JPH0480631A - ガス漏れ集中監視方式 - Google Patents
ガス漏れ集中監視方式Info
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- JPH0480631A JPH0480631A JP19350190A JP19350190A JPH0480631A JP H0480631 A JPH0480631 A JP H0480631A JP 19350190 A JP19350190 A JP 19350190A JP 19350190 A JP19350190 A JP 19350190A JP H0480631 A JPH0480631 A JP H0480631A
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
工場内へ供給する配管からのガス漏れを集中して監視す
る方式に関し、 安価に構成して、しかも、ガス漏れに迅速に対応させる
ことを目的とし、 複数のサンプルポイントがら三方自動弁に導く配管と、 集中して設置され、且つ、前記各サンプルポイントから
の配管にそれぞれ第一端が接続した複数の三方自動弁と
、 前記三方自動弁それぞれの第二端に接続した１個のガス
センサーおよび該ガスセンサーの他端に接続した第１吸
引ポンプと、 前記三方自動弁それぞれの第三端に接続して、前記ガス
センサーで検出中のサンプルポイントを除くすべてのサ
ンプルポイン、トから常に吸引排気している第２吸引ポ
ンプと、 前記三方自動弁それぞれを自動的に切り換えるシーケン
サ−と、 該シーケンサ−に付設した手動切換スイッチとを有し、 前記シーケンサ−によって自動的に切り換えられて前記
複数のサンプルポイントのガス漏れを順次に検出すると
ともに、前記手動切換スイッチによって任意のサンプル
ポイントをも直ちに検出できるように構成する。
る方式に関し、 安価に構成して、しかも、ガス漏れに迅速に対応させる
ことを目的とし、 複数のサンプルポイントがら三方自動弁に導く配管と、 集中して設置され、且つ、前記各サンプルポイントから
の配管にそれぞれ第一端が接続した複数の三方自動弁と
、 前記三方自動弁それぞれの第二端に接続した１個のガス
センサーおよび該ガスセンサーの他端に接続した第１吸
引ポンプと、 前記三方自動弁それぞれの第三端に接続して、前記ガス
センサーで検出中のサンプルポイントを除くすべてのサ
ンプルポイン、トから常に吸引排気している第２吸引ポ
ンプと、 前記三方自動弁それぞれを自動的に切り換えるシーケン
サ−と、 該シーケンサ−に付設した手動切換スイッチとを有し、 前記シーケンサ−によって自動的に切り換えられて前記
複数のサンプルポイントのガス漏れを順次に検出すると
ともに、前記手動切換スイッチによって任意のサンプル
ポイントをも直ちに検出できるように構成する。
本発明は工場内へ供給する配管からのガス漏れを集中し
て監視する方式に関する。
て監視する方式に関する。
例えば、半導体工場においてはシラン（ＳｉＨ４）。
水素（Ｈ２）、塩化窒素（ＨＣＩ）などの有毒ガスや発
火の危険ある多種類のガスが配設されており、工場内の
複数箇所におけるそれらガスのガス漏れを効率良く検出
する方式が望まれている。
火の危険ある多種類のガスが配設されており、工場内の
複数箇所におけるそれらガスのガス漏れを効率良く検出
する方式が望まれている。
第４図は従来のガス漏れ監視方法を示す図で、シランガ
ス（ＳｉＨａ）のガス漏れを監視する例で説明すると、
記号ＯＤは屋外、ＣＲは工場内を示しており、屋外ＯＤ
にはタンクやボンへの貯蔵庫Ｈが設けられ、そこから配
管りによって工場内ＣＲのガス配管系ＧＰを介して２つ
の成長装置り、、 ＤＺにシランガスが供給されている
。
ス（ＳｉＨａ）のガス漏れを監視する例で説明すると、
記号ＯＤは屋外、ＣＲは工場内を示しており、屋外ＯＤ
にはタンクやボンへの貯蔵庫Ｈが設けられ、そこから配
管りによって工場内ＣＲのガス配管系ＧＰを介して２つ
の成長装置り、、 ＤＺにシランガスが供給されている
。
その際、第４図に示すように、工場内ＣＲの四箇所にガ
スセンサーＳ＋、 Ｓ２． Ｓ３． Ｓ４が配置されて
おり、ガスセンサーＳＩは工場内の作業域、ガスセンサ
ーＳ２はガス配管系ＧＰの筐体内部、ガスセンサーＳ３
は成長装置Ｄ１の筺体内、ガスセンサーＳ４は成長装置
Ｄ２の筐体内に設けられている。
スセンサーＳ＋、 Ｓ２． Ｓ３． Ｓ４が配置されて
おり、ガスセンサーＳＩは工場内の作業域、ガスセンサ
ーＳ２はガス配管系ＧＰの筐体内部、ガスセンサーＳ３
は成長装置Ｄ１の筺体内、ガスセンサーＳ４は成長装置
Ｄ２の筐体内に設けられている。
このように、１つの工場内においても複数箇所にガスセ
ンサーを設置しているのは、開閉弁の部分で特にガスが
漏れ易く、シランのような有毒ガスは早急に検出して災
害を未然に防止する必要があるからである。
ンサーを設置しているのは、開閉弁の部分で特にガスが
漏れ易く、シランのような有毒ガスは早急に検出して災
害を未然に防止する必要があるからである。
ところが、上記のようなガス漏れ監視方法は各測定箇所
にそれぞれ１つずつのガスセンサーが配置されており、
ガスセンサーは高価なために設置費用が嵩む。しかも、
保守管理では監視人が巡回してガスセンサーなどの性能
維持を図らなければならないため、精度維持のための工
数が増加して、しかも、異常時には迅速に対処できない
という欠点がある。
にそれぞれ１つずつのガスセンサーが配置されており、
ガスセンサーは高価なために設置費用が嵩む。しかも、
保守管理では監視人が巡回してガスセンサーなどの性能
維持を図らなければならないため、精度維持のための工
数が増加して、しかも、異常時には迅速に対処できない
という欠点がある。
本発明はこのような欠点を改善して、安価に構成して、
しかも、ガス漏れに迅速に対応させることを目的とした
ガス漏れ集中監視方式を提案するものである。
しかも、ガス漏れに迅速に対応させることを目的とした
ガス漏れ集中監視方式を提案するものである。
その課題は、第２図に示す実施例のように、複数のサン
プルポイントｈ、 ＰＺ、 Ｐ３． Ｐ４から一箇所に
導く配管りと、 集中して設置され、且つ、前記各サンプルポイントから
の配管にそれぞれ第一端■が接続した複数の三方自動弁
１，２．３．４と、 前記三方自動弁それぞれの第二端■に接続した１個のガ
スセンサーＳおよび該ガスセンサーの他端に接続した第
１吸引ポンプ８と、 前記三方自動弁それぞれの第三端■に接続して、前記ガ
スセンサーで検出中のサンプルポイントを除くすべての
サンプルポイントから吸引している第２吸引ポンプ９と
、 前記三方自動弁それぞれを自動的に切り換えるシーケン
サ−５と、 該シーケンサ−に付設した手動切換スイッチ６とを有し
、 前記シーケンサ−によって自動的に切り換えられて前記
複数のサンプルポイントのガス漏れを順次に検出すると
ともに、前記手動切換スイッチによって任意のサンプル
ポイントをも直ちに検出できるように構成したガス漏れ
集中監視方式によって解決される。
プルポイントｈ、 ＰＺ、 Ｐ３． Ｐ４から一箇所に
導く配管りと、 集中して設置され、且つ、前記各サンプルポイントから
の配管にそれぞれ第一端■が接続した複数の三方自動弁
１，２．３．４と、 前記三方自動弁それぞれの第二端■に接続した１個のガ
スセンサーＳおよび該ガスセンサーの他端に接続した第
１吸引ポンプ８と、 前記三方自動弁それぞれの第三端■に接続して、前記ガ
スセンサーで検出中のサンプルポイントを除くすべての
サンプルポイントから吸引している第２吸引ポンプ９と
、 前記三方自動弁それぞれを自動的に切り換えるシーケン
サ−５と、 該シーケンサ−に付設した手動切換スイッチ６とを有し
、 前記シーケンサ−によって自動的に切り換えられて前記
複数のサンプルポイントのガス漏れを順次に検出すると
ともに、前記手動切換スイッチによって任意のサンプル
ポイントをも直ちに検出できるように構成したガス漏れ
集中監視方式によって解決される。
即ち、本発明は、複数のサンプルポイント（大気採取地
点）から配管して、１箇所に集中して設置した複数の三
方自動弁それぞれに接続し、シーケンサ−（ｓｅｑｕｅ
ｎｃｅｒＨ順序付は装置）によって三方自動弁を自動的
に切り換えて、複数のサンプルポイントのガス漏れを順
次に検出する。且つ、手動切換スイッチによって任意の
サンプルポイントをも常に検出できるようにする。
点）から配管して、１箇所に集中して設置した複数の三
方自動弁それぞれに接続し、シーケンサ−（ｓｅｑｕｅ
ｎｃｅｒＨ順序付は装置）によって三方自動弁を自動的
に切り換えて、複数のサンプルポイントのガス漏れを順
次に検出する。且つ、手動切換スイッチによって任意の
サンプルポイントをも常に検出できるようにする。
そうすれば、１個のガスセンサーを設置するだけで安価
になり、且つ、集中して管理できるために工数が減って
、しかも、迅速に対応できる利点がある。
になり、且つ、集中して管理できるために工数が減って
、しかも、迅速に対応できる利点がある。
以下に図面を参照して実施例によって詳細に説明する。
第１図は本発明にかかるガス漏れ監視方法のサンプルポ
イントを示す図で、第４図と同一部位には同一記号が付
けであるが、その他のＰＩ、 Ｐｇ、 ＰｂＦ２はサン
プルポイント（大気採取地点）である。
イントを示す図で、第４図と同一部位には同一記号が付
けであるが、その他のＰＩ、 Ｐｇ、 ＰｂＦ２はサン
プルポイント（大気採取地点）である。
即ち、サンプルポイントＰｌは工場内の作業域、サンプ
ルポイントＰ２はガス配管系ＧＰの筐体内部、サンプル
ポイントＰ３は成長装置Ｄ１の筐体内、サンプルポイン
トＰ４は成長装置Ｄ２の筐体内に設置されており、従来
のガスセンサーの配置地点に、ガスセンサーの代わりに
サンプルポイントを配置しである。
ルポイントＰ２はガス配管系ＧＰの筐体内部、サンプル
ポイントＰ３は成長装置Ｄ１の筐体内、サンプルポイン
トＰ４は成長装置Ｄ２の筐体内に設置されており、従来
のガスセンサーの配置地点に、ガスセンサーの代わりに
サンプルポイントを配置しである。
これらのサンプルポイントから配管で三方自動弁に導く
が、三方自動弁を集中させた箇所には１個のガスセンサ
ーと手動切換スイッチを付設したシーケンサ−をも配置
しておく。第２図はその本発明にかかるガス漏れ集中監
視方式図を示し、記号ＰＩ＋ Ｐｇ、 Ｐ３． Ｐａは
サンプルポイント、Ｌは配管。
が、三方自動弁を集中させた箇所には１個のガスセンサ
ーと手動切換スイッチを付設したシーケンサ−をも配置
しておく。第２図はその本発明にかかるガス漏れ集中監
視方式図を示し、記号ＰＩ＋ Ｐｇ、 Ｐ３． Ｐａは
サンプルポイント、Ｌは配管。
Ｆは流量計、Ｓはガスセンサー、 ＢＺは警報器、１゜
２．３．４は三方自動弁（三方コック自動電磁弁）、５
はシーケンサ−１６は手動切換スイッチ。
２．３．４は三方自動弁（三方コック自動電磁弁）、５
はシーケンサ−１６は手動切換スイッチ。
７１、７２．７３．７４は表示ランプ、８は第１吸引ポ
ンプ、９は第２吸引ポンプである。
ンプ、９は第２吸引ポンプである。
ガスセンサーＳはガス吸着による電気抵抗変化を検知す
る構造で、そのうちの吸引式のものである。このガスセ
ンサーＳを第１吸引ポンプ８で僅かに吸引しながら検出
すると同時に、複数のサンプルポイントを素早く切り換
えて検出する必要があるから、それぞれのサンプルポイ
ント付近のガス（大気）を三方自動弁のある集中箇所ま
で第２吸引ポンプ９で吸引排気しておく。また、ガスセ
ンサーＳはガス漏れ感知に２０秒を要するセンサーであ
るために、シーゲンサー５によるサンプルポイントの切
換えを約２０秒（正確には２１．５秒；理由は後記する
）にする。
る構造で、そのうちの吸引式のものである。このガスセ
ンサーＳを第１吸引ポンプ８で僅かに吸引しながら検出
すると同時に、複数のサンプルポイントを素早く切り換
えて検出する必要があるから、それぞれのサンプルポイ
ント付近のガス（大気）を三方自動弁のある集中箇所ま
で第２吸引ポンプ９で吸引排気しておく。また、ガスセ
ンサーＳはガス漏れ感知に２０秒を要するセンサーであ
るために、シーゲンサー５によるサンプルポイントの切
換えを約２０秒（正確には２１．５秒；理由は後記する
）にする。
このような条件に設定して、シーケンサ−による自動操
作をおこなうが、その一部を説明すると、まず、三方自
動弁１を動作させてサンプルポイントＰ＋のガスを三方
自動弁１を通してガスセンサーＳに吸引する。そのため
、三方自動弁１は第一端■と第二端■とを接続しており
、この三方自動弁１を通して第１吸引ポンプ８で吸引す
る。その時、サンプルポイントＰｇ、 Ｐ３． Ｐｇの
ガスはそれぞれ三方自動弁２，３．４を通して第２吸引
ポンプ９で吸引排気しており、そのため、これらの三方
自動弁２，３．４は第一端■と第三端■とを接続してい
る。そして、この状態で約２０秒保持した後にもガスセ
ンサーＳでガス漏れが検出されないと、シーケンサ−に
よって三方自動弁２を動作させてサンプルポイントＰ２
のガスを三方自動弁２を通してガスセンサーＳに吸引す
る。即ち、三方自動弁２の第一端■と第二端■とを接続
する。この時、サンプルポイン１−ＰＩ、 Ｐ３． Ｐ
ｇのガスはそれぞれ三方自動弁１，３．４の第一端■と
第三端■とを接続して第２吸引ポンプ９で排気しておく
、これらもシーケンサ−の自動操作によっておこなうも
のである。
作をおこなうが、その一部を説明すると、まず、三方自
動弁１を動作させてサンプルポイントＰ＋のガスを三方
自動弁１を通してガスセンサーＳに吸引する。そのため
、三方自動弁１は第一端■と第二端■とを接続しており
、この三方自動弁１を通して第１吸引ポンプ８で吸引す
る。その時、サンプルポイントＰｇ、 Ｐ３． Ｐｇの
ガスはそれぞれ三方自動弁２，３．４を通して第２吸引
ポンプ９で吸引排気しており、そのため、これらの三方
自動弁２，３．４は第一端■と第三端■とを接続してい
る。そして、この状態で約２０秒保持した後にもガスセ
ンサーＳでガス漏れが検出されないと、シーケンサ−に
よって三方自動弁２を動作させてサンプルポイントＰ２
のガスを三方自動弁２を通してガスセンサーＳに吸引す
る。即ち、三方自動弁２の第一端■と第二端■とを接続
する。この時、サンプルポイン１−ＰＩ、 Ｐ３． Ｐ
ｇのガスはそれぞれ三方自動弁１，３．４の第一端■と
第三端■とを接続して第２吸引ポンプ９で排気しておく
、これらもシーケンサ−の自動操作によっておこなうも
のである。
且つ、若しサンプルポイントＰＩにガス漏れが生じてい
るとした場合、その動作を第３図に示すタイムチャート
図を参照して説明すると、第３図（ａ）はサンプルポイ
ントの吸引タイム、同図（ｂ）は警報器リセットクロッ
ク、同図（Ｃ）は警報器セットクロック、同図（ｄ）は
ランプ点灯クロックを示している警報器リセットクロッ
クは秒間隔で絶えず動作させており、サンプルポイント
の吸引タイムはすべて２１．５秒に制御（この吸引タイ
ムはガスセンサーの性能で若干相違する）されている。
るとした場合、その動作を第３図に示すタイムチャート
図を参照して説明すると、第３図（ａ）はサンプルポイ
ントの吸引タイム、同図（ｂ）は警報器リセットクロッ
ク、同図（Ｃ）は警報器セットクロック、同図（ｄ）は
ランプ点灯クロックを示している警報器リセットクロッ
クは秒間隔で絶えず動作させており、サンプルポイント
の吸引タイムはすべて２１．５秒に制御（この吸引タイ
ムはガスセンサーの性能で若干相違する）されている。
まず、ガスセンサーＳのガス漏れ感知に２０秒を要し、
ガス漏れが生じていると次の０．５秒でランプ点灯クロ
ックが働いて表示ランプ７１を点灯させ、同時に警報器
セットクロツタが働いて警報が鳴る。そして、警報器リ
セットクロックを絶えず動作させておいて、直ぐに警報
を止める。そうしないと、１つの警報器でガス漏れを報
知できないからである。
ガス漏れが生じていると次の０．５秒でランプ点灯クロ
ックが働いて表示ランプ７１を点灯させ、同時に警報器
セットクロツタが働いて警報が鳴る。そして、警報器リ
セットクロックを絶えず動作させておいて、直ぐに警報
を止める。そうしないと、１つの警報器でガス漏れを報
知できないからである。
方、表示ランプはサンプルポイントそれぞれに１個ずつ
設けであるために、ガス漏れがあると表示ランプ７１が
点灯したままになって、その表示ランプのためにガス漏
れのサンプルポイントは認知できる。このように、サン
プルポイントの吸引時間を２１．５秒に制御している理
由は、ガス漏れ感知に２０秒を要し、警報器セットクロ
ックに０．５秒を要して、警報の鳴る時間を１秒として
いるためである。
設けであるために、ガス漏れがあると表示ランプ７１が
点灯したままになって、その表示ランプのためにガス漏
れのサンプルポイントは認知できる。このように、サン
プルポイントの吸引時間を２１．５秒に制御している理
由は、ガス漏れ感知に２０秒を要し、警報器セットクロ
ックに０．５秒を要して、警報の鳴る時間を１秒として
いるためである。
上記例のような本発明にかかるガス漏れ集中監視方式を
用いれば、１個のガスセンサーを設置するだけで、集中
監視することができる。
用いれば、１個のガスセンサーを設置するだけで、集中
監視することができる。
なお、工場には多種のガスが使用されているために、必
要なすべてのガスを１箇所に集約して、本発明にかかる
監視方式を用いれば、ガス管理のための工数を一層減少
できる効果がある。
要なすべてのガスを１箇所に集約して、本発明にかかる
監視方式を用いれば、ガス管理のための工数を一層減少
できる効果がある。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば１個の
ガスセンサーを設置するだけで安価に構成でき、且つ、
集中監視できるためにガス管理工数が減って、しかも、
ガス漏れに迅速に対応できる利点がある。
ガスセンサーを設置するだけで安価に構成でき、且つ、
集中監視できるためにガス管理工数が減って、しかも、
ガス漏れに迅速に対応できる利点がある。
第１図は本発明にかかるガス漏れ監視方法のサンプルポ
イントを示す図、 第２図は本発明にかかるガス漏れ集中監視方式第３図は
タイムチャート図、 第４図は従来のガス漏れ監視方法を示す図である。 図において、 １．２，３．４は三方自動弁、 ５はシーケンサ− ６は手動切換スイッチ、 ？１．７２．７３．７４は表示ランプ、８は第１吸引ポ
ンプ、 ９は第２吸引ポンプ、 Ｐ＋、 Ｐｇ、 Ｐａ、 Ｐａはサンプルポイント、Ｌ
は配管、 Ｆは流量計、 Ｓはガスセンサー ＢＺは警報器、 ■は三方自動弁の第一端、 ■は三方自動弁の第二端、 ■は三方自動弁の第三端 を示している。 Ｌ ａｔ＊ 第 図 手、４四Ｑ ｃ：η・Ｎたスン６を襄中竪授方バ３ｚフ
イムチャート図 第３１１ イ妹＾スフ′スジ石Ｊ（９寥１伎方ヌ天シ米１１〜り第
４ｍｌ
イントを示す図、 第２図は本発明にかかるガス漏れ集中監視方式第３図は
タイムチャート図、 第４図は従来のガス漏れ監視方法を示す図である。 図において、 １．２，３．４は三方自動弁、 ５はシーケンサ− ６は手動切換スイッチ、 ？１．７２．７３．７４は表示ランプ、８は第１吸引ポ
ンプ、 ９は第２吸引ポンプ、 Ｐ＋、 Ｐｇ、 Ｐａ、 Ｐａはサンプルポイント、Ｌ
は配管、 Ｆは流量計、 Ｓはガスセンサー ＢＺは警報器、 ■は三方自動弁の第一端、 ■は三方自動弁の第二端、 ■は三方自動弁の第三端 を示している。 Ｌ ａｔ＊ 第 図 手、４四Ｑ ｃ：η・Ｎたスン６を襄中竪授方バ３ｚフ
イムチャート図 第３１１ イ妹＾スフ′スジ石Ｊ（９寥１伎方ヌ天シ米１１〜り第
４ｍｌ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数のサンプルポイントから三方自動弁に導く配管と、 集中して設置され、且つ、前記各サンプルポイントから
の配管にそれぞれ第一端が接続した複数の三方自動弁と
、 前記三方自動弁それぞれの第二端に接続した１個のガス
センサーおよび該ガスセンサーの他端に接続した第１吸
引ポンプと、 前記三方自動弁それぞれの第三端に接続して、前記ガス
センサーで検出中のサンプルポイントを除くすべてのサ
ンプルポイントから常に吸引している第１吸引ポンプと
、 前記三方自動弁それぞれを自動的に切り換えるシーケン
サーと、 該シーケンサーに付設した手動切換スイッチとを有し、 前記シーケンサーによって自動的に切り換えられて前記
複数のサンプルポイントのガス漏れを順次に検出すると
ともに、前記手動切換スイッチによって任意のサンプル
ポイントをも直ちに検出できるように構成したことを特
徴とするガス漏れ集中監視方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19350190A JPH0480631A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | ガス漏れ集中監視方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19350190A JPH0480631A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | ガス漏れ集中監視方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480631A true JPH0480631A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16309102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19350190A Pending JPH0480631A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | ガス漏れ集中監視方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0480631A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6324892B1 (en) * | 1998-04-09 | 2001-12-04 | Nippon Sanso Corporation | Multi-gas analysis system for analyzing high-purity gases |
| JP2010256018A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-11-11 | Nissan Motor Co Ltd | 気密試験装置及び気密試験方法 |
| CN105716791A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-06-29 | 江苏省电力公司南京供电公司 | 一种基于振动信号的gis漏气监测方法 |
| CN105806565A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-07-27 | 江苏省电力公司南京供电公司 | 一种gis漏气检测系统 |
| GB2537843A (en) * | 2015-04-27 | 2016-11-02 | Sultan Hamad Mohammed Al Azri Sultan | A medical device, medical system and method for detecting diseases |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56145392A (en) * | 1980-04-15 | 1981-11-12 | Tokyo Shibaura Electric Co | Automatic sampling monitor for exhaust gas test |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP19350190A patent/JPH0480631A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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