JPH046851A - マスクパターンの基準寸法確認方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、集積回路設計のマスクパターンの確認処理（
Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃｈｅｃｋ）に関し、特にＤ
ｅｓｉｇｎＲｕｌｅ　Ｃｈｅｃｋで発生するエラーデー
タの真のエラーと擬似的なエラーとを区別する確認方法
に関する。

〔従来の技術〕

Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃｈｅｃｋを実行する為の処
理の流れは、第４図で示す様にマスクデータ作画装置よ
り出力されたオリジナルデータをＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１
ｅ　Ｃｈｅｃｋに入力し、その結果として出力されるエ
ラーデータを図面やマスクデータ作画装置の画面で確認
するという方法を行なっているが、従来、この結果とし
て出力されるエラーデータには、オリジナル特有のエラ
ーデータ（真のエラー）と、既にチェック済で問題の無
いエラーデータ（擬似エラー）とが混在したものとなっ
ていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のマスクパターンの基準寸法確認方法では
Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃｈｅｃｋ結果のエラーデー
タが、真のエラーと擬似エラーとが混在したものとなっ
ているので、この混在したエラーデータを人手によって
判別し、真のエラーのみを確認するといった方法をとっ
ていた。この為、真のエラーと擬似エラーとの判別を間
違えて、真のエラーを見のがしてしまうという欠点や、
圧力されるエラーデータの量が多い為に、エラー発生の
原因となった部分を見つけ出す事が出来ないという欠点
があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、マスクパターンにおける各々の図形の内部寸
法、外部寸法が基準の寸法以上あるかを確認する処理（
Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃｈｅｃｋ）において、あら
かじめ設計済の旧マスクパターンで発生したエラーデー
タを登録するステップと、必要データの入力ステップ、
共通セルエラーデータと照合するステップ、エラーデー
タで構成されたマスクパターンを作成するステップの３
つのステップで構成されたマスクパターンデータの幅付
けを行なうステップ、オリジナルデータの基準寸法チェ
ック後のエラーデータに対する幅付けを行なうステップ
、論理演算を行なうステップの３つのステップで構成さ
れるオリジナルのＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃｈｅｃｋ
結果の中から、確認済のエラーの差し引きを行なうステ
ップを有する。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第６図は、擬似エラー発生原因の大部分である、４５度
単位でおり曲った線分について説明した図面である。Ｘ
、Ｙ軸に各々平行な線分５は、一定の格子１１を必ず通
過する様に引かれており、常に間隔８は一定となる。し
かし、４５度に曲った線分７が間隔８と同一間隔１ｏを
保持する場合、４５度に曲った線分７は格子１１の上を
通過出来ない為、４５度に曲った線分７は最も近い格子
に平行移動し、線分６の位置に置かれる。これにより、
線分６０間隔は、間隔８と同一な間隔１ｏの寸法にはな
らず、間隔１ｏの寸法とは一致しない、間隔９の寸法と
なる。この間隔１０の寸法と、間隔９の寸法との差は微
少な誤差であるが、絶対値で指定される基準寸法とは一
致しない為、擬似エラーとして出力される。この擬似エ
ラーについて、設計直後は全て確認しなければならない
が、１度確認してしまえば、２度目以降は確認せずとも
済むものである。そこで、共通に利用する図形データの
集まり（セルと呼ぶ）で擬似エラー確認法のデータをフ
ンピユータの補助記憶装置に登録し登録されたエラーデ
ータを使って、オリジナルのＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　
Ｃｈｅｃｋｚラーから確認済の擬似エラーを取り除く。

この作業を説明したのが、第１図のシステムフローであ
る。

マスクパターン作画装置で作成された、擬似エラーが確
認済の共通セルデータをＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅＣｈｅ
ｃｋに入力し、発生した全てのエラーをコンピュータの
補助記憶装置に登録する。この登録された共通セルのエ
ラーデータに対し、個々に作成されたオリジナルデータ
の座標データをもとにデータの入れ替えを行なう。この
処理を行なう為のプログラムが、第２図のフローチャー
トである。

このプロクラムは３つの部分に大キく分かレテおり、必
要データの入力ステップ、共通セルエラーデータと照合
するステップ、エラーデータで構成すしたマスクパター
ンを作成するステップがある。

必要データの入力ステップでは、補助記憶装置に登録さ
れた共通セルのエラーデータを作業用のファイルに読み
込む。次に読み込まれたデータの中から、セル単位で検
索し、セル名（セルに付けられた独自の名前）のみを抽
出する。

次に、共通セルエラーデータと照合するステップでは、
オリジナルデータを先頭がら読み込み、読み込まれたデ
ータがセルのデータが否かを判定する。ここでセルのデ
ータでないと判定された場合には、次のオリジナルデー
タを読み込みに行き、セルデータと判定された場合には
、オリジナルセルノセル名ヲ見て、既に検索された共通
セルのエラーデータのセル名と比較する。比較時に同一
のセル名が存在しない場合には、次のオリジナルデータ
を読込みに行く。エラーデータで構成されたマスクパタ
ーンの作成ステップでは、オリジナルデータの中からセ
ルの原点座標と、セルが配置された時に回転して配置さ
れた時に発生する回転角度の２つのデータを抽出する。

次に抽出された原点座標と回転角度を同一のセル名をも
つ共通セルのエラーデータ中のセルデータに代入する。

代入されたセルデータは、新しいファイルに蓄積され、
オリジナルデータの同じ位置に共通セルのエラーデータ
が配置される。この処理をオリジナルデータの終わりま
で続ける。

次に、オリジナルデータのＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１ｅ　Ｃ
ｈｅｃｋ結果の中から確認済のエラーの差し引きを行な
う。この処理を行なう為のプログラムが第３図のフロー
チャートである。本プログラムは始めに、線分に対する
幅付は寸法を設定する。これは差し引き可能となる図形
は幅を持つ図形が対象となる為、Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１
ｅ　Ｃｈｅｃｋで出力される線分を幅を持つ図形に変更
する為に用いられる。

次に、第２図のプログラムで作成された、共通セルのエ
ラーデータで構成されたマスクパターンデータを読込む
。読込まれたデータは、幅の有るデータか、幅の無いデ
ータかの判定が行なわれる。

この場合、幅の有るデータと、幅の無いデータとでは、
図形を構成する座標の格納方法が異なる為、この違いを
もって判定する。判定時に幅の有るデータの場合は、次
のデータを読込みにゆくが、幅の無いデータと判定され
た場合は、線分データの頂点座標を抽出する。次に抽出
された座標データの前に、幅付は寸法を付加する。次に
線分データ時は幅の無いデータとしてのフラグが設定さ
れている為、幅の有るデータとしてのフラグに変更し、
線分データが格納されていた領域に変更後のデータと入
れ替える。この処理をエラーデータで構成されたマスク
パターンデータが終了するまで繰り返し処理される。次
に、オリジナルデータに対し、基準寸法チェックされた
後のエラーデータを読込む。読込まれたデータは、幅の
有るデータか、幅の無いデータかの判定が行なわれる。

判定時に幅の有るデータの場合は、次のデータを読込み
にゆくが、幅の無いデータと判定された場合は、線分デ
ータの頂点座標を抽出する。次に抽出された座標データ
の前に、幅付は寸法を付加する。次に線分データ時は幅
の無いデータのフラグが設定されている為、幅の有るデ
ータとしてのフラグに変更し、線分データが格納されて
いた領域に変更後のデータと入れ替える。この処理をオ
リジナルデータに対し、基準寸法チェックされた後のエ
ラーデータが終了するまで繰り返し処理される。

次に上述で幅付は処理された２つのデータ間で図形同志
が論理演算処理される。この論理演算の中では、幅付け
されたオリジナルデータのエラーデータから、幅付けさ
れたエラーデータで構成されたマスクパターンデータを
差し弓く。この処理により、既に確認済のエラーデータ
は全て除かれ、オリジナルデータ特有のエラーデータの
みが抽出される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、オリジナルデータに対し
、基準寸法チェックされた後のエラーデータから、既に
確認済のエラーデータを差し引き処理することにより、
処理結果として出力されるエラーデータには、セルとセ
ルとを結ぶ配線図形のエラーと、セルとセルとの重ね合
わせに関スるエラーと、新規に作成したセルのエラーの
みとなる為、擬似エラーで発生する確認済のエラーとの
判別は全く不用となり、判別の為に要していた確認時間
は不用とする事ができる効果がある。

第２点として、確認済のエラーが全く出力されない事に
より、本来確認しなければならないエラーを見のがす事
が無いという効果がある。

第３点として、出力されるエラーデータの数が削減され
た為に、エラー箇所の検索が速く出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のシステムフローチャートで
ある。第２図は、共通セルのエラーデータで構成された
マスクパターンを作成する一実施例のフローチャートで
ある。第３図は、オリジナルデータの基準寸法エラーデ
ータから、既に確認法の共通セルエラーデータで構成さ
れたマスクパターンを差し引く処理の一実施例のフロー
チャートである。第４図は、従来行なっていたマスクパ
ターンにおける基準寸法確認方法の一実施例のシステム
フローチャートである。第５図はＸ、Ｙ軸に各々平行な
図形と４５度に曲った図形に対してＤｅｓｉｇｎ　Ｒｕ
１ｅ　Ｃｈｅｃｋを実旅した時の入力図形とその出力結
果である。 １・・・・・・マスクパターンの図形、２・・・・・・
垂直・水平方向のチェック間隔、３・・・・・・４５度
方向のチェック間隔、４−−−・Ｄｅｓｉｇｎ　Ｒｕ１
ｅ　Ｃｈｅｃｋ後のエラー出力図形であり、基準寸法と
しては２のチェック間隔を指定した場合である。尚、マ
スクパターン作画装置では、２の間隔と、３の間隔寸法
は同じ値で指定したものとする。 第６図は、垂直・水平方向の図形間隔と、４５度に曲り
だ図形間隔の不一致を表わした一例である。 ５・・・・・・垂直・水平方向の図形、６・・・・・・
４５度に曲った時の図形、７・・・・・・４５度に曲っ
た時に垂直・水平方向時の間隔を守った時の図形、８・
・・・・・垂直・水平方向の図形間隔、９・・・・・・
４５度に曲りだ時の図形間隔、ｌＯ・・・・・・４５度
に曲った時に垂直・水平方向時の間隔、１１・・印・Ｘ
−Ｙ方向に一律の間隔で設定された格子。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 循 図 ト 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　マスクパターンにおける各々の図形の内部寸法、外部
   寸法が基準の寸法以上あるかを確認する処理において、
   あらかじめ、設計済の旧マスクパターンで発生したエラ
   ーデータを登録するステップと、必要データの入力ステ
   ップ、共通セルエラーデータと照合するステップ、エラ
   ーデータで構成されたマスク・パターンを作成するステ
   ップの３ステップで構成される登録データの入れ替えス
   テップと、エラーデータで構成されたマスクパターンデ
   ータの幅付けを行なうステップ、オリジナル・データの
   基準寸法チェック後のエラーデータに対する幅付けを行
   なうステップ、論理演算を行なうステップの３ステップ
   で構成されるオリジナルの確認結果の中から、確認済の
   エラーの差し引きを行なうステップを有することを特徴
   とするマスクパターンの基準寸法確認方法。