JPH049614A - 絶体位置検出方式 - Google Patents
絶体位置検出方式Info
- Publication number
- JPH049614A JPH049614A JP11378090A JP11378090A JPH049614A JP H049614 A JPH049614 A JP H049614A JP 11378090 A JP11378090 A JP 11378090A JP 11378090 A JP11378090 A JP 11378090A JP H049614 A JPH049614 A JP H049614A
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- JP
- Japan
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- absolute value
- value
- linear absolute
- linear
- encoder section
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003623 enhancer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｃ産業上の利用分野Ｊ
本発明は工作機械、等の直線移動する装置の移動距離や
速度等の測定に用いられるリー゛、ア絶対値エンフーダ
に関する。
速度等の測定に用いられるリー゛、ア絶対値エンフーダ
に関する。
従来、この種の直線変位検出装置とし、では、測定全長
に渡って分解能に応じたスリットを設許す、任意の原点
からの分割パルスを計数、検出するインクリメンタル式
のリニアエンコーダが一般的である。この場合、電源を
投入する毎ＩＪ原点位置１２、復帰し、なｌ′ｊれば、
絶対位置が判らないため、操作が煩雑であるという問題
点がある。
に渡って分解能に応じたスリットを設許す、任意の原点
からの分割パルスを計数、検出するインクリメンタル式
のリニアエンコーダが一般的である。この場合、電源を
投入する毎ＩＪ原点位置１２、復帰し、なｌ′ｊれば、
絶対位置が判らないため、操作が煩雑であるという問題
点がある。
絶対位置を検出するには、ロータリエン」−ダにおける
絶対値Ｊンｊ−ダと同様に、ダレイコード等を用いた複
数の−】−トドラックから成るリニア絶対値エン−〕−
ダも考えられるが、この場合、測定全長に渡って高分解
能を得ようとすると、必要なビット数が増λ、スクール
のフードトラックの数が増えるたｙ〕、実用的とはＨえ
ない。
絶対値Ｊンｊ−ダと同様に、ダレイコード等を用いた複
数の−】−トドラックから成るリニア絶対値エン−〕−
ダも考えられるが、この場合、測定全長に渡って高分解
能を得ようとすると、必要なビット数が増λ、スクール
のフードトラックの数が増えるたｙ〕、実用的とはＨえ
ない。
これを解決するす：二ア絶対値］ンｊ−ダとしでは、特
開昭６１−１８２！１２１１：示されたよ・）な全長１
１−渡っての絶対位置を検出４る第１の低分解能のリニ
ア絶対値」−ンー」−ダ部２、第１のリニア絶対値〕−
ンコーダ部の測定ピッチ内の絶対値［−１検出する第２
の高分解能のす；ニア絶対値１ン１−ダ部とを合成して
所望のリニア絶対値コーン」−ダを得る方法が公知であ
る。
開昭６１−１８２！１２１１：示されたよ・）な全長１
１−渡っての絶対位置を検出４る第１の低分解能のリニ
ア絶対値」−ンー」−ダ部２、第１のリニア絶対値〕−
ンコーダ部の測定ピッチ内の絶対値［−１検出する第２
の高分解能のす；ニア絶対値１ン１−ダ部とを合成して
所望のリニア絶対値コーン」−ダを得る方法が公知であ
る。
ずなわち、従速のり−゛ア絶対値テン：）・−ダでは、
低分解能の第１のリニア絶対値エンコーダ部の値と、第
１のリニア絶１対値丁ン〜コーダ邪の測定ピッチ内を高
分解能で絶対位置を検出する第２のリニア絶対値エン」
−ダ部の値とを合成し７で、例ズば第３図に示すようｊ
、Ｊ絶対位置を得るものびあった。
低分解能の第１のリニア絶対値エンコーダ部の値と、第
１のリニア絶１対値丁ン〜コーダ邪の測定ピッチ内を高
分解能で絶対位置を検出する第２のリニア絶対値エン」
−ダ部の値とを合成し７で、例ズば第３図に示すようｊ
、Ｊ絶対位置を得るものびあった。
ここでは、第１のリニア絶対値エンコーダ部の値を第１
の絶対値、また第２のり一′９ア絶対値エンコーダ部の
値を第２の絶対値とし５、また、第２のリニア絶対値ユ
、ンコーダ部は、第１のリニア絶対値エンコーダ部の測
定ピッチ内をＰ分割の分解能こ絶対位置検出するものと
している。この場合、合成出力としてはＮビッグのＰ−
１の時、Ｎ−Ｐ→ （Ｐ−１，）などとしで得られる。
の絶対値、また第２のり一′９ア絶対値エンコーダ部の
値を第２の絶対値とし５、また、第２のリニア絶対値ユ
、ンコーダ部は、第１のリニア絶対値エンコーダ部の測
定ピッチ内をＰ分割の分解能こ絶対位置検出するものと
している。この場合、合成出力としてはＮビッグのＰ−
１の時、Ｎ−Ｐ→ （Ｐ−１，）などとしで得られる。
ところが、前述のような第１及び第２のＩＪ−１絶対値
エンコーダの合成によるリニア絶対値エンコーダでは、
それぞれのリニア絶対値エンＤ−ダは独立のエンコーダ
であるので、第１のり；、ア絶対値ゴンコーダの値の変
化する位置と、第２のリニア絶対値エンコーダの最小値
゛または最大値の位置が一致するとは限らない。
エンコーダの合成によるリニア絶対値エンコーダでは、
それぞれのリニア絶対値エンＤ−ダは独立のエンコーダ
であるので、第１のり；、ア絶対値ゴンコーダの値の変
化する位置と、第２のリニア絶対値エンコーダの最小値
゛または最大値の位置が一致するとは限らない。
したがって、第４図や第５図に示すように合成によって
、絶対位置を得る際、第１のリニア絶対値エンコーダの
１ピツチ分だけ、合成出力１．、、誤差を生じる。第４
図では、第２のリニア絶対値コンコーダ部の最小値近傍
で第１のリニア絶対値エンコーダ部の１ピツチ分の誤差
が発生し、第５図では、第２のリニア絶対値〕−ンーコ
ーダ部の最大値近傍で誤差が発生ずる。
、絶対位置を得る際、第１のリニア絶対値エンコーダの
１ピツチ分だけ、合成出力１．、、誤差を生じる。第４
図では、第２のリニア絶対値コンコーダ部の最小値近傍
で第１のリニア絶対値エンコーダ部の１ピツチ分の誤差
が発生し、第５図では、第２のリニア絶対値〕−ンーコ
ーダ部の最大値近傍で誤差が発生ずる。
そこで、本発明は、１ピツチの誤差も生じない上記絶対
位置検出力法を提供４”ることを１−１的とするもので
ある。
位置検出力法を提供４”ることを１−１的とするもので
ある。
〔課題を解決づ−るための手段１
上記課題を解決するたｙ〕、本発明では、第一のリニア
絶対値コ〜ンコーダ部と同一 ビッヂの分解能を持ち、
該第１のリニア絶対値工＞’ ：、、］ −ダ部と２ピ
ツチ位相のずれた絶対位置を検出する第３の低分解能の
リニア絶対値エンーコーダ部を備え、第２のリニア絶対
値コーンコーダ部が最小値（または最大値）近傍にあい
Ｃは、第３のり一７ｒ絶対ｔｄｉ：ｘンコーダ部の値に
１加えた値（１、たは減じた値＞１７＋第１のリニア絶
対値エンコーダ部の値を置換し７、第２のリニア絶対値
エンコーダ部が最大値（または最小値）近傍においては
第３のり一ア絶対値了ンコーダ部の値で第１のリニア絶
対値エンコーダ部の値を置換するものである。
絶対値コ〜ンコーダ部と同一 ビッヂの分解能を持ち、
該第１のリニア絶対値工＞’ ：、、］ −ダ部と２ピ
ツチ位相のずれた絶対位置を検出する第３の低分解能の
リニア絶対値エンーコーダ部を備え、第２のリニア絶対
値コーンコーダ部が最小値（または最大値）近傍にあい
Ｃは、第３のり一７ｒ絶対ｔｄｉ：ｘンコーダ部の値に
１加えた値（１、たは減じた値＞１７＋第１のリニア絶
対値エンコーダ部の値を置換し７、第２のリニア絶対値
エンコーダ部が最大値（または最小値）近傍においては
第３のり一ア絶対値了ンコーダ部の値で第１のリニア絶
対値エンコーダ部の値を置換するものである。
上記手段により、第２の高分解能のリニア絶対値エンコ
ーダ部に合わせて第１の低分解能のリ−Ｔ絶対値エンコ
ーダ部を補正することができる。
ーダ部に合わせて第１の低分解能のリ−Ｔ絶対値エンコ
ーダ部を補正することができる。
本発明による実施例を第１図に示す。ここでは、第１の
リニア絶対値エンコーダ部と同一ピッチを持ち最大値側
に２ピツチだけ位相のずれた第３のリニア絶対値エンコ
ーダ部を備える。そして、第２のリニア絶対値エンコー
ダ部が最小値近傍り以下（例えばＡピッチ以下）の時に
は、第３のリニア絶対値エンコーダ部の値Ｘに１加えた
Ｘ＋１を第１のリニア絶対値エンコーダ部の値に置換し
、第２のり曇ア絶対値エンコーダ部が最大値近傍Ｍ以上
（たとば３／４ピッチ以上）の時には、第３のリニア絶
対値エンコーダ部の値Ｙを第１のリニア絶対値エンコー
ダ部の値に置換する。また、第２のリニア絶対値エンコ
ーダ部がＬからＭの間は第１のリニア絶対値エンコーダ
部の値をそのまま使う。以上のような手段により、第１
のリニア絶対値エンコーダ部の値を第２のリニア絶対値
エンコーダ部に合わせるように補正することができる。
リニア絶対値エンコーダ部と同一ピッチを持ち最大値側
に２ピツチだけ位相のずれた第３のリニア絶対値エンコ
ーダ部を備える。そして、第２のリニア絶対値エンコー
ダ部が最小値近傍り以下（例えばＡピッチ以下）の時に
は、第３のリニア絶対値エンコーダ部の値Ｘに１加えた
Ｘ＋１を第１のリニア絶対値エンコーダ部の値に置換し
、第２のり曇ア絶対値エンコーダ部が最大値近傍Ｍ以上
（たとば３／４ピッチ以上）の時には、第３のリニア絶
対値エンコーダ部の値Ｙを第１のリニア絶対値エンコー
ダ部の値に置換する。また、第２のリニア絶対値エンコ
ーダ部がＬからＭの間は第１のリニア絶対値エンコーダ
部の値をそのまま使う。以上のような手段により、第１
のリニア絶対値エンコーダ部の値を第２のリニア絶対値
エンコーダ部に合わせるように補正することができる。
第２図は、本発明の別の実施例で、第３のすニア絶対値
エンコーダ部が第１のリニア絶対値エンコーダ部より最
小値側に２ピツチだけ位相がずれている場合である。こ
の場合、第２のリニア絶対値エンコーダ部が最小値近傍
では、第３のリニア絶対値エンコーダ部の値Ｘ°を第１
のリニア絶対値エンコーダ部の値に置換し、第２のリニ
ア絶対値エンコーダ部が最大値近傍では、第３のリニア
絶対値エンコーダ部の値Ｙ゛から１減じた値Ｙ゛−１で
第１のリニア絶対値エンコーダ部の値を置換するもので
ある。
エンコーダ部が第１のリニア絶対値エンコーダ部より最
小値側に２ピツチだけ位相がずれている場合である。こ
の場合、第２のリニア絶対値エンコーダ部が最小値近傍
では、第３のリニア絶対値エンコーダ部の値Ｘ°を第１
のリニア絶対値エンコーダ部の値に置換し、第２のリニ
ア絶対値エンコーダ部が最大値近傍では、第３のリニア
絶対値エンコーダ部の値Ｙ゛から１減じた値Ｙ゛−１で
第１のリニア絶対値エンコーダ部の値を置換するもので
ある。
以上述べたように、本発明によれば、高精度な位置検出
が可能な、１ピツチの誤差も生じないリニア絶対値エン
コーダを提供できる。
が可能な、１ピツチの誤差も生じないリニア絶対値エン
コーダを提供できる。
第１図は本発明の実施例による絶対値合成図、第２図は
本発明の他の実施例による絶対値合成図、第３図は従来
例による絶対値合成図、第４図は従来例の誤差発生例を
示す図、第５図は従来例の別の誤差発生例を示す図であ
る。 第３図 第 １ 図 第４塑 第２図 第５図
本発明の他の実施例による絶対値合成図、第３図は従来
例による絶対値合成図、第４図は従来例の誤差発生例を
示す図、第５図は従来例の別の誤差発生例を示す図であ
る。 第３図 第 １ 図 第４塑 第２図 第５図
Claims (2)
- （１）絶対位置を検出する第１の低分解能のリニア絶対
値エンコーダ部の出力と、該第１のリニア絶対値エンコ
ーダ部の測定ピッチを１周期として該第１のリニア絶対
値エンコーダ部の測定ピッチ内の絶対位置を検出する第
２の高分解能のリニア絶対値エンコーダ部の出力を合成
して絶対位置を検出する方式において、 第１のリニア絶対値エンコーダ部と同一ピッチの分解能
を持ち、該第１のリニア絶対値エンコーダ部から最大値
側に１／２ピッチ位相のずれた絶対位置を検出する第３
の低分解能のリニア絶対値エンコーダ部を備え、 第２のリニア絶対値エンコーダ部が最小値近傍では第３
のリニア絶対値エンコーダ部の値に１加えた値で第１の
リニア絶対値エンコーダ部の値を置換し、第２のリニア
絶対値エンコーダ部が最大値近傍においては第３のリニ
ア絶対値エンコーダの値で第１のリニア絶対値エンコー
ダ部の値を置換することを特徴とする絶対位置検出方法
。 - （２）絶対位置を検出する第１の低分解能のリニア絶対
値エンコーダ部の出力と、該第１のリニア絶対値エンコ
ーダ部の測定ピッチを１周期として該第１のリニア絶対
値エンコーダ部の測定ピッチ内の絶対位置を検出する第
２の高分解能のリニア絶対値エンコーダ部の出力を合成
して絶対位置を検出する方式において、 第１のリニア絶対値エンコーダ部と同一ピッチの分解能
を持ち、該第１のリニア絶対値エンコーダ部から最小値
側に１／２ピッチ位相のずれた絶対位置を検出する第３
の低分解能のリニア絶対値エンコーダ部を備え、 第２のリニア絶対値エンコーダ部が最小値近傍では第３
のリニア絶対値エンコーダ部の値で第１のリニア絶対値
エンコーダ部の値を置換し、第２のリニア絶対値エンコ
ーダ部が最大値近傍においては第３のリニア絶対値エン
コーダの値から１減じた値で第１のリニア絶対値エンコ
ーダ部の値を置換することを特徴とする絶対位置検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378090A JP2893851B2 (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 絶体位置検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378090A JP2893851B2 (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 絶体位置検出方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH049614A true JPH049614A (ja) | 1992-01-14 |
| JP2893851B2 JP2893851B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=14620921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11378090A Expired - Fee Related JP2893851B2 (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 絶体位置検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893851B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
| US6723240B1 (en) | 1994-05-17 | 2004-04-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Sludge removing device |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP11378090A patent/JP2893851B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
| US6723240B1 (en) | 1994-05-17 | 2004-04-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Sludge removing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2893851B2 (ja) | 1999-05-24 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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