JPH047650U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH047650U JPH047650U JP4621790U JP4621790U JPH047650U JP H047650 U JPH047650 U JP H047650U JP 4621790 U JP4621790 U JP 4621790U JP 4621790 U JP4621790 U JP 4621790U JP H047650 U JPH047650 U JP H047650U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- magnet
- magnetic field
- electron
- fence
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は、本考案の第一の実施例を示す蒸発源
装置の平面図、第2図は、第1図のA−A線断面
図、第3図は、本考案の第二の実施例を示す蒸発
源装置の平面図、第4図は、第3図のB−B線断
面図である。 1……坩堝、2……電子銃、4a……磁石の磁
極、8……蒸発源ユニツト、9……マグネツトフ
エンス。
装置の平面図、第2図は、第1図のA−A線断面
図、第3図は、本考案の第二の実施例を示す蒸発
源装置の平面図、第4図は、第3図のB−B線断
面図である。 1……坩堝、2……電子銃、4a……磁石の磁
極、8……蒸発源ユニツト、9……マグネツトフ
エンス。
Claims (1)
- 蒸発材料を収納する坩堝1と、電子ビームを発
射する電子銃2と、この電子銃2から発射された
電子ビームを前記坩堝1に導入する偏向磁場を形
成する磁石4とを備える蒸発原ユニツト8,8…
が隣接して複数配置された電子衝撃磁場偏向型蒸
発源装置において、隣接する蒸発原ユニツト8,
8の間に永久磁石の板からなるマグネツトフエン
ス9を配置し、このマグネツトフエンス9の両側
面側に、隣接する前記磁石4の磁極4a,4bと
各々同じ極性の磁極を形成したことを特徴とする
電子衝撃磁場偏向型蒸発源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4621790U JP2524916Y2 (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 | 電子衝撃磁場偏向型蒸発源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4621790U JP2524916Y2 (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 | 電子衝撃磁場偏向型蒸発源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH047650U true JPH047650U (ja) | 1992-01-23 |
JP2524916Y2 JP2524916Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=31561106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4621790U Expired - Lifetime JP2524916Y2 (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 | 電子衝撃磁場偏向型蒸発源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2524916Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-28 JP JP4621790U patent/JP2524916Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2524916Y2 (ja) | 1997-02-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R250 | Receipt of annual fees |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |