JPH0469162A - 磁気ヘッドピース集合体の研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、治具の上に磁気ヘッドピース集合体を取付け
、取付は面とは反対側の磁気ヘッドピース集合体の端面
を研磨する研磨方法に関し、両側における磁気ヘッドピ
ース及び中間部に位置する磁気ヘッドピースの少なくと
も３点において、端面から加工マークまでの距離を測定
し、測定値から３点を含む曲線を想定し、曲線に関し磁
気ヘッドピースの各加工マークの距離の総和を最小とす
るような直線を求め、直線上の中間点を基準にして研磨
することにより、研磨量を客観的、合理的に設定し、１
つの磁気ヘッドピース集合体から得られるヘッドピース
数を増大させて歩留りを向上させ得るようにした磁気ヘ
ッドピース集合体の研磨方法を提供できるようにしたも
のである。

〈従来の技術〉 磁気ヘッドピース集合体の研磨技術としては、例えば、
特開平５１−１５３２６４号公報、特開平１−１５３２
６５号公報等に記載されたものが知られている。基本的
には、治具の上に磁気ヘラにピース集合体を取付け、取
付は面とは反対側の磁気ヘッドピース集合体の端面を研
磨し、所定のスロートハイド（ギャップデイブス）を得
るものである。磁気ヘッドピース集合体は、セラミック
支持体の上に複数の磁気ヘッドピースを一方向に間隔を
隔てて整列しである。磁気ヘッドピースの各々は、被研
磨面となる端面側にポール部が位置していて、ポール部
の所定位置を表示する加工マークを有している。

磁気ヘッドピースを支持するセラミック支持体は、μｍ
隼位ではあるが、歪による撓みを生じるにの撓みのため
に、磁気ヘッドピースの位置、特にポール部のスロート
ハイド位置が、個々の磁気ヘッドピースによって異なっ
た状態となる。そこで、加工マークを目印にし、所定の
スロートハイドとなるように研磨する。研磨に当って、
従来は、作業員の経験と勘によって、加工マークから見
て、どの位置まで研磨すれば、最も歩留りよく製造でき
るかを判断していた。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述したように、従来は、作業員の経験と勘によって研
磨位置を判断していたために、作業員の個人差を生じ易
いこと、作業性が悪く、量産性に欠けること、歩留変動
が大きくなること等の問題があった。

そこで、本発明の課題は上述する従来の問題点を解決し
、研磨量を客観的、合理的に設定し、１つの磁気ヘッド
ピース集合体から得られるヘッドピース数を増大させて
歩留りを向上させ得るようにした磁気ヘッドピース集合
体の研磨方法を提供することである。

く課題を解決するための手段〉 上述した課題解決のため、本発明は、治具の上に磁気ヘ
ッドピース集合体を取付け、前記取付は面とは反対側の
前記磁気ヘッドピース集合体の端面を研磨する研磨方法
であって、 前記磁気ヘッドピース集合体は、セラミック支持体の上
に複数の磁気ヘッドピースを一方向に間隔を隔てて整列
してあり、 前記磁気ヘッドピースの各々は、前記端面側にポール部
が位置していて、前記ポール部に対して所定の位置関係
を保って設けられた加工マークを有しており、 前記磁気ヘッドピースの整列方向の両側における磁気ヘ
ッドピース及び中間部に位置する磁気ヘッドピースの少
なくとも３点において、前記端面から前記加工マークま
での距離を測定し、前記測定値から前記３点を含む曲線
を想定し、前記曲線に関し、前記磁気ヘッドピースの各
加工マークの距離の総和を最小とするような直線を求め
、 前記直線上の中間点を基準にして研磨すること を特徴とする。

く作用〉 磁気ヘッドピースの整列方向の両側における磁気ヘッド
ピース及び中間部に位置する磁気ヘッドピースの少なく
とも３点において、端面から加工マークまでの距離を測
定し、測定値から３点を含む曲線を想定する。得られた
曲線は、加工マークの包絡線であるとみることができる
。加工マークは、ポール部に対して所定の位置関係を保
って設けられており、従って、加工マークを基準にして
、得ようとするスロートハイドを間接的に算出できる。

曲線は、３点の場合は２次曲線となり、４点以上の場合
は３次曲線となる。

次に、曲線に関し、磁気ヘッドピースの各加工マークの
距離の総和を最小とするような直線を求める。各加工マ
ークの距離は間接的にスロートバイトを表示している。

従って、各加工マークの距離の総和を最小とすることは
、実買的に磁気ヘツドピースの各スロートハイドの総和
を最小とすることに相当する。

次に、上述のようにして得られた直線上の中間点を基準
にして研磨する。これにより、研磨前の治具固定及び研
磨時の偏研磨による影響を最小にし、一つの磁気ヘッド
ピース集合体から得られるヘッドピースの数を増大させ
、歩留を上げることがで鮒る。

〈実施例〉 第１図〜第３図は本発明に係る磁気ヘッドピース集合体
の研磨方法を示す図である。第１図において、１は治具
、２は磁気ヘッドピース集合体である。磁気ヘッドピー
ス集合体２は、治具１の上に接着等の手段によって取付
けられており、取付面２Ａとは反対側の端面２Ｂが研磨
される。

磁気ヘッドピース集合体２は、スライダ部材となるセラ
ミック構造体２ｏを共用して、複数の磁気ヘッドピース
Ｑｌ−Ｑｌ、を一方向に整列して形成したものである。

磁気ヘッドピースＱ１〜Ｑｎの各々は、端面２Ｂ側にポ
ール部が位置してぃて、ポール部に対して所定の位置関
係で設けられた加工マーク２１を有している。磁気ヘッ
ドピースＱ１〜Ｑｎの数は任意数である。

磁気ヘッドピースＱ＋〜Ｑｎのそれぞれは、１個または
２個のトランスデユーサを有している。

第４図はトランスデユーサ部分の平面拡大部分破断面図
、第５図は第４図Ａ１−Ａｔ＆ｉ上における断面図であ
る。第４図及び第５図は構造の概略を示すために用いら
れているもので、各部寸法は誇張して係れており、必ず
しも一致していない。

２０はセラミック構造体で、＾ｈｏ３−ＴｉＣ等から構
成された基体部分２０１及びその上に形成されたアルミ
ナ等の絶縁膜２０２を有している。２２は下部磁性膜、
２３はアルミナ等でなるギャップ膜、２４は眉間絶縁膜
、２５はコイル膜、２６は上部磁性膜、２７はアルミナ
等の保護膜、２８．２９はリード導体であり、これらは
集積回路技術によって形成されている。下部磁性膜２２
及び上部磁性膜２６は、端面２Ｂの方向に延びるポール
部２２１．２６１をそれぞれ有すると共に、ポール部２
２１．２６１の後方にヨーク部２２２．２６２を有し、
ヨーク部２２２．２６２の後方領域を、磁気回路を完成
するように互いに結合した構造となっている。コイル膜
２５は、結合部の周りを渦巻状に回るように配置されて
いる。

加工マーク２１は磁気ヘッドピースＱ、〜Ｑｎ（Ｄポー
）Ｌ、部２２１．２６１の側部に設けられている。ポー
ル部２２１．２６１は、所定の電磁変換特性が得られる
ように、スロートハイドＴＨを定めなければならない、
スロートハイドＴＨは端面２Ｂの研磨によって定められ
るが、その研磨時の基準として、加工マーク２１が利用
される。第４図及び′ｓ５図の符号△Ｐは研磨量を示し
ている。

再び、３４１図〜第３図を参照して説明する。磁気ヘッ
ドピースＱｌ−Ｑ、の整列方向の両側における磁気ヘッ
ドピースＱｉ、Ｑ−及び中間部に位置する磁気ヘッドピ
ース。、の少なくとも３点ａ〜Ｃにおいて、端面２Ｂか
ら加工マーク２１までの距１１１　Ｌ　ａ〜Ｌｃを測定
する。測定点は、上述の３点９　％　ｃを含んで更に多
く設定することもできる。測定は例えば光学的加工マー
ク検出装置によって行なわれる。距１１１Ｌａ−Ｌｃの
測定前に研磨される面２Ｂは平面度の高い面となるよう
に研削しておく。

上述のようにして得られた測定値Ｌａ”−Ｌｃから、３
点Ｂ−（を含む２次曲線ｆ１を想定する。

得られた２次曲線ｆ、は、各磁気ヘッドピースＱ　ｌ−
Ｑ　ｒｌに含まれる加工マーク２１の包絡線であるとみ
ることかできる。加工マーク２１は、ポール部２２１．
２６１に対して所定の位置関係を保って設けられており
（第４図及び第５図参照）、従って、加工マーク２１を
基準にして、得ようとするスロートハイドＴＨを間接的
に算出できる。

次に、第３図に示すように、２次曲線ｆ、に関し、磁気
ヘッドピースＱ＋−Ｑｎの各加工マーク２１の距Ｍ　Ｊ
Ｚ　ｌ〜１ｏの総和 Σ（１□十に、＋・・・＋ｊ２．） を最小とするような直線ｆ２を求める。各加工マーク２
１の距離１１〜１ｎは間接的にスロートハイドＴＨを表
示している。従って、各加工マーク２１の距１！Ｉ　ｔ
ｉｔ　１〜Ａｎの総和を最小とすることは、実質的に磁
気ヘッドピースＱｌ−Ｑｎの各スロートハイドの総和を
最小とすることに相当する。そして、このとき直線ｆ２
を基準にして、（＋）側、（−）側にスロートハイド許
容幅±△ＴＨ（第３図参照）をとった場合、許容幅△Ｔ
Ｈ内に含まれるスローバイトＴＨを有する磁気ヘッドピ
ースの数が最も多くなる。これは数学的論理に基づく。

測定値Ｌａ＝Ｌｃからの２次曲線ｆ１の想定及び直線ｆ
２の設定は、コンピュータによるデータ処理によって実
現できる。

次に、上述のようにして得られた直線ｆ２上の中間点Ｃ
０を基準にして研磨する。これにより、研磨前の治具固
定及び研磨時の偏研磨による影響を最小にし、一つの磁
気ヘッドピース集合体２から得られる磁気ヘッドピース
の数を増大させ、歩留を上げることができる。

第６図及び第７図は研磨の具体例を示している。図にお
いて、３は回転体である。回転体３は図示しないモータ
等により、矢印で示すａ、方向に回転駆動される。この
回転体３は、例えば錫等の軟質金属部材を用いて円板状
に形成された研磨部材３１の背面に、例えばステンレス
等の金属材料によって円板状に形成された支持部材３２
を、接着剤３３によって一体的に面接合させである。

支持部材３２は、スズ等の軟質金属材料で構成されてい
て機械的強度の不充分な研磨部材３１を支持するために
設けられたものである。

研磨に当っては、回転体３を矢印ａ１方向に面回転させ
、かつ、研磨部材３１の表面（イ）にダイヤモンド粒子
等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材３１の表面（
イ）に磁気ヘッドピース集合体２の下面を接触させる。

治具１は矢印す、またはｂ２で示す回転半径方向に平行
移動させ、研磨部材３１の表面（イ）の全面で研磨が行
なわれるようにする。矢印ａ２は治具１及び磁気ヘッド
ピース集合体２の自転の方向を示している。

上述の研磨装置で研磨する場合に、第３図で説明したよ
うに、直線ｆ２上の中間点ｃ０を基準にして研磨する。

治具１の構造及び磁気ヘッドピース集合体２の取付技術
に関しては、前掲の特開平５１−１５３２６４号公報、
特開平１−１５３２６５号公報等に記載された技術が適
用できる。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明は、治具の上に磁気ヘッドピ
ース集合体を取付け、取付は面とは反対側の磁気ヘッド
ピース集合体の端面を研磨する研磨方法であって、磁気
ヘッドピースの整列方向の両側における磁気ヘッドピー
ス及び中間部に位置する磁気ヘッドピースの少なくとも
３点において、端面から加工マークまでの距離を測定し
、測定値から３点を含む曲線を想定し、曲線に関し磁気
ヘッドピースの各加工マークの距離の総和を最小とする
ような直線を求め、直線上の中間点を基準にして研磨す
るようにしたから、１つの磁気ヘッドピース集合体から
得られるヘッドピース数を増大させて歩留りを向上させ
得るようにした磁気ヘッドピース集合体の研磨方法を提
供することかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明に係る磁気ヘッドピース集合体
の研磨方法を示す図、第４図はトランスデユーサ部分の
平面拡大部分破断面図、第５図は第４図Ａ、−Ａ、線上
における断面図、第６図及び第７図は研磨の具体例を示
す図である。 １・・・治具 ２・・・磁気ヘッドピース集合体 Ｑ、〜Ｑｎ　・・・磁気ヘッドピース

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）治具の上に磁気ヘッドピース集合体を取付け、前
   記取付け面とは反対側の前記磁気ヘッドピース集合体の
   端面を研磨する研磨方法であって、 前記磁気ヘッドピース集合体は、セラミック支持体の上
   に複数の磁気ヘッドピースを一方向に間隔を隔てて整列
   してあり、 前記磁気ヘッドピースの各々は、前記端面側にポール部
   が位置していて、前記ポール部に対して所定の位置関係
   を保って設けられた加工マークを有しており、 前記磁気ヘッドピースの整列方向の両側における磁気ヘ
   ッドピース及び中間部に位置する磁気ヘッドピースの少
   なくとも３点において、前記端面から前記加工マークま
   での距離を測定し、前記測定値から前記３点を含む曲線
   を想定し、 前記曲線に関し、前記磁気ヘッドピースの各加工マーク
   の距離の総和を最小とするような直線を求め、 前記直線上の中間点を基準にして研磨すること を特徴とする磁気ヘッドピース集合体の研磨方法。