JPH0479421U - - Google Patents
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- JPH0479421U JPH0479421U JP12339690U JP12339690U JPH0479421U JP H0479421 U JPH0479421 U JP H0479421U JP 12339690 U JP12339690 U JP 12339690U JP 12339690 U JP12339690 U JP 12339690U JP H0479421 U JPH0479421 U JP H0479421U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass window
- substrate
- light
- reaction vessel
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第1図はこの発明の一実施例による半導体製造
装置の概略構成を示す断面図、第2図は従来の半
導体製造装置の概略構成を示す断面図である。 図において、1は反応容器筐体、2は光照射手
段、3はランプハウジング、4はガラス窓、5は
ガラス窓のカバー板、6はOリング、7は基板、
8はガラス供給口、9はガス排気口、10はガラ
スピン、11は金属膜、12は水冷管路である。
なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を
示す。
装置の概略構成を示す断面図、第2図は従来の半
導体製造装置の概略構成を示す断面図である。 図において、1は反応容器筐体、2は光照射手
段、3はランプハウジング、4はガラス窓、5は
ガラス窓のカバー板、6はOリング、7は基板、
8はガラス供給口、9はガス排気口、10はガラ
スピン、11は金属膜、12は水冷管路である。
なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を
示す。
Claims (1)
- 基板が収容され、ガス供給口とガス排気口なら
びに光透過性を有するガラス窓を備えた反応容器
と、この反応容器のガラス窓外側に設けられ、上
記基板に光を照射して基板温度の昇温を図る光照
射手段を備えた半導体製造装置において、上記ガ
ラス窓の反応容器筐体とガラス窓の密封手段であ
るOリングとの接触する部分に、光反射性を有す
る金属膜を蒸着したことを特徴とする半導体製造
装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12339690U JPH0479421U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | |
US07/796,618 US5252132A (en) | 1990-11-22 | 1991-11-22 | Apparatus for producing semiconductor film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12339690U JPH0479421U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0479421U true JPH0479421U (ja) | 1992-07-10 |
Family
ID=31871106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12339690U Pending JPH0479421U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0479421U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09326365A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 縦型加熱処理装置 |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP12339690U patent/JPH0479421U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09326365A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 縦型加熱処理装置 |
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