JPH047019A - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置Info
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- JPH047019A JPH047019A JP2106531A JP10653190A JPH047019A JP H047019 A JPH047019 A JP H047019A JP 2106531 A JP2106531 A JP 2106531A JP 10653190 A JP10653190 A JP 10653190A JP H047019 A JPH047019 A JP H047019A
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 47
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 28
- 229910052815 sulfur oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 6
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical class S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- 244000075850 Avena orientalis Species 0.000 description 1
- 229910002089 NOx Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は発電プラント用ボイラー、ディーゼルエンジン
、ガスタービン及び各種燃焼炉などから排出される排ガ
ス中のＮＯｘ及び／又はＮＯｘを効果的にかつ大容量除
去することができるグロー放電プラズマによる排ガス装
置に関する。
、ガスタービン及び各種燃焼炉などから排出される排ガ
ス中のＮＯｘ及び／又はＮＯｘを効果的にかつ大容量除
去することができるグロー放電プラズマによる排ガス装
置に関する。
［従来の技術］
第８図ないし第１０図は従来から用いられているグロー
放電プラズマによる排ガス処理装置の説明図である。こ
の装置により、例えばディーゼルエンジンの排ガス中の
ＮＯｘを処理する場合を例にとり説明する。
放電プラズマによる排ガス処理装置の説明図である。こ
の装置により、例えばディーゼルエンジンの排ガス中の
ＮＯｘを処理する場合を例にとり説明する。
第８図において、ディーゼルエンジン１０１の排ガスを
サイクロン・コレクター１０３を経由して、プラズマ反
応容器１０５に導入する。プラズマ反応容器１０５は、
第９閲〜第１０図に詳細を示すように、筒状のガラス反
応容器１０９の内側に内部電極１１０、外側に外部電極
１１１を配設し、内部電極１１０及び外部電極１１１に
電圧を印加する電源１０６を有する。電極１１０．１１
１間で排ガスをプラズマ化させることことにより、排ガ
ス中のＮＯｘを下記の原理により、除去する。すなわち
、内部電極１１０と外部電極１１１の間にｔ源１０６を
用いて電圧を印加すると、大気圧グロー放電現象で排ガ
スはプラズマ化される。
サイクロン・コレクター１０３を経由して、プラズマ反
応容器１０５に導入する。プラズマ反応容器１０５は、
第９閲〜第１０図に詳細を示すように、筒状のガラス反
応容器１０９の内側に内部電極１１０、外側に外部電極
１１１を配設し、内部電極１１０及び外部電極１１１に
電圧を印加する電源１０６を有する。電極１１０．１１
１間で排ガスをプラズマ化させることことにより、排ガ
ス中のＮＯｘを下記の原理により、除去する。すなわち
、内部電極１１０と外部電極１１１の間にｔ源１０６を
用いて電圧を印加すると、大気圧グロー放電現象で排ガ
スはプラズマ化される。
そして、例えばＮＯｘは次の化学反応を起こす。
２ＮＯｘ ＝ ２ＮＯ＋ Ｏｚ −
・＝（］）２ＮＯ□ ＋ ０□ → Ｎ、＋ ２０
□ ・・・・・・（２）なお、プラズマは、外部電
界によって加速された高エネルギー電子がガス分子と衝
突し、励起分子、励起原子、遊離器、イオンおよび中性
粒子なとが混在したｉｌｌ気体であり、上記（１）、
（２）式では数ｅＶ〜数１０ｅＶのエネルギーを得たＮ
Ｏｘが化学的に活性な種になって、複雑な反応を起こし
た結果として、Ｎ２および０□になると考えられる。
・＝（］）２ＮＯ□ ＋ ０□ → Ｎ、＋ ２０
□ ・・・・・・（２）なお、プラズマは、外部電
界によって加速された高エネルギー電子がガス分子と衝
突し、励起分子、励起原子、遊離器、イオンおよび中性
粒子なとが混在したｉｌｌ気体であり、上記（１）、
（２）式では数ｅＶ〜数１０ｅＶのエネルギーを得たＮ
Ｏｘが化学的に活性な種になって、複雑な反応を起こし
た結果として、Ｎ２および０□になると考えられる。
さて、上記のように、エンジンの排ガスを大気圧グロー
放電現象を利用して、プラズマ化すると、（ＮＯ＋ＮＯ
□）が５０〜２００ｐｐｍ程度の濃度および３０ないし
６０ｊ！／ｓｉｎ程度の流量の範囲では、プラズマ発生
電力すなわち電源１０６より供給される電力が数Ｗ〜数
１０Ｗの範囲で、ＮＯｘ除去率が８０〜９０％を達成で
きる。
放電現象を利用して、プラズマ化すると、（ＮＯ＋ＮＯ
□）が５０〜２００ｐｐｍ程度の濃度および３０ないし
６０ｊ！／ｓｉｎ程度の流量の範囲では、プラズマ発生
電力すなわち電源１０６より供給される電力が数Ｗ〜数
１０Ｗの範囲で、ＮＯｘ除去率が８０〜９０％を達成で
きる。
したがって、ボイラー、ガスタービンおよびディーゼル
エンジンなど、各種燃焼を伴う装置の排ガス公害対策装
置として活用されつつある。
エンジンなど、各種燃焼を伴う装置の排ガス公害対策装
置として活用されつつある。
〔発明が解決しようとする課題］
上記、従来の装置では、次のような欠点があり実用化が
非常に困難であるという問題があった。
非常に困難であるという問題があった。
（１）排ガス流量を３０〜６０ｆｆ／ｗｉｎ程度以上に
増加させると、グロー放電プラズマが発生しなくなり、
ＮＯｘ除去ができなくなる。
増加させると、グロー放電プラズマが発生しなくなり、
ＮＯｘ除去ができなくなる。
（２）電極の大きさを排ガス流れ方向へ長くすると、Ｎ
Ｏｘ除去効果が著しく低下する。
Ｏｘ除去効果が著しく低下する。
（３）上記（１１，（２）の理由により、数１００〜数
１００，０００４２／ｍｉｎクラスの大容量排ガス処理
装置としての利用ができないので、産業上の価値が低い
。
１００，０００４２／ｍｉｎクラスの大容量排ガス処理
装置としての利用ができないので、産業上の価値が低い
。
本発明は排ガス中のＮＯｘ濃度が５０〜２００ｐｐｍ程
度、ＳＯｘ［度がｌｏＯｐｐｍ程度の排ガスを１，００
０ｆ ／ｓｉｎ程度の大容量で処理してもＮＯｘおよび
ＳＯｘの除去率が大きい大容量向けに適用できるグロー
放電プラズマによる排ガス処理装置を提供することを目
的としたものである。
度、ＳＯｘ［度がｌｏＯｐｐｍ程度の排ガスを１，００
０ｆ ／ｓｉｎ程度の大容量で処理してもＮＯｘおよび
ＳＯｘの除去率が大きい大容量向けに適用できるグロー
放電プラズマによる排ガス処理装置を提供することを目
的としたものである。
本発明は上記課題を解決するため次の手段を講する。
すなわち、排ガス処理装置として、グロー放電プラズマ
を用いて排ガス中の窒素酸化物及び／又は硫黄酸化物を
処理する装置において、対向した紫外線透過性の側壁を
持ちかつ人口及び出口を持つ筒状の反応容器と、上記側
壁の外面に沿って、同各側壁の近傍にそれぞれ設けられ
る電極と、同各電極間に電圧を印加する手段と、上記反
応容器の人口部に結合されるアンモニア供給装置とを備
え、上記各側壁および電極間にフッ素系ガスを封入した
。
を用いて排ガス中の窒素酸化物及び／又は硫黄酸化物を
処理する装置において、対向した紫外線透過性の側壁を
持ちかつ人口及び出口を持つ筒状の反応容器と、上記側
壁の外面に沿って、同各側壁の近傍にそれぞれ設けられ
る電極と、同各電極間に電圧を印加する手段と、上記反
応容器の人口部に結合されるアンモニア供給装置とを備
え、上記各側壁および電極間にフッ素系ガスを封入した
。
〔作用］
上記手段により、電極間に電圧が印加されると、グロー
放電が発生し、アンモニアを微少量含む排ガスは次の式
で表される反応を起す。
放電が発生し、アンモニアを微少量含む排ガスは次の式
で表される反応を起す。
ＮＨ３→ ＮＨ，＋ Ｈ・・・・・・（３）２ＮＯｘ
−２ＮＯ＋ Ｏｚ −−（１）ＮＨｚ
＋ Ｎｏ → Ｎ、 ＋ Ｎ２０ ・・・・
・・（４）２ＮＨ，＋ ５０□ →Ｓ ＋ Ｎｚ ＋
２）１ｚＯ・・・・・・（５）また上記、電極部のフッ
素系ガスはグロー放電と同時に発光し、側壁を透過する
。その光により前記化学反応をさらに促進させる。
−２ＮＯ＋ Ｏｚ −−（１）ＮＨｚ
＋ Ｎｏ → Ｎ、 ＋ Ｎ２０ ・・・・
・・（４）２ＮＨ，＋ ５０□ →Ｓ ＋ Ｎｚ ＋
２）１ｚＯ・・・・・・（５）また上記、電極部のフッ
素系ガスはグロー放電と同時に発光し、側壁を透過する
。その光により前記化学反応をさらに促進させる。
このようにして、化学反応を促進させるアンモニアの存
在と、グロー放電と、フッ素系ガスの発光とにより化学
反応が促進され、排ガス流量を増大しても、ＮＯｘ及び
／又はＳＯｘの除去率は低下せず処理容量を増大させる
ことができる。
在と、グロー放電と、フッ素系ガスの発光とにより化学
反応が促進され、排ガス流量を増大しても、ＮＯｘ及び
／又はＳＯｘの除去率は低下せず処理容量を増大させる
ことができる。
［実施例］
（１）本発明の第１実施例を第１図、第２図、および第
５図により説明する。
５図により説明する。
第１図において排気ガス公害対策を講しるための対象物
である汎用の燃焼炉ｌは、排気管２により除しん器（サ
イクロン・コレクター等）３につながれる。前記除しん
器３では排気ガスに含まれている粒子類を除去する。除
しん器３を出た排ガスは排気管４によりプラズマ反応容
器５に移送される。プラズマ反応容器５の電極は電源６
につながれている。またアンモニア供給装置１６は供給
管１７によりプラズマ反応容器５の入口部につながれる
。アンモニア供給装置１６はアンモニアを数！／ｓｉｎ
〜数１０１／■ｉｎの範囲の任意の設定値で供給する。
である汎用の燃焼炉ｌは、排気管２により除しん器（サ
イクロン・コレクター等）３につながれる。前記除しん
器３では排気ガスに含まれている粒子類を除去する。除
しん器３を出た排ガスは排気管４によりプラズマ反応容
器５に移送される。プラズマ反応容器５の電極は電源６
につながれている。またアンモニア供給装置１６は供給
管１７によりプラズマ反応容器５の入口部につながれる
。アンモニア供給装置１６はアンモニアを数！／ｓｉｎ
〜数１０１／■ｉｎの範囲の任意の設定値で供給する。
図中７は排ガス出口管である。
プラズマ反応器５は第２図に示すように筒形で、その内
に対向する紫外線透過性の石英ガラス、シリカガラス、
はうけい酸ガラス、アルミナけい酸ガラス等でできた側
壁１４ａ、 １４ｂを持っている。反応容器５の入口は
排気管４に、出口は排ガス出口管７につながれている。
に対向する紫外線透過性の石英ガラス、シリカガラス、
はうけい酸ガラス、アルミナけい酸ガラス等でできた側
壁１４ａ、 １４ｂを持っている。反応容器５の入口は
排気管４に、出口は排ガス出口管７につながれている。
また側壁１４ａの外側近傍に、同側壁１４ａに沿って第
１の電極１０が設けられる。同電極の内面は凹凸形状ま
たは鋸歯状になっている。なお、これらの上部の角はま
るめられ均一なプラズマかえられるようになっている。
１の電極１０が設けられる。同電極の内面は凹凸形状ま
たは鋸歯状になっている。なお、これらの上部の角はま
るめられ均一なプラズマかえられるようになっている。
さらに他方の側壁１４ｂの外側近傍に上記と同様に第２
の平板形電極１１が設けられる。電極１１の端面ば角が
とられ均一なプラズマかえられるようになっている。ま
た各電極１０．１１は電源６につながれている。さらに
電極１０．１１と側壁１４ａ、 １４ｂとの間の空隙部
は真空のバッファ層１２．１３となり、そこにはＡｒＦ
、 Ｆｚなどのフ・７素系ガスが０．１〜１ ａ＋ｍ
Ｈｇ程度で封入されている。
の平板形電極１１が設けられる。電極１１の端面ば角が
とられ均一なプラズマかえられるようになっている。ま
た各電極１０．１１は電源６につながれている。さらに
電極１０．１１と側壁１４ａ、 １４ｂとの間の空隙部
は真空のバッファ層１２．１３となり、そこにはＡｒＦ
、 Ｆｚなどのフ・７素系ガスが０．１〜１ ａ＋ｍ
Ｈｇ程度で封入されている。
以上の構成において、燃焼炉１の約５０〜２００ｐｐｍ
のＮＯｘ及び／又は約１１０００ｐｐのＳＯｘを含む排
ガスにはアンモニア供給装置１６からアンモニアが微量
に混入されて反応容器５に導入される。また電＃６から
電極１０．１１間に電圧が印加されると側壁１４ａ１４
ｂ間にはアンモニア入り排ガスのプラズマが発生する。
のＮＯｘ及び／又は約１１０００ｐｐのＳＯｘを含む排
ガスにはアンモニア供給装置１６からアンモニアが微量
に混入されて反応容器５に導入される。また電＃６から
電極１０．１１間に電圧が印加されると側壁１４ａ１４
ｂ間にはアンモニア入り排ガスのプラズマが発生する。
このプラズマはグロー放電プラズマであり、アンモニア
、ＮＯｘ及びＳＯｘなどのガス分子を励起及び解離させ
、化学的に活性な状態とする。それによって以下に述べ
る化学反応がひき起こされる。
、ＮＯｘ及びＳＯｘなどのガス分子を励起及び解離させ
、化学的に活性な状態とする。それによって以下に述べ
る化学反応がひき起こされる。
Ｎ）１３＋電子エネルギー約６．４ｅＶ →Ｎ１（ｚ＋
Ｈ・＝（３ａ）２ＮＯ２＋電子エネルギー約９．５ｅＶ
−＋２ＮＯ＋Ｏ□−（ｌａ）ＮＨ＋ Ｎｏ −＊
Ｎｚ＋ｌｈＯ−（４ａ）２ＮＨｚ ＋ ＳＯｚ −Ｓ
＋Ｎｚ＋２ＮｚＯ−（５ａ）上記の式は、プラズマ反応
容器５に導入された燃焼炉１の排ガス中のＮｏ、 Ｎｏ
□及びＳＯ□がＮＺ＋ Ｓ及びＨ２Ｏになることを意味
している。さらに上記グロー放電プラズマが発生すると
同時に、バッファ層１２及び１３内に封入されたＡｒＦ
が前記（３ａ）、 （ｌａ）式の化学反応を促進する波
長（１９３ｎｍ）で発光し、その光は側壁１４ａ、 １
４ｂを透過して、アンモニア入り排ガスに照射される。
Ｈ・＝（３ａ）２ＮＯ２＋電子エネルギー約９．５ｅＶ
−＋２ＮＯ＋Ｏ□−（ｌａ）ＮＨ＋ Ｎｏ −＊
Ｎｚ＋ｌｈＯ−（４ａ）２ＮＨｚ ＋ ＳＯｚ −Ｓ
＋Ｎｚ＋２ＮｚＯ−（５ａ）上記の式は、プラズマ反応
容器５に導入された燃焼炉１の排ガス中のＮｏ、 Ｎｏ
□及びＳＯ□がＮＺ＋ Ｓ及びＨ２Ｏになることを意味
している。さらに上記グロー放電プラズマが発生すると
同時に、バッファ層１２及び１３内に封入されたＡｒＦ
が前記（３ａ）、 （ｌａ）式の化学反応を促進する波
長（１９３ｎｍ）で発光し、その光は側壁１４ａ、 １
４ｂを透過して、アンモニア入り排ガスに照射される。
したがって、側壁１４ａ、 １４ｂの間ではグロー放電
プラズマに加えて上記バッファ層の発光により前記（３
ａ） 、 （ｌａ）式の化学反応が強力に促進されるの
で、排ガス流量を増大しても安定したＮＯｘ及びＳＯｘ
の除去が行える。
プラズマに加えて上記バッファ層の発光により前記（３
ａ） 、 （ｌａ）式の化学反応が強力に促進されるの
で、排ガス流量を増大しても安定したＮＯｘ及びＳＯｘ
の除去が行える。
このように本実施例の装置によれば、第５図に実線で示
すように１０００１／１１ｉｎ以上の排ガス流量でもＮ
Ｏｘ及びＳＯｘの除去率は低下せず処理可能である。点
線で示す従来例に比べ大幅に向上することが分る。
すように１０００１／１１ｉｎ以上の排ガス流量でもＮ
Ｏｘ及びＳＯｘの除去率は低下せず処理可能である。点
線で示す従来例に比べ大幅に向上することが分る。
又、ＮＯｘもＳＯｘも同し程度に除去される。
（２）本発明の第２実施例を第３図と第６図により説明
する。
する。
なお、従来例および第１実施例で説明した部分は、同一
の番号をっけ説明を省略し、この発明に関する部分を主
体に説明する。
の番号をっけ説明を省略し、この発明に関する部分を主
体に説明する。
第３図に示すように、第１実施例の第１の電極１０を平
板形の電極１０ａで置きかえたものである。
板形の電極１０ａで置きかえたものである。
図中１２ａ、 １３はバッファ層を示す。
以上の構成においては、ハファー層１２ａ、 １３部で
の発光の波長１９３″″の効果が大きく、第６図に実線
で示すようにＳＯｘとＮＯｘの除去率は５ＯｘＯ方が大
きくなる。
の発光の波長１９３″″の効果が大きく、第６図に実線
で示すようにＳＯｘとＮＯｘの除去率は５ＯｘＯ方が大
きくなる。
（３）本発明の第３実施例を第４図と第７図により説明
する。
する。
なお、上記第１、第２実施例で説明した部分は、同一の
番号をつけ説明を省略し、この発明に関する部分を主体
に説明する。
番号をつけ説明を省略し、この発明に関する部分を主体
に説明する。
第４図に示すように第１実施例の第２の電極ＩＩを凹凸
状または鋸歯状の電極１１ａで置きかえたものである。
状または鋸歯状の電極１１ａで置きかえたものである。
図中１２．１３ｂはバッファ層を示す。
以上の構成においては電極１１． ｌｌａ間でのグロー
放電の効果が大きく 、ＮＯｘ、 ＳＯｘの除去率は第
７図の実線で示すようにＮＯｘの方が大きくなる。
放電の効果が大きく 、ＮＯｘ、 ＳＯｘの除去率は第
７図の実線で示すようにＮＯｘの方が大きくなる。
以上に説明したように本発明の装置によれば、ＮＯｘお
よび／またはＳＯｘを含む大量の排ガスを高効率に除去
することができるようになる。また本発明の装置を多数
並列又は直列に設置すれば処理容量はさらに大幅に増加
できるので、大容量排ガスＮＯＸ及び／又はＳＯｘ除去
装置としての産業上の価値が著しく高い。
よび／またはＳＯｘを含む大量の排ガスを高効率に除去
することができるようになる。また本発明の装置を多数
並列又は直列に設置すれば処理容量はさらに大幅に増加
できるので、大容量排ガスＮＯＸ及び／又はＳＯｘ除去
装置としての産業上の価値が著しく高い。
第１図は本発明の第１実施例の全体系統図、第２図は同
実施例の反応容器部の縦断面図、第３図は本発明の第２
実施例の反応容器部の縦断面図、 第４図は本発明の第３実施例の反応容器部の縦断面図、 第５図は上記第１実施例の作用説明図、第６図は上記第
２実施例の作用説明図、第７図は上記第３実施例の作用
説明図、第８図は従来例の全体系統図、 第９図は同従来例の反応容器部の詳細図、第１０図は同
従来例の反応容器部の横断面図である。 １・・・燃焼炉、 ２・・・排気管。 ３・・・除しん器、 ４・・・排気管５・・・プラ
ズマ反応容器。 ６・・・電源、 ７・・・排ガス出口管１０．
１０ａ・−第１の電極、 １１．１１ｂ −・・第２の
電極１２．１２ａ １３，１３ｂ ・＝ハソファ層１４
ａ、１４ｂ・・・側壁、１６・・・アンモニア供給装置
１７・・・アンモニア供給管。
実施例の反応容器部の縦断面図、第３図は本発明の第２
実施例の反応容器部の縦断面図、 第４図は本発明の第３実施例の反応容器部の縦断面図、 第５図は上記第１実施例の作用説明図、第６図は上記第
２実施例の作用説明図、第７図は上記第３実施例の作用
説明図、第８図は従来例の全体系統図、 第９図は同従来例の反応容器部の詳細図、第１０図は同
従来例の反応容器部の横断面図である。 １・・・燃焼炉、 ２・・・排気管。 ３・・・除しん器、 ４・・・排気管５・・・プラ
ズマ反応容器。 ６・・・電源、 ７・・・排ガス出口管１０．
１０ａ・−第１の電極、 １１．１１ｂ −・・第２の
電極１２．１２ａ １３，１３ｂ ・＝ハソファ層１４
ａ、１４ｂ・・・側壁、１６・・・アンモニア供給装置
１７・・・アンモニア供給管。
Claims (1)
- グロー放電プラズマを用いて排ガス中の窒素酸化物及び
／又は硫黄酸化物を処理する装置において、対向した紫
外線透過性の側壁を持ちかつ入口及び出口を持つ筒状の
反応容器と、上記側壁の外面に沿って、同各側壁の近傍
にそれぞれ設けられる電極と、同各電極間に電圧を印加
する手段と、上記反応容器の入口部に結合されるアンモ
ニアの供給装置とを備え、上記各側壁および電極間にフ
ッ素系ガスを封入してなることを特徴とする、排ガス処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2106531A JPH047019A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2106531A JPH047019A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047019A true JPH047019A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14435975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2106531A Pending JPH047019A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047019A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0716558A3 (en) * | 1994-12-07 | 1996-08-28 | Ngk Insulators Ltd | Electrode structure and electric heating element comprising it |
| WO2000048685A1 (fr) * | 1999-02-17 | 2000-08-24 | Vladimir Vladimirovich Kostin | Procede de destruction de substances gazeuses hautement toxiques et, notamment, de substances toxiques militaires |
| WO2007061401A3 (en) * | 2004-08-16 | 2007-11-15 | Dana Uv Inc | Controlled spectrum ultraviolet radiation pollution control process |
| KR100854080B1 (ko) * | 2008-01-15 | 2008-08-25 | (주) 이이시스 | 상압 플라즈마를 이용한 배기가스 처리장치 |
-
1990
- 1990-04-24 JP JP2106531A patent/JPH047019A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0716558A3 (en) * | 1994-12-07 | 1996-08-28 | Ngk Insulators Ltd | Electrode structure and electric heating element comprising it |
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