JPH0486705A - ライトガイド - Google Patents

ライトガイド

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JPH0486705A
JPH0486705A JP2201155A JP20115590A JPH0486705A JP H0486705 A JPH0486705 A JP H0486705A JP 2201155 A JP2201155 A JP 2201155A JP 20115590 A JP20115590 A JP 20115590A JP H0486705 A JPH0486705 A JP H0486705A
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JP
Japan
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light guide
light
hole
fixing member
optical fiber
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JP2201155A
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Inventor
Ryuichi Ebinuma
隆一 海老沼
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/44—Mechanical structures for providing tensile strength and external protection for fibres, e.g. optical transmission cables
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    • G02B6/4415—Cables for special applications
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    • G02B6/4428—Penetrator systems in pressure-resistant devices
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4248—Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、密閉空間の外部に配置した光源が発生する光
源光を前記密閉空間内に導く光ファイバを用いたライト
カイトに関する。
〔従来の技術〕
密閉空間内に外部からの光源光を導くためにライトガイ
ドを用いることは周知である。
ところで、Ｘ線露光装置では、ウェハとマスクのアライ
メントを行なうためウェハとマスクとの位置ずれを検出
する必要があるが、その前に、装置の基準とウェハーＦ
の、既に露光した回路パターンの基準との位置ずれ量を
、観察用光学系を用いて予め測定するプリアライメント
を行なう。
このようなＸＩ露光装置では、第３図に示すように、プ
リアライメント用観察光学系１０１を備えた主要部かヘ
リウムを充満した密閉容器１１４内に納められており、
また、前記主要部はウェハ１０２を載置するウェハステ
ージ１０３を含んていて熱的な歪が問題となるため、プ
リアライメント用観察光学系１０１に用いる照明光源１
１９はその発熱を考慮して前記密閉容器１１４の外部に
配置されている。
前記プリアライメント観察光学系１０１は、対物レンズ
１０５．１／４人板１０６．偏光ビームスプリッタ１０
７．リレーレンズ１０８．ＣＣＤセンサ１０９．瞳結像
レンズ１１０．視野設定フィルタ１１１．コンデンサレ
ンズ１１２およびフィールドレンズ１１３を備えており
、前記照明光＠１ｔ９か発する光源光は、密閉容器壁１
１５に設けられた連結部１１７で連結される容器外ライ
トガイド１１６および容器内ライトカイト１１８を通し
て前記プリアライメント用観察光学系１０１のフィール
ドレンズ１１３に導かれる。
前記容器外ライトガイド１１６と容器内ライトガイド１
１８とを連結する連結部１１７は、第４図に示すように
、前記密閉容器壁１１５にライトガイド連通孔１２８を
設け、該ライトカイト連通孔１２８に光か透過する窓１
２９を窓固定部材１２７で複数の取付用ねし１３０Ａ、
１３０Ｂを用いて固定するとともに、前記窓１２９と前
記密閉容器壁１１５との間に０リンク１２６を配置して
密閉容器１１４の気密性を保持している。
また、前記照明光源１１９に連なる容器外ライトガイド
１１６は、該容器外ライトカイト１１６を形成する光フ
ァイバ１２０かライトカイトホルダ１２４の中央部に形
成された貫通孔に挿入されてライトガイド固定ねし１２
２によって固定されており、さらに、該ライトカイトホ
ルタ１２４を前記窓固定部材１２７に複数の取付用ねし
１３２Ａ、１３２Ｂを用いて固定することにより、前記
光ファイバ１２０の先端部か前記窓１２９に当接されて
いる。
方、密閉容器１１４内てプリアライメント用観察光学系
１０１へ光を導く容器内ライトガイド１１８は、該容器
内ライトガイド１１８を形成する光ファイバ１２１がラ
イトガイドホルタ１２５の中央部に形成された貫通孔に
挿入されてライトガイド固定ねし１２３によって固定さ
れており、ざらに、該ライトガイドホルタ１２５を、前
記密閉容器壁１１５のライトガイド連結孔１２８に複数
の取付用ねし１３１Ａ、１３１Ｂを用いて固定すること
によって、前記光ファイバ１２１の先端部が、密閉容器
１１４の内側から前記窓１２９の、前記光ファイバ１２
０の先端部に対向する位置に当接される。
これにより、照明光源１１９から発した照明光は容器外
ライトガイド１１６および容器内ライトガイド１１８に
よって窓１２９を介して、密閉容器１１４内のプリアラ
イメント用観察光学系１０１へ導かれる。
〔発明か解決しようとしている課題〕
しかしなから、ト記従来の技術ては、容器外ライトガイ
ドと窓との境界、および窓と容器内ライトガイドとの境
界のそれぞれに、光学的な界面か存在するのて、光の透
過率か低く、照明効率か低くなってしまうという問題点
かあった。
本発明は、ト記従来の技術か有する問題点に鑑みてなさ
れたもので、密閉容器内外の間で光学的界面を持つこと
なく効率良く光源光を伝送することかできると共に、密
閉容器の気密性を損なうこともないライトガイドを提供
することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、密閉空間の外側に配置した光源か発生する光
源光を前記密閉空間の内部に導く光ファイバを用いたラ
イトカイトにおいて、 前記光ファイバは円筒状のライトガイド固定部材の軸方
向に形成した貫通孔に嵌挿されており、該ライトガイド
固定部材は、その側面に、前記貫通孔に連通ずる導入口
か形成され、 さらに、前記光ファイバは前記ライトガイド固定部材の
貫通孔内で館内導入［Ｊに連通する部分に位置する被覆
部材か剥離され、前記導入口から充填剤か充填されてお
り、 前記ライトカイト固定部材は、前記密閉空間の遮断壁に
形成したライトガイド連通孔に、回転方向の位置調整か
可能に密封状態で固定されたものてあり、 ライトカイト固定部材は一体的にフランジか形成されて
おり、該フランジを介して密閉空間の遮断壁に押圧固定
されている場合と、 ライトカイト固定部材は、円筒状の取付部材に形成した
取付用貫通孔に、密封状態で挿入されており、該取付部
材は、一端に一体的にフランジか形成され、該フランジ
を介して密閉空間の遮断壁に密封状態で固定されている
場合とがある。
〔作　用） 本発明のライトガイドは、ライトカイト固定部材の貫通
孔に光ファイバを嵌挿して、該ライトガイド固定部材を
密閉空間の遮断壁に形成したライトカイト連通孔に密閉
固定するので、前記密閉空間の気密性を保って光学的界
面を有することなく光源光を密閉空間内へ導くことかで
きる。また、前記ライトガイド固定部材の導入口から充
填剤を充填することで、該充填剤はライトガイド固定部
材の貫通孔内て前記光ファイバの被覆部材か剥離されて
いる部分へ行渡ることとなり、該貫通孔内て前記密閉空
間の内外に連通する可能性のある空隙を塞ぐことかでき
る。
さらに、請求項第２項および第３項に記載のものは、ラ
イトカイト固定部材および該ライトカイト固定部材か挿
入される取付部材か円筒状であるので、光ファイバが嵌
挿されたライトカイト固定部材を密閉空間の遮断壁に固
定する際あるいは前記取付部材を密閉空間の遮断壁に固
定する際、前記ライトガイド固定部材の回転方向につい
ての位置調整か可能である。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
第１図は本発明のライトガイドの一実施例を示す断面図
である。
第１図に示すライトカイト１は、前述した第３図に示す
ようなＸ線露光装置において密閉容器内に収容されてい
るウェハとマスクとのプリアライメントを行なうプリア
ライメント用観察光学系に、面内密閉容器外に配置され
た照明光源か発する光源光を導くものである。
このライトガイド１は、被覆部材２て覆われた光ファイ
バ束３かライトガイド固定部材である円筒部材４の軸方
向に設けられている貫通孔５に嵌挿され、該円筒部材４
を前記密閉容器の密閉容器壁１３に設けられたライトガ
イド連通孔１４に挿入固定して、一端か前記プリアライ
メント用観察光学系へ、また他端は照明光源へ接続され
ている。
Ｆｆ記内円筒部材４は、前記貫通孔５の中央部の内周面
に凹所５Ａか形成されており、さらに、側面に凹所５Ａ
に連通して該凹所５Ａに適度な流動性および粘性を有す
る充填剤（例えばエポキシ系の樹脂）８を注入するため
の導入ロアか設けられている。この円筒部材４の貫通孔
５には、萌記光ファイバ束３か前記貫通孔５内て凹所５
Ａに位置する部分の被覆部材２を剥離して嵌挿されてい
る。そして、円筒部材４の導入ロアから充填剤８を注入
して凹所５Ａに充填する。この充填剤８は上述のように
適度な流動性および粘性を有しているので、貫通孔５内
の凹所５Ａにおいて光ファイバ束３の光フアイバ間の空
隙に行渡ることになり、該光ファイバ束３および貫通孔
５の内壁で形成すると考えられる空間を塞ぐことかでき
る。また、円筒部材４には、前記導入ロアと密閉容器壁
１３のライトガイド連通孔１４に挿入される側の端との
間にフランジ６か一体的に設けられ、さらに、該フラン
ジ６と前記一端との間に０リング１０を挿入するための
溝９が周設されている。上述のように光ファイバ束３が
嵌挿された円筒部材４は、満９に０リングを挿入して前
記一端側を密閉容器壁１３のライトガイド連通孔１４へ
気密状態で挿入して前記フランジ６の周縁部を複数の取
併用ねじ１１Ａ、１１Ｂおよび取付部材１２Ａ。
１２Ｂで押圧同定することで、前記密閉容器壁１３に固
定されている。
本実施例によれば、円筒部材４と密閉容器壁１３とはＯ
リング１０によって気密性が保たれ、また、ライトガイ
ド１において光フフイハ束３で形成される空隙について
も貫通孔５の凹所５Ａの部分で充填剤８によって木かれ
て気密性か保たれ、そのような状態で光学的界面を有す
ることなく光源光を効率良く密閉容器内へ導くことがで
きる。
さらに、前記円筒部材４は、密閉容器壁１３への取付け
の際に、該円筒部材４の回転方向の位置の調整が可能で
あるため、ライトカイト１に加わるねしれ応力を除去し
て密閉容器壁１３へ固定することができる。
前記円筒部材４の導入ロアから注入する充填剤８は光フ
ァイバや被覆部材を犯す性質のものであってはならず、
また、光ファイノへの光学的特性に影響を与えてはなら
ない。さらに、光ファイバ束の各光フアイバ間の隙間に
空間を残さず充分に行渡らせるために、注入時において
適度な粘性を持つものか望ましい。
次に、本発明の第２実施例について第２図を参照して説
明する。
本実施例のライトガ・（ト’　２１も同様に、不図示の
密閉容器内のプリアライメント用観察光学系に該密閉容
器外に配置した照明光源か発する光源光を導くものてあ
り、被覆部材２２で覆わわた光ファイバ束２３をライト
ガイド固定部材である円筒部材２４の軸方向に設けられ
ている貫通孔２５に嵌挿して密閉容器壁３５に設けられ
たライトガイド連通孔３７に取付部材３１を介して密閉
固定されている。
前記円筒部材２４には、貫通孔２５の中央部の内周面に
凹所２５Ａか形成されており、さらに側面に凹所２５Ａ
に連通して該凹所２５Ａに、前記第１実施例に用いたも
のと同様な適度な粘性を有する充填剤２９を注入するた
めの導入口２７か設けられている。また、円筒部材２４
には該円筒部材２４を面内取付部材３１に固定するため
の固定用溝２４Ａか前記導入口２７の部分の外周トに設
けられており、さらに、該固定用溝２４Ａの近傍で密閉
容器壁３５側に０リング３０を挿入するための溝２８か
周設されている。この円筒部材２４の貫通孔２５には前
記光ファイバ束２３か、該貫通孔２５内で凹所２５Ａに
位置する部分の被覆部材２２を剥離して嵌挿されている
。そして、前記導入口２７から充填剤２９を注入して凹
所２５Ａに充填する。この充填剤２９により、前述と同
様に、被覆部材２２と光ファイバ束２３の間ならびに光
ファイバ束２３の各光フアイバ間の空隙が塞がれること
になる。
符号３１は、一端にフランジ３６が一体的に設けられた
、軸方向の長さか前記円筒部材２４より短かい円筒状の
取付部材であり、軸方向に貫通孔を備えている。該取付
部３１の中央部には、前記円筒部材２４を固定するため
の固定ねし２６Ａが螺合する固定用穴２６が設けられて
おり、さらに、前記フランジ３６の密閉容器壁３５に対
向する而にはＯリング３３を挿入するための溝３２か形
成されている。
この取付部材３１のπ通孔には、上述のように光ファイ
バ束２３か嵌挿された円筒部材２４か、その満２８にＯ
リング３０を挿入して固定用溝２４Ａと固定用穴２６と
か一致するように挿入されて、該固定用穴２６に固定ね
し２６Ａを螺合することにより固定されている。そして
、取付部材３１はフランジ３６に形成された溝３２にＯ
リング３３を挿入するとともに、前記円筒部材２４の一
端側を密閉容器壁３５のライトカイト連通孔３７に挿入
するようにして、前記フランジ３６において複数の取付
用ねし３４Ａ、３４Ｂによって前記密閉容器壁３５に固
定されている。
本実施例の場合、取付部材３１と密閉容器壁３５とはＯ
リング３３によって気密性が保たれ、該取付部材３１と
円筒部材２４とは０リング３゜によって気密性が保たれ
ており、光ファイバ束２３と被覆部材２２の間ならびに
光ファイバ束２３の各光フアイバ間の空隙も充填剤２９
にょって木かれるため、前記第１実施例と同様な効果を
得ることができる。
前述した各実施例では、ライトガイド固定部材である円
筒部材の貫通孔の内周面に導入口から充填剤が充填され
る凹所を設けているか、その部分ては光ファイバ束の被
覆部材か剥離されるので、該被覆部材の厚さによっては
前記凹所は必要でない場合がある。
上述した各実施例ではＸ線露光装置に適用した例を示し
たが、本発明のライトガイドはＸ線露光装置のみならす
、光ファイバを利用するもの（例えばファイバースコー
プ等）であれば適用可能である。
〔発明の効果〕
本発明は以上説明したように構成されているので下記の
ような効果を奏する。
（１）ライトカイト上に光学的界面を有することなく光
源光を密閉空間内に導くことかできるので、前記光源光
を効率的に使用てき、光源の小型化を図ることか可能と
なって経済的にも有利である。
（２）ライトカイト固定部材は密閉空間の遮断壁に密閉
固定され、さらに、前記ライトガイド固定部材の貫通孔
内で形成される空隙を充填剤によって塞ぐのて、前記密
閉空間の気密性は完全に確保され密閉空間の信頼性が向
上する。
（３）請求項第２項および第３項に記載のものによれば
ライトカイト固定部材の固定の際、その回転方向の位置
調整が可能となるので、光ファイバに加わるねじれ応力
を除去した状態で取付ることかできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のライトカイトの一実施例を示す断面図
、第２図は本発明のライトカイトの他の実施例を示す断
面図、第３図は従来のライトガイドを用いたＸｌｌ５露
光装置の一例を示す図、第４図は従来のライトガイドの
一例を示す断面図である。 １．２１・・・・・・・・・・・・・・・ライトガイド
、２．２２・・・・・・・・・・・・・・・被覆部材、
２３・・・・・・・・・・−・・・・貫通孔、２４・・
・・・・・・・・・・・・・円筒部材、２５・−・・・
・・・・・・・・・・貫通孔、３６・・・・・・・・・
・・・・・・フランジ、２７・・・・・・・・・・・・
・・・導入口、２９・・・・・・・・・・・・・・・充
填剤、２８．３２・・・・・・溝、 ０．３０，３３・・・Ｏリング、 １．３４・・・・・・・・・・・・取付用ねし、２・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・取付部材、３
．３５・・・・・・・・・・・・密閉容器壁、４．３７
・・・・・・・・・・・・ライトガイド連通孔、６・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・固定ねし。 特許出願人　　キャノン株式会社 代　理　人　　弁理士　若株　忠

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、密閉空間の外側に配置した光源が発生する光源光を
    前記密閉空間の内部に導く光ファイバを用いたライトガ
    イドにおいて、 前記光ファイバは円筒状のライトガイド固定部材の軸方
    向に形成した貫通孔に嵌挿されており、該ライトカード
    固定部材は、その側面に、前記貫通孔に連通する導入口
    が形成され、 さらに、前記光ファイバは前記ライトガイド固定部材の
    貫通孔内で前記導入口に連通する部分に位置する被覆部
    材が剥離され、前記導入口から充填剤が充填されており
    、 前記ライトガイド固定部材は、前記密閉空間の遮断壁に
    形成したライトガイド連通孔に、回転方向の位置調整が
    可能に密封状態で固定されていることを特徴とするライ
    トガイド。 ２、ライトガイド固定部材は一体的にフランジが形成さ
    れており、該フランジを介して密閉空間の遮断壁に押圧
    固定されていることを特徴とする請求項１記載のライト
    ガイド。 ３、ライトガイド固定部材は、円筒状の取付部材に形成
    した取付用貫通孔に密封状態で挿入されており、該取付
    部材は、一端に一体的にフランジが形成され、該フラン
    ジを介して密閉空間の遮断壁に密封状態で固定されてい
    ることを特徴とする請求項１記載のライトガイド。
JP2201155A 1990-07-31 1990-07-31 ライトガイド Pending JPH0486705A (ja)

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