JP3095475B2 - マスクパターンの検査方法 - Google Patents
マスクパターンの検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩ等のマスクパター
ンを電子計算機を用いて検査するマスクパターンの検査
方法に関するものである。
ンを電子計算機を用いて検査するマスクパターンの検査
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩの大規模化、高集積化に伴
い、その設計や検査にはＣＡＤ（Computer Aided Desig
n ）システムの利用が不可欠なものとのなっている。マ
スクパターンの検査を行うＣＡＤシステムにおいては、
マスクパターンの幾何学的な設計規則検査ＤＲＣ（Desi
gn Rule Checking）を行うツールが必要である。この設
計基準検査ＤＲＣを行うツールは製造プロセス毎の最小
幅、最小間隔といった設計基準項目をもとに、対象とな
る層の図形間で計算及び判定を行い、規準に違反する箇
所を検索する処理を行う。このように設計規準検査ＤＲ
Ｃを行うツールは非常に多くの図形を取扱うため高速に
検索処理を行うことが要求される。
い、その設計や検査にはＣＡＤ（Computer Aided Desig
n ）システムの利用が不可欠なものとのなっている。マ
スクパターンの検査を行うＣＡＤシステムにおいては、
マスクパターンの幾何学的な設計規則検査ＤＲＣ（Desi
gn Rule Checking）を行うツールが必要である。この設
計基準検査ＤＲＣを行うツールは製造プロセス毎の最小
幅、最小間隔といった設計基準項目をもとに、対象とな
る層の図形間で計算及び判定を行い、規準に違反する箇
所を検索する処理を行う。このように設計規準検査ＤＲ
Ｃを行うツールは非常に多くの図形を取扱うため高速に
検索処理を行うことが要求される。
【０００３】このため従来は、ワークリスト法（Baird
H.S. and Cho Y.E. 「Artwork Design Verification Sy
stem」Proc. 12th DA Conf., 1975, pp414〜420 参照）
が用いられている。このワークリスト法を用いた従来の
マスクパターン検査法を、最小幅検査を例にとって説明
する。最小幅検査とは、マスクパターンの層が構成する
図形（閉図形）に対して最小幅（デザインルール値とも
いう）が与えられ、このデザインルール値より小さな幅
を有する箇所があるか否かを検査するものである。各閉
図形には識別のための番号（閉図形番号という）が振ら
れる。又閉図形は境界線分によって決定される。この境
界線分は境界線分に沿って動いていったときにその閉図
形の領域が右側に有るように向きがつけられている。そ
して、この境界線分の向きを示す方向フラグの値が、図
１０に示すように、縦軸方向（Ｙ軸方向）に対しては±
１、横軸方向（Ｘ軸方向）に対しては±２、斜め方向に
対しては±３と与えられる。
H.S. and Cho Y.E. 「Artwork Design Verification Sy
stem」Proc. 12th DA Conf., 1975, pp414〜420 参照）
が用いられている。このワークリスト法を用いた従来の
マスクパターン検査法を、最小幅検査を例にとって説明
する。最小幅検査とは、マスクパターンの層が構成する
図形（閉図形）に対して最小幅（デザインルール値とも
いう）が与えられ、このデザインルール値より小さな幅
を有する箇所があるか否かを検査するものである。各閉
図形には識別のための番号（閉図形番号という）が振ら
れる。又閉図形は境界線分によって決定される。この境
界線分は境界線分に沿って動いていったときにその閉図
形の領域が右側に有るように向きがつけられている。そ
して、この境界線分の向きを示す方向フラグの値が、図
１０に示すように、縦軸方向（Ｙ軸方向）に対しては±
１、横軸方向（Ｘ軸方向）に対しては±２、斜め方向に
対しては±３と与えられる。
【０００４】したがって例えば図１１に示す斜線部の閉
図形に対しては、境界線分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥ，Ｅ
Ｆ，ＦＡの順、及び境界線分ＧＨ，ＨＩ，ＩＪ，ＪＧの
順に向きが与えられ、各々の方向フラグの値は＋１，＋
２，＋１，＋３，−１，−２，及び＋２，＋１，−２，
−１となっている。これらの各境界線分に関するデータ
の集まり、即ち閉図形番号、境界線分の２端点の座標、
方向フラグなどからなるレコードが境界線分ファイル１
（図９参照）に記憶されている。なお、境界線分の２端
点の座標は、この２端点をＰ1 （ｘ1 ，ｙ1 ），Ｐ
2 （ｘ2 ，ｙ2 ）とすると、条件 ｘ1 ＜ｘ2 か、 又はｘ1 ＝ｘ2 かつｙ1 ＜ｙ2 のときに座標（ｘ1 ，ｙ1 ），（ｘ2 ，ｙ2 ）の順に記
録されている。即ち、２端点のｘ座標が同一でないとき
は境界線分の左端の点の座標、ｘ座標が同一のときは下
端の点の座標が１番目に記憶され、他の端点の座標が次
に記録されることになる。例えば図１１においては、境
界線分ＡＦは、端点Ａの座標、端点Ｆの座標の順に記録
され、境界線分ＡＢは端点Ａの座標、端点Ｂ座標の順に
記録されることになる。以下、２端点のうち１番目に記
録される端点を左下の端点と呼び、他の端点を右上の端
点と呼ぶ。境界線分ファイル１に記録されている各境界
線分のレコードは、閉図形番号、左下の端点のｘ座標
値、ｙ座標値の順にソートされている。なお、右上の端
点の座標値はソートには関係せず、左下の端点が同じ点
となる複数の境界線分は入力順にソートされることとな
る。したがって、図１１に示す閉図形の場合、境界線分
ＡＢが境界線分ＡＦに較べて先に境界線分ファイル１に
入力されたとすれば、境界線分ファイル１内では、境界
線分ＡＢ，ＡＦ，ＢＣ，ＧＪ，ＧＨ，ＪＩ，ＣＤ，Ｄ
Ｅ，ＨＩ，ＦＥの順にソートされることになる。
図形に対しては、境界線分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥ，Ｅ
Ｆ，ＦＡの順、及び境界線分ＧＨ，ＨＩ，ＩＪ，ＪＧの
順に向きが与えられ、各々の方向フラグの値は＋１，＋
２，＋１，＋３，−１，−２，及び＋２，＋１，−２，
−１となっている。これらの各境界線分に関するデータ
の集まり、即ち閉図形番号、境界線分の２端点の座標、
方向フラグなどからなるレコードが境界線分ファイル１
（図９参照）に記憶されている。なお、境界線分の２端
点の座標は、この２端点をＰ1 （ｘ1 ，ｙ1 ），Ｐ
2 （ｘ2 ，ｙ2 ）とすると、条件 ｘ1 ＜ｘ2 か、 又はｘ1 ＝ｘ2 かつｙ1 ＜ｙ2 のときに座標（ｘ1 ，ｙ1 ），（ｘ2 ，ｙ2 ）の順に記
録されている。即ち、２端点のｘ座標が同一でないとき
は境界線分の左端の点の座標、ｘ座標が同一のときは下
端の点の座標が１番目に記憶され、他の端点の座標が次
に記録されることになる。例えば図１１においては、境
界線分ＡＦは、端点Ａの座標、端点Ｆの座標の順に記録
され、境界線分ＡＢは端点Ａの座標、端点Ｂ座標の順に
記録されることになる。以下、２端点のうち１番目に記
録される端点を左下の端点と呼び、他の端点を右上の端
点と呼ぶ。境界線分ファイル１に記録されている各境界
線分のレコードは、閉図形番号、左下の端点のｘ座標
値、ｙ座標値の順にソートされている。なお、右上の端
点の座標値はソートには関係せず、左下の端点が同じ点
となる複数の境界線分は入力順にソートされることとな
る。したがって、図１１に示す閉図形の場合、境界線分
ＡＢが境界線分ＡＦに較べて先に境界線分ファイル１に
入力されたとすれば、境界線分ファイル１内では、境界
線分ＡＢ，ＡＦ，ＢＣ，ＧＪ，ＧＨ，ＪＩ，ＣＤ，Ｄ
Ｅ，ＨＩ，ＦＥの順にソートされることになる。
【０００５】このようにソートされた境界線分ファイル
１と、ワークリスト（主メモリ上のテーブル）５を用い
た最小幅検査は次のステップによって行う。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードすなわち検査線分がなくなるまで繰り返
す。 ステップ２：ワークリスト５内に記憶されている境界線
分データの中で、ステップ１で取り出された検査線分３
と近接する境界線分のデータを検索し、近接する境界線
分がある場合はこの近接する境界線分のデータを検査対
象線分として検査対象線分群９に選出し、ワークリスト
５内で検査対象領域から外れて不要となった境界線分デ
ータを削除線分として削除線分群１０に出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９内の各境
界線分との間の距離を求め、最小幅の検査を検査部１２
（図９参照）において行う。このとき、最小幅（デザイ
ンルール値）以下の幅である場合は、エラーファイル１
３にその位置及び図形情報等を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータをワー
クリスト５内に記憶させる。 なお、ワークリスト５内では、境界線分データは境界線
分ファイル１と同様にしてソートされているものとす
る。
１と、ワークリスト（主メモリ上のテーブル）５を用い
た最小幅検査は次のステップによって行う。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードすなわち検査線分がなくなるまで繰り返
す。 ステップ２：ワークリスト５内に記憶されている境界線
分データの中で、ステップ１で取り出された検査線分３
と近接する境界線分のデータを検索し、近接する境界線
分がある場合はこの近接する境界線分のデータを検査対
象線分として検査対象線分群９に選出し、ワークリスト
５内で検査対象領域から外れて不要となった境界線分デ
ータを削除線分として削除線分群１０に出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９内の各境
界線分との間の距離を求め、最小幅の検査を検査部１２
（図９参照）において行う。このとき、最小幅（デザイ
ンルール値）以下の幅である場合は、エラーファイル１
３にその位置及び図形情報等を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータをワー
クリスト５内に記憶させる。 なお、ワークリスト５内では、境界線分データは境界線
分ファイル１と同様にしてソートされているものとす
る。
【０００６】ステップ２における近接データの検索は、
まず各境界線分及び検査線分３に対してデザインルール
値λに基づいて図１２に示す要領で各線分の外包矩形を
作成する。次に、検査線分３の外包矩形に対して、ワー
クリスト５内の境界線分の外包矩形が重なり部分を有す
るかどうかを検査し、重なり部分を有する外包矩形の境
界線分データを上記検査線分３の近接データとする。
又、ワークリスト５内の境界線分データの外包矩形が例
えば図１３の矩形ａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，ａ4 ，ａ5 で、検
査線分３の外包矩形がａ6 の場合は、ステップ２におけ
る検査対象領域は図１３に示す斜線部となり、外包矩形
ａ1 ，ａ4 に対応する境界線分が削除対象線分となる。
まず各境界線分及び検査線分３に対してデザインルール
値λに基づいて図１２に示す要領で各線分の外包矩形を
作成する。次に、検査線分３の外包矩形に対して、ワー
クリスト５内の境界線分の外包矩形が重なり部分を有す
るかどうかを検査し、重なり部分を有する外包矩形の境
界線分データを上記検査線分３の近接データとする。
又、ワークリスト５内の境界線分データの外包矩形が例
えば図１３の矩形ａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，ａ4 ，ａ5 で、検
査線分３の外包矩形がａ6 の場合は、ステップ２におけ
る検査対象領域は図１３に示す斜線部となり、外包矩形
ａ1 ，ａ4 に対応する境界線分が削除対象線分となる。
【０００７】ステップ３における、検査線分３と検査対
象線分との間の距離検査は、方向フラグを調べることに
より二線分間の領域に閉図形の領域が存在することを確
認し、検査対象線分３の始点及び終点と、検査線分との
間のそれぞれの距離を求め、これらの値をデザインルー
ル値と比較することによって行う。一般にステップ３は
ステップ２に比べて処理時間を多く要するが、ステップ
２において検査対象線分が絞り込まれることにより、ス
テップ３における処理時間はそれほど多く必要としな
い。即ち、全処理時間の性能の善し悪しはステップ２の
ワークリストを中心とした処理にほとんど依存している
ことが言える。
象線分との間の距離検査は、方向フラグを調べることに
より二線分間の領域に閉図形の領域が存在することを確
認し、検査対象線分３の始点及び終点と、検査線分との
間のそれぞれの距離を求め、これらの値をデザインルー
ル値と比較することによって行う。一般にステップ３は
ステップ２に比べて処理時間を多く要するが、ステップ
２において検査対象線分が絞り込まれることにより、ス
テップ３における処理時間はそれほど多く必要としな
い。即ち、全処理時間の性能の善し悪しはステップ２の
ワークリストを中心とした処理にほとんど依存している
ことが言える。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ワークリスト処理は一
般的に、ワークリスト内に境界線分データが溜まりすぎ
ると効率が悪くなる。ワークリスト内に多くのデータが
溜まるケースは、Ｘ軸方向に長い線分が沢山あり、それ
らがワークリストからなかなか削除されないことにより
起こる。このようなケースに対して、従来の検査方法で
は、検査対象領域（ワークリスト領域ともいう）のＹ軸
方向を細かく分割することが行われている。この場合、
分割を細かくしすぎると、Ｙ軸方向に長い線分は複数の
領域にまたがるケースが多くなり、これらの線分を領域
分だけ分割し、それぞれ別々に処理することが必要とな
る。これはワークリストの線分数を増加させるばかりで
なく、分割した各領域の境界の近傍データに対して、隣
接するもの同士での検査を必要とし、処理時間の改善は
あまりされず、かえって時間のかかるケースが生じる。
般的に、ワークリスト内に境界線分データが溜まりすぎ
ると効率が悪くなる。ワークリスト内に多くのデータが
溜まるケースは、Ｘ軸方向に長い線分が沢山あり、それ
らがワークリストからなかなか削除されないことにより
起こる。このようなケースに対して、従来の検査方法で
は、検査対象領域（ワークリスト領域ともいう）のＹ軸
方向を細かく分割することが行われている。この場合、
分割を細かくしすぎると、Ｙ軸方向に長い線分は複数の
領域にまたがるケースが多くなり、これらの線分を領域
分だけ分割し、それぞれ別々に処理することが必要とな
る。これはワークリストの線分数を増加させるばかりで
なく、分割した各領域の境界の近傍データに対して、隣
接するもの同士での検査を必要とし、処理時間の改善は
あまりされず、かえって時間のかかるケースが生じる。
【０００９】以上のように従来の検査方法を用いて、Ｘ
軸方向、Ｙ軸方向に長い線分が多く存在するＬＳＩのマ
スクパターンの図形を検査しようとすると多くの処理時
間がかかってしまう。本発明は上記事情を考慮してなさ
れたものであって、ＬＳＩのマスクパターンを可及的に
高速に検査することのできるマスクパターンの検査方法
を提供することを目的とする。
軸方向、Ｙ軸方向に長い線分が多く存在するＬＳＩのマ
スクパターンの図形を検査しようとすると多くの処理時
間がかかってしまう。本発明は上記事情を考慮してなさ
れたものであって、ＬＳＩのマスクパターンを可及的に
高速に検査することのできるマスクパターンの検査方法
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のマスクパターン
の検査方法は、境界線分のデータを記憶するワークリス
トを、少なくともＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、及
び斜め線分用の３種類のワークリストに分割する第１の
ステップと、マスクパターンの閉図形に関する境界線分
情報のレコードを所定の順序でソートして記憶している
境界線分ファイルから、所定の規則に基づいてソート順
に１レコード取り出し、この取り出したレコードの境界
線分を検査線分とする第２のステップと、前記検査線分
の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分割され複数の
ワークリストから検索対象ワークリストを決定し、この
決定された検索対象ワークリスト内の境界線分のデータ
の中で前記検査線分に近接する境界線分のデータを検索
し、この検索された近接する境界線分のデータを検査対
象線分群として選出し、前記検索対象ワークリスト内で
検査対象領域から外れた境界線分のデータを削除線分の
データとして前記検索対ワークリストから削除する第３
のステップと、前記検査線分と前記検査対象線分群の各
線分との間の距離を求め、この求められた距離が所定値
より小さいかどうかを検査する第４のステップと、前記
第４のステップの検査が済んだ前記検査線分のデータ
を、この検査線分の傾きに対応するワークリスト内に記
憶させる第５のステップと、前記境界線分ファイルから
取り出すべきレコードがなくなるまで前記第２から第５
のステップを繰り返す第６のステップと、を備えている
ことを特徴とする。
の検査方法は、境界線分のデータを記憶するワークリス
トを、少なくともＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、及
び斜め線分用の３種類のワークリストに分割する第１の
ステップと、マスクパターンの閉図形に関する境界線分
情報のレコードを所定の順序でソートして記憶している
境界線分ファイルから、所定の規則に基づいてソート順
に１レコード取り出し、この取り出したレコードの境界
線分を検査線分とする第２のステップと、前記検査線分
の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分割され複数の
ワークリストから検索対象ワークリストを決定し、この
決定された検索対象ワークリスト内の境界線分のデータ
の中で前記検査線分に近接する境界線分のデータを検索
し、この検索された近接する境界線分のデータを検査対
象線分群として選出し、前記検索対象ワークリスト内で
検査対象領域から外れた境界線分のデータを削除線分の
データとして前記検索対ワークリストから削除する第３
のステップと、前記検査線分と前記検査対象線分群の各
線分との間の距離を求め、この求められた距離が所定値
より小さいかどうかを検査する第４のステップと、前記
第４のステップの検査が済んだ前記検査線分のデータ
を、この検査線分の傾きに対応するワークリスト内に記
憶させる第５のステップと、前記境界線分ファイルから
取り出すべきレコードがなくなるまで前記第２から第５
のステップを繰り返す第６のステップと、を備えている
ことを特徴とする。
【００１１】
【作用】このように構成された本発明のマスクパターン
検査方法によれば、ワークリストが少なくとも３種類の
ワークリスト、すなわちＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分
用、斜め線分用のワークリストに分割される。そして境
界線分ファイルから検査線分が取り出され、この検査線
分の傾きに基づいて検索対象ワークリストが決定され、
この検索対象ワークリスト内の境界線分のデータの中で
検査線分に近接するものが検査対象線分群として選出さ
れるとともに、検査対象領域から外れた境界線分のデー
タが削除線分のデータとしてワークリストから削除され
る。そして、検査線分と検査対象線分群の各線分との距
離が求められ、この距離が所定値より小さいかどうかが
検査される。これにより、ワークリスト内のデータが従
来に比べて少なくなるので検索回数を減らすことが可能
となり、これにより、ＬＳＩマスクパターンを可及的に
検査することができる。
検査方法によれば、ワークリストが少なくとも３種類の
ワークリスト、すなわちＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分
用、斜め線分用のワークリストに分割される。そして境
界線分ファイルから検査線分が取り出され、この検査線
分の傾きに基づいて検索対象ワークリストが決定され、
この検索対象ワークリスト内の境界線分のデータの中で
検査線分に近接するものが検査対象線分群として選出さ
れるとともに、検査対象領域から外れた境界線分のデー
タが削除線分のデータとしてワークリストから削除され
る。そして、検査線分と検査対象線分群の各線分との距
離が求められ、この距離が所定値より小さいかどうかが
検査される。これにより、ワークリスト内のデータが従
来に比べて少なくなるので検索回数を減らすことが可能
となり、これにより、ＬＳＩマスクパターンを可及的に
検査することができる。
【００１２】
【実施例】本発明によるマスクパターン検査方法の第１
の実施例を図１乃至図６を参照して説明する。図１は本
発明による検査方法を、最小幅の検査処理に用いた場合
の処理概要を示す図である。互いに垂直な境界線分は最
小幅の検査を行う必要がないからこの実施例において
は、ワークリストは従来と異なりＸ軸平行線分用ワーク
リスト５ａ、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ、斜め線
分用ワークリスト５ｃの３種類に分けられている。な
お、境界線分ファイル１におけるデータの構成、及び検
査部１２における処理は従来と同様である。
の実施例を図１乃至図６を参照して説明する。図１は本
発明による検査方法を、最小幅の検査処理に用いた場合
の処理概要を示す図である。互いに垂直な境界線分は最
小幅の検査を行う必要がないからこの実施例において
は、ワークリストは従来と異なりＸ軸平行線分用ワーク
リスト５ａ、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ、斜め線
分用ワークリスト５ｃの３種類に分けられている。な
お、境界線分ファイル１におけるデータの構成、及び検
査部１２における処理は従来と同様である。
【００１３】Ｘ軸平行線分用ワークリスト５ａは、境界
線分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうち
Ｘ軸（横軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形
番号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶
している。Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂは、境界線
分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうちＹ
軸（縦軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形番
号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶し
ている。斜め線分用ワークリスト５ｃは、Ｘ軸にもＹ軸
にも平行でない境界線分のデータを、閉図形番号、左下
端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶している。
線分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうち
Ｘ軸（横軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形
番号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶
している。Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂは、境界線
分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうちＹ
軸（縦軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形番
号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶し
ている。斜め線分用ワークリスト５ｃは、Ｘ軸にもＹ軸
にも平行でない境界線分のデータを、閉図形番号、左下
端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶している。
【００１４】次に本実施例の作用を説明する。本実施例
の最小幅検査処理は以下のステップ１によって行われ
る。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードがなくなるまで繰り返す。 ステップ２：取り出した境界線分データの傾きを調べ、
この傾きと後述の所定のルールに基づいて、検索対象の
ワークリスト内の境界線分データの中で、ステップ１で
取り出した検査線分３に近接する境界線分データを検索
し、近接する境界線分がある場合は検査対象線分として
検査対象線分群９に出力し、検索した結果、検索対象ワ
ークリスト内で検査対象領域から外れて不要となる境界
線分データを削除線分として削除して削除線分群１０に
出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９との間の
距離を求め、最小幅の検査を検査部１２において行う。
この時、最小幅すなわちデザインルール値以下の幅であ
る場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情報等
を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータを、検
査線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させる。
の最小幅検査処理は以下のステップ１によって行われ
る。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードがなくなるまで繰り返す。 ステップ２：取り出した境界線分データの傾きを調べ、
この傾きと後述の所定のルールに基づいて、検索対象の
ワークリスト内の境界線分データの中で、ステップ１で
取り出した検査線分３に近接する境界線分データを検索
し、近接する境界線分がある場合は検査対象線分として
検査対象線分群９に出力し、検索した結果、検索対象ワ
ークリスト内で検査対象領域から外れて不要となる境界
線分データを削除線分として削除して削除線分群１０に
出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９との間の
距離を求め、最小幅の検査を検査部１２において行う。
この時、最小幅すなわちデザインルール値以下の幅であ
る場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情報等
を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータを、検
査線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させる。
【００１５】なお、ステップ２における近接データの検
索は、例えば図２に示すルールに基づいて行う。まず、
求められた検査線分３の傾きがＸ軸（横軸）に平行であ
るかどうかを検査し（図２のステップＦ２１参照）、平
行であればＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ及び斜め線
分用ワークリスト５ｃを検索対象ワークリストとし、こ
の検索対象ワークリスト内の境界線分データの中で検査
線分３に近接する境界線分のデータを検索する（図２の
ステップＦ２２参照）。Ｘ軸に平行でなければ、検査線
分３の傾きがＹ軸（縦軸）に平行であるかどうかを検査
し（図２のステップＦ２３参照）、Ｙ軸に平行であれば
Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ及び斜線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
４参照）。検査線分３の傾きがＸ軸にもＹ軸にも平行で
ない場合は、Ｘ軸平行線分用ワークリスト５ａ及びＹ軸
平行線分用ワークリスト５ｂ並びに斜め線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
５参照）。又、上記検索対象ワークリスト内の境界線分
のデータと検査線分３のデータが近接しているかどうか
は、従来の場合と同様に、各線分の外包矩形を作成し、
これらの外包矩形に基づいて行う。
索は、例えば図２に示すルールに基づいて行う。まず、
求められた検査線分３の傾きがＸ軸（横軸）に平行であ
るかどうかを検査し（図２のステップＦ２１参照）、平
行であればＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ及び斜め線
分用ワークリスト５ｃを検索対象ワークリストとし、こ
の検索対象ワークリスト内の境界線分データの中で検査
線分３に近接する境界線分のデータを検索する（図２の
ステップＦ２２参照）。Ｘ軸に平行でなければ、検査線
分３の傾きがＹ軸（縦軸）に平行であるかどうかを検査
し（図２のステップＦ２３参照）、Ｙ軸に平行であれば
Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ及び斜線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
４参照）。検査線分３の傾きがＸ軸にもＹ軸にも平行で
ない場合は、Ｘ軸平行線分用ワークリスト５ａ及びＹ軸
平行線分用ワークリスト５ｂ並びに斜め線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
５参照）。又、上記検索対象ワークリスト内の境界線分
のデータと検査線分３のデータが近接しているかどうか
は、従来の場合と同様に、各線分の外包矩形を作成し、
これらの外包矩形に基づいて行う。
【００１６】したがって、例えば図３に示すような閉図
形の場合は、境界線分ａ8 ，ａ7 ，ａ1 ，ａ6 ，ａ5 ，
ａ4 ，ａ3 ，ａ2 の順にソートされて境界線分ファイル
１に記憶されている。今、図４に示す閉図形において、
境界線分ａ5 が境界線分ファイル１から検査線分として
取り出された場合を考えると、この時境界線分ａ8 ，ａ
6 はＹ軸平行線分用ワークリスト５ｂ内に記憶され、境
界線分ａ7 ，ａ1 はＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ内
に記憶される（図４参照）。なお、図４においては、分
かりやすくするため各ワークリスト内での境界線分を図
形的に表現してあるが、実際は境界線分ファイルに記憶
されていると同じ構造のデータが記憶されている。そし
て、検査線分ａ5 と近接する境界線分が検索対象ワーク
リスト５ａ，５ｃ内にあるかどうかが検索され、境界線
分ａ1 ，ａ7 が検査対象領域と重なっているということ
で（図４参照）、検査対象線分群９として選出され、こ
れらの検査対象線分群と検査線分ａ5 との距離が検査部
１２において検査される。その後、検査線分ａ5 がＸ軸
平行線分用ワークリスト５ａに記憶され、線分ａ4 が検
査線分として境界線分ファイル１から取り出されて検査
が継続される。
形の場合は、境界線分ａ8 ，ａ7 ，ａ1 ，ａ6 ，ａ5 ，
ａ4 ，ａ3 ，ａ2 の順にソートされて境界線分ファイル
１に記憶されている。今、図４に示す閉図形において、
境界線分ａ5 が境界線分ファイル１から検査線分として
取り出された場合を考えると、この時境界線分ａ8 ，ａ
6 はＹ軸平行線分用ワークリスト５ｂ内に記憶され、境
界線分ａ7 ，ａ1 はＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ内
に記憶される（図４参照）。なお、図４においては、分
かりやすくするため各ワークリスト内での境界線分を図
形的に表現してあるが、実際は境界線分ファイルに記憶
されていると同じ構造のデータが記憶されている。そし
て、検査線分ａ5 と近接する境界線分が検索対象ワーク
リスト５ａ，５ｃ内にあるかどうかが検索され、境界線
分ａ1 ，ａ7 が検査対象領域と重なっているということ
で（図４参照）、検査対象線分群９として選出され、こ
れらの検査対象線分群と検査線分ａ5 との距離が検査部
１２において検査される。その後、検査線分ａ5 がＸ軸
平行線分用ワークリスト５ａに記憶され、線分ａ4 が検
査線分として境界線分ファイル１から取り出されて検査
が継続される。
【００１７】以上説明したように本実施例によれば、ワ
ークリストをＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、斜め線
分用に分けたので、Ｘ軸（またはＹ軸）に垂直な場合
は、それと垂直方向のデータを格納するワークリストを
検索する必要がなくなる。そして、マスクパターンのほ
とんどの境界線分がＸ軸又はＹ軸に平行となるように構
成されているため、ワークリストの検索回数を従来の方
法に比べて半分近くに減らすことが可能となり、これに
より可及的に高速にＬＳＩのマスクパターンを検査する
ことができる。
ークリストをＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、斜め線
分用に分けたので、Ｘ軸（またはＹ軸）に垂直な場合
は、それと垂直方向のデータを格納するワークリストを
検索する必要がなくなる。そして、マスクパターンのほ
とんどの境界線分がＸ軸又はＹ軸に平行となるように構
成されているため、ワークリストの検索回数を従来の方
法に比べて半分近くに減らすことが可能となり、これに
より可及的に高速にＬＳＩのマスクパターンを検査する
ことができる。
【００１８】なお、各ワークリストは、予めＹ軸方向の
分割の細かさを各々固有の値に設定しておいても良い。
例えば、図５に示すように、Ｙ軸平行線分用ワークリス
ト５ｂに対して、分割によって線分が各分割領域にまた
がる可能性が低い、斜め線分用ワークリスト５ｃ及びＸ
軸平行線分用ワークリスト５ａの場合、斜め線分用ワー
クリスト５ｃはやや細かく分割を行い、Ｘ軸平行線分用
ワークリスト５ｃは更に細かく分割する。このようにす
ることにより、データが溜りやすくて検索時間のかかっ
たＸ軸平行線分用ワークリストの検索回数を半分以下に
削除することができ、ＬＳＩのマスクパターンを可及的
に高速に検査することができる。
分割の細かさを各々固有の値に設定しておいても良い。
例えば、図５に示すように、Ｙ軸平行線分用ワークリス
ト５ｂに対して、分割によって線分が各分割領域にまた
がる可能性が低い、斜め線分用ワークリスト５ｃ及びＸ
軸平行線分用ワークリスト５ａの場合、斜め線分用ワー
クリスト５ｃはやや細かく分割を行い、Ｘ軸平行線分用
ワークリスト５ｃは更に細かく分割する。このようにす
ることにより、データが溜りやすくて検索時間のかかっ
たＸ軸平行線分用ワークリストの検索回数を半分以下に
削除することができ、ＬＳＩのマスクパターンを可及的
に高速に検査することができる。
【００１９】又、境界線分の傾きが４５度に限定されて
いる場合は、図６に示すように斜め線分ワークリスト５
ｃを、更に２つの斜め線分ワークリスト５ｃ1 ，５ｃ2
に分け、ワークリスト５ｃ1 には＋４５度の傾きを有す
る境界線分を記憶し、ワークリスト５ｃ2 には−４５度
の傾きを有する境界線分を記憶させるようにしても良
い。
いる場合は、図６に示すように斜め線分ワークリスト５
ｃを、更に２つの斜め線分ワークリスト５ｃ1 ，５ｃ2
に分け、ワークリスト５ｃ1 には＋４５度の傾きを有す
る境界線分を記憶し、ワークリスト５ｃ2 には−４５度
の傾きを有する境界線分を記憶させるようにしても良
い。
【００２０】次に本発明の第２の実施例を図７乃至図８
を参照して説明する。図７は本発明の検査方法を、２層
間例えば層Ａと層Ｂとの間での最小間隔検査処理に用い
た場合の処理概要を示す図である。この実施例において
は、境界線分ファイルは２つに分けられている。一方の
境界線分ファイル１1 には層Ａに関する境界線分のデー
タがファイルされており、他方の境界線分ファイル１2
には層Ｂに関する境界線分のデータがファイルされてい
る。これらの境界線分ファイル１1 ，１2 内のデータ
は、閉図形番号、境界線分の左下端点のＸ座標値、Ｙ座
標値の順でソートされている。又、ワークリストも、層
Ａに関するワークリストと層Ｂに関するワークリストに
分かれている。そして、第１の実施例の場合と同様に各
層に関するワークリストはＸ軸平行線分用ワークリスト
５ａi （ｉ＝１，２）、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５
ｂi （ｉ＝１，２）、斜め線分用ワークリスト５ｃ
i （ｉ＝１，２）に分けられている。なお、ワークリス
トの種類については、前の実施例と同様に、境界線分デ
ータの種類によって異なる構成としても良い。例えば、
斜め線分データが４５度の傾きをもつものと限定されて
いるときは、斜め線分用ワークリストを、＋４５度の傾
きをもつ線分データを記憶するワークリストと、−４５
度の傾きをもつ線分データを記憶するワークリストに分
けて使用しても良い。
を参照して説明する。図７は本発明の検査方法を、２層
間例えば層Ａと層Ｂとの間での最小間隔検査処理に用い
た場合の処理概要を示す図である。この実施例において
は、境界線分ファイルは２つに分けられている。一方の
境界線分ファイル１1 には層Ａに関する境界線分のデー
タがファイルされており、他方の境界線分ファイル１2
には層Ｂに関する境界線分のデータがファイルされてい
る。これらの境界線分ファイル１1 ，１2 内のデータ
は、閉図形番号、境界線分の左下端点のＸ座標値、Ｙ座
標値の順でソートされている。又、ワークリストも、層
Ａに関するワークリストと層Ｂに関するワークリストに
分かれている。そして、第１の実施例の場合と同様に各
層に関するワークリストはＸ軸平行線分用ワークリスト
５ａi （ｉ＝１，２）、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５
ｂi （ｉ＝１，２）、斜め線分用ワークリスト５ｃ
i （ｉ＝１，２）に分けられている。なお、ワークリス
トの種類については、前の実施例と同様に、境界線分デ
ータの種類によって異なる構成としても良い。例えば、
斜め線分データが４５度の傾きをもつものと限定されて
いるときは、斜め線分用ワークリストを、＋４５度の傾
きをもつ線分データを記憶するワークリストと、−４５
度の傾きをもつ線分データを記憶するワークリストに分
けて使用しても良い。
【００２１】次に、この実施例の作用を説明する。最小
間隔検査は、以下のステップによって行われる。 ステップ１：境界線分ファイル１1 ，１2 からソート順
にレコード、すなわち境界線分データを各々１個づつ取
り出し、境界線分ファイル１1 ，１2 のうちの少なくと
も一方の取り出すべきレコードがなくなるまで以下のス
テップ２〜ステップ５を繰り返す。 ステップ２：境界線分ファイル１1 ，１2 から各々取り
出された境界線分データを比較部２において比較し、左
下端点の座標値の小さい方の境界線分を選出し、この選
出された境界線分を検査線分とするとともに、この検査
線分の傾きを求める。 ステップ３：ステップ２で選出された検査線分の傾きに
基づいて、この検査線分と異なる層のワークリストの中
から検索対象ワークリストを最小幅の検査と同様に決定
し、この検索対象ワークリスト内の境界線分データの中
で、上記検査線分に近接する境界線分データを検索し、
この近接する境界線分を検査対象線分として検査対象線
分群９に選出し、検索した結果検索対象ワークリスト内
で検査対象領域から外れて不要となる境界線分データを
削除線分としてワークリストから削除して削除線分群１
０に出力する。 ステップ４：検査線分と、検査対象線分群９との間の距
離を求め、最小間隔の検査を検査部１２において行う。
この時、最小間隔すなわちデザインルール値以下の間隔
がある場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情
報等を出力する。 ステップ５：上記検査線分をこの線分と同じ層の、検査
線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させるとと
もに、この検査線分と同じ層に関する境界線分ファイル
から次の境界線分のデータを取り出し、比較部に送出す
る。
間隔検査は、以下のステップによって行われる。 ステップ１：境界線分ファイル１1 ，１2 からソート順
にレコード、すなわち境界線分データを各々１個づつ取
り出し、境界線分ファイル１1 ，１2 のうちの少なくと
も一方の取り出すべきレコードがなくなるまで以下のス
テップ２〜ステップ５を繰り返す。 ステップ２：境界線分ファイル１1 ，１2 から各々取り
出された境界線分データを比較部２において比較し、左
下端点の座標値の小さい方の境界線分を選出し、この選
出された境界線分を検査線分とするとともに、この検査
線分の傾きを求める。 ステップ３：ステップ２で選出された検査線分の傾きに
基づいて、この検査線分と異なる層のワークリストの中
から検索対象ワークリストを最小幅の検査と同様に決定
し、この検索対象ワークリスト内の境界線分データの中
で、上記検査線分に近接する境界線分データを検索し、
この近接する境界線分を検査対象線分として検査対象線
分群９に選出し、検索した結果検索対象ワークリスト内
で検査対象領域から外れて不要となる境界線分データを
削除線分としてワークリストから削除して削除線分群１
０に出力する。 ステップ４：検査線分と、検査対象線分群９との間の距
離を求め、最小間隔の検査を検査部１２において行う。
この時、最小間隔すなわちデザインルール値以下の間隔
がある場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情
報等を出力する。 ステップ５：上記検査線分をこの線分と同じ層の、検査
線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させるとと
もに、この検査線分と同じ層に関する境界線分ファイル
から次の境界線分のデータを取り出し、比較部に送出す
る。
【００２２】以上のステップによって行なわれる最小間
隔検査を図８（ａ）に示す層Ａと層Ｂのパターンに適用
したときの、層Ａに関するワークリスト５ａ1 ，５
ｂ1 ，５ｃ1 と層Ｂに関するワークリスト５ａ2 ，５ｂ
2 ，５ｃ2 の状態を各々図８（ｂ），（ｃ）に示す。こ
の状態は境界線分ａ4 がワークリスト５ｂ1に入力され
たときの状態を示す。このとき図８（ｂ），（ｃ）にお
いて、破線で示す境界線分ａ7 ，ａ3 ，ａ1 ，ａ6 及び
境界線分ｂ2 ，ｂ7 ，ｂ1 ，ｂ3 は削除線分としてワー
クリストから削除されることを示している。以上によ
り、この第２の実施例も第１の実施例と同様の効果を得
ることができることはいうまでもない。
隔検査を図８（ａ）に示す層Ａと層Ｂのパターンに適用
したときの、層Ａに関するワークリスト５ａ1 ，５
ｂ1 ，５ｃ1 と層Ｂに関するワークリスト５ａ2 ，５ｂ
2 ，５ｃ2 の状態を各々図８（ｂ），（ｃ）に示す。こ
の状態は境界線分ａ4 がワークリスト５ｂ1に入力され
たときの状態を示す。このとき図８（ｂ），（ｃ）にお
いて、破線で示す境界線分ａ7 ，ａ3 ，ａ1 ，ａ6 及び
境界線分ｂ2 ，ｂ7 ，ｂ1 ，ｂ3 は削除線分としてワー
クリストから削除されることを示している。以上によ
り、この第２の実施例も第１の実施例と同様の効果を得
ることができることはいうまでもない。
【００２３】
【発明の効果】本発明によればＬＳＩのマスクパターン
を可及的に高速に検査することができる。
を可及的に高速に検査することができる。
【図１】本発明の第１の実施例の処理概要を示すブロッ
ク図。
ク図。
【図２】第１の実施例において、検索対象ワークリスト
を決定するフローチャート。
を決定するフローチャート。
【図３】第１の実施例の検査対象となる閉図形の例を示
す図。
す図。
【図４】閉図形に第１の実施例の検査方法を適用した場
合のワークリスト内の状態を模式的に示す模式図。
合のワークリスト内の状態を模式的に示す模式図。
【図５】本発明にかかるワークリストをＹ軸方向に分割
した場合を示す模式図。
した場合を示す模式図。
【図６】斜め線分ワークリストを特定の場合に２つの斜
め線分ワークリストに分ける場合を説明する説明図。
め線分ワークリストに分ける場合を説明する説明図。
【図７】本発明の第２の実施例の処理概要を示すブロッ
ク図。
ク図。
【図８】第２の実施例を用いた場合のワークリストの状
態を示す模式図。
態を示す模式図。
【図９】従来の検査方法の処理概要を示すブロック図。
【図１０】方向フラグを説明する説明図。
【図１１】閉図形の方向フラグを説明する図。
【図１２】境界線分の外包矩形の作り方を説明する説明
図。
図。
【図１３】ワークリスト内の検索方法を説明する説明
図。
図。
１ 境界線分ファイル ３ 検査線分 ５ａ Ｘ軸平行線分用ワークリスト ５ｂ Ｙ軸平行線分用ワークリスト ５ｃ 斜め線分用ワークリスト ９ 検査対象線分群 １０ 削除線分群 １２ 検査部 １３ エラーファイル
Claims (1)
- 【請求項１】境界線分のデータを記憶するワークリスト
を、少なくともＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、及び
斜め線分用の３種類のワークリストに分割する第１のス
テップと、 マスクパターンの閉図形に関する境界線分情報のレコー
ドを所定の順序でソートして記憶している境界線分ファ
イルから、所定の規則に基づいてソート順に１レコード
取り出し、この取り出したレコードの境界線分を検査線
分とする第２のステップと、 前記検査線分の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分
割され複数のワークリストから検索対象ワークリストを
決定し、この決定された検索対象ワークリスト内の境界
線分のデータの中で前記検査線分に近接する境界線分の
データを検索し、この検索された近接する境界線分のデ
ータを検査対象線分群として選出し、前記検索対象ワー
クリスト内で検査対象領域から外れた境界線分のデータ
を削除線分のデータとして前記検索対ワークリストから
削除する第３のステップと、 前記検査線分と前記検査対象線分群の各線分との間の距
離を求め、この求められた距離が所定値より小さいかど
うかを検査する第４のステップと、 前記第４のステップの検査が済んだ前記検査線分のデー
タを、この検査線分の傾きに対応するワークリスト内に
記憶させる第５のステップと、 前記境界線分ファイルから取り出すべきレコードがなく
なるまで前記第２から第５のステップを繰り返す第６の
ステップと、 を備えていることを特徴とするマスクパターンの検査方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24976291A JP3095475B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | マスクパターンの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24976291A JP3095475B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | マスクパターンの検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588357A JPH0588357A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3095475B2 true JP3095475B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=17197855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24976291A Expired - Fee Related JP3095475B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | マスクパターンの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3095475B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7040503B2 (ja) | 2019-08-27 | 2022-03-23 | 横河電機株式会社 | 電流測定装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1543451A4 (en) * | 2002-07-12 | 2010-11-17 | Cadence Design Systems Inc | PROCESS AND SYSTEM FOR CONTEX-SPECIFIC MASK WRITING |
| JP2006502422A (ja) * | 2002-07-12 | 2006-01-19 | ケイデンス デザイン システムズ インコーポレイテッド | コンテクスト特定型のマスク検査のための方法及びシステム |
| CN101685544B (zh) * | 2008-09-28 | 2011-11-23 | 北大方正集团有限公司 | 一种简化复杂路径的方法及装置 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24976291A patent/JP3095475B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7040503B2 (ja) | 2019-08-27 | 2022-03-23 | 横河電機株式会社 | 電流測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0588357A (ja) | 1993-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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