JPH047379Y2 - - Google Patents
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- JPH047379Y2 JPH047379Y2 JP12585986U JP12585986U JPH047379Y2 JP H047379 Y2 JPH047379 Y2 JP H047379Y2 JP 12585986 U JP12585986 U JP 12585986U JP 12585986 U JP12585986 U JP 12585986U JP H047379 Y2 JPH047379 Y2 JP H047379Y2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、磁気軸受モータの負荷荷重検出装
置に関するものである。
置に関するものである。
工作機械主軸の駆動には加工品質及び生産性を
向上させるため主軸モータが用いられるようにな
つてきたが、生産性を一層あげるために磁気軸受
モータが適用されてきている。また、加工品質の
向上のためには、主軸先端の工具にかかる負荷状
態を知ることが重要であり、そのための方法とし
てワーク取付部又はモータ取付部に荷重検出器を
設ける方法や、磁気軸受モータを用いる場合は特
開昭60−16149号公報に示される方法が用いられ
ている。
向上させるため主軸モータが用いられるようにな
つてきたが、生産性を一層あげるために磁気軸受
モータが適用されてきている。また、加工品質の
向上のためには、主軸先端の工具にかかる負荷状
態を知ることが重要であり、そのための方法とし
てワーク取付部又はモータ取付部に荷重検出器を
設ける方法や、磁気軸受モータを用いる場合は特
開昭60−16149号公報に示される方法が用いられ
ている。
前者のうち、ワーク取付部に荷重センサを用い
る方法では、加工の進行とともにセンサと加工部
分の３次元的相対位置を考慮して時々刻々と演算
算出せねばならず、処理が複雑になるばかりでな
く、誤差が拡大されやすいという欠点があり、し
かもセンサ取付けのためのスペースをあらかじめ
工作機に準備しておく必要があるとともに、有効
空間が少なくなるという欠点があつた。
る方法では、加工の進行とともにセンサと加工部
分の３次元的相対位置を考慮して時々刻々と演算
算出せねばならず、処理が複雑になるばかりでな
く、誤差が拡大されやすいという欠点があり、し
かもセンサ取付けのためのスペースをあらかじめ
工作機に準備しておく必要があるとともに、有効
空間が少なくなるという欠点があつた。
また、前者のうち、モータ取付部に荷重センサ
を用いる方法では、センサの形状を考慮して工作
機の設計をせねばならず大がかりであるとともに
汎用性がないという欠点があつた。
を用いる方法では、センサの形状を考慮して工作
機の設計をせねばならず大がかりであるとともに
汎用性がないという欠点があつた。
更に、荷重検出方式の１つである歪ゲージ式で
は、ワーク又はモータ固定のための初期荷重によ
り、測定範囲が大幅に制限されるとか、誤差が大
きくなるなどの欠点があり、荷重検出方法の別の
１つである圧電効果利用のものでは高価になると
いう欠点があつた。
は、ワーク又はモータ固定のための初期荷重によ
り、測定範囲が大幅に制限されるとか、誤差が大
きくなるなどの欠点があり、荷重検出方法の別の
１つである圧電効果利用のものでは高価になると
いう欠点があつた。
一方、前記特開昭60−16149号公報に示される
方法では、磁気軸受制御装置内部の力の指令信号
を用いて演算により算出しているので、電流の立
上り遅れだけ誤差が大きい欠点があつた。
方法では、磁気軸受制御装置内部の力の指令信号
を用いて演算により算出しているので、電流の立
上り遅れだけ誤差が大きい欠点があつた。
又、ころがり軸受を用いたものでは、軸受部に
力検出器を設け、空気軸受を用いたものでは軸受
部に圧力検出器を設けることにより力の方向及び
大きさが測定できるが、センサーの形状を考慮し
てモータを設計せねばならず、大がかりであり、
モータ性能向上の阻害原因となつていた。
力検出器を設け、空気軸受を用いたものでは軸受
部に圧力検出器を設けることにより力の方向及び
大きさが測定できるが、センサーの形状を考慮し
てモータを設計せねばならず、大がかりであり、
モータ性能向上の阻害原因となつていた。
この考案は、従来技術における上記の欠点に鑑
みてなされたものであり、磁気軸受で非接触支承
された磁気軸受モータの軸端にかかる負荷荷重を
容易に、精度よく検出する磁気軸受モータの負荷
荷重検出装置を提供することを目的とする。
みてなされたものであり、磁気軸受で非接触支承
された磁気軸受モータの軸端にかかる負荷荷重を
容易に、精度よく検出する磁気軸受モータの負荷
荷重検出装置を提供することを目的とする。
この考案は、上記の目的を達成するためになさ
れたもので、互に直交する２組の電磁石を負荷側
と反負荷側に配し、負荷側軸端部に加工工具等の
負荷を装備し、ロータとステータとのギヤツプを
ギヤツプセンサによつて検出し、その検出信号に
よつて前記電磁石を制御してロータを空中支持す
る磁気軸受モータにおいて、前記電磁石の励磁電
流信号とギヤツプセンサの出力信号から各軸受の
直交する吸引力信号を演算する第１の演算器と、
前記直交する吸引力信号から負荷荷重を演算し、
ベクトルを演算する第２の演算器とを具備したこ
とを特徴とする磁気軸受モータの負荷荷重検出装
置である。
れたもので、互に直交する２組の電磁石を負荷側
と反負荷側に配し、負荷側軸端部に加工工具等の
負荷を装備し、ロータとステータとのギヤツプを
ギヤツプセンサによつて検出し、その検出信号に
よつて前記電磁石を制御してロータを空中支持す
る磁気軸受モータにおいて、前記電磁石の励磁電
流信号とギヤツプセンサの出力信号から各軸受の
直交する吸引力信号を演算する第１の演算器と、
前記直交する吸引力信号から負荷荷重を演算し、
ベクトルを演算する第２の演算器とを具備したこ
とを特徴とする磁気軸受モータの負荷荷重検出装
置である。
第１図ａはこの考案を適用する磁気軸受モータ
を使つた主軸モータの構成を示す正面図、第１図
ｂは電磁石とギヤツプセンサの配置を示す側面図
で１は軸端に工具２を設け、長さ方向の中央部に
モータ部（図示せず）を備え、その両側にラジア
ル軸受を配置したロータである。
を使つた主軸モータの構成を示す正面図、第１図
ｂは電磁石とギヤツプセンサの配置を示す側面図
で１は軸端に工具２を設け、長さ方向の中央部に
モータ部（図示せず）を備え、その両側にラジア
ル軸受を配置したロータである。
モータ部より工具側すなわち負荷側にあるラジ
アル軸受は、固定側の対向する電磁石３−１Ｘ，
３−１Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙと、磁気軸受制御
器６−１とギヤツプセンサ４−１Ｘ，４−１Ｙか
ら構成され、ロータ１と電磁石３−１Ｘ，３−１
Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙ（以下３−１，３−２と
し省略する）との相対位置をギヤツプセンサ４−
１Ｘ，４−１Ｙが検出し、この信号を受けて磁気
軸受制御器６−１が働らいて電磁石３−１，３−
２に電流を供給し、作用する磁気吸引力によつて
ロータ１と電磁石３−１，３−２の相対位置が一
定となるよう制御されている。
アル軸受は、固定側の対向する電磁石３−１Ｘ，
３−１Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙと、磁気軸受制御
器６−１とギヤツプセンサ４−１Ｘ，４−１Ｙか
ら構成され、ロータ１と電磁石３−１Ｘ，３−１
Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙ（以下３−１，３−２と
し省略する）との相対位置をギヤツプセンサ４−
１Ｘ，４−１Ｙが検出し、この信号を受けて磁気
軸受制御器６−１が働らいて電磁石３−１，３−
２に電流を供給し、作用する磁気吸引力によつて
ロータ１と電磁石３−１，３−２の相対位置が一
定となるよう制御されている。
モータ部より工具と反対側すなわち反負荷側に
あるラジアル軸受は、固定側の対向する電磁石３
−３Ｘ，３−３Ｙ，３−４Ｘ，３−４Ｙ（以下３
−３，３−４と省略する）、磁気軸受制御器６−
２とギヤツプセンサ４−２Ｘ，４−２Ｙから構成
され、前記負荷側ラジアル軸受と同様の動作によ
つてロータ１と電磁石３−３，３−４の相対位置
が一定となるよう制御されている。
あるラジアル軸受は、固定側の対向する電磁石３
−３Ｘ，３−３Ｙ，３−４Ｘ，３−４Ｙ（以下３
−３，３−４と省略する）、磁気軸受制御器６−
２とギヤツプセンサ４−２Ｘ，４−２Ｙから構成
され、前記負荷側ラジアル軸受と同様の動作によ
つてロータ１と電磁石３−３，３−４の相対位置
が一定となるよう制御されている。
負荷側及び反負荷側のラジアル軸受部では、紙
面に垂直な方向も同様の構成により制御されてい
るが図示していない。またロータ１の軸方向につ
いても、ラジアル軸受と同様に、固定側の２つの
電磁石とギヤツプセンサ、磁気軸受制御器から構
成されて非接触支承されており、モータ部や軸受
部のステータ、固定側電磁石及びギヤツプセンサ
を固着するとともにモータ全体をとり囲むフレー
ムも図示していない。
面に垂直な方向も同様の構成により制御されてい
るが図示していない。またロータ１の軸方向につ
いても、ラジアル軸受と同様に、固定側の２つの
電磁石とギヤツプセンサ、磁気軸受制御器から構
成されて非接触支承されており、モータ部や軸受
部のステータ、固定側電磁石及びギヤツプセンサ
を固着するとともにモータ全体をとり囲むフレー
ムも図示していない。
次に工具に加わる力を求める方法をＸ軸方向に
ついて述べる。
ついて述べる。
今第１図ａ及び第１図ｂにおいてＸ軸方向に関
する工具２に加わる力をfX、負荷側軸受に加わる
力をfXL、反負荷側軸受に加わる力をfXCLとし、
fX，fXL間の寸法をａ，fXL，fXCL間の寸法をｂとす
れば次式が成立する。
する工具２に加わる力をfX、負荷側軸受に加わる
力をfXL、反負荷側軸受に加わる力をfXCLとし、
fX，fXL間の寸法をａ，fXL，fXCL間の寸法をｂとす
れば次式が成立する。
但しサフイツクスＸ，XL，XCLはＸ軸方向を
示す。
示す。
fX＋fXCL＝fXL ……(1)
ａ・fX＝ｂ・fXCL ……(2)
この(1)式と、(2)式から
fX＝fXL−fXCL＝ｂ／ａ・fXCL＝ｂ／ａ＋ｂ・fXL……
(3) が得られるので、fXCL又はfXLもしくは双方の大き
さがわかれば演算によつてfXが求められる。
(3) が得られるので、fXCL又はfXLもしくは双方の大き
さがわかれば演算によつてfXが求められる。
これは、Ｙ軸方向についても同様である。
また一般に、磁気吸引力ｆの大きさは、電流Ｉ
とキヤツプδによつてｆ∝（Ｉ／δ）2の関係がある ことから、電流Ｉとギヤツプδを検出することに
よつてｆを演算により求めることができることに
なる。
とキヤツプδによつてｆ∝（Ｉ／δ）2の関係がある ことから、電流Ｉとギヤツプδを検出することに
よつてｆを演算により求めることができることに
なる。
以上、この考案の原理について説明したが、次
に、第２図に示す実施例について説明する。
に、第２図に示す実施例について説明する。
先ずＸ軸方向について説明すると、第２図は検
出電流信号とギヤツプ信号から各軸受の軸受分力
を得るための第１の演算器のブロツク図でI1X，
I2Xは電磁石３−１Ｘ，３−２Ｘに供給される電
流の検出信号であり、図示しない電流検出器によ
つて検出されている。δ1Xは、ロータ１が電磁石
３−１，３−２の中央から電磁石３−２側に変位
した変位量をギヤツプセンサ４−１によつて検出
した信号であり、δ0Xはロータ１が電磁石３−２
に接触した時に相当する信号である。
出電流信号とギヤツプ信号から各軸受の軸受分力
を得るための第１の演算器のブロツク図でI1X，
I2Xは電磁石３−１Ｘ，３−２Ｘに供給される電
流の検出信号であり、図示しない電流検出器によ
つて検出されている。δ1Xは、ロータ１が電磁石
３−１，３−２の中央から電磁石３−２側に変位
した変位量をギヤツプセンサ４−１によつて検出
した信号であり、δ0Xはロータ１が電磁石３−２
に接触した時に相当する信号である。
X1X信号は加算器７によつて演算されて、δ1X＋
δ0Xの値をもち、電磁石３−１とロータ１のギヤ
ツプに相当する信号である。X2X信号は減算器８
によつて演算されてδ0X−δ1Xの値をもち、電磁石
３−２とロータ１のギヤツプに相当する信号であ
る。
δ0Xの値をもち、電磁石３−１とロータ１のギヤ
ツプに相当する信号である。X2X信号は減算器８
によつて演算されてδ0X−δ1Xの値をもち、電磁石
３−２とロータ１のギヤツプに相当する信号であ
る。
９−１，９−２は除算器であり、それぞれI1X，
x1X及びI2X，x2X信号を受けてI1X／X1X，I2X／X2X
の演算をする。
x1X及びI2X，x2X信号を受けてI1X／X1X，I2X／X2X
の演算をする。
１０−１，１０−２は２乗演算を行う２乗器で
あり、除算器９−１，９−２からくる信号を受け
て演算し（I1X／X1X）2，（I2X／X2X）2を得る。そし
て（I1X／X1X）2と（I2X／X2X）2の信号を減算器１
１により減算し、さらに係数器１２によつてＫ倍
にし、Ｋ｛（I1X／X1X）2−（I2X／X2X）2｝の大きさを
もつ信号fXLを得る。
あり、除算器９−１，９−２からくる信号を受け
て演算し（I1X／X1X）2，（I2X／X2X）2を得る。そし
て（I1X／X1X）2と（I2X／X2X）2の信号を減算器１
１により減算し、さらに係数器１２によつてＫ倍
にし、Ｋ｛（I1X／X1X）2−（I2X／X2X）2｝の大きさを
もつ信号fXLを得る。
反負荷側軸受のＸ方向も同様であり、又Ｙ方向
についても同様であるので説明を省略する。
についても同様であるので説明を省略する。
第３図は前記第２図の演算回路で得られたロー
タ１に作用する力に比例する信号、即ち軸受の負
荷側Ｘ軸に関するfXL信号と、反負荷側Ｘ軸に関
するfXCL信号と、負荷側Ｙ軸に関するfYL信号と、
反負荷側Ｙ軸に関するfYCL信号を入力とし、それ
らを合成して力の大きさと方向を得る第２の演算
器のブロツク図を示すものである。ここでＸ軸と
Ｙ軸はロータ１の回転軸と直交するとともに互い
に直交し、負荷側Ｘ（又はＹ）軸と反負荷側Ｘ（又
はＹ）軸は、同一平面内にある。
タ１に作用する力に比例する信号、即ち軸受の負
荷側Ｘ軸に関するfXL信号と、反負荷側Ｘ軸に関
するfXCL信号と、負荷側Ｙ軸に関するfYL信号と、
反負荷側Ｙ軸に関するfYCL信号を入力とし、それ
らを合成して力の大きさと方向を得る第２の演算
器のブロツク図を示すものである。ここでＸ軸と
Ｙ軸はロータ１の回転軸と直交するとともに互い
に直交し、負荷側Ｘ（又はＹ）軸と反負荷側Ｘ（又
はＹ）軸は、同一平面内にある。
信号fXLとfXCLを入力とする減算器１３−１は(3)
式に示す如くfX＝fXL−fXCLの演算を行い、工具２
に加わる力に相当する信号fXを作る。
式に示す如くfX＝fXL−fXCLの演算を行い、工具２
に加わる力に相当する信号fXを作る。
信号fYLとfYCLを入力とする減算器１３−２は、
fYL−fYCLの演算を行ない、工具２に加わる力に相
当する信号fYを作る。
fYL−fYCLの演算を行ない、工具２に加わる力に相
当する信号fYを作る。
また信号fX，fYを入力とする除算器１７はfY÷
fXの演算を行ない、その結果の信号を受けた演算
器１８は、正切（tan-1）の演算を行ない、tan-1
（fY／fX）すなわち、工具２に加わる力のＸ軸か
らＹ軸に至る角度に相当する信号を作る。
fXの演算を行ない、その結果の信号を受けた演算
器１８は、正切（tan-1）の演算を行ない、tan-1
（fY／fX）すなわち、工具２に加わる力のＸ軸か
らＹ軸に至る角度に相当する信号を作る。
また信号fX，fYを受けて、各々乗算器１４−
１，１４−２により２乗演算され、fX 2，fY 2を作
り、この２つの信号を受けた加算器１５は、演算
によつてfX 2＋fY 2を得、さらに演算器１６によつ
て演算されfX 2＋fY 2すなわち、工具２に加わるＸ
軸とＹ軸方向の力の合力に相当する信号を得る。
１，１４−２により２乗演算され、fX 2，fY 2を作
り、この２つの信号を受けた加算器１５は、演算
によつてfX 2＋fY 2を得、さらに演算器１６によつ
て演算されfX 2＋fY 2すなわち、工具２に加わるＸ
軸とＹ軸方向の力の合力に相当する信号を得る。
以上のように、この考案によれば、ラジアル磁
気軸受の電磁石とロータのギヤツプと、電磁石に
供給される電流から軸受に作用する力を算出し、
さらに工具に加わる力の大きさと方向を検出でき
るのである。
気軸受の電磁石とロータのギヤツプと、電磁石に
供給される電流から軸受に作用する力を算出し、
さらに工具に加わる力の大きさと方向を検出でき
るのである。
又、以上述べた演算方法を、ロータの軸方向に
ついても行なえば、３次元的な力の方向及び力の
大きさが検出できるし、加工条件が既知であれ
ば、力の方向、大きさを同様に演算で座標変換
し、主分力、背分力、送り分力を求めることがで
きることはいうまでもない。
ついても行なえば、３次元的な力の方向及び力の
大きさが検出できるし、加工条件が既知であれ
ば、力の方向、大きさを同様に演算で座標変換
し、主分力、背分力、送り分力を求めることがで
きることはいうまでもない。
第４図は異なる実施例における第２の演算器の
ブロツク図を示すもので前記fXL又はfXCLとfYL又は
fYCLとから工具負荷荷重fX，fYを(3)式の fX＝ｂ／ａ＋ｂ・fXL より求めるようにした装置である。
ブロツク図を示すもので前記fXL又はfXCLとfYL又は
fYCLとから工具負荷荷重fX，fYを(3)式の fX＝ｂ／ａ＋ｂ・fXL より求めるようにした装置である。
即ち、前記実施例における減算器１３−１に変
えて、係数ｂ／ａ＋ｂを発する係数器２０と第２図 のfXLの出力信号を入力とする乗算器１９に代替
して以下同様な演算プロセスを進めＦ，tan-1
（fY／fX）を出力する様にしたものである。
えて、係数ｂ／ａ＋ｂを発する係数器２０と第２図 のfXLの出力信号を入力とする乗算器１９に代替
して以下同様な演算プロセスを進めＦ，tan-1
（fY／fX）を出力する様にしたものである。
なお、fX＝ｂ／ａ・fXCLを用いる場合は係数はｂ／ａ
， fXLに変えてfXCLを乗算器２０に入力すれば良い。
， fXLに変えてfXCLを乗算器２０に入力すれば良い。
１ 磁気軸受モータ本体に、新たな設計を施こす
必要がなく演算回路を組み込むだけで、容易に
工具先端の負荷状態を知ることができる。
必要がなく演算回路を組み込むだけで、容易に
工具先端の負荷状態を知ることができる。
２ 工具に加わる力の大きさ、方向すなわち主分
力、背分力、送り分力を知ることができるの
で、加工品質の向上に役立てることができる。
力、背分力、送り分力を知ることができるの
で、加工品質の向上に役立てることができる。
第１図ａは本案実施例全体の概略構成を示す側
面図、第１図ｂは関係位置を示す側面図である。
第２図は検出電流信号とギヤツプ信号から各軸受
の軸受分力を得るための第１の演算器のブロツク
図、第３図は第１の演算器の信号を合成して力の
大きさと方向を得る第２の演算器のブロツク図、
第４図は異なる実施例における第２の演算器のブ
ロツク図である。 １……ロータ、２……工具、｛３−１Ｘ，３−
１Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙ，３−３Ｘ，３−３
Ｙ，３−４Ｘ，３−４Ｙ｝……電磁石、｛４−１
Ｘ，４−１Ｙ，４−２Ｘ，４−２Ｙ｝……ギヤツ
プセンサ、｛６−１，６−２｝……磁気軸受制御
器、７，１５……加算器、８，１１，１３−１，
１３−２……減算器、９−１，９−２，１７……
除算器、｛１０−１，１０−２，１４−１，１４
−２，１９｝……乗算器、１６……演算器、１８
……tan-1演算器、２０……係数器、２１……係
数乗算器。
面図、第１図ｂは関係位置を示す側面図である。
第２図は検出電流信号とギヤツプ信号から各軸受
の軸受分力を得るための第１の演算器のブロツク
図、第３図は第１の演算器の信号を合成して力の
大きさと方向を得る第２の演算器のブロツク図、
第４図は異なる実施例における第２の演算器のブ
ロツク図である。 １……ロータ、２……工具、｛３−１Ｘ，３−
１Ｙ，３−２Ｘ，３−２Ｙ，３−３Ｘ，３−３
Ｙ，３−４Ｘ，３−４Ｙ｝……電磁石、｛４−１
Ｘ，４−１Ｙ，４−２Ｘ，４−２Ｙ｝……ギヤツ
プセンサ、｛６−１，６−２｝……磁気軸受制御
器、７，１５……加算器、８，１１，１３−１，
１３−２……減算器、９−１，９−２，１７……
除算器、｛１０−１，１０−２，１４−１，１４
−２，１９｝……乗算器、１６……演算器、１８
……tan-1演算器、２０……係数器、２１……係
数乗算器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互に直交する２組の電磁石を負荷側と反負荷
側に配し、負荷側軸端部に加工工具等の負荷を
装備し、ロータとステータとのギヤツプをギヤ
ツプセンサによつて検出し、その検出信号によ
つて前記電磁石を制御してロータを空中支持す
る磁気軸受モータにおいて、前記電磁石の励磁
電流信号とギヤツプセンサの出力信号から各軸
受の直交する吸引力信号を演算する第１の演算
器と、前記直交する吸引力信号から負荷荷重を
演算し、ベクトルを演算する第２の演算器とを
具備したことを特徴とする磁気軸受モータの負
荷荷重検出装置。 (2) 前記第１の演算器は、負荷側及び反負荷側電
磁石の励磁電流信号と各々のギヤツプセンサの
出力信号から直交する吸引力信号を演算するこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載の磁気軸受モータの負荷荷重検出装置。 (3) 前記第２の演算器は、負荷側および反負荷側
吸引力信号より負荷荷重をベクトル演算するこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項
記載の磁気軸受モータの負荷荷重検出装置。 (4) 前記第２の演算器は、負荷側軸受もしくは反
負荷側吸引力信号のみより負荷荷重をベクトル
演算することを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第２項記載の磁気軸受モータの負荷荷重検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12585986U JPH047379Y2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12585986U JPH047379Y2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6333024U JPS6333024U (ja) | 1988-03-03 |
| JPH047379Y2 true JPH047379Y2 (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=31019124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12585986U Expired JPH047379Y2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047379Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5240336B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2013-07-17 | ダイキン工業株式会社 | 磁気軸受及びそれを用いた圧縮機 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP12585986U patent/JPH047379Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6333024U (ja) | 1988-03-03 |
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