JPH0468545U - - Google Patents
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- JPH0468545U JPH0468545U JP11170190U JP11170190U JPH0468545U JP H0468545 U JPH0468545 U JP H0468545U JP 11170190 U JP11170190 U JP 11170190U JP 11170190 U JP11170190 U JP 11170190U JP H0468545 U JPH0468545 U JP H0468545U
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- JP
- Japan
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- header
- gate
- metal layer
- via hole
- electrodes
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
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- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図、第２図はこの考案の一実施例である電
界効果トランジスタのチツプの断面図およびチツ
プの組立状態を示す断面図、第３図、第４図は従
来のＧａＡｓ ＭＥＳ ＦＥＴのチツプの断面図
およびチツプの組立状態を示す断面図である。 図において、１は半導体基板、２はソース電極
、３はゲート電極、４はドレイン電極、５は貫通
孔、６は厚めつき層、７，８はめつき引出し電極
、９はマイクロ波用ヘツダー、１０ははんだ材、
１１は誘電体基板、１２はソース電極端子、１３
はゲート電極端子、１４はドレイン電極端子を示
す。尚、図中、同一符号は同一、または相当部分
を示す。
界効果トランジスタのチツプの断面図およびチツ
プの組立状態を示す断面図、第３図、第４図は従
来のＧａＡｓ ＭＥＳ ＦＥＴのチツプの断面図
およびチツプの組立状態を示す断面図である。 図において、１は半導体基板、２はソース電極
、３はゲート電極、４はドレイン電極、５は貫通
孔、６は厚めつき層、７，８はめつき引出し電極
、９はマイクロ波用ヘツダー、１０ははんだ材、
１１は誘電体基板、１２はソース電極端子、１３
はゲート電極端子、１４はドレイン電極端子を示
す。尚、図中、同一符号は同一、または相当部分
を示す。
Claims (1)
- 性質の異なる複数の電極を有する半導体チツプ
とマイクロ波用ヘツダーに形成された電極端子或
いはヘツダーに付加された、表面に所望の電極パ
ターンを有する誘電体基板との結合媒体が、ソー
ス電極部においてはバイアホール及びバイアホー
ルに充填された金属層であり、ゲート及びドレイ
ン電極部においては、該電極上に連結して形成さ
れためつき引出し金属層である事を特徴とする電
界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11170190U JPH0468545U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11170190U JPH0468545U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468545U true JPH0468545U (ja) | 1992-06-17 |
Family
ID=31859171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11170190U Pending JPH0468545U (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0468545U (ja) |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP11170190U patent/JPH0468545U/ja active Pending
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