JPH0491666A - 振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置 - Google Patents
振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置Info
- Publication number
- JPH0491666A JPH0491666A JP2206231A JP20623190A JPH0491666A JP H0491666 A JPH0491666 A JP H0491666A JP 2206231 A JP2206231 A JP 2206231A JP 20623190 A JP20623190 A JP 20623190A JP H0491666 A JPH0491666 A JP H0491666A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- elastic body
- mechanical energy
- energy conversion
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、圧電素子等の電気−機械エネルギー変換素子
に電気エネルギーを供給することにより、電気−機械エ
ネルギー変換素子をその厚み方向両側から挟持固定する
、例えばペンシル型の振動体を屈曲振動させ、その質点
に円又は楕円運動させることで、振動体に押圧した移動
体を摩擦駆動する超音波モータに関するものである。
に電気エネルギーを供給することにより、電気−機械エ
ネルギー変換素子をその厚み方向両側から挟持固定する
、例えばペンシル型の振動体を屈曲振動させ、その質点
に円又は楕円運動させることで、振動体に押圧した移動
体を摩擦駆動する超音波モータに関するものである。
［従来の技術］
従来の超音波モータとしては、円環形状の金属性振動弾
性体に進行性の曲げ振動を起こし、摩擦力により移動体
を駆動させるタイプの物がカメラのオートフォーカス（
ＡＦ）機構等に採用されている。
性体に進行性の曲げ振動を起こし、摩擦力により移動体
を駆動させるタイプの物がカメラのオートフォーカス（
ＡＦ）機構等に採用されている。
しかし、このタイプの超音波モータは、振動弾性体をリ
ング形状としているため、摩擦力を得るための加圧機構
を含めたユニットとしてはコスト高の傾向にあり、中空
性（リング状）を要求されることのない用途としてはコ
スト上不利な点があった。
ング形状としているため、摩擦力を得るための加圧機構
を含めたユニットとしてはコスト高の傾向にあり、中空
性（リング状）を要求されることのない用途としてはコ
スト上不利な点があった。
そこで、ペンシル型等の棒状で、加圧系の構成が簡単な
タイプの超音波モータとして、第７図及び第８図に示す
ようなモータが提案されている。
タイプの超音波モータとして、第７図及び第８図に示す
ようなモータが提案されている。
Ａはペンシル型の振動子で、ペンシル形状の前振動弾性
体１と、円柱状の後振動弾性体２との間にドーナツ状の
圧電素子板３．４を設けると共に、これら圧電素子板３
．４に交流電圧を印加するための電極板（不図示）を例
えば圧電素子板３．４０間に介挿し、ポルト６により前
振動弾性体１と後振動弾性体２との間に圧電素子板３．
４及び電極板を挟持固定する。
体１と、円柱状の後振動弾性体２との間にドーナツ状の
圧電素子板３．４を設けると共に、これら圧電素子板３
．４に交流電圧を印加するための電極板（不図示）を例
えば圧電素子板３．４０間に介挿し、ポルト６により前
振動弾性体１と後振動弾性体２との間に圧電素子板３．
４及び電極板を挟持固定する。
圧電素子板３．４は、軸を通る断面に対称に極性を違え
て分極処理されており、圧電素子３と４はθ方向に角度
を９０°すらして配置されている。
て分極処理されており、圧電素子３と４はθ方向に角度
を９０°すらして配置されている。
そして、各々の圧電素子に振動子の曲げ固有振動数に近
い周波数の交流電圧Ｖ、、Ｖ２を印加すると、圧電素子
は厚み方向に伸縮し、振動子は曲げ振動を行なう。この
とき、交流電圧■１と交流電圧■２は、例えば振幅及び
周波数が共に同じで、時間的位相が９０度のづれを有し
ていると、振動子Ａはその軸心を中心として縄飛びの縄
のような円運動（以下縄張び振動と称す）を行なうこと
になる。また、交流電圧■３、■２の位相を逆転するこ
とにより円運動の正逆回転が可能となる。
い周波数の交流電圧Ｖ、、Ｖ２を印加すると、圧電素子
は厚み方向に伸縮し、振動子は曲げ振動を行なう。この
とき、交流電圧■１と交流電圧■２は、例えば振幅及び
周波数が共に同じで、時間的位相が９０度のづれを有し
ていると、振動子Ａはその軸心を中心として縄飛びの縄
のような円運動（以下縄張び振動と称す）を行なうこと
になる。また、交流電圧■３、■２の位相を逆転するこ
とにより円運動の正逆回転が可能となる。
一方、Ｒは振動子Ａの軸心ρと同軸に嵌合するロータで
、その嵌合一端部が振動子の摺動部Ｂにバネ５のバネ力
により押圧され、振動子Ａに励起される振動により摩擦
駆動されて回転する。バネ５はポルト６の先端部と、フ
ランジ付きのスラストベアリング７に嵌合するバネボス
ト８との間に弾装されている。
、その嵌合一端部が振動子の摺動部Ｂにバネ５のバネ力
により押圧され、振動子Ａに励起される振動により摩擦
駆動されて回転する。バネ５はポルト６の先端部と、フ
ランジ付きのスラストベアリング７に嵌合するバネボス
ト８との間に弾装されている。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、このような棒状の超音波モータは、超小型化
が可能で、携帯用製品の駆動源に使用することが適して
いる。したがって、電池駆動を要求されることが多く、
低電圧駆動が望まれている。
が可能で、携帯用製品の駆動源に使用することが適して
いる。したがって、電池駆動を要求されることが多く、
低電圧駆動が望まれている。
しかし、従来の超音波モータでは、駆動用電圧として数
十〜数百Ｖの電圧が必要で、駆動出力アンプ用電源のた
めのＤＣ／ＤＣＣ／式−タが必要となり、しかも数十倍
の昇圧率を持つ大型のものが使用され、その結果製品の
小型化を阻害する問題があった。
十〜数百Ｖの電圧が必要で、駆動出力アンプ用電源のた
めのＤＣ／ＤＣＣ／式−タが必要となり、しかも数十倍
の昇圧率を持つ大型のものが使用され、その結果製品の
小型化を阻害する問題があった。
本発明の目的は、低電圧でモータ駆動を行なわしめるこ
とにより、小型化を可能とする超音波モータを提供する
ものである。
とにより、小型化を可能とする超音波モータを提供する
ものである。
［課題を解決するための手段］
本発明の目的を実現するための構成とするところは、棒
状の弾性体に設けた電気−機械エネルギー変換素子に交
流電界を印加することにより、該弾性体に同形の屈曲モ
ードの振動を異なる複数の平面内に時間的に適当な位相
差を有して励起させて該弾性体の表面粒子に円又は楕円
運動を行なわしめ、該弾性体に押圧した移動体を摩擦駆
動する超音波モータにおいて、該電気−機械エネルギー
変換素子を駆動時における該弾性体の略歪最大位置又は
振動モードの腹位置近傍に設けたことを特徴とする。
状の弾性体に設けた電気−機械エネルギー変換素子に交
流電界を印加することにより、該弾性体に同形の屈曲モ
ードの振動を異なる複数の平面内に時間的に適当な位相
差を有して励起させて該弾性体の表面粒子に円又は楕円
運動を行なわしめ、該弾性体に押圧した移動体を摩擦駆
動する超音波モータにおいて、該電気−機械エネルギー
変換素子を駆動時における該弾性体の略歪最大位置又は
振動モードの腹位置近傍に設けたことを特徴とする。
［作 用］
上記の如（構成した超音波モータは、圧電素子板等の電
気−機械エネルギー変換素子に小さな変位を与えても、
弾性体における変位は大きいので、低電圧で駆動するこ
とができる。
気−機械エネルギー変換素子に小さな変位を与えても、
弾性体における変位は大きいので、低電圧で駆動するこ
とができる。
［実施例］
以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明による超音波モータの実施例１を示して
おり、第１図（ａ）にその振動子の概略図を示している
。
おり、第１図（ａ）にその振動子の概略図を示している
。
本実施例は、第７図に示す従来例と同様の構成に振動子
Ａを形成しており、金属製（ＳＵＳ。
Ａを形成しており、金属製（ＳＵＳ。
Ｂ、、ＡＩ、 ＩＮＶＡＲ等）振動弾性体１．２の間に
第１図（ｄ） 、 （ｅ）に示す圧電素子板３．４が挟
持固定されている。
第１図（ｄ） 、 （ｅ）に示す圧電素子板３．４が挟
持固定されている。
圧電素子板３．４は第１図（ｄ） 、（ｅ）に示すよう
に、直径部分を境にしてその両側に正負の分極パターン
を夫々形成したものであって、互いに９０″″づれて配
置されている。そして、これら圧電素子板３．４の両頭
域に、厚み方向に同一方向（同じ）に電界を印加すると
、第１図（ｆ）において破線で示すように変形する。
に、直径部分を境にしてその両側に正負の分極パターン
を夫々形成したものであって、互いに９０″″づれて配
置されている。そして、これら圧電素子板３．４の両頭
域に、厚み方向に同一方向（同じ）に電界を印加すると
、第１図（ｆ）において破線で示すように変形する。
したがって、電界を交流にし、その周波数を振動子の曲
げの固有振動数に合わせれば、振動子は曲げの共振をす
る（第１図（ａ） 、（ｂ）に示すｒ方向振幅分布）。
げの固有振動数に合わせれば、振動子は曲げの共振をす
る（第１図（ａ） 、（ｂ）に示すｒ方向振幅分布）。
また、圧電素子板４は圧電素子板３に対し９０°づらし
て配置されているため、圧電素子板３により発生する曲
げ振動とθ方向に９０°づれた曲げ振動となる。
て配置されているため、圧電素子板３により発生する曲
げ振動とθ方向に９０°づれた曲げ振動となる。
さらに、圧電素子板４により発生する曲げ振動と、圧電
素子板３により発生する曲げ振動との間に９０°の時間
位相差をもたせることで、振動子表面粒子は円又は楕円
運動を行なうことになる。
素子板３により発生する曲げ振動との間に９０°の時間
位相差をもたせることで、振動子表面粒子は円又は楕円
運動を行なうことになる。
第１図（Ｃ）はｒ方向振幅分布に対応した振動子側面の
Ｚ方向の歪分布を示す図で、圧電素子板３．４の挟持固
定位置を歪が最大となる第１図（ｂ）に示す駆動用振動
固有モードの腹位置に設けている。
Ｚ方向の歪分布を示す図で、圧電素子板３．４の挟持固
定位置を歪が最大となる第１図（ｂ）に示す駆動用振動
固有モードの腹位置に設けている。
ところで、振動子の等価回路を考えると、共振時におい
て、第２図に示すように、機械腕側は抵抗分だけになる
。
て、第２図に示すように、機械腕側は抵抗分だけになる
。
したがって、投入電力は、Ｐ ” Ｖ ｘ ＋であるが
、１１は圧電素子板の総歪量により決定される（圧電素
子は歪により電荷を発生する）。
、１１は圧電素子板の総歪量により決定される（圧電素
子は歪により電荷を発生する）。
つまり、第１図（ａ）に示すように、圧電素子板３．４
を歪の大きい位置、すなわち振動の腹位置に配置するこ
とで電流大、電圧小となり、低電圧の構成となる。
を歪の大きい位置、すなわち振動の腹位置に配置するこ
とで電流大、電圧小となり、低電圧の構成となる。
なお、第３図（ａ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）に示すよ
うに、振動検出用の圧電素子板１０を設ける場合でも、
駆動用の圧電素子板３．４は、第１図に示す場合と同様
に歪の最大位置に設けることが低電圧タイプとする構成
上必要である。
うに、振動検出用の圧電素子板１０を設ける場合でも、
駆動用の圧電素子板３．４は、第１図に示す場合と同様
に歪の最大位置に設けることが低電圧タイプとする構成
上必要である。
第４図は実施例２を示す。
本実施例は、振動子にくびれだ部分を有する形状の例で
、第４図（ｄ）に示す振動モードにおいて、第４図（ｂ
） 、（Ｃ）に示すように、歪最大位置と振動腹位置が
一致していないが、歪最大位置である（びれ部に圧電素
子板３．４を配置している。
、第４図（ｄ）に示す振動モードにおいて、第４図（ｂ
） 、（Ｃ）に示すように、歪最大位置と振動腹位置が
一致していないが、歪最大位置である（びれ部に圧電素
子板３．４を配置している。
この場合も第１図に示す実施例１と同様に、低電圧タイ
プとしての効果を有する。
プとしての効果を有する。
なお、実装上、あるいは製造上の問題でくびれ部に圧電
素子板３．４を配置することが難しい場合には、第５図
に示すように、次に歪の大きい腹部に圧電素子板３．４
を設けてもよい。
素子板３．４を配置することが難しい場合には、第５図
に示すように、次に歪の大きい腹部に圧電素子板３．４
を設けてもよい。
第６図は実施例３を示す。
本実施例は、外見上は第５図の実施例の場合と同様であ
るが、圧電素子板３．４の内周径を大きくし、歪の大き
い振動子の外周部に配置している。
るが、圧電素子板３．４の内周径を大きくし、歪の大き
い振動子の外周部に配置している。
本実施例では総歪量がやや減少するが、振動子の軸方向
、径方向の最大歪位置のみに圧電素子板３．４を配置し
ているため、圧電素子板３．４の単位体積当たりの歪は
最大となり、かかる配置箇所を有効利用でき、また圧電
素子が少量で済む。
、径方向の最大歪位置のみに圧電素子板３．４を配置し
ているため、圧電素子板３．４の単位体積当たりの歪は
最大となり、かかる配置箇所を有効利用でき、また圧電
素子が少量で済む。
また、圧電素子板３と前振動弾性体１との接触面積、圧
電素子板４と後振動弾性体２との接触面積が減るため、
この間で滑ることにより生じる摩擦損失を小さ（するこ
とができる。
電素子板４と後振動弾性体２との接触面積が減るため、
この間で滑ることにより生じる摩擦損失を小さ（するこ
とができる。
第９図は本発明によるモータを使用して光学レンズの鏡
筒を駆動する場合の実施例を示す。
筒を駆動する場合の実施例を示す。
１２は移動体８と同軸的に接合された歯車で、回転出力
を歯車１３に伝達し、歯車１３と噛み合う歯車持った鏡
筒１４を回転させる。
を歯車１３に伝達し、歯車１３と噛み合う歯車持った鏡
筒１４を回転させる。
移動体８及び鏡筒１４の回転位置、回転速度を検出する
ために、光学式エンコーダスリット板１５が歯車１３と
同軸に配置され、フォトカップラ１６で位置、速度を検
出する。
ために、光学式エンコーダスリット板１５が歯車１３と
同軸に配置され、フォトカップラ１６で位置、速度を検
出する。
［発明の効果］
以上説明してきたように、本発明によれば、圧電素子板
等の電気−機械エネルギー変換素子を最適駆動効率位置
に配置することによって、低電圧でモータを駆動するこ
とができ、また小型化を可能とする。
等の電気−機械エネルギー変換素子を最適駆動効率位置
に配置することによって、低電圧でモータを駆動するこ
とができ、また小型化を可能とする。
第１図は本発明による超音波モータの実施例１を示し、
第１図（ａ）はモータの側面図、第１図（ｂ）は径（ｒ
）方向の振幅分布を示す図、第１図（ｃ）は振動子側面
の軸（ｚ）方向歪分布を示す図、第１図（ｄ） 、 （
ｅ）は圧電素子板の平面図、第１図（ｆ）は電圧印加時
における圧電素子板の伸縮状態を示す図である。第２図
は振動子の電気等価回路図、第３図は実施例１の変形例
を示し、第３図（ａ）はモータの側面図、第３図（ｂ）
は径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第３図（ｃ）は振
動子側面の軸（Ｚ）方向歪分布を示す図である。第４図
は実施例２を示し、第４図（ａ）はモータの側面図、第
４図（ｂｌ ！太径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第
４図（ｃ）は振動子側面の軸（ｚ）方向歪分布を示す図
、第４図（ｄ）は振動子の振動状態を示す図である。第
５図は実施例３を示し、第５図（ａ）はモータの側面図
、第５図（ｂ）は径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第
５図（Ｃ）は振動子側面の軸（ｚ）方向歪分布を示す図
である。第６図は実施例４を示す一部切欠き側断面図で
ある。第７図及び第８図は従来の超音波モータを示す斜
視図及び側断面図である。第９図は超音波モータを用い
た装置の断面図である。 Ａ：振動子 Ｒ：ロータ １：前振動弾性体 ２・後振動弾性体３．４コ圧電
素子板 ５：バネ ６：ボルト ７：ベアリング第１図 （Ｃ） 第２図 第３′図 （ａ） （ｂ） （Ｃ） ［方向袋幅 握勧子側面Ｚ方向歪分布 １４図 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第７図 第８ 図 「方向振幅 振Ｕ＋子側面２方向歪分在 第６図 第９図
第１図（ａ）はモータの側面図、第１図（ｂ）は径（ｒ
）方向の振幅分布を示す図、第１図（ｃ）は振動子側面
の軸（ｚ）方向歪分布を示す図、第１図（ｄ） 、 （
ｅ）は圧電素子板の平面図、第１図（ｆ）は電圧印加時
における圧電素子板の伸縮状態を示す図である。第２図
は振動子の電気等価回路図、第３図は実施例１の変形例
を示し、第３図（ａ）はモータの側面図、第３図（ｂ）
は径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第３図（ｃ）は振
動子側面の軸（Ｚ）方向歪分布を示す図である。第４図
は実施例２を示し、第４図（ａ）はモータの側面図、第
４図（ｂｌ ！太径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第
４図（ｃ）は振動子側面の軸（ｚ）方向歪分布を示す図
、第４図（ｄ）は振動子の振動状態を示す図である。第
５図は実施例３を示し、第５図（ａ）はモータの側面図
、第５図（ｂ）は径（ｒ）方向の振幅分布を示す図、第
５図（Ｃ）は振動子側面の軸（ｚ）方向歪分布を示す図
である。第６図は実施例４を示す一部切欠き側断面図で
ある。第７図及び第８図は従来の超音波モータを示す斜
視図及び側断面図である。第９図は超音波モータを用い
た装置の断面図である。 Ａ：振動子 Ｒ：ロータ １：前振動弾性体 ２・後振動弾性体３．４コ圧電
素子板 ５：バネ ６：ボルト ７：ベアリング第１図 （Ｃ） 第２図 第３′図 （ａ） （ｂ） （Ｃ） ［方向袋幅 握勧子側面Ｚ方向歪分布 １４図 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第７図 第８ 図 「方向振幅 振Ｕ＋子側面２方向歪分在 第６図 第９図
Claims (2)
- １．棒状の弾性体に設けた電気−機械エネルギー変換素
子に交流電界を印加することにより、該弾性体に同形の
屈曲モードの振動を異なる複数の平面内に時間的に適当
な位相差を有して励起させて該弾性体の表面粒子に円又
は楕円運動を行なわしめ、該弾性体に押圧した移動体を
摩擦駆動する超音波モータにおいて、 該電気−機械エネルギー変換素子を駆動時における該弾
性体の略歪最大位置又は振動モードの腹位置近傍に設け
たことを特徴とする超音波モータ。 - ２．請求項１に記載の超音波モータを含む装置において
、振動体に押圧されて摩擦駆動される部材から駆動力を
得る出力部材を有することを特徴とする装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2206231A JP2633072B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置 |
| EP91307011A EP0469883B1 (en) | 1990-08-03 | 1991-07-31 | Vibration driven motor |
| DE69130751T DE69130751T2 (de) | 1990-08-03 | 1991-07-31 | Vibrationsangetriebener Motor |
| CA 2048400 CA2048400C (en) | 1990-08-03 | 1991-08-02 | Vibration driven motor |
| KR1019910013437A KR920005428A (ko) | 1990-05-01 | 1991-08-02 | 진동 피구동모터 |
| KR2019950000899U KR960003266Y1 (ko) | 1990-08-03 | 1995-01-23 | 진동피구동모터 및 이를 이용한 진동장치 및 시스템 |
| US08/403,574 US5726515A (en) | 1990-08-03 | 1995-03-14 | Vibration driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2206231A JP2633072B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0491666A true JPH0491666A (ja) | 1992-03-25 |
| JP2633072B2 JP2633072B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=16519932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2206231A Expired - Lifetime JP2633072B2 (ja) | 1990-05-01 | 1990-08-03 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2633072B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5440190A (en) * | 1992-09-25 | 1995-08-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01103175A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-20 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP2206231A patent/JP2633072B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01103175A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-20 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5440190A (en) * | 1992-09-25 | 1995-08-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2633072B2 (ja) | 1997-07-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0401762B1 (en) | Vibration driven motor | |
| JP2996483B2 (ja) | 振動型モータ | |
| JPH0491671A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPWO2002015378A1 (ja) | 折り重なり式圧電ステータ、折り重なり式圧電アクチュエータ及びそれらの応用 | |
| US5146129A (en) | Vibration wave motor | |
| JPH04145881A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| KR960003266Y1 (ko) | 진동피구동모터 및 이를 이용한 진동장치 및 시스템 | |
| JP4841432B2 (ja) | 親ねじ用超音波モータ | |
| JPH0491666A (ja) | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を用いた装置 | |
| JP2998978B2 (ja) | 振動波装置および駆動装置 | |
| JPS59185180A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2006271167A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH0491670A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPH0491669A (ja) | 超音波モータ | |
| JP3016616B2 (ja) | 振動波装置 | |
| JPH02311184A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2971971B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
| US20230128248A1 (en) | Ultrasonic linear motor and operation method therefor | |
| JPS60217415A (ja) | アクチユエ−タ | |
| JPH0491674A (ja) | 振動型モータ装置 | |
| JP2005102368A (ja) | 駆動装置 | |
| KR960008835Y1 (ko) | 전동구동식 액추에이터(Vibration Driven Actuator) | |
| JPH04117185A (ja) | 棒状超音波モータ | |
| JPH04133678A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0491673A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 14 |