化樹脂の上にニトロセルロースあるいはエチルセルロ
ースの薄膜が形成される。ニトロセルロースあるいはエ
チルセルロースの薄膜の上にアルミニウム蒸着により60
0〜2000Åの厚さのアルミニウム反射膜5を形成する。
これによって図2に示す光学ミラー1´が形成される。
なお、軟質の放射線硬化樹脂としては表1に示したNo.
4の樹脂水素添加ポリ1,2ブタジエンジアクリレート
(平均分子量 2000)を70重量部と1,6ヘキサンジオ
ールジメタクリレート30重量部との混合樹脂を用いても
良い。
[Second Embodiment] A second embodiment according to the present invention is constructed as shown in FIG. That is, on the surface of the metal substrate 2 on which the mirror is formed, the soft radiation-curable resin layer 6 shown in Table 1, 70 parts by weight of poly (1,2 butadiene diacrylate) (average molecular weight 2000) and 1,6 hexanediol dimethacrylate. A thin film of nitrocellulose or ethyl cellulose is formed on a layer of mixed resin with 30 parts by weight, and the metal reflection film 5 is formed on the thin film. This has the effect of [Example 2] and simplifies the manufacturing process. The manufacturing method is as shown below. First, as shown in FIG. 8, nitrocellulose or ethyl cellulose (both having an average molecular weight of about 10,0) was formed on the mirror surface 10 of the glass mold 9 for forming a desired mirror surface.
00) n-butyl acetate solution by spin coating etc.
A thin film 7 having a thickness of 0.01 to 1 μm is formed and dried by a natural drying method. Using the glass mold 9, a 10 to 200 μm layer of the soft radiation curable resin 4, that is, the resin of No. 3 shown in Table 1 is formed basically by the procedure shown in FIGS. Let it harden. Then, when the glass mold is removed, a thin film of nitrocellulose or ethylcellulose is formed on the hard radiation curable resin. 60 by aluminum deposition on a thin film of nitrocellulose or ethylcellulose
An aluminum reflection film 5 having a thickness of 0 to 2000Å is formed.
As a result, the optical mirror 1'shown in FIG. 2 is formed.
As the soft radiation curable resin, No. 1 shown in Table 1 was used.
Resin No. 4 Hydrogenated poly-1,2 butadiene diacrylate (average molecular weight 2000) 70 parts by weight and 1,6 hexanediol dimethacrylate 30 parts by weight mixed resin may be used.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明によれば、金属基体に接着する部
分に軟質の樹脂を用いているので温湿度による樹脂の寸
法変化によるミラー面の面性状の劣化やクラックなどを
防止することができる。また、反射膜を形成する面を硬
質の放射線硬化性樹脂にしたので、光学ミラ−表面の傷
つきを低減することができる。さらに、光学ミラー本体
を構成する金属基体を機械加工による鏡面加工によら
ず、1つの母型によって複製できるので、光学ミラーの
加工工数低減ができ、量産および生産コスト低減を可能
にする効果がある。さらに、機械加工では面性状がばら
つくのに対して本発明は同一の母型を用いるのでミラー
面の性状のばらつきは極めて少ない。
According to the present invention, since the soft resin is used for the portion to be bonded to the metal substrate, it is possible to prevent the deterioration of the surface quality of the mirror surface and the cracks due to the dimension change of the resin due to the temperature and humidity. .. Further, since the surface on which the reflective film is formed is made of a hard radiation curable resin, it is possible to reduce scratches on the surface of the optical mirror. Further, since the metal substrate forming the optical mirror main body can be duplicated by one mother die without performing mirror surface processing by machining, it is possible to reduce the processing man-hours of the optical mirror, and it is possible to reduce mass production and production costs. .. Further, in the machining, the surface properties vary, whereas in the present invention, the same mother die is used, so that the properties of the mirror surface hardly vary.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるミラーの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a mirror according to the present invention.

【図2】同じくミラーの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the same mirror.

【図3】本発明によるミラーの製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a mirror according to the present invention.

【図4】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the same mirror manufacturing method.

【図5】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the same mirror manufacturing method.

【図6】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing the same mirror manufacturing method.

【図7】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the same mirror manufacturing method.

【図8】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing the same mirror manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′…ミラー 2…金属基体 3…ミラー面 4…
軟質の放射線硬化樹脂 5…金属反射膜 6…硬質の放射線硬化樹脂 7…ニト
ロセルロースあるいはエチルセルロース 9…ガラス型
1, 1 '... Mirror 2 ... Metal substrate 3 ... Mirror surface 4 ...
Soft radiation curable resin 5 ... Metal reflective film 6 ... Hard radiation curable resin 7 ... Nitrocellulose or ethyl cellulose 9 ... Glass type

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光学ミラーにおいて、該ミラー形状あるい
はそれに近い形状に加工された金属品を基体とし、金属
基体の上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、さらに
該軟質の放射線硬化性樹脂層の上に硬質の放射線硬化樹
脂層を設け、放射線を透過する母型によりミラー面を形
成し、放射線照射により該放射線硬化樹脂層を硬化させ
た後、金属反射膜を該放射線硬化樹脂層上に形成してな
ることを特徴とする光学ミラー。
1. In an optical mirror, a metal product processed into a mirror shape or a shape close to the mirror is used as a substrate, a soft radiation curable resin layer is formed on the metal substrate, and the soft radiation curable resin is further formed. A hard radiation-curable resin layer is provided on the layer, a mirror surface is formed by a mother die that transmits radiation, and the radiation-curable resin layer is cured by irradiation with radiation, and then a metal reflection film is placed on the radiation-curable resin layer. An optical mirror characterized by being formed into.
【請求項2】請求項1に示した光学ミラーにおいて、金
属基体の上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、該放
射線硬化性樹脂の上にエチルセルロースあるいはニトロ
セルロース樹脂層を形成し、その上に金属反射膜を形成
したことを特徴とする光学ミラー。
2. The optical mirror according to claim 1, wherein a soft radiation curable resin layer is formed on the metal substrate, and an ethyl cellulose or nitrocellulose resin layer is formed on the radiation curable resin. An optical mirror having a metal reflective film formed thereon.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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