JPH0659104A - Production of aspherical optical element - Google Patents

Production of aspherical optical element

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Publication number
JPH0659104A
JPH0659104A JP4212815A JP21281592A JPH0659104A JP H0659104 A JPH0659104 A JP H0659104A JP 4212815 A JP4212815 A JP 4212815A JP 21281592 A JP21281592 A JP 21281592A JP H0659104 A JPH0659104 A JP H0659104A
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JP
Japan
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resin
resin liquid
lens
mold
irradiated
Prior art date
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Application number
JP4212815A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Ichikawa
正典 市川
Koji Nakada
耕司 中田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0659104A publication Critical patent/JPH0659104A/en
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Abstract

PURPOSE:To enhance shape accuracy and to improve a non-defective article rate by holding a radiation curing type resin liquid between a mold having an aspherical surface and an element base material and irradiating this resin liquid with radiations so as to spread the irradiated region from the central part toward the outer edge part of the resin liquid. CONSTITUTION:After the UV ray curing type resin liquid 2a is dropped onto the mold 3 having the aspherical surface reversed from the desired aspherical surface, a glass lens 1 as the element base material is pressed thereto to hold the resin liquid 2a between the mold 3 and the glass lens 1. A mask part 4 is then disposed on the glass lens 1 and the resin liquid 2a is irradiated with UV rays via this mask member 4. A diaphragm mechanism is used for the mask member 4 and the region of the resin 2a to be irradiated with the UV rays is controlled by this diaphragm mechanism. Namely, the mask member 4 is so controlled that the central part of the resin liquid 2a is irradiated with the UV rays at the start of the irradiation and thereafter the region to be irradiated with the UV rays spreads at a specified speed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、非球面樹脂成形層と素
子基材とからなる非球面光学素子を製造する方法に関す
る。ここで「非球面光学素子」とは、例えば、非球面レ
ンズや「非球面の反射面を持つ反射鏡のブランク」を指
す。このブランクにアルミニウムや銀や多層光学薄膜か
らなる反射層を形成すると反射鏡となる。本発明により
製造される素子の一例は、従来、樹脂接合型レンズと呼
ばれたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing an aspherical optical element comprising an aspherical resin molding layer and an element base material. Here, the "aspherical optical element" refers to, for example, an aspherical lens or a "blank of a reflecting mirror having an aspherical reflecting surface". When a reflective layer made of aluminum, silver or a multilayer optical thin film is formed on this blank, it becomes a reflecting mirror. An example of the element manufactured by the present invention is conventionally called a resin-bonded lens.

【0002】[0002]

【従来の技術】カメラ、顕微鏡などの光学製品に使用さ
れるレンズは、主としてガラス製レンズが用いられてい
る。ガラス製レンズは、溶融状態のガラスからプレス成
形されたガラスブロック(レンズブランクと呼ばれる)
に機械加工を行うことにより所望の曲率を有するレンズ
を製造している。ガラスに代えて樹脂を用い、プレス成
形、射出成形、注型などの方法で樹脂レンズを製造する
方法も実用化されている。この方法は、一度鋳型を製作
しておけば、それを用いて大量のレンズを量産できるこ
とから、製造コストが安いという特徴がある。しかし、
樹脂レンズは、温度や湿度の変化により光学性能が大き
く変動するという致命的欠点があり、精密なレンズには
使用されていない。
2. Description of the Related Art Lenses used in optical products such as cameras and microscopes are mainly glass lenses. A glass lens is a glass block press-molded from molten glass (called a lens blank).
A lens having a desired curvature is manufactured by performing mechanical processing on the lens. A method of manufacturing a resin lens by a method such as press molding, injection molding, or casting using a resin instead of glass has been put into practical use. This method has a feature that the manufacturing cost is low because once a mold is manufactured, a large number of lenses can be mass-produced using the mold. But,
The resin lens has a fatal defect that its optical performance greatly changes due to changes in temperature and humidity, and is not used for precision lenses.

【0003】ところで、レンズには、非球面レンズがあ
り、表面形状が非球面である。この非球面は一般には光
軸を中心にして回転対称である。非球面レンズは、球面
レンズでは得られない優れた性能を有することから重用
されている。しかし、非球面レンズを球面レンズと同様
の工程(研削→研磨)で製造すると、非常に手間と時間
がかかる。そのため、製造コストが、球面レンズよりも
相当に高くなるという欠点がある。
By the way, as the lens, there is an aspherical lens, and the surface shape is an aspherical surface. This aspherical surface is generally rotationally symmetrical about the optical axis. Aspherical lenses are widely used because they have excellent performance that cannot be obtained with spherical lenses. However, if an aspherical lens is manufactured in the same process as that for a spherical lens (grinding → polishing), it takes much time and labor. Therefore, the manufacturing cost is considerably higher than that of the spherical lens.

【0004】この欠点を解決するため、図6、図7に示
すような樹脂接合型非球面レンズが開発された。これ
は、非球面を有する薄い(例えば、5〜100 μm )樹脂
成形層2と主体となるガラス製レンズ(素子基材)1と
からなる。素子基材1は、球面(図6:特開昭60-56544
号参照)または粗い非球面(図7:特開昭63-157103 号
参照)を有する。両者はいずれも安価な製造コストで入
手できる。このような樹脂接合型非球面レンズは、例え
ば、次の(a)〜(b)の工程からなる製法により製造
される。図8を参照されたい。 (a)所望の非球面とは反転した非球面を有する金型3
を水平に置く工程 (b)金型3の中央部に所定量の放射線硬化型樹脂液2
aを垂らす工程 (c)球面または粗い非球面を有するガラスレンズ1を
金型3の上に載せる工程 (d)ガラスレンズ1と金型3との間隔を所定値まで接
近させる(このとき、樹脂液は目的とするレンズの有効
径より外まで広がっている)工程 (e)ガラスレンズ1と金型3との間に挟まれた樹脂液
2aに放射線を照射することにより硬化させる工程 (f)硬化して得られた樹脂成形層2を金型3との界面
から剥離する工程
In order to solve this drawback, resin-bonded aspherical lenses as shown in FIGS. 6 and 7 have been developed. This is composed of a thin (for example, 5 to 100 μm) resin molding layer 2 having an aspherical surface and a glass lens (element base material) 1 as a main component. The element substrate 1 is a spherical surface (see FIG. 6: JP-A-60-56544).
No.) or a rough aspherical surface (see FIG. 7: Japanese Patent Laid-Open No. 63-157103). Both are available at low manufacturing costs. Such a resin-bonded aspherical lens is manufactured, for example, by a manufacturing method including the following steps (a) and (b). See FIG. 8. (A) Mold 3 having an aspherical surface that is the opposite of the desired aspherical surface
(B) A predetermined amount of the radiation curable resin liquid 2 is placed in the center of the mold 3.
a step of hanging a (c) a step of placing the glass lens 1 having a spherical surface or a rough aspherical surface on the mold 3 (d) bringing the distance between the glass lens 1 and the mold 3 close to a predetermined value (at this time, resin The liquid is spread to the outside of the effective diameter of the objective lens) Step (e) The resin liquid 2a sandwiched between the glass lens 1 and the mold 3 is irradiated with radiation to be cured (f) Step of peeling the resin molding layer 2 obtained by curing from the interface with the mold 3.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の製法では、樹脂
液に放射線を照射して硬化させる際、樹脂層が金型から
剥離する場合があった。そのため、樹脂成形層(2)の
表面(非球面)の形状精度が低くなる例が多かった(特
に樹脂成形層の厚さ分布が図9に示すような場合)。こ
のような形状精度の低い製品は不良品となるので、従来
の製法は良品率が低いという問題点があった。本発明の
目的は、形状精度が低くなる例を減少させることにより
良品率を向上させることにある。
In the conventional manufacturing method, the resin layer may be separated from the mold when the resin liquid is irradiated with radiation to be cured. Therefore, in many cases, the shape accuracy of the surface (aspherical surface) of the resin molding layer (2) is low (especially when the thickness distribution of the resin molding layer is as shown in FIG. 9). Since a product having such a low shape accuracy is a defective product, the conventional manufacturing method has a problem that the yield rate is low. An object of the present invention is to improve the non-defective rate by reducing the cases where the shape accuracy is low.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、
(イ)所望の非球面とは反転した非球面を持つ金型と素
子基材(但し、金型と基材の少なくとも一方は放射線に
対して透明なこと)との間に放射線硬化型樹脂液を挟み
込む工程、(ロ)前記樹脂液に、放射線をその照射領域
が該樹脂液の中心部から外縁部に向かって広がるように
照射する工程、および(ハ)得られた非球面樹脂成形層
を金型との界面から剥離する工程、からなる非球面光学
素子の製造方法を提供する。
Therefore, the present invention provides
(A) Radiation-curable resin liquid between a die having an aspherical surface that is the opposite of the desired aspherical surface and an element substrate (provided that at least one of the die and the substrate is transparent to radiation). And (b) irradiating the resin liquid with radiation so that the irradiation region spreads from the central portion of the resin liquid toward the outer edge portion, and (c) the obtained aspherical resin molding layer. Provided is a method of manufacturing an aspherical optical element, which comprises a step of peeling from an interface with a mold.

【0007】[0007]

【作用】従来の製造方法では、樹脂液全体にほぼ同一強
度の放射線を照射していた。この場合、樹脂成形層の薄
い部分の方が、厚い部分よりも先に硬化する。従って、
最後に厚い部分の樹脂液が硬化する際に、この硬化に伴
って樹脂液が収縮しようとしても周囲の樹脂液は既に硬
化が完了している。そのため、樹脂液が収縮する体積分
に相当する樹脂液が不足するので該体積分の空間が形成
されることになり、これが原因で樹脂層が金型から剥離
すると考えられる。
In the conventional manufacturing method, the entire resin liquid was irradiated with radiation of almost the same intensity. In this case, the thin portion of the resin molding layer cures before the thick portion. Therefore,
Finally, when the resin liquid in the thick portion is cured, even if the resin liquid shrinks due to this curing, the surrounding resin liquid has already been cured. Therefore, the resin liquid corresponding to the volume of contraction of the resin liquid is insufficient, so that a space corresponding to the volume is formed, which is considered to cause the resin layer to peel from the mold.

【0008】これに対して、本発明では、放射線を照射
して樹脂液を硬化させる際にこの樹脂液に対して徐々に
放射線の照射領域を拡げていく。その結果、放射線の照
射範囲に応じて樹脂液が硬化する領域が拡がっていくた
め、樹脂液の収縮に伴う樹脂液の不足分は、放射線の照
射されていない未硬化の樹脂液で補うことができる。例
えば、図4(a)、(b)に示すように、マスク部材4
によって放射線(紫外線)の照射範囲(紫外線の径)が
樹脂成形層(照射時は樹脂液2a)の中心部から外周部
に向かって徐々に拡がるようにすると、樹脂液(紫外線
硬化型樹脂)2aは中心部から硬化していく。その際、
樹脂液が収縮するため、放射線の照射領域において金型
3と基材1間の容積に対する樹脂液の体積が不足する。
しかし、放射線の照射領域の外側に未硬化の樹脂液が存
在しているため、前記不足分の樹脂はこの未硬化の樹脂
液が供給されることで補われる。放射線の照射領域は、
図4(a)から図4(b)へと時間の経過と共に拡大し
ていくため、「放射線の照射→樹脂液の硬化→収縮→樹
脂液の不足→樹脂液の供給→供給された樹脂液の硬化→
より外側の領域への放射の照射」というサイクルが繰り
返される。そして、最終段階として樹脂液の存在する領
域より十分広い範囲まで放射線が照射されるように放射
領域を拡大する。その結果、樹脂形成層の樹脂厚分布の
如何に関わらず、形状精度を低下させることなく樹脂成
形層を形成することが可能となる。
On the other hand, in the present invention, when the resin liquid is cured by irradiating with the radiation, the irradiation region of the resin liquid is gradually expanded. As a result, the region where the resin liquid cures expands according to the irradiation range of the radiation, so the shortage of the resin liquid due to the contraction of the resin liquid may be supplemented with the uncured resin liquid that has not been irradiated. it can. For example, as shown in FIGS. 4A and 4B, the mask member 4
The irradiation range (diameter of ultraviolet rays) of the radiation (ultraviolet rays) is gradually expanded from the central portion of the resin molding layer (the resin liquid 2a at the time of irradiation) toward the outer peripheral portion by the resin liquid (ultraviolet curable resin) 2a. Cures from the center. that time,
Since the resin liquid contracts, the volume of the resin liquid is insufficient with respect to the volume between the mold 3 and the base material 1 in the radiation irradiation region.
However, since the uncured resin liquid exists outside the radiation irradiation area, the insufficient resin is supplemented by supplying the uncured resin liquid. The radiation irradiation area is
In order to expand from FIG. 4A to FIG. 4B over time, “radiation irradiation → curing of resin liquid → contraction → insufficiency of resin liquid → supply of resin liquid → supplied resin liquid Curing of →
The cycle of "irradiating the outer region with radiation" is repeated. Then, as a final step, the radiation region is expanded so that the radiation is irradiated to a range sufficiently wider than the region where the resin liquid exists. As a result, the resin molding layer can be formed without lowering the shape accuracy regardless of the resin thickness distribution of the resin forming layer.

【0009】本発明の実施に当たっては、使用する樹脂
の量、樹脂成形層に形成する形状(非球面形状における
非球面式)の変曲点の位置および放射線を照射領域を拡
げる速度などを考慮しておくと所望の効果が得られ易
い。また、硬化時に不足する樹脂液は、放射線の照射さ
れていない部分から供給するので、最後に硬化させる部
分においては収縮による不足分を補うことができなくな
る。そのため、金型と基材との間に樹脂液を挟み込む工
程において、予め樹脂成形層の所望の範囲よりも外側ま
で未硬化の樹脂液が行き渡るようにしておく。例えば、
図4に示すように、レンズの有効径の外側に樹脂供給部
(樹脂溜まり)を設けておくとよい。この樹脂供給部の
容量は、樹脂成形層の樹脂厚分布のパターン(最大樹脂
厚部と最小樹脂厚部との厚さの差、最大樹脂厚部の位
置、所望の光学素子の有効径部での樹脂厚など)によっ
て異なるため、該パターンに応じて適宜設定することが
望ましい。樹脂成形層の最大厚みが光学素子の有効径内
の周辺部にある場合には、最大厚みを 100%とすると
き、上述のエッジの位置(有効径外)の樹脂層の厚さ
は、30%程度が好ましい。さらに正確を期す場合には、
最大厚み付近の樹脂量をXとするとき、収縮率が10%で
あれば、0.1 Xの樹脂量が上述のエッジ外から供給され
るように計算してエッジ位置の樹脂層の厚さを設定すれ
ばよい。
In carrying out the present invention, the amount of resin used, the position of the inflection point of the shape (aspherical type in aspherical shape) formed in the resin molding layer, and the speed at which the radiation irradiation area is expanded are taken into consideration. If it is set, the desired effect can be easily obtained. In addition, since the resin liquid that is insufficient during curing is supplied from the portion that is not irradiated with radiation, it becomes impossible to compensate for the shortage due to shrinkage in the portion that is finally cured. Therefore, in the step of sandwiching the resin liquid between the mold and the base material, the uncured resin liquid is preliminarily spread to the outside of the desired range of the resin molding layer. For example,
As shown in FIG. 4, a resin supply portion (resin reservoir) may be provided outside the effective diameter of the lens. The capacity of this resin supply part depends on the pattern of the resin thickness distribution of the resin molding layer (the difference in the thickness between the maximum resin thickness part and the minimum resin thickness part, the position of the maximum resin thickness part, the effective diameter part of the desired optical element). It is desirable to set it appropriately according to the pattern because it differs depending on the resin thickness of the above). When the maximum thickness of the resin molding layer is in the peripheral part within the effective diameter of the optical element, and assuming the maximum thickness to be 100%, the thickness of the resin layer at the edge position (outside the effective diameter) is 30%. % Is preferable. For more accuracy,
When the resin amount near the maximum thickness is X and the shrinkage is 10%, calculate so that the resin amount of 0.1 X is supplied from outside the edge and set the thickness of the resin layer at the edge position. do it.

【0010】放射線を照射する際にその照射領域を拡大
する速度は、一定であっても可変であってもよく、樹脂
厚分布や樹脂量を考慮して設定すればよい。ただし、非
常に低速度とした場合は、硬化した樹脂成形層に照射領
域の境界によって生じたと思われる跡が残るため、樹脂
成形層の形状精度が低下する恐れがある。そのため、あ
る一定以上の速度で連続的に照射領域を拡げて行く方が
望ましい。また、放射線の照射時間は、使用する樹脂の
種類、樹脂厚分布、基材として使用するレンズの種類
(レンズの分光透過率)、照射領域を拡大する速度、最
大樹脂厚部と最小樹脂厚部との比などを考慮して設定す
る。その場合、樹脂成形層全体が十分硬化すると共に、
本発明を用いて連続成形を行った場合でも金型の形状の
転写精度が十分得られる程度の時間となるようにすると
よい。例えば、ウレタンアクリレート系の樹脂を用いた
場合、紫外線を数秒〜数十秒間ほど照射すればよい。
The speed at which the irradiation area is expanded when the radiation is applied may be constant or variable, and may be set in consideration of the resin thickness distribution and the resin amount. However, when the speed is set to a very low speed, a trace that seems to be generated by the boundary of the irradiation region remains on the cured resin molding layer, and thus the shape accuracy of the resin molding layer may be deteriorated. Therefore, it is desirable to continuously expand the irradiation area at a certain speed or more. Also, the irradiation time of the radiation depends on the type of resin used, the resin thickness distribution, the type of lens used as the base material (spectral transmittance of the lens), the speed of expanding the irradiation area, the maximum resin thickness part and the minimum resin thickness part. Set it in consideration of the ratio with. In that case, while the entire resin molding layer is sufficiently cured,
Even when continuous molding is performed using the present invention, it is preferable that the time be such that transfer accuracy of the shape of the mold is sufficiently obtained. For example, when a urethane acrylate resin is used, it may be irradiated with ultraviolet rays for several seconds to several tens of seconds.

【0011】また、照射する放射線の強度は、特に限定
されるものではない。照射途中から段階的にまたは連続
的に照射強度を変えても構わない。主体となる基材は、
ガラス製であることが好ましいが、場合により樹脂製で
もよい。形状は、目的とする光学素子に応じて設定すれ
ばよく、凸レンズ形状や凹レンズ形状や平板や直方体で
もよい。一般的には、基材はガラス製の球面レンズであ
る。しかし、接合面が粗い非球面を有するガラス製レン
ズでも構わない。粗い非球面とは、所望の加工精度また
は面精度(例えば6μm 以下または3μm 以下)よりも
荒い加工精度を有し、かつ、所望の非球面と同一または
近似の非球面を有するものを言う。このようなガラス製
レンズは、所望の加工精度よりも粗くてよいことから、
非球面レンズとはいうものの、さほど製造コストは高く
ならない。このような非球面レンズの製造方法は、既に
公知であり、また市販の研削機械により容易に製造可能
である。
The intensity of the irradiation radiation is not particularly limited. The irradiation intensity may be changed stepwise or continuously from the middle of irradiation. The main base material is
It is preferably made of glass, but may be made of resin in some cases. The shape may be set according to the target optical element, and may be a convex lens shape, a concave lens shape, a flat plate, or a rectangular parallelepiped. Generally, the substrate is a spherical lens made of glass. However, a glass lens having a rough aspherical surface may be used. The rough aspherical surface has a rougher processing accuracy than the desired processing accuracy or surface accuracy (for example, 6 μm or less or 3 μm or less) and has the same or approximate aspherical surface as the desired aspherical surface. Since such a glass lens may be rougher than desired processing accuracy,
Although it is an aspherical lens, the manufacturing cost does not increase so much. The manufacturing method of such an aspherical lens is already known, and can be easily manufactured by a commercially available grinding machine.

【0012】樹脂との接着力を向上させるために、ガラ
ス製素子基材は予めシランカップリング処理しておくこ
とが好ましい。樹脂成形層の厚さは、一般には中心で1
〜 500μm 好ましくは5〜 100μm である。樹脂成形層
は、目的とする素子がレンズの場合、必ずしも素子基材
と屈折率が一致している必要はない。この樹脂成形層
は、放射線硬化型樹脂液に放射線を照射することにより
樹脂液を硬化させた結果として形成される。このような
樹脂液の材料としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエス
テル、ポリウレタン、ウレタンアクリレート、紫外線硬
化型樹脂、変成アクリル樹脂などの熱硬化性樹脂が使用
される。放射線としては、例えば、紫外線、電子線、γ
線、α線などが使用される。
In order to improve the adhesive force with the resin, it is preferable that the glass element base material is previously subjected to silane coupling treatment. Generally, the thickness of the resin molding layer is 1 at the center.
˜500 μm, preferably 5 to 100 μm. When the target element is a lens, the resin molding layer does not necessarily have to have the same refractive index as that of the element base material. This resin molding layer is formed as a result of curing the resin liquid by irradiating the radiation curable resin liquid with radiation. As a material of such a resin liquid, a thermosetting resin such as an epoxy resin, an unsaturated polyester, a polyurethane, a urethane acrylate, an ultraviolet curable resin or a modified acrylic resin is used. Examples of radiation include ultraviolet rays, electron beams, and γ
Rays, alpha rays, etc. are used.

【0013】前記照射領域を制御するためには、放射線
の光源と樹脂液との間にこの放射線を遮光する範囲を変
えることができるようなマスク部材を配置すればよい。
このようなマスク部材は、開口部とこの開口部の大きさ
を変える手段とを設けることで構成することができる。
開口部の大きさを変えるには、例えば、カメラの絞り機
構を用いることができる。基材の放射線が照射される面
(樹脂成形面とは反対側の面)の曲率半径が大きい場
合、マスクの形状は平板状でもよい。一方、放射線が照
射される面の曲率半径が小さい場合は、基材の曲率半径
に合わせてマスクの一部を曲げるようにすると好ましい
結果が得られる。また、マスク部材の開口部の大きさを
変える代わりに、図5に示すようにマスク部材を移動さ
せることで照射領域を制御するようにしてもよい。
In order to control the irradiation area, a mask member capable of changing the range for shielding the radiation may be arranged between the light source of the radiation and the resin liquid.
Such a mask member can be constructed by providing an opening and means for changing the size of the opening.
To change the size of the opening, for example, a diaphragm mechanism of a camera can be used. When the radius of curvature of the surface of the base material irradiated with radiation (the surface opposite to the resin molding surface) is large, the mask may have a flat plate shape. On the other hand, when the radius of curvature of the surface to which the radiation is applied is small, a preferable result can be obtained by bending a part of the mask in accordance with the radius of curvature of the base material. Instead of changing the size of the opening of the mask member, the irradiation region may be controlled by moving the mask member as shown in FIG.

【0014】以下、図面を引用して本発明の実施例を説
明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.

【0015】[0015]

【実施例1】図2は、本実施例により製造された非球面
レンズ(非球面光学素子)の垂直断面図である。このレ
ンズは、素子基材であるガラスレンズ1とその表面に形
成された非球面樹脂成形層2とで構成されている。ガラ
スレンズ1は、球面を有する凹レンズであり、直径27m
m、凹面R1 の曲率半径11.170mm、凸面R2 の曲率半径2
5.80 mm、中心厚1.5 mmとなるように形成した。ガラス
レンズ1は、樹脂成形層2との接着力を向上させるため
に、その表面を予めシランカップリング処理を施してあ
る。シランカップリング剤として、ここでは商品名KBM5
03(信越化学株式会社製)を2wt%エタノール溶液に稀
釈して使用した。樹脂成形層2は、ガラスレンズ1の凸
面R2 側にあり、その中心厚は約30μmである。
EXAMPLE 1 FIG. 2 is a vertical sectional view of an aspherical lens (aspherical optical element) manufactured according to this example. This lens is composed of a glass lens 1 as an element base material and an aspherical resin molding layer 2 formed on the surface thereof. The glass lens 1 is a concave lens having a spherical surface and has a diameter of 27 m.
m, radius of curvature 11.170 mm of concave surface R 1 , radius of curvature 2 of convex surface R 2
It was formed to have a thickness of 5.80 mm and a center thickness of 1.5 mm. The surface of the glass lens 1 is previously subjected to silane coupling treatment in order to improve the adhesive force with the resin molding layer 2. Trade name KBM5 is used here as a silane coupling agent.
03 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was diluted with a 2 wt% ethanol solution and used. The resin molding layer 2 is on the convex surface R 2 side of the glass lens 1 and has a center thickness of about 30 μm.

【0016】製造に使用した金型は、ステンレス合金か
らなり、樹脂と接する側に曲率半径28.8mmの非球面を有
する。本実施例においては、金型と樹脂成形層との離型
性を向上させるために、金型表面にニッケルメッキを施
してある。樹脂成形層2を形成する樹脂液2a(図1参
照)には、ウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
液を使用した。この樹脂液の硬化時の収縮率は約7%で
ある。
The mold used for manufacturing is made of a stainless alloy and has an aspherical surface with a radius of curvature of 28.8 mm on the side in contact with the resin. In this embodiment, the surface of the mold is nickel-plated in order to improve the releasability between the mold and the resin molding layer. A urethane acrylate-based UV curable resin liquid was used as the resin liquid 2a (see FIG. 1) for forming the resin molding layer 2. The shrinkage ratio of this resin liquid at the time of curing is about 7%.

【0017】次に図1を引用して本実施例の製法を各工
程ごとに説明する。 (イ)第1工程:所望の非球面とは反転した非球面を持
つ金型3上に紫外線硬化型樹脂液2aを70mg滴下した
後、これに素子基材としてのガラスレンズ1を押し付け
て、金型3とガラスレンズ1との間に樹脂液2aを挟み
込んだ。その際、成形される樹脂成形層の中心厚が30μ
mとなるように、金型3とガラスレンズ1との間隔を設
定した。これにより、樹脂液2aは目的とする非球面レ
ンズの有効径より外まで広がっている状態となった。 (ロ)第2工程:ガラスレンズ1上にマスク部材4を配
置し、このマスク部材4を介して樹脂液2aに紫外線を
照射した。紫外線の光源としては、図示していない出力
150Wのキセノンランプ(点光源)を用いた。この光源
は、ガラスレンズ1から110mm 離れた上に設置してあ
る。紫外線の照射強度は、樹脂液2a上で30mW/cm2
なるようにした。マスク部材4には、35mm一眼レフ用の
交換レンズに使われていた絞り機構を用い、この絞り機
構により紫外線の樹脂液2aにおける照射領域を制御す
る。つまり、照射開始時は、図1(a)に示すように樹
脂液2aの中心部に直径1.5mm の範囲で紫外線が照射さ
れるようにし、その後、図1(b)、(c)のように、
紫外線の照射領域が直径18mmとなるまで約4.0mm/sec の
速度(一定速度)で拡がるようにマスク部材4を制御し
た。そして、最終的には、ガラスレンズ1を透過して樹
脂液2aに達する紫外線が、所望の樹脂成形層の有効径
内を十分照射できるようにした。紫外線の照射時間(照
射開始から終了までの時間)は、後述の樹脂供給部に照
射する時間を含めて約30秒間とした。図1において
(a)から(c)の状態に移るまでの時間は、前述のよ
うなマスク部材4の制御により約3秒となるから、樹脂
液2aには少なくとも27秒以上紫外線が照射されること
になる。この値は、樹脂液2aが硬化するのに十分なも
のである。照射範囲を拡げる速度は、本実施例のように
一定としてもよいし途中で変えてもよい。また、速度も
特に前記値に限定されるものではない。この時の紫外線
の照射時間は、樹脂液の硬化に必要な時間が得られるよ
うに、照射範囲を拡げる速度に応じて適宜設定すればよ
い。
Next, the manufacturing method of this embodiment will be described for each step with reference to FIG. (A) First step: 70 mg of the ultraviolet curable resin liquid 2a is dropped on the mold 3 having an aspherical surface that is the reverse of the desired aspherical surface, and then the glass lens 1 as an element substrate is pressed against this. The resin liquid 2a was sandwiched between the mold 3 and the glass lens 1. At that time, the center thickness of the resin molding layer to be molded is 30μ
The distance between the mold 3 and the glass lens 1 was set so that the distance was m. As a result, the resin liquid 2a is in a state of spreading beyond the effective diameter of the target aspherical lens. (B) Second step: The mask member 4 was placed on the glass lens 1, and the resin liquid 2a was irradiated with ultraviolet rays through the mask member 4. Output not shown as a light source of ultraviolet rays
A 150 W xenon lamp (point light source) was used. This light source is installed 110 mm away from the glass lens 1. The irradiation intensity of ultraviolet rays was set to 30 mW / cm 2 on the resin liquid 2a. As the mask member 4, a diaphragm mechanism used for an interchangeable lens for a 35 mm single-lens reflex camera is used, and the irradiation area of the resin liquid 2a of ultraviolet rays is controlled by this diaphragm mechanism. That is, at the start of irradiation, the central part of the resin liquid 2a is irradiated with ultraviolet rays within a diameter of 1.5 mm as shown in FIG. 1 (a), and thereafter, as shown in FIGS. 1 (b) and 1 (c). To
The mask member 4 was controlled so as to spread at a speed (constant speed) of about 4.0 mm / sec until the diameter of the ultraviolet irradiation area became 18 mm. Then, finally, the ultraviolet rays passing through the glass lens 1 and reaching the resin liquid 2a can be sufficiently irradiated within the effective diameter of the desired resin molding layer. The ultraviolet irradiation time (time from the start to the end of irradiation) was set to about 30 seconds including the time for irradiation of the resin supply unit described later. In FIG. 1, the time from the state of (a) to the state of (c) is about 3 seconds under the control of the mask member 4 as described above, so that the resin liquid 2a is irradiated with ultraviolet rays for at least 27 seconds or more. It will be. This value is sufficient to cure the resin liquid 2a. The speed at which the irradiation range is expanded may be constant as in this embodiment, or may be changed midway. Further, the speed is not particularly limited to the above value. The ultraviolet irradiation time at this time may be appropriately set according to the speed at which the irradiation range is expanded so that the time required for curing the resin liquid can be obtained.

【0018】なお、本実施例では樹脂液が収縮した場合
に備えて、有効径の外側に前述のような樹脂供給部を設
けた。この樹脂供給部の容積は、金型3上に滴下した70
mgの樹脂液が7%収縮すると想定して約5mgに設定して
ある。また、有効径内の樹脂液2aが硬化した後も、引
き続き前記樹脂供給部に紫外線を照射して樹脂液全体が
硬化するようにした。 (ハ)第3工程:樹脂液2aの硬化により得られた非球
面樹脂成形層2を金型3との界面から剥離することによ
り、図2に示すような非球面レンズを得た。
In this embodiment, the resin supply section as described above is provided outside the effective diameter in case the resin liquid contracts. The volume of this resin supply part was 70 drops on the mold 3.
It is set to about 5 mg assuming that 7 mg of resin solution contracts by 7%. Further, even after the resin liquid 2a within the effective diameter is cured, the resin supply portion is continuously irradiated with ultraviolet rays so that the entire resin liquid is cured. (C) Third step: The aspherical resin molding layer 2 obtained by curing the resin liquid 2a was peeled off from the interface with the mold 3 to obtain an aspherical lens as shown in FIG.

【0019】なお、金型3に透明なものを用い、金型3
側から紫外線を照射するようにしてもよい。
A transparent mold is used as the mold 3, and the mold 3
You may make it irradiate with ultraviolet rays from the side.

【0020】[0020]

【実施例2】図3は、本発明の第2の実施例による製造
方法を示す概略図である。本実施例で得られる非球面レ
ンズは、実施例1と同様、素子基材であるガラスレンズ
1とその表面に形成された非球面樹脂成形層2とで構成
されている(図2参照)。ガラスレンズ1は、球面を有
する凹レンズであり、直径27mm、凹面R1 の曲率半径1
1.170mm、凸面R2 の曲率半径25.80 mm、中心厚1.5 mm
となるように形成した。ガラスレンズ1は、樹脂成形層
2との接着力を向上させるために、その表面を予めシラ
ンカップリング処理を施してある。シランカップリング
剤として、商品名KBM503(信越化学株式会社製)を2wt
%エタノール溶液に稀釈して使用した。樹脂成形層2
は、ガラスレンズ1の凸面R2 側にあり、その中心厚は
約30μmである。
[Embodiment 2] FIG. 3 is a schematic view showing a manufacturing method according to a second embodiment of the present invention. The aspherical lens obtained in this example is composed of the glass lens 1 as the element base material and the aspherical resin molding layer 2 formed on the surface thereof, as in Example 1 (see FIG. 2). Glass lens 1 is a lens having a spherical surface, the diameter 27 mm, the curvature of the concave surface R 1 radius 1
1.170 mm, radius of curvature of convex surface R 2 is 25.80 mm, center thickness is 1.5 mm
Was formed so that The surface of the glass lens 1 is previously subjected to silane coupling treatment in order to improve the adhesive force with the resin molding layer 2. 2 wt% of KBM503 (produced by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent
It was used by diluting it with a% ethanol solution. Resin molding layer 2
Is on the convex surface R 2 side of the glass lens 1, and its center thickness is about 30 μm.

【0021】製造に使用した金型は、ステンレス合金か
らなり、樹脂と接する側に曲率半径28.8mmの非球面を有
する。実施例1と同様、金型と樹脂成形層との離型性を
向上させるために、金型表面にニッケルメッキを施して
ある。樹脂成形層2を形成する樹脂液2aには、ウレタ
ンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂液を使用した。こ
の樹脂液の硬化時の収縮率は約7%である。
The mold used for manufacturing is made of a stainless alloy and has an aspherical surface with a radius of curvature of 28.8 mm on the side in contact with the resin. As in Example 1, in order to improve the releasability between the mold and the resin molding layer, the mold surface is nickel-plated. As the resin liquid 2a forming the resin molding layer 2, a urethane acrylate-based ultraviolet curable resin liquid was used. The shrinkage ratio of this resin liquid at the time of curing is about 7%.

【0022】次に図3を引用して本実施例の製法を各工
程ごとに説明する。 (イ)第1工程:所望の非球面とは反転した非球面を持
つ金型3上に紫外線硬化型樹脂液2aを70mg滴下した
後、これに素子基材としてのガラスレンズ1を押し付け
て、金型3とガラスレンズ1との間に樹脂液2aを挟み
込んだ。その際、成形される樹脂成形層の中心厚が30μ
mとなるように、金型3とガラスレンズ1との間隔を設
定した。これにより、樹脂液2aは目的とする非球面レ
ンズの有効径より外まで広がっている状態となった。 (ロ)第2工程:ガラスレンズ1上に直径約2mmのピン
ホール5aを有するマスク部材5を配置し、このマスク
部材5を介して樹脂液2aに紫外線を照射する。紫外線
の光源(点光源)6としては、出力 150Wのキセノンラ
ンプを用いた。この光源6は、金型1の稜線部(外縁
部)から110mm 離れた上に設置してある。紫外線の照射
強度は、樹脂液2a上で30mW/cm2 となるようにした。
マスク部材5は、図示していない移動手段により、ガラ
スレンズ1と光源6との間で紫外線の光軸方向に対して
(30mm程度)移動できるようにしてある。
Next, the manufacturing method of this embodiment will be described step by step with reference to FIG. (A) First step: 70 mg of the ultraviolet curable resin liquid 2a is dropped on the mold 3 having an aspherical surface that is the reverse of the desired aspherical surface, and then the glass lens 1 as an element substrate is pressed against this. The resin liquid 2a was sandwiched between the mold 3 and the glass lens 1. At that time, the center thickness of the resin molding layer to be molded is 30μ
The distance between the mold 3 and the glass lens 1 was set so that the distance was m. As a result, the resin liquid 2a is in a state of spreading beyond the effective diameter of the target aspherical lens. (B) Second step: A mask member 5 having a pinhole 5a having a diameter of about 2 mm is arranged on the glass lens 1, and the resin liquid 2a is irradiated with ultraviolet rays through the mask member 5. As the ultraviolet light source (point light source) 6, a xenon lamp with an output of 150 W was used. The light source 6 is installed 110 mm away from the ridge (outer edge) of the mold 1. The irradiation intensity of ultraviolet rays was set to 30 mW / cm 2 on the resin liquid 2a.
The mask member 5 can be moved between the glass lens 1 and the light source 6 in the optical axis direction of ultraviolet rays (about 30 mm) by a moving means (not shown).

【0023】照射開始時は、図3(a)に示すように、
マスク部材5をガラスレンズ1に最も近くなるように配
置した。そして、図3(b)に示すように、紫外線を照
射しながら前記移動手段によりマスク部材5を光源6に
向けて約4mm/secの速度(一定速度)で移動させ、樹脂
液2aでの照射領域を直径2mmの円から18mmの円まで拡
げた。この時、ガラスレンズ1を透過して樹脂液2aに
達する紫外線が、所望の樹脂成形層の有効径内を十分照
射できるようにしてある。その後、図3(c)のよう
に、マスク部材5を取り外して紫外線が樹脂液2a全面
に均一に照射されるようにした。紫外線は、図3の
(a)に示す状態から(c)のマスク部材5を取り外す
前までに約30秒間照射し、マスク部材5を取り外した後
さらに約30秒間照射した。この値は、樹脂液2a全体が
硬化するのに十分なものである。マスク部材5を移動さ
せる速度は、本実施例のように一定としてもよいし途中
で変えてもよい。また、速度も特に前記値に限定される
ものではない。この時の紫外線の照射時間は、樹脂液の
硬化に必要な時間が得られるように、マスク部材5の移
動速度に応じて適宜設定すればよい。
At the start of irradiation, as shown in FIG.
The mask member 5 was arranged so as to be closest to the glass lens 1. Then, as shown in FIG. 3B, the mask member 5 is moved toward the light source 6 at a speed (constant speed) of about 4 mm / sec by the moving means while irradiating with the ultraviolet rays, and irradiation with the resin liquid 2a is performed. The area was expanded from a circle with a diameter of 2 mm to a circle with a diameter of 18 mm. At this time, the ultraviolet rays passing through the glass lens 1 and reaching the resin liquid 2a can be sufficiently irradiated within the effective diameter of the desired resin molding layer. Then, as shown in FIG. 3C, the mask member 5 was removed so that the entire surface of the resin liquid 2a was uniformly irradiated with ultraviolet rays. Ultraviolet rays were irradiated for about 30 seconds from the state shown in FIG. 3A to before removing the mask member 5 in FIG. 3C, and further for about 30 seconds after removing the mask member 5. This value is sufficient to cure the entire resin liquid 2a. The speed at which the mask member 5 is moved may be constant as in the present embodiment or may be changed midway. Further, the speed is not particularly limited to the above value. The ultraviolet irradiation time at this time may be appropriately set according to the moving speed of the mask member 5 so that the time required for curing the resin liquid can be obtained.

【0024】なお、本実施例では樹脂液が収縮した場合
に備えて、有効径の外側に前記樹脂供給部を設けてあ
る。この樹脂供給部の容積は、70mgの樹脂液が7%収縮
することを想定して約5mgに設定してある。また、有効
径内の樹脂液2aが硬化した後も、引き続き前記樹脂供
給部に紫外線を照射して樹脂液全体が硬化するようにし
た。 (ハ)第3工程:樹脂液2aの硬化により得られた非球
面樹脂成形層を金型3との界面から剥離することによ
り、図2に示すような非球面レンズを得た。
In this embodiment, the resin supply section is provided outside the effective diameter in case the resin liquid contracts. The volume of this resin supply part is set to about 5 mg assuming that 70 mg of the resin liquid contracts by 7%. Further, even after the resin liquid 2a within the effective diameter is cured, the resin supply portion is continuously irradiated with ultraviolet rays so that the entire resin liquid is cured. (C) Third step: The aspherical resin molding layer obtained by curing the resin liquid 2a was peeled off from the interface with the mold 3 to obtain an aspherical lens as shown in FIG.

【0025】なお、金型3に透明なものを用い、金型3
側から紫外線を照射するようにしてもよい。なお、本発
明の製法は、図5に示すような基材レンズ51の凸面側
および凹面側の両方に樹脂成形層52が形成されている
レンズにも適用可能である。
A transparent mold is used as the mold 3 and the mold 3
You may make it irradiate with ultraviolet rays from the side. The manufacturing method of the present invention can be applied to a lens in which the resin molding layer 52 is formed on both the convex surface side and the concave surface side of the base lens 51 as shown in FIG.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、非球面の形状精度を低
下させずに非球面光学素子を製造することができる。そ
のため、製品の良品率を向上させることが可能となる。
According to the present invention, an aspherical optical element can be manufactured without deteriorating the shape accuracy of the aspherical surface. Therefore, it is possible to improve the yield rate of products.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】は、本発明の実施例1にかかる製造方法の各工
程におけるレンズ等の垂直断面を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a vertical section of a lens or the like in each step of the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

【図2】は、本発明の実施例で製造した樹脂接合型非球
面レンズの概略垂直断面図である。
FIG. 2 is a schematic vertical sectional view of a resin-bonded aspherical lens manufactured in an example of the present invention.

【図3】は、実施例2にかかる製造方法の各工程におけ
るレンズ等の垂直断面を示す概略図である。基材レンズ
の半径方向に対する樹脂液の厚さを示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a vertical cross section of a lens or the like in each step of the manufacturing method according to the second embodiment. It is a schematic diagram showing the thickness of the resin liquid to the radial direction of the substrate lens.

【図4】は、マスク部材4を設置した際の紫外線の照射
領域を示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic view showing an irradiation region of ultraviolet rays when the mask member 4 is installed.

【図5】は、他の樹脂接合型非球面レンズの概略垂直断
面図である。
FIG. 5 is a schematic vertical sectional view of another resin-bonded aspherical lens.

【図6】は、従来の樹脂接合型非球面レンズの概略垂直
断面図である。
FIG. 6 is a schematic vertical sectional view of a conventional resin-bonded aspherical lens.

【図7】は、従来の樹脂接合型非球面レンズの概略垂直
断面図である。
FIG. 7 is a schematic vertical sectional view of a conventional resin-bonded aspherical lens.

【図8】は、従来の製造方法の各工程におけるレンズ等
の垂直断面を示す概略図である。
FIG. 8 is a schematic view showing a vertical cross section of a lens or the like in each step of a conventional manufacturing method.

【図9】は、非球面レンズの樹脂成形層の断面形状を示
す概略図である。
FIG. 9 is a schematic view showing a cross-sectional shape of a resin molding layer of an aspherical lens.

【主要部分の符号の説明】[Explanation of symbols for main parts]

1 ガラスレンズまたは素子基材または基材レンズ 2 樹脂成形層 2a 紫外線硬化型樹脂液 3 金型 4 マスク部材 5 ピンホールを有するマスク部材 6 光源 1 Glass Lens or Element Base Material or Base Lens 2 Resin Molding Layer 2a UV Curing Resin Liquid 3 Mold 4 Mask Member 5 Mask Member with Pinhole 6 Light Source

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(イ)所望の非球面とは反転した非球面を
持つ金型と素子基材(但し、金型と基材の少なくとも一
方は放射線に対して透明なこと)との間に放射線硬化型
樹脂液を挟み込む工程、(ロ)前記樹脂液に、放射線を
その照射領域が該樹脂液の中心部から外縁部に向かって
広がるように照射する工程、および(ハ)得られた非球
面樹脂成形層を金型との界面から剥離する工程、からな
ることを特徴とする非球面光学素子の製造方法。
(A) Between a die having an aspherical surface that is the reverse of the desired aspherical surface and an element substrate (provided that at least one of the die and the substrate is transparent to radiation). Sandwiching the radiation-curable resin liquid, (b) irradiating the resin liquid with radiation so that its irradiation region spreads from the central portion of the resin liquid toward the outer edge portion, and (c) And a step of peeling the spherical resin molded layer from the interface with the mold.
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