JPH048228B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体製品の製造過程におけるパツケ
ージのマーキング方法に関する。

一般に、半導体製品の製造においては、製品の
小量多品種化の傾向があり、多品種の製品を同一
のパツケージに実装する場合が増加している。

このような場合、パツケージとペレツトとを正
確に対応させる必要があり、生産管理の機械化を
行なうことが非常に困難である。特に、組立過程
途中のパツケージにマークを付することは、パツ
ケージがマーキング後に高熱下での熱処理が、酸
および有機溶剤等による薬品処理等を受けるの
で、これらの高熱や薬品に耐えることのできるも
のであることが要求される。そのため、たとえば
通常のインクを用いてマーキングしても、その後
の処理によりマークが消えたり、判読不能になる
という問題がある。また、セラミツクのパツケー
ジは微細なマーキングを行なうことが困難である
という問題もある。

本発明の目的は多品種の製品を同一のパツケー
ジ内に実装する半導体製品の組立方法であつて、
組立工程管理を容易にすることにある。

以下、本発明を図面に示す実施例にしたがつて
詳細に説明する。

第１図は本発明によりパツケージにマーキング
することのできるマーキング装置の一実施例を示
す斜視図である。

この実施例においては、半導体製品の製造過程
における組立工程中のセラミツクのパツケージに
自動的に耐熱性および耐薬品性の機械的読取り可
能なマークを付すものである。

この実施例においては、半導体製品の製造過程
における組立工程中のセラミツクのパツケージに
自動的に耐熱性および耐薬品性の機械的読取り可
能なマークを付すものである。

このような自動マーキングのため、本実施例で
はXYプロツタ１が用いられ、このXYプロツタ
１のテーブル２の上には、キヤリア治具３の上に
整列された複数個のセラミツク製のパツケージベ
ース４が載せられている。キヤリア治具３は簡単
化のために１個しか図示していないが、複数個同
時に載せることができる。

XYプロツタ１のテーブル２の上には、該テー
ブル２の両側縁に設けたガイド５に沿つてＸ方向
に往復移動可能な四角形の中空のスライドバー６
が両ガイド５間を架橋するよう配置され、該ガイ
ド５はスライドバー６の下面のガイド溝７に入り
込んでいる。スライドバー６のＸ方向への往復移
動のため、テーブル２の一側にはモータ８および
プーリ９が互いにＸ方向に十分に離れて設置さ
れ、モータ８とプーリ９の回りには紐１０が巻き
掛けられ、この紐１０の各端はスライドバー６の
端部下面に垂直方向に固定した２本のピン１１，
１２の各々に結ばれている。

一方、前記スライドバー６の一側には、鉛筆保
持機構１３が該スライドバー６の側面の水平方向
のガイド溝１４に沿つてＹ方向に往復移動可能に
配設されている。この鉛筆保持機構１３のＹ方向
への往復移動用のモータはスライドバー６の中に
内蔵され、図示されていない。

この鉛筆保持機構１３の保持アーム１５は電磁
石機構で上下動し、その先端に保持した鉛筆１６
を上下動させ、該鉛筆１６のXY方向への移動と
相まつて該鉛筆１６によるパツケージベース４上
へのマーキングを行なうことができる。

鉛筆１６は通常の鉛筆またはシヤープペンシル
よりなるもので、このような鉛筆の芯によるマー
ク（記号、文字、数字）はセラミツクのパツケー
ジベース４上に微細なマークを書くことができ、
かつ該パツケージベースがマーキング後に熱処理
や薬品処理を受けても消えたり、読取り不能にな
つたりすることがなく、明確に機械的読取り可能
なOCR文字等のマークを書くことができるもの
である。

次に、本実施例による作用について説明する。

まず、マーキングされるセラミツクのパツケー
ジベース４をキヤリア治具３上に複数個整列させ
た状態で該キヤリア治具３をXYプロツタ１のテ
ーブル２の上の所定位置と所定方向で載置する。

この状態で、モータ８によりスライドバー６を
Ｘ方向に移動させ、鉛筆１６がマーキングしたい
パツケージベース４に対してＸ方向に適正な位置
に来るようＸ方向の位置決めを行なう。

また、鉛筆１６のＹ方向の位置決めを行なうた
め、鉛筆保持機構１３はスライドバー６に内蔵の
モータによりガイド溝１４に沿つてＹ方向に水平
移動される。

このようにしてＸ方向およびＹ方向への位置決
めが行なわれた状態で、鉛筆１６の保持アーム１
５を電磁石機構で下降させると、鉛筆１６の芯先
がパツケージベース４の上面に接触する。したが
つて、この状態の鉛筆１６をモータ８およびスラ
イドバー６の内蔵モータでXY方向に移動させる
ことにより、パツケージベース４の上には、第２
図に例示するように機械的に読取り可能なOCR
文字よりなるマーク１７を微細に書くことができ
る。

この鉛筆１６によるマーク１７はパツケージベ
ース４がその後に受ける熱処理や薬品処理に十分
耐える耐熱性および耐熱品性を有しているので、
このマーク１７を機械的に読み取ることにより、
パツケージベース４の組立て工程の機械的工程管
理が容易に可能である。

前記マーク１７を自動的に読み取つてデータ処
理するための装置は第４図に示すようなものを用
いることができる。第４図に示す装置は、マーク
１７の文字読取りおよびパターン認識を行なうこ
とのできる読取りおよび認識装置１８を有し、こ
の装置１８はマーク１７に対して光線を照射する
投光部１９およびマーク１７から反射された光を
集める集光レンズ２０を備えている。

前記読取りおよび認識装置１８により読み取ら
れてパターン認識されたマーク１７は光電変換さ
れ、その電気信号は信号処理装置２１で信号処理
された後、表示機能付きコンピユータ等よりなる
データ処理・表示装置２２によつてデータ処理さ
れ、かつたとえばそのパツケージベース４（製
品）のロツト、品種の如き製品情報として表示さ
れる。

それにより、マーク１７に基づくパツケージベ
ース４の機械的組立て管理が可能であり、生産管
理の自動化を行なうことができる。

前記マーク１７はパツケージベース４の組立て
のために用いられるものであるので、第３図の如
く該パツケージベース４の上にキヤツプ２３が封
止されて組立てが終了する時点では該キヤツプ２
３で覆われ、外部からの読取りは不可能である。
また、第３図のキヤツプ２３には放熱フイン２４
が設けられている。

なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はなく、たとえばマーク１７は手で鉛筆１６を持
つてパツケージベース４上に書き込むこともでき
る。

以上説明したように、本発明によれば、マーキ
ング後のパツケージに対する熱処理、薬品処理に
十分耐える耐熱性、耐薬品性の機械的読取り可能
なマークを得ることができ、パツケージの組立て
管理の自動化が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるパツケージのマーキング
方法を実施するためのマーキング装置の一実施例
を示す斜視図、第２図は第１図の装置でマーキン
グされたパツケージベースの一例の斜視図、第３
図は第２図のパツケージベースにキヤツプを封止
した状態の略正面図、第４図は本発明により得ら
れたマークの読取りおよびデータ処理、データ表
示等を行なうための装置の一例を示す概略的説明
図である。 １……XYプロツタ、２……テーブル、３……
キヤリア治具、４……パツケージベース、６……
スライドバー、８……モータ、１３……鉛筆保持
機構、１６……鉛筆、１７……マーク、１８……
読取りおよび認識装置、２１……信号処理装置、
２２……データ処理・表示装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 品種の異なる複数の半導体製品をそれぞれ同
   一形状のセラミツクパツケージ内に実装する半導
   体製品の組立方法であつて、該セラミツクパツケ
   ージのパツケージベースの一部に実装すべき半導
   体製品に関する情報を耐熱性を有する認識可能な
   マークによつて表示せしめ、そのマークを認識す
   ることにより半導体製品の実装を行ない、しかる
   後そのベースにキヤツプを封止して成ることを特
   徴とする半導体製品の組立方法。