JPH0480666A - 電気特性評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、電気特性評価袋１に関し、特に、被測定物
の電気的特性のうち、面内均一性を評価するための電気
特性評価装置に関するものである。

［従来の技術コ 第４図は、例えば、本出願人の先の出願（特願平２−２
６８２０）で使用された被測定物の電気特性評価を行っ
た従来の電極構造を示す。図において、（５）は被測定
物、（２１ａ）は上部の金属端子電極、（２ｌｂ）は下
部の金属端子電極である。

次に動作について説明する。被測定物（５）の下面に下
部の金属端子電極（２ｌｂ）を接続し、これに対向する
位置に上部の金属端子電極（２１ａ）を接続する。これ
ら電極を、第５図に示すように、定電流装置（６）と電
圧計＜７）に接続する。金属端子電極間に定電流として
例えば、ＩＩｌ八通へし、このときの金属端子電極間の
電圧を測定する。これで第６図に示す測定位置のある１
点でデータが得られる．次に他の点のデータを得るため
に、被測定物（５）と金属端子電極（２１ａ０２ｌｂ＞
を取りはずし、被測定物（５）の他の測定点位夏に金属
端子電極（２１ｍ）（２ｌｂ）を接続し、再びＩＭ＾を
通電して端子間電圧を測定する。こうして測定点（１．
２．３・・・・）の端子間電圧分布が求められる。

［発明が解決しようとする課題］ 以上のような従来の電気特性評価装置では、金属端子電
極が１対で構成されているので、測定点を変えるごとに
金属端子電極を被測定物に対向する位置にセットし直す
必要があり、多大な労力と時間がかかるという問題があ
った。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、被測定物の電気特性を迅速に評価することが
できる電気特性評価装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明の第一の発明に係る電気特性評価装置は、被測
定物を挟む複数対の金属端子よりなる電極を備えている
。

また、第二の発明に係る電気特性評価装置は。

金属端子電極の数（Ｎ個）が、被測定物の面積（Ｓ　Ｃ
ｍ２）と 〈２（ＣＩＴ＋２／個） なる関係にある。

［作　用コ この発明においては、電極が対向する複数対の金属端子
を有するため、端子の位置およびそれらをセットする労
力が省けるので、被測定物の電圧分布を迅速に測定する
ことができる。

［実施例コ 第１図はこの発明の一実施例を示し、被測定物（５）の
上面に複数の金属端子電極（Ｉｌａ）（１２ａ）・が保
持板（４１ａ）に支持されて配置されており、これら金
属端子電極（ｌｌａ）（１２ｍ）・・にそれぞれ対向し
て被測定物（５）の下面に金属端子電極（ｌｌｂ＞（１
２ｂ）・が、保持板（４１ｂ）に支持されて配置されて
いる。電極群（ｌｌａ）（１２ａ）・と（ｌｌｂ）（１
２ｂ）はそれぞれ端子切換器（３１ａ）（３１ｂ）を介
して定電流装置（６）および電圧計（７）に接続されて
いる。

以上の構成により、まず、金属端子電極（ｌ１ｍ）（ｌ
ｌｂ＞間に定電流の１−八を通電し、端子間に発生する
電圧（以下、ＶＩｍＡと呼ぶ）を測定する。次に、他の
測定位置は、端子切換器（３１ａ）（３１ｂ＞により対
向する金属端子電極（１２ａ）（１２ｂ）にセットし、
同様の測定を行う。

以上のようにして、第２図に示す被測定物（５）のＶ　
１ｍＡ分布を、金属端子電極の位置を変えることなく、
迅速に得ることができる。なお、第２図のグラフの横軸
は測定点であり、縦軸は測定されたＶｌｍＡのうち最小
値（Ｖ、、、）を基準にして、Ｖ、ｌＩｌ によって求められた値である。

家な、ここでは、定電流値を１ｍ＾に選んだが、定電流
に対し被測定物（５）の電気特性が変化せず電圧の再現
性がよければ１−＾よりも多くても少なくてもよい。

また、被測定物（５）に接する金属端子の数（Ｎ個）は
少なすぎると被測定物（５）の電気的な均一性を評価し
たことにならず、被測定物（５）の測定面の面積を５ｃ
Ｉ１２としたとき く　　　２　　　　　　　　　（ｃ剛２／個　）となる
関係を満たすだけ端子数は増やさなければ実用性がない
。

なお、上記実施例では、端子切換器（３１ｇ）（３１ｂ
ン設けたものを示したが、この端子切換器（３１ｇ）（
３１ｂ）を自動的に制御すれば、さらに迅速に測定する
ことができる。

また、第３図に示すように、端子結合器（８）を設けれ
ば、端子切換器（３１ｉ）のみを切換えるだけでよく、
上記実施例と同様の効果がある。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、複数の金属端子より
なる！極で被測定物をはさんで対向する金属端子間に発
生する電圧を測定するようにしたので、迅速に測定する
ことができ、被測定物の電気特性の均一性を容易に評価
できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の概略立面図、第２図は同
じ＜Ｖ、、Ａ分布図、第３図は他の実施例の概略立面図
、第４図は従来の電気特性評価装置の一部立面図、第５
図は同じく測定回路図、第６図は同じく測定位置を示す
平面図である。 （５）・・被測定物、（６）・・定電流装置、（７）電
圧計、（ｌｌａ）（１２ａ）　□　・、＜１ｌｂ）（１
２ｂ）　・・金属端子電極、（３１ａＨ３１ｂ）・・端
子切換器。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代　　理　　人　　　　　曾　　我　　道　　照兜 辺

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物の上、下面に互いに対向して１対の金属
   端子電極を当接し、この金属端子電極間に定電流を流し
   たときの前記金属端子電極間の電圧を測定する電気特性
   評価装置において、互いに対向する前記金属端子電極が
   複数対備えてなることを特徴とする電気特性評価装置。
2. （２）金属端子電極の数（Ｎ個）が、被測定物の面積（
   Ｓｃｍ＾２）と、 Ｓ／Ｎ＜２（ｃｍ＾２／個） なる関係にある請求項（１）記載の電気特性評価装置。