JPH049405A - 放電焼結装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は金属、希土類、又はセラミックの粉末をダイ
に入れ、パンチで加圧しながら粉末に通電し７て加熱し
焼結する加圧及び通電装置に関する。

「従来の技術」 従来、粉体等に通電する電極を移動して加圧する加圧装
置には、高油圧発生装置が発生する油圧を電磁比例制御
弁を利用して制御するものがある。

「発明が解決しようとする課題」 しがし、この電磁比例制御弁は油圧を変えることが出来
る比例範囲が狭いから、電極の加圧力を低圧から高圧ま
で広い範囲で制御することができなかった。又、電極装
置でも高加圧力に耐え、精度良く被加圧体を加圧して通
電出来るものが少ながった。この発明は、その欠点を除
いて、加圧台に絶縁して取付けた電極の加圧力を数十％
−Ｊ）ｓら百トンを越えるまで一挙に制御して被加圧体
を加圧しながら高周波振動を与え通電することが出来る
加圧及び通電装置を提供することを目的としてなさたも
のである。

［課題を解決するための手段」 上述の目的を達成する本発明の加圧及び通電装置は、大
径のピストンを有する油圧シリンダと、この大径のピス
トンを往復移動する為に油路を切り換え中立位置で油路
をフロックする切換弁と、低圧高圧を発生する油圧源と
、油圧シリンダ内の油を加圧するロットと、このロット
の加圧力を変えるロット駆動装置と、前記ロットによっ
て押し出した油圧シリンダ内の油をタンクに戻す切換弁
と。

からなる加圧装置を備え、この加圧装置で加圧する電極
装置は、加圧台と、この加圧台の先にに設けた絶縁体と
、この絶縁体を介して前記加圧台に取り付けた電極とを
一対備え、この一対の電極の端面の平行度を前記加圧台
のねじ又は楔で調整するようにし、更に、この加圧台内
に高周波振動子を備えた。そして、この加圧台に設けた
絶縁体とこの絶縁体を介して前記加圧台に取り付けた電
極と、被加圧体を収容するチャンバと、このチャンバと
電極とを絶縁体を介してベローズで接続するようにした
ものである。

「作　用」 大径のピストンを有する油圧シリンダと、小径のロフト
を挿入したシリンダとの油圧は常に等しくその圧力はロ
ットを押す力で設定される。いま中立位置で圧力保持が
出来る切換弁を作動して油圧シリンダのピストンを早送
りして被加圧体を軽く加圧した後に、設定したロットの
押圧力に応じた圧力で油圧シリンダのピストンを押し被
加圧体を高い圧力で加圧する。そして、ピストンから押
し出された油は他の切換弁をも介してタンクに戻る。一
方ベローズでチャンバとシールした電極はその端面の平
行を自由に調整することが出来、必要に応じて高周波振
動を与えながら被加圧体を加圧し通電する。

「実施例」 この発明を例示した図にもとすいて説明する。第１図に
於いて、一対の柱１の上下に、ビーム２゜台３を固定す
る。ビーム２の中央にアクチエータを構成する油圧シリ
ンダ４をボルト等で固定し。

その油圧シリンダ４のピストンロット５の先端に移動ビ
ーム６をボルト等で水平に固定する一方、移動ビーム６
にローブ７の一端を固定し、ビーム２の滑車８に掛けた
他端にバランスエライト９を固定する。このバランスエ
ライト９は移動ビーム６を引き揚げるように作用させて
アクチエータの初期加圧力を軽くするようにすることも
出来る。そして　移動ビーム６の両端に軸受ｌＯを取り
付けて、その軸受ＩＯを柱ｌで支持することによって、
移動ビーム６を水平に保ちながら鉛直方向に移動出来る
ようにしである０台３と移動ビーム６に固定した一対の
加圧台１１には冷却水路１２．１３と中心部に互いに対
向するように向き合った超音波発振器１４が設けてあり
加圧台１１の先端部にセラミックの絶縁体１５を介して
電極１６をボルトなどで固定する。電極１６を取り付け
た加圧台１１はボルト１７で台３及びビーム６に取り付
けるのであるが、そのさいに、少なくとも３本以上あっ
て、それを等分に配置したボルト１８で突っ張り、電極
１６の端面１９が互いに平行になるように調整してナツ
ト２０で固定する。

いま、電極１６の端面１９が互いに平行になるように調
整するのをボルト１８でおこなったが、これを図示して
いないが楔等を利用しておこななうことも出来る。そし
て、電極１６の冷却水路２１は加圧台ＩＩの冷却水路１
２．１３に連通し、端部はシール２２で加圧台１１とは
水密に保つようになっている。そして電極１６に固着し
た端子２３を通して電流を供給する。

この電極１６に固着した端子２３の他端部には電極１６
と平行に端子バー２４を固定し、移動ビーム６にテフロ
ン等の絶縁材２５を介して保持する。この端子バー２４
が電極１６と共に移動するときには開き、停止したとき
には端子バー２４が動くことが出来る程度に絞める端子
片２６を通して電流を供給するよようになっている。そ
の構造は柱１に絶縁して固定したアーム２７に半円形の
端子片２６を固定し、他の半円形の端子片２６は、アー
ム２７にヒン２８で支持したヒンジ２９に固定する、そ
のヒンジ２９の先端部に固定したボルト３０にスプリン
グ３１を挿入し、アーム２７に当てたスプリング３１の
弾力をナツト３６で調整して、端子バー２４と端子片２
６とが相対的に移動でき　かつ、通電出来るようにする
。そして、アーム２７とヒンジ２９との間に設けたカム
３７をソレノイド３８で回動することによって、端子片
２６を開いて電極１Ｂと端子バー２４とを早送りする。

電極３９にテフロン等のフランジ４０を固定し、その、
フランジ４０にベローズ４１の一端を気密に固定し他端
をチ材４５を介して取付けてあり１図示していないが真
空ポンプに接続し、チャンバ内の気体を排気する。

又、チャンバ受は台４３の開閉口はチャンバ内にＡｒ等
の雰囲気ガスを供給するボンベと接続するものである。

又、チャンバ内の温度やダイ３２の温度は温度センサに
よって検出し、その検出信号を制御装置１００に送り、
その信号を受けた制御装置１００は電源１０２を制御し
て電極１６に供給！る電流を変えたすする。

加圧装置としては　大径のシリンダ４とピストンロット
５を有するアクチエータと　小径のロフト１２９を挿入
したシリンダ＋２８と、ロット１２９をシリンダ１２８
に押入れるスプリング１５１と、前記ロット１２９の端
に取り付けたロット１２９の移動に応じて移動する接片
１５２とを設ける、そして、この接片！５２に対向して
一対のスイッチ１５３．１５４を置く、このスイッチ１
５３，１５４は対向する接片１５２に接近させて設ける
が、中立位置ではいずれも作動しないようにしてナツト
１５５に取り付けである。ナツト１５５に虹合したスク
リュー＋３０の軸部は、パルスで回転位置を制御するノ
（ルスモータ１２７やＡＣ，ＤＣモータ等のサーボモー
タにつなげて、ナツト１５５の位置を検出するエンコー
ダ１５６とあいまって制御装置１００で制御する。油圧
シリンダ４に接続する油路１０Ｂ、　１０７の中油路ｌ
Ω６は中立位置で圧力を保持する切換弁１０８、切換弁
１０９ｂを通して市販されている電動ポンプ１５７を構
成するタンク１１０と早送り油圧源を構成する低圧で流
量の多いいポンプ１１１に通じる。油路１０７は、切換
弁＋０８ｆ！−通し早送り油圧源を構成する低圧で流量
の多いいポンプＩＩＩと高圧で流量が少ないポンプ１１
６につながるととカップリング１１３で結合して駆動す
る。なお＋２１はリリーフ弁５１２２はフィルタである
。一方、油路１０７は分岐してシリンダ１２８につなが
る。尚、チエツクバルブ１５８は高圧油が低圧油路に入
るのを阻止する為に用いる。そして、油路Ｉ０７に圧力
センサ１２４を設けて油圧シリンダ４．シリンダ１２８
内の圧力を検出して制御装置１００にその信号を送る。

この圧力センサ１２４に変えて台３の下にロードセン＋
ｌ−１５９ｔｆｆｉｆいてもよい、１２３ｂは流量制御
弁である。

油圧シリンダ４の圧力を増す場合は、制御装置１００に
入力した所定の加圧値と圧力センサ１２４が検出する圧
力の差と加圧に要する時間とによってサーボモータ１２
７とを駆動する、サーボモータ１２７の回転はナラ！−
１５５及びスイッチ１５３．１５４を動かし所定の圧力
設定位置に停止する９そのときに、接片１５２がスイッ
チ１５４を作動すると、それを入力した制御装置ｌＯ旧
よ切換弁１０８を切り換えて　ポンプ１１６の高圧油を
油路１０７を通して油圧シリンダ４、シリンダ］２８に
送ることによって、シリンダ１２８内のロット１２９は
スプリング１５１を圧縮しながら移動し、それにともな
って移動する接片１５２がスイッチ１５４がから離れた
ところで制御装置１ｏ旧よ切換弁１０８を中立位置にも
どしピストンロット５の加圧力を保持する。そのさい、
切換弁＋０９　ｂを開いておくとよい、そのときのピス
トンロット５の加圧力はスプリング！５１がロット１２
９を押すシリンダ１２８内の油圧に設定される、もし２
油圧シリンダ４内の圧力が低下すると、スプリング１５
１はロット１２９＆押し下げ、それにともなって移動す
る接片１５２がスイッチ１５４を押すことで、切換弁＋
０８を再び切り換えて高圧油を供給する０反対に油圧シ
リンダ４゜シリンダ１２９内の圧力が上昇すると、スプ
リング１５１の弾力に抗してロット１２９ヲ押し上げ、
それにともなってスイッチ１５３は接片１５２で押され
ることによって、切換弁１０９を切り換え、圧油をタン
クＩ１０に逃がすことにより、油圧シリンダ４及びシリ
ンダ１２８内の圧力をサーボモータ１２７で指示する位
置に応じて保つことになる。反対に加圧力を減少する場
合は、制御装置１００に入力した所定の圧力値と圧力セ
ンサ１２４又は、ロードセンサ１５９が検出する圧力の
差と減圧に要する時間とによってサーボモータ１２７を
駆動する、サーボモータ１２７０回転はナツト１５５を
Ｆ方に移動し７スイツチ１５３を作動すると、それを・
人力した制御装置１００は切換弁１０９を切り換えて油
圧シリンダ４、シリンダ１２８内の油をタンク１１０に
戻（７、シリンダ１２８内のロット１２９はスプリング
１５１を伸張しながら移動する、それにともなってスイ
ッチ１５３が接片１５２から離れたところで制御装置１
００は切換弁１０９を閉止位置にもどして　シリンダ１
２８．油圧シリンダ４等の圧力を前より低圧に保持する
。その時の油圧はスプリング１５１が押ずロット１２９
で発生するシリンダ１２８内の油圧に設定されることは
前と同じである。

又４接片１５２に接するスイッチ！５３の代りに、押さ
れたら油圧シリンダ４等の油をタンク＋１０に環流する
切換弁を置き、スイッチ！５４の代りに、油圧を油圧シ
リンダにおくり、押されたらタンク１１．０に環流する
切換弁を置いても良い。

第３図は本発明の装置を正面から見た外観図で上部カバ
ー５２、下部カバー５３、左右の柱５４及び作業空間５
５とからなっている。第４図は側面図で搬送装置５Ｂで
ダイ３２等を運ぶところを示している。

次ぎに２本発明の第２実施例を第５図及び第５図をＡ矢
視した第６図にもとすいて説明する。

みぞ形鋼の一対の柱５４の上下に、やはり、みぞ形鋼の
ビーム５７、ビーム５８を柱５４を貫通した軸５９とボ
ルト６０とで固定する、その内、上のビーム５７は軸５
９を穴６１に差し換えることによって、高さを変えるこ
とが出来るようになっている。柱５４の下には山形鋼の
足６３を溶接し、これにねじこんだボルト６４で柱５４
が鉛直に立つように調整する。ビーム５７の中央に油圧
シリンダ６５をボルト等で固定しその油圧シリンダ６５
のピストンロット６６の先端に固定したブロック６７に
、移動ビーム６８をボルト等で水平に固定する。移動ビ
ーム６８の両端に直動軸受の軸６９を鉛直に取り付けて
、その軸受７０を柱５４に固定するとによって、移動ビ
ーム６８を水平に保ちながら鉛直方向に移動出来るよう
にしである。

一方、−Ｑ？＋にはテフロン等の絶縁材１４を介して電
極１５をボルトなどで固定してあり、その電極１５に固
着した端子１Ｇを通してパルス電流や直流電流を供給す
る０台７２には、テフロン等の絶縁材７３を介して軸方
向に移動する電極２０を保持する。そしてこの電極２０
に固着した端子２１の他端部には電極２０と平行に端子
バー７４を固定し、この端子バー７４が電極２０と共に
移動するときには開き、停止したときには端子バー７４
を締め付けるといった、あたかもブレーキ装置と、その
ブレーキシューのような端子片７５を通して電流を供給
するようになっている。又、電極１５及び２０に超音波
振動子９７で振動を与えてもよい。電極１５．電極２０
を取り付けた台７１゜７２はいずれもボルト７６でビー
ム５８、移動ビーム６８に固定したベース７７に取り付
けるのであるが、そのさいに、少なくとも３本以上あっ
て、それを等分に配置したボルト７８で突っ張り、電極
１５の端面７９と、ＩＩＩ２Ｏ３端面８０とが平行にな
るように調整してナツト８１で固定する。いま、電極１
５の端面７９と、電極２０の端面８０とが平行になるよ
うに調整するのをボルト７８でおこなったが、これを図
示していないが楔等を利用しておこななうことも出来る
。

電極２０にテフロン等のフランジ８２を固定し、その４
フランジ８２にベローズ８４の一端を気密に固定し他端
を椀状のチャンバ８３に気密に固定してシール装置を構
成する、このチャンバ８３は二重構造になっていて、中
に水を通して冷却するようになっている。そして、その
端部にフランジ８５を異水平に設け、そこにシール８Ｂ
を取り付ける。又、チャンバ８３に直動軸受の軸受８７
を取り付け、柱５４に取り付けた軸８８に沿って移動す
るようにし、その移動は、移動ビーム６８に取り付けた
電極２０と共に移動する他に、移動ビーム６８に設けた
りフタ８９で移動するロット９０によって単独に移動す
る。このチャンバ８３の下降によってフランジ８５と接
合するチャンバ受は台９１は、柱５４に固定した山形鋼
のビーム９２の上に客水平に取り付けてあり、チャンバ
受は台９］の開口９３に真空ポンプ９４を接続し、チャ
ンバ８３内の気体を排気する。又、チャンバ受は台９１
の開口９５はチャンバ８３内にΔｒ等の雰囲気ガスを供
給するボンベ９６と弁９９を介して接続するものであり
この弁９９と前記真空ポンプ９４とは手動による他制御
装置＋００の指令に誹っても作動する。チャンバ８３内
の温度やダイ３２の温度は温度センサ１旧によって検出
し、その検出信号を制御装置１０口に送り、その信号そ
受けた制御装置１００は直流電源１０２を制御して電極
１５．電極２０に供給する電流を変えたりするにのよう
な装置を接続したチャンバ受は台９１はチャンバ８３と
同様に冷却水を環流するジャケット１０３を設け、その
ジャケット１０３と電極１５に固定したテフロン等のフ
ランジ１０４との間にベローズ１０５を設けてシール装
置を構成している。

電極２０を移動する油圧シリンダ６５に接続する油路１
０１３、１０７は途中で分岐して、油路１０Ｂはセンタ
ーブロックの切換弁１０８．１０９を通してタンク１１
０に通じる。油路１０７の分岐した一方は、切換弁１０
８を通して、低圧で流量の多いいポンプ１１１につなが
り、このポンプＩ１１はモータ１１２にカップリングＩ
Ｉ３で結合して駆動する。なお１１４はリリーフ弁、Ｉ
ｆ５はフィルタである。そして、油路１０７の分岐した
他方は、切換弁１０９を通して高圧で流量の少ないポン
プ１１６につながり、このポンプ１ＩＥｉはカップリン
グ１１７．１１８で、励磁電流の強さによってトルクを
変えることが出来るクラッチ例えばパウダクラッチ１１
９とモータ１２０とを直列につなげる。１２１はリリー
フ弁２１２２はフィルタ、１２３は流量制御弁で高圧ポ
ンプ１１Ｂからの流量と、油圧シリンダ６５がらタンク
１１０戻る圧油の流量を制御する。これは切換弁ｌ口８
の方にも設けても良い。

いま第５図の状態から、切換弁１０８とモータ１１２と
を作動すると５作動させない切換弁１０９はブロックさ
れているから、ポンプ１１１が吐出する油はピストンロ
ット６６を早く移動して電極２０でダイ３２内の粉末３
３を低圧で加圧する。この圧力は油路１０６に設けた圧
力センサ１２４又はビーム５８の下に設けた圧力センサ
１２５で検出し７、所定値になった処で切換弁１０８と
モータ１１２との作動を停止し、次ぎに切換弁１１〕９
とモータ１２０とを駆動する。すると、ポンプ１１８か
らはパウダクラッチ１１９の励磁電流で制御するトルク
に応じた圧力でピストンロット６６を押す、この時の油
の流量は粉末３３の収縮に追従するだけであるから極め
て僅かである。こうして必要な作業が終わったところで
切換弁１０Ｂ、モータ１２０及びパウダクラッチ１１９
の作動を停止し、再び切換弁１０８を前とは逆に切り換
えるとともに、ポンプ１１１を作動してピストンロット
６６及び電極２０を」−昇させながら、チャンバ８３も
リフタ８９で上昇させ、ダイ３２等を取り出すことによ
って作業が終わる。

次ぎに、本発明の第３実施例を第７図及び第７図をＢ矢
視した第８図にもとすいて説明するが、前記実施例と同
じものについては、同一符号２シ付けてその説明を省略
する。

第２実施例と異なる点はその駆動装置にあって。

ポンプ１１６を作動して油圧シリンダ６５に高い油圧を
供給する装置は、カップリング１１．７，１１８でポン
プ１１６、スプリングパー１２６．及びＤＣサーボモー
タ１２７を直列に接続したものであって、圧力センサ１
２４又は圧力センサ１２５の検出する信号をみながらＤ
Ｃサーボモータ１２７を駆動する、このＤＣサーボモー
タ１２７の駆動力はスプリングパー１２６を介してポン
プ１１６を作動し、粉末３３を加圧するのであるが、そ
の電極２０の加圧力はスプリングパー１２６の弾力とそ
れを保持するＤＣサーボモータ＋２７とによって保たれ
る。この場合、駆動系がスプリングパー１２６の弾力に
相当する弾力を発生するものであればスプリングパー１
２６は省略しもよい。

次ぎに、第４の実施例として、前記第１．２．３の実施
例に於ける油圧シリンダ６５内の油に高圧を発生させる
装置を第９図で説明する。

油圧シリンダ６５に高圧を与える油路１０７をシリンダ
１２８に接続し、このシリンダ１２８にロフト１２９を
挿入する。その挿入、引き戻しはロツ［２９の他端部分
のねじ部１３０にはまる雌ねじに相当する歯車１３１を
、軸承＋３２で回転できるように支持し、その歯車１３
１に噛み合う歯車１３３を第２実施例で説明したのと同
様に、パウダクラッチ１１９を介してモ−タ１２０で回
動するか１区中鎖線で示す誹うに、第３実施例で説明し
たのと同様にＤＣす〜ボモータ＋２７で直接回動するか
１図示していないがスプリングパーを介して回動する。

尚、チエツクバルブ！３４はロット１２９を引き戻す時
にタンク４Ｉから油をシリンダ１２８に吸入する為に用
いる。

この装置で、例えば、油圧シリンダ６５に直径１００ミ
、のピストンを用いて、電極２０に３０ト、の加圧力を
与える場合には、直径１４ミ、、のロット１２９を僅か
５８８キ。の力でシリンダ１２８に挿入すれば良く、そ
の挿入量は、粉末３３が焼結するときに１０ミ、、歪ん
だとしても５Ｐｒで良いことになる。従って、この装置
によれば粉末３３の加圧制御を極めて容易に行なうこと
ができる。

次ぎに、本発明の第５実施例を第１０図及び第１Ｏ図を
Ｃ矢視した第１１図にもとすいて説明する。前記実施例
と同じものについては、同一符号を付けてその説明を省
略する。

前記実施例と異なる点はその駆動装置にあって、移動ビ
ーム６８に固定したシリンダ１３５に設けたナツト１３
Ｂにスクリュウ１３７を螺合し、そのスクリュウ１３７
を軸受１３８で支持するとともに、減速＄１１１３９に
接続し、その減速機１３９をカップリング１１７、目８
で、励磁電流の強さによってトルクを変えることが出来
るクラッチ例えばパウダクラッチ１１９とモータ１２０
とを直列につなげる。

一方、ビーム５８の一端は軸５日で揺動できるようにし
、その他端に固定したブロック＋４０に設けたボルト１
４１を圧力センサ１２５に当てて電極２０の加圧力を検
出する。この圧力センサ１２５の検出信号によって、回
転するモータ１２０のトルクをパウダクラッチ１１９の
励磁電流を制御することにより電極２０の加圧力を制御
する。

次ぎに１本発明の第６実施例を第１２図及び第１２図を
Ｄ矢視した第１３図にもとすいて説明する。前記実施例
と同じものについては、同一符号を付けてその説明を省
略する。

第５実施例と異なる点はその駆動装置にあって。

移動ビーム６８に固定したシリンダ１３５に設けたナツ
ト１３６とスクリュウ１３７を螺合し、そのスクリュウ
１３７を軸受１３８で支持するとともに、減速ｆｉ　１
３９に接続し、その減速機１３９をカップリング１１７
．１１８で２弾性部材であるスプリングパー１２６及び
ＤＣサーボモータ１２７とを直列につなげる。一方、ビ
ーム５８の一端は軸５９で揺動できるようにし、その他
端に固定したブロック１４０に設けたボルト＋４１を圧
力センサ１２５に当てて電極２０の加圧力を検出する。

この圧力センサ１２５の検出信号によってＤＣサーボモ
ータ１２７を回転し、そのトルクをスプリングパー１２
６とＤＣサーボモータ１２７とで保持することによって
、電極２０の加圧力を保持する。

「発明の効果」 本発明によれば、低圧から高圧までリニヤに制御する加
圧装置を提供することが出来、又、一対の電極の端面の
平行度を調整することができたことにより、被加圧体を
正確に加圧することが出来るようになった　、そして、
チャンバを電極とは別に移動させ、しかも、チャンバ受
台との接合面が水平であることから被加圧体の出し入れ
が容易になった、更に、移動する電極とチャンバとをベ
ローズによってシールしたのでチャンバ内の気密を良く
保つことができるようになった上に、チャンバ内の気密
を良く保つことによってチャンバ内を真空にし、あるい
は、他のガスを充満して電極を超音波による高周波振動
をすることが８来、それにより、被加圧体に振動エネル
ギイを与えて表面を活性化することが出来る等、前記課
題を解決した上に、更に優れた効果を有するものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ
矢視図、第３図は本発明の外観正面図、第４図は第３図
の右側面図で搬送装置を設けた使用例を示す図、第５図
は第２実施例の断面図、第６図は第５図のＡ矢視図、第
７図は第３実施例の断面図、第８図は第７図のＢ矢視図
、第９図は油圧を利用する装置に適用出来る油圧発生制
御装置の概念図、第１Ｏ図は第４実施例の断面図、第１
１図は第１０図のＣ矢視図、第１２図は第５実施例の断
面図、第１３図は第１２図のＤ矢視図である。 ４．６５・・・油圧シリンダ１１・・・加圧台、！４・
・・超音波発信第 図 第４図 ｆ 続 補 正 言（方式） 発明の名称 加圧及び通電装置 ３、 補正をする者 事件との関係

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、大径のピストンを有する油圧シリンダと、この大径
   のピストンを往復移動する為に油路を切り換え中立位置
   で油路をフロックする切換弁と、低圧高圧を発生する油
   圧源と、油圧シリンダ内の油を加圧するロットと、この
   ロットの加圧力を変えるロット駆動装置と、前記ロット
   によつて押し出した油圧シリンダ内の油をタンクに戻す
   切換弁と、からなる加圧装置。 ２、加圧台と、この加圧台の先端に設けた絶縁体と、こ
   の絶縁体を介して前記加圧台に取り付けた電極とを一対
   備え、加圧装置で被加圧体を加圧し通電する一対の電極
   の端面の平行度を前記加圧台のねじ又は楔で調整する加
   圧及び通電装置。 ３、加圧台と、この加圧台に設けた絶縁体と、この絶縁
   体を介して前記加圧台に取り付けた電極とを一対備え、
   この加圧台内に高周波振動子を備えた加圧及び通電装置
   。 ４、被加圧体を収容するチャンバと、このチャンバと電
   極とを絶縁体を介してベローズで接続した加圧及び通電
   装置。