JPH0471898U - - Google Patents

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JPH0471898U
JPH0471898U JP11205490U JP11205490U JPH0471898U JP H0471898 U JPH0471898 U JP H0471898U JP 11205490 U JP11205490 U JP 11205490U JP 11205490 U JP11205490 U JP 11205490U JP H0471898 U JPH0471898 U JP H0471898U
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  • Thermal Insulation (AREA)
  • Joints Allowing Movement (AREA)
  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａは本考案の第１実施例によるボールジ
ヨイントの高温耐熱継手を示した要部断面図、第
１図Ｂは本考案の第２実施例によるテーパー擦り
合せ継手の高温耐熱継手を示した要部断面図、第
１図Ｃは本考案の第３実施例によるフランジ継手
の高温耐熱継手を示した要部断面図、第２図は半
導体ウエハの表面に酸化膜を形成する熱処理装置
に前記ボールジヨイントを設けた装置主要部の構
成説明図である。 １０……高温流体の耐熱流送管路、１１……入
側管路、１２……出側管路、１３……高温耐熱継
手、１４，２４……雄接合面、１５，２５……雄
ジヨイント、１６，２６……雌接合面、１７，２
７……雌ジヨイント、１９，２９，３９……Ｏリ
ング、２０，３０，３０ａ……空洞、２１，２１
ａ……石英ウール等の断熱材、３４，３６……フ
ランジ部、３５，３７……継手本体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高温流体の耐熱流送管路を雌ジヨイントと
    雄ジヨイントの嵌合によつて接続するボールジヨ
    イント及びテーパー擦り合せ継手を含む高温耐熱
    継手において、前記雌ジヨイント又は雄ジヨイン
    トのいずれか一方に雌雄の接合面を雌接合面の開
    口部近傍位置でシールするＯリングを組込んだこ
    と、このＯリングの熱損傷を防止するために前記
    雄ジヨイントに、流体流送管路を囲繞し該管路と
    雄接合面との間を熱的に隔絶する空洞を形成し、
    この空洞内に石英ウール等の断熱材を装填したこ
    とを特徴とする高温耐熱継手。 (2) 高温流体の耐熱流送管路をフランジ接合に
    よつて接続するフランジ継手として構成した高温
    耐熱継手において、一方の継手本体のフランジ部
    にフランジ接合面を外周寄りの位置でシールする
    Ｏリングを組込んだこと、このＯリングの熱損傷
    を防止するために両方の継手本体に、流体流送管
    路を囲繞し該管路と前記フランジ部との間を熱的
    に隔絶する空洞を形成し、この空洞内に石英ウー
    ル等の断熱材を装填したことを特徴とする高温耐
    熱継手。
JP1990112054U 1990-10-29 1990-10-29 高温耐熱継手 Expired - Lifetime JPH0632556Y2 (ja)

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