JPH01236924A - グロー放電プラズマによる排ガス処理装置 - Google Patents
グロー放電プラズマによる排ガス処理装置Info
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- JPH01236924A JPH01236924A JP63063410A JP6341088A JPH01236924A JP H01236924 A JPH01236924 A JP H01236924A JP 63063410 A JP63063410 A JP 63063410A JP 6341088 A JP6341088 A JP 6341088A JP H01236924 A JPH01236924 A JP H01236924A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は発電プラント用ボイラー、ディーゼルエンジン
、ガスタービンおよび各種燃焼炉などから排出される排
気ガス中のＮＯｘおよび／またはＳＯＸを効果的にかつ
大容量除去することができるグロー放電プラズマによる
排ガス処理装置に関する。
、ガスタービンおよび各種燃焼炉などから排出される排
気ガス中のＮＯｘおよび／またはＳＯＸを効果的にかつ
大容量除去することができるグロー放電プラズマによる
排ガス処理装置に関する。
第６図および第７図は従来から用いられているグロー放
電プラズマによる排ガス処理装置の説明図である。この
装置により例えばディーゼルエンジンの排ガス中のＮＯ
ｘを処理する場合を例にとり説明する。
電プラズマによる排ガス処理装置の説明図である。この
装置により例えばディーゼルエンジンの排ガス中のＮＯ
ｘを処理する場合を例にとり説明する。
第６図において、ディーゼルエンジン１０１の排ガスを
排気管１０２を介してサイクロン・コレクター１０３に
通し、微粒子を除去した後、サイクロン・コレクター排
気管１０４を経由して、プラズマ反応容り、 １０５に
導入する。該プラズマ反応容器１０５は、第７図（ａ）
、 （ｂ） Ｋ詳細を示すように、筒状のガラス反ろ
容器１０９の内側に内部電極１１０．外側に外部電極１
１１を配設し、内部電極１１０および外部電極１１１に
電圧を印加する電源１０６により構成され、排ガスをプ
ラズマ化することによシ、排ガス中のＮＯｘを下記の原
理により、除去する。すなわち、該内部電極１１０と該
外部電極１１１０間に、電源１０６を用いて電圧を印加
すると、大気圧グロー放電現象で排ガスはプラズマ化さ
れる。そして、例えばＮＯ，は次の化学反応を起こす。
排気管１０２を介してサイクロン・コレクター１０３に
通し、微粒子を除去した後、サイクロン・コレクター排
気管１０４を経由して、プラズマ反応容り、 １０５に
導入する。該プラズマ反応容器１０５は、第７図（ａ）
、 （ｂ） Ｋ詳細を示すように、筒状のガラス反ろ
容器１０９の内側に内部電極１１０．外側に外部電極１
１１を配設し、内部電極１１０および外部電極１１１に
電圧を印加する電源１０６により構成され、排ガスをプ
ラズマ化することによシ、排ガス中のＮＯｘを下記の原
理により、除去する。すなわち、該内部電極１１０と該
外部電極１１１０間に、電源１０６を用いて電圧を印加
すると、大気圧グロー放電現象で排ガスはプラズマ化さ
れる。そして、例えばＮＯ，は次の化学反応を起こす。
２ＮＯ，→２ Ｎ Ｏ＋ Ｏ、（１１
２ＮＯ＋０．→Ｎ、、＋２０． ｆ２）なお、プ
ラズマは、外部電界によって加速された高エネルギー電
子がガス分子と衝突し、励起分子、励起原子、遊離基、
イオンおよび中性粒子などが混在し之電離気体であり、
上記（１）。
ラズマは、外部電界によって加速された高エネルギー電
子がガス分子と衝突し、励起分子、励起原子、遊離基、
イオンおよび中性粒子などが混在し之電離気体であり、
上記（１）。
（２）式では数ｅＶ乃至数１０ ｅＶのエネルギーを得
たＮＯｘが化学的に活性な種となって、複雑な反応を起
こし几結果として、ＮｔおよびＯ２になると考えられる
。
たＮＯｘが化学的に活性な種となって、複雑な反応を起
こし几結果として、ＮｔおよびＯ２になると考えられる
。
さて、上記のように、エンジンの排ガスを大気圧グロー
放電現象を利用して、プラズマ化すると、（ＮＯ＋ＮＯ
，）が５０〜２００ ｐｐｍ程度の遺産および３０ない
し６０Ａ／ｆＳ１１程度の流量の範囲では、プラズマ発
生電力すなわち電源１０６よυ供給される電力が数Ｗ乃
至数１０Ｗの範囲で、ＮＯｘ除去率が８０乃至９０チを
達成できる。
放電現象を利用して、プラズマ化すると、（ＮＯ＋ＮＯ
，）が５０〜２００ ｐｐｍ程度の遺産および３０ない
し６０Ａ／ｆＳ１１程度の流量の範囲では、プラズマ発
生電力すなわち電源１０６よυ供給される電力が数Ｗ乃
至数１０Ｗの範囲で、ＮＯｘ除去率が８０乃至９０チを
達成できる。
したがって、ボイラー、ガスタービンおよびディーゼル
エンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス公害対策装置
として活用されつつある。
エンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス公害対策装置
として活用されつつある。
しかしながら、従来の装置では、次のような欠点があり
、実用化が非常に国都であるという問題点かあつ友。
、実用化が非常に国都であるという問題点かあつ友。
（１１排ガス流１を３０〜６０Ａ／１Ｌ１１程度よりも
それ以上に増加させると、グロー放電プラズマが発生し
なくなり、ＮＯｘ除去ができなくなる。
それ以上に増加させると、グロー放電プラズマが発生し
なくなり、ＮＯｘ除去ができなくなる。
（２） ま＆、！極の大きさを排ガス流れ方向へ長く
すると、ＮＯ！除去効果が著しく低下する。
すると、ＮＯ！除去効果が著しく低下する。
（３） 上記（１１、＋２１の理由により、数１００
〜数１００，０００−０１ｍクラスの大容量排ガス処理
装置としての利用ができないので、産業上の価値が低い
。
〜数１００，０００−０１ｍクラスの大容量排ガス処理
装置としての利用ができないので、産業上の価値が低い
。
本発明はか＼る現状に鑑みなされたもので、排ガス中の
ＮＯｘ１度が５０〜２００ ｐｐｍ程度、５ＯＸＩＸ％
度が１００ ｐｐｍ程度の排ガスを１０００ｔ３／１′
ｌ１１８度の大流看で処理してもＮＯｘおよび／または
ＳＯｘの除去率が大きい大容量向けに適用できるグロー
放電プラズマによる排ガス処理装置を提供することを目
的としたものである。
ＮＯｘ１度が５０〜２００ ｐｐｍ程度、５ＯＸＩＸ％
度が１００ ｐｐｍ程度の排ガスを１０００ｔ３／１′
ｌ１１８度の大流看で処理してもＮＯｘおよび／または
ＳＯｘの除去率が大きい大容量向けに適用できるグロー
放電プラズマによる排ガス処理装置を提供することを目
的としたものである。
本発明はグロー放電プラズマを用いて排ガス中の窒素酸
化物および／または硫黄識化物を無害化する排ガス処理
装置において、両端が閉じられ側磯に開口部を有する誘
電体からなる筒状の反応容器と、前記反応容器内に同軸
に貫設さｎ周壁に複数個の穴を有する筒状内部電極と、
前記反応容器の外周を囲繞するように付設された外部電
極と、前記内部１！極に電気絶縁管を介して連結された
排ガス入口管と、前記徘ガス入口管に連結されたアンモ
ニア供給手段と、前記外部電極を貫通し前記反応容器の
開口部に連通する排ガス出口管と、前記内部電極および
外部電極にグロー放重用の電圧を印加する手段と？備え
たことを特徴とするグロー放電プラズマによる排ガス処
理装置を提案するものである。
化物および／または硫黄識化物を無害化する排ガス処理
装置において、両端が閉じられ側磯に開口部を有する誘
電体からなる筒状の反応容器と、前記反応容器内に同軸
に貫設さｎ周壁に複数個の穴を有する筒状内部電極と、
前記反応容器の外周を囲繞するように付設された外部電
極と、前記内部１！極に電気絶縁管を介して連結された
排ガス入口管と、前記徘ガス入口管に連結されたアンモ
ニア供給手段と、前記外部電極を貫通し前記反応容器の
開口部に連通する排ガス出口管と、前記内部電極および
外部電極にグロー放重用の電圧を印加する手段と？備え
たことを特徴とするグロー放電プラズマによる排ガス処
理装置を提案するものである。
このような構成の装置において化学反応を促進させるバ
ッファガス（緩衝ガス）として、排ガス中にアンモニア
をｇ食潰だけ混入させた後、反応容器において次の反応
奮起こさせる。
ッファガス（緩衝ガス）として、排ガス中にアンモニア
をｇ食潰だけ混入させた後、反応容器において次の反応
奮起こさせる。
ＮＨ，→ＮＨ，＋Ｈ
２ＮＯ，→ ２ＮＯ＋Ｏ。
ＮＨ，＋ Ｎｏ −’ Ｎ、＋Ｈ，０２Ｎ Ｈ，
＋ Ｓ Ｏ，→ Ｓ＋Ｎ、＋２Ｈ，０マ之プラズマの発
生を安定化させる手段として、反応容器に貫設された内
部電極の周壁く穴をあけてグロー放電を安定化させる。
＋ Ｓ Ｏ，→ Ｓ＋Ｎ、＋２Ｈ，０マ之プラズマの発
生を安定化させる手段として、反応容器に貫設された内
部電極の周壁く穴をあけてグロー放電を安定化させる。
このように上記内部電極の穴からＮＯｘおよび／または
ＳＯｘとＮＨ，を含んだガスを吐出させながら、内部電
極と外部電極との間に電圧を印加し、（Ｎ Ｏｘ ＋
ＮＨ＊ ）ガスおよび／または（Ｓ Ｏｘ ＋Ｎ Ｈ＝
）ガスのプラズマを発生させる。
ＳＯｘとＮＨ，を含んだガスを吐出させながら、内部電
極と外部電極との間に電圧を印加し、（Ｎ Ｏｘ ＋
ＮＨ＊ ）ガスおよび／または（Ｓ Ｏｘ ＋Ｎ Ｈ＝
）ガスのプラズマを発生させる。
本発明の装置によれば化学反応を促進させるバッファガ
スとしてのアンモニアの存在と、内部電極に開口した穴
の存在によるプラズマの安定化により、排ガス流ｉｔ増
大してもＮＯｘおよび／またけＳＯｘの除去率は低下せ
ず処理容ぢ゛を増大させることができる。
スとしてのアンモニアの存在と、内部電極に開口した穴
の存在によるプラズマの安定化により、排ガス流ｉｔ増
大してもＮＯｘおよび／またけＳＯｘの除去率は低下せ
ず処理容ぢ゛を増大させることができる。
本発明に係る１実施例の装置７１全第１図乃至第３図に
より説明する。
より説明する。
第１図において１は汎用の燃焼炉で排気ガス公害対策を
講じる念めの対象物である。２は、上記汎用の燃焼炉１
の排ガスを除しん器（サイクロン・コレクター等）３に
移送する排気管、前記除しん器３では、排気ガスに含ま
れている粒子類を除去する。４Ｆｉ上記除しん器３の排
ガスをプラズマ反応器５に移送する排気管、６は上記プ
ラズマ反応器５の電極にプラズマ発生電力を印加する電
源、７ａ、７ｂｔ′ｉプラズマ反応器５に連結され念排
ガス出力管、また、１６はアンモニアを数１３／ｆ１１
乃至数１０Ａ／１ｍの範囲の任意の設定値で、排出Ｗ４
に連結されたアンモニア供給管１７を介して、排ガス入
口Ｉα１８に供給するアンモニア供給装置である。
講じる念めの対象物である。２は、上記汎用の燃焼炉１
の排ガスを除しん器（サイクロン・コレクター等）３に
移送する排気管、前記除しん器３では、排気ガスに含ま
れている粒子類を除去する。４Ｆｉ上記除しん器３の排
ガスをプラズマ反応器５に移送する排気管、６は上記プ
ラズマ反応器５の電極にプラズマ発生電力を印加する電
源、７ａ、７ｂｔ′ｉプラズマ反応器５に連結され念排
ガス出力管、また、１６はアンモニアを数１３／ｆ１１
乃至数１０Ａ／１ｍの範囲の任意の設定値で、排出Ｗ４
に連結されたアンモニア供給管１７を介して、排ガス入
口Ｉα１８に供給するアンモニア供給装置である。
第２図および第３図によりプラズマ反応器５について詳
細に説明する。なお、第３図は第２図のｍ−■線に沿う
断面図である。
細に説明する。なお、第３図は第２図のｍ−■線に沿う
断面図である。
すなわち、両端が閉じられ側壁に開口部を有する筒状の
反応容器９内には筒状の内部電極１０が貫設され、かつ
同内部電極１０の周壁には複数個の穴１２が穿孔されて
ｂる。
反応容器９内には筒状の内部電極１０が貫設され、かつ
同内部電極１０の周壁には複数個の穴１２が穿孔されて
ｂる。
また、上記反応容器９の外周には、外部電極１１が反応
容器９を囲繞して設けられ、さらに上記外部電極１１を
虞通し上記反応容器９の側壁に開口した開口部に排ガス
出力管’ｉａ、７ｂが連結されている。
容器９を囲繞して設けられ、さらに上記外部電極１１を
虞通し上記反応容器９の側壁に開口した開口部に排ガス
出力管’ｉａ、７ｂが連結されている。
上記反応容器９は、ガラスで形成されている。
本実施例ではガラス裂反応容器の例を示し比が、これに
限定されるものではなく、セラミックス等の誘電体であ
れば圧電のものが使用できる。
限定されるものではなく、セラミックス等の誘電体であ
れば圧電のものが使用できる。
１８は排ガス入口管で電気絶縁物管１３を介して上記内
部電極１０に連結されている。
部電極１０に連結されている。
このような構成のプラズマ反応器５において排気管４に
アンモニアがアンモニア供給管１７から供給され・燃焼
炉１の排ガスおよびアンモニアガスは、電気絶縁物管１
３を介して内部電極１０の穴１２を通って、反応容器９
内に導入され、電源６から各電極に電圧が印加され前記
の反応により無害化され処理後の排ガスは排ガス出口管
７ｍ 、７ｂから外部に排出される。
アンモニアがアンモニア供給管１７から供給され・燃焼
炉１の排ガスおよびアンモニアガスは、電気絶縁物管１
３を介して内部電極１０の穴１２を通って、反応容器９
内に導入され、電源６から各電極に電圧が印加され前記
の反応により無害化され処理後の排ガスは排ガス出口管
７ｍ 、７ｂから外部に排出される。
さて、第１図において燃焼炉１で発生したＮＯ！および
ＳＯｘを含む排ガスを、排気管２を介して除じん器３に
移送し、除しん器３で排ガス中の粒子類を除去し、この
排ガスを排気管４゜プラズマ反応器５の排ガス入口管１
８および電気絶縁物管１３を介して、内部電極１０内に
導入する。排ガスは内部電極１０に開口し之穴１２を介
し、反応容器９を通って、排ガス出口管７ｈ、７ｂから
外部へ排出される。一方、アンモニアはアンモニア供給
装置１１６からアンモニア供給管１７および排ガス入口
管１８を介して、数１／膓乃至数１０−ｅ／ｌの流量で
内部電％１０の穴１２を経由して反応容器９に導入され
る。
ＳＯｘを含む排ガスを、排気管２を介して除じん器３に
移送し、除しん器３で排ガス中の粒子類を除去し、この
排ガスを排気管４゜プラズマ反応器５の排ガス入口管１
８および電気絶縁物管１３を介して、内部電極１０内に
導入する。排ガスは内部電極１０に開口し之穴１２を介
し、反応容器９を通って、排ガス出口管７ｈ、７ｂから
外部へ排出される。一方、アンモニアはアンモニア供給
装置１１６からアンモニア供給管１７および排ガス入口
管１８を介して、数１／膓乃至数１０−ｅ／ｌの流量で
内部電％１０の穴１２を経由して反応容器９に導入され
る。
他方、プラズマ発生用の電源６から、内部電極１０およ
び外部電極１１に電力を供給すると、内部電極１０およ
び外部電極１１０間に存在するアンモニア入り排ガスの
プラズマが発生する。
び外部電極１１に電力を供給すると、内部電極１０およ
び外部電極１１０間に存在するアンモニア入り排ガスの
プラズマが発生する。
このプラズマは、グロー放電プラズマであり、アンモニ
ア、ＮＯｘおよびＳＯｘなどのガス分子を励起および解
離させ、化学的に活性な状態とする。それによって、以
下に述べる化学反応がひき起こされる。
ア、ＮＯｘおよびＳＯｘなどのガス分子を励起および解
離させ、化学的に活性な状態とする。それによって、以
下に述べる化学反応がひき起こされる。
ＮＨ，子電子エネルギー約６．４ ｅＶ ４ Ｎ Ｈ，
＋ Ｈ−（３）２ＮＯ１十電子エネルギー約９．５ ｅ
Ｖ→２ Ｎ Ｏ＋Ｏｔ・ｆ４）ＮＨ，＋ＮＯ−＋Ｎ、
＋ Ｈ，Ｏ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（５）２ＮＨ＊＋ＳＯ１→Ｓ十幽＋２ Ｈ，Ｏ
・・・・・・・・・・・・・・・（６）上記（３）〜（
６）の式は、プラズマ反応器、５に導入された燃焼炉１
の排ガスのＮＯ，ＮｏｔおよびＳＯ９がＮ、、Ｓおよび
Ｈ，Ｏになることを意味してｂる。
＋ Ｈ−（３）２ＮＯ１十電子エネルギー約９．５ ｅ
Ｖ→２ Ｎ Ｏ＋Ｏｔ・ｆ４）ＮＨ，＋ＮＯ−＋Ｎ、
＋ Ｈ，Ｏ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（５）２ＮＨ＊＋ＳＯ１→Ｓ十幽＋２ Ｈ，Ｏ
・・・・・・・・・・・・・・・（６）上記（３）〜（
６）の式は、プラズマ反応器、５に導入された燃焼炉１
の排ガスのＮＯ，ＮｏｔおよびＳＯ９がＮ、、Ｓおよび
Ｈ，Ｏになることを意味してｂる。
本実施例の装置て得たＮ０ｘ（５０〜２００ｐｐｍおよ
びＳ Ｏｘ （約１０１００ｐＩ）の除去状況を第４図
および第５図に示す。
びＳ Ｏｘ （約１０１００ｐＩ）の除去状況を第４図
および第５図に示す。
第４図はＮＯｘ除去率と排ガス流量との関係を示すグラ
フである。
フである。
第４図から明らかなように従来の装置では処理可能な排
ガス流量は１００．８／１？＋１橿度でおるが、本実施
例の装置の場合は１００ＯＡ／１１７１の排ガス流量で
もＮＯｘの除去率は低下せず処理可能である。
ガス流量は１００．８／１？＋１橿度でおるが、本実施
例の装置の場合は１００ＯＡ／１１７１の排ガス流量で
もＮＯｘの除去率は低下せず処理可能である。
ま九、第５図はＳＯＸ除去率と排ガス流量との関係を示
すグラフである。
すグラフである。
第５図から明らかなように、排ガス流量が１００−６／
’７１程度までは処理可能であるが、本実施例の装置の
場合１ｏｏｏｉ／＝の排ガス流量でもＳＯｘの除去率は
低下せず処理可能である。このように本実施例の装置に
よれば、従来の約１０倍もの処理容量が得られる。なお
、本実施例ではＮＯｘおよびＳＯｘを含む排ガスの処理
の例を示し念が、ＮＯｘのみあるい＃１ＳＯｘのみを含
む排ガスの処理にも適用可能である。
’７１程度までは処理可能であるが、本実施例の装置の
場合１ｏｏｏｉ／＝の排ガス流量でもＳＯｘの除去率は
低下せず処理可能である。このように本実施例の装置に
よれば、従来の約１０倍もの処理容量が得られる。なお
、本実施例ではＮＯｘおよびＳＯｘを含む排ガスの処理
の例を示し念が、ＮＯｘのみあるい＃１ＳＯｘのみを含
む排ガスの処理にも適用可能である。
本発明の装置によれば、従来装置では不可能であつ九懲
焼炉で発生する約５０ないし２００ｐｐｍのＮＯＸおよ
び／または約１００ ｐｐｍのＳＯｘを含む排ガスを流
［１００ないし１．０００Ａ／ｍ程度まで処理すること
ができる。本発明の装置を多数並列に設置すれば容量は
さらに大＠に増加できるので、大容量排ガスＮＯｘおよ
び／またはＳＯＸ除去装置としての産業上の価値ｌ著し
く高い。
焼炉で発生する約５０ないし２００ｐｐｍのＮＯＸおよ
び／または約１００ ｐｐｍのＳＯｘを含む排ガスを流
［１００ないし１．０００Ａ／ｍ程度まで処理すること
ができる。本発明の装置を多数並列に設置すれば容量は
さらに大＠に増加できるので、大容量排ガスＮＯｘおよ
び／またはＳＯＸ除去装置としての産業上の価値ｌ著し
く高い。
第１図は本発明の１実施例の装［を用いた排ガス処理装
置の工程図、第２図は本発明の１実施例の装置の説明図
、第３図は第２図に示した実施例の装置の断面図、第４
図は排ガス流量とＮＯｘ除去率との関係を表わすグラフ
、第５図は排ガス流量とＳＯｘ除去率との関係を表わす
グラフ、第６図は従来の装置を用いた排ガス処理装置の
工程図、第７図は従来のグロー放電プラズマによる排ガ
ス処理装置の説明図である。 １・−・＠焼炉、２・・・排気管、３・・・除じん器、
４・・・排気管、５・・・プラズマ反応器、６・・・電
源、７ａ、７ｂ・・・排ガス出口管、９−・・反応容器
、ｌＯ・・・内部電極、１１・・・外部電極、１２・・
・穴、１３・・・電気絶縁管、１６・・・アンモニア供
給装置、１７・・・アンモニア供給管、１８・・・排ガ
ス入口管。 代理人 弁理士 坂 間 暁 外２名第３に 第４閃 カドカス膚鰻１（）／−−バ２） 躬５呂 ０２θθ φｚ６０θ シθ ｌχθＲＩｉ
ｊ）’ＸＩＬ−’７ （！／−ｃｍ）Ａｑ回 （紗 ７１υ
置の工程図、第２図は本発明の１実施例の装置の説明図
、第３図は第２図に示した実施例の装置の断面図、第４
図は排ガス流量とＮＯｘ除去率との関係を表わすグラフ
、第５図は排ガス流量とＳＯｘ除去率との関係を表わす
グラフ、第６図は従来の装置を用いた排ガス処理装置の
工程図、第７図は従来のグロー放電プラズマによる排ガ
ス処理装置の説明図である。 １・−・＠焼炉、２・・・排気管、３・・・除じん器、
４・・・排気管、５・・・プラズマ反応器、６・・・電
源、７ａ、７ｂ・・・排ガス出口管、９−・・反応容器
、ｌＯ・・・内部電極、１１・・・外部電極、１２・・
・穴、１３・・・電気絶縁管、１６・・・アンモニア供
給装置、１７・・・アンモニア供給管、１８・・・排ガ
ス入口管。 代理人 弁理士 坂 間 暁 外２名第３に 第４閃 カドカス膚鰻１（）／−−バ２） 躬５呂 ０２θθ φｚ６０θ シθ ｌχθＲＩｉ
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Claims (1)
- グロー放電プラズマを用いて排ガス中の窒素酸化物およ
び／または硫黄酸化物を無害化する排ガス処理装置にお
いて、両端が閉じられ側壁に開口部を有する誘電体から
なる筒状の反応容器と、前記反応容器内に同軸に貫設さ
れ周壁に複数個の穴を有する筒状の内部電極と、前記反
応容器の外周を囲繞するように付設された外部電極と、
前記内部電極に電気絶縁管を介して連結された排ガス入
口管と、前記排ガス入口管に連結されたアンモニア供給
手段と、前記外部電極を貫通し前記反応容器の開口部に
連通する排ガス出口管と、前記内部電極および外部電極
にグロー放電用の電圧を印加する手段とを備えたことを
特徴とするグロー放電プラズマによる排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063410A JPH01236924A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グロー放電プラズマによる排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063410A JPH01236924A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グロー放電プラズマによる排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01236924A true JPH01236924A (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=13228497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63063410A Pending JPH01236924A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グロー放電プラズマによる排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01236924A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102170958A (zh) * | 2009-11-16 | 2011-08-31 | 浙江大学 | 用于电晕放电烟气治理的自由基喷射电离装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63063410A patent/JPH01236924A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102170958A (zh) * | 2009-11-16 | 2011-08-31 | 浙江大学 | 用于电晕放电烟气治理的自由基喷射电离装置 |
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