JPH0468083A - 真空軸受用潤滑剤 - Google Patents

真空軸受用潤滑剤

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JPH0468083A
JPH0468083A JP18370590A JP18370590A JPH0468083A JP H0468083 A JPH0468083 A JP H0468083A JP 18370590 A JP18370590 A JP 18370590A JP 18370590 A JP18370590 A JP 18370590A JP H0468083 A JPH0468083 A JP H0468083A
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lubricant
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Kazunori Hayashida
一徳 林田
Kenji Yamamoto
賢二 山元
Yoshifumi Fujio
藤尾 佳史
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Koyo Seiko Co Ltd
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Koyo Seiko Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、軸受等に使用される潤滑剤に関し、より詳細
には、特に真空中において好適に使用される潤滑剤に関
するものである。
〈従来の技術〉 従来、真空中で使用される軸受等には、二硫化モリブデ
ン(冷82)等の固体潤滑剤が用いられているが、上記
固体潤滑剤は、信頼性、耐荷重性に問題がある。
そこで近時、熱的に安定で、しかも比較的、潤滑性に優
れたパーフルオロアルキルポリエーテル(以下[P F
 P Elという)を潤滑剤として使用する試みがなさ
れている。
〈発明が解決しようとする課題〉 ところが、上記PFPEのうち、主鎖中に、下記式[I
]で表される結合を含有するPFPE (以下「ジオキ
シ型PFPEJという)は、境界潤滑条件下て、真空中
における熱安定性か十分でなく、摩擦、摩耗にともなっ
て分解し、アウトガスを発生しやすいという問題かある
−0−CF2−0−    ・・・(I)上記ジオキシ
型PFPEの分解にともなって発生するアウトガスは、
CFO”  CF  OCF +等の腐蝕性の化合物を
主成分とするため、軸受等と反応して金属弗化物などの
化合物を生じ、潤滑性が著しく悪化するおそれもある。
一方、上記式(11で表される結合を主鎖中に含まない
PFPE (以下「非ジオキシ型PFPEJという)は
、真空中において安定で、摩擦、摩耗に伴うアウトガス
の発生量は少ないものの、境界潤滑条件下で、高荷重、
高速回転させた際に凝着を生じるという問題かある。
本発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであって、
特に真空中において優れた潤滑性を有すると共に、アウ
トガスの発生量の少ない潤滑剤を提供することを目的と
している。
く課題を解決するための手段および作用〉上記課題を解
決するための、本発明の潤滑剤は、下記式(I)で表さ
れる結合を主鎖中に含むジオキシ型PFPEを、全PF
PE中、50重量%以下の割合で含有することを特徴と
している。
0−CF2−0−     ・・・(I)上記構成から
なる、本発明の潤滑剤においては、上記ジオキシ型PP
PHによって、特に真空中での高い潤滑性が確保されて
いると共に、このジオキシ型PFPEの含有割合を、全
PFPE中の50重量%以下にすることでアウトガスの
発生を抑制している。
上記ジオキシ型PFPEとしては、例えば下記一般式(
I[]で表される化合物およびその誘導体か好適に使用
される。
なお、上記式(I[l中のp、qは何れも2以上の整数
を表し、mは1以上の整数を表す。
また、上記ジオキシ型PFPEと共に用いられる非ジオ
キシ型PFPEとしては、下記−数式圓盾で表される化
合物およびその誘導体が好適に使用される。
F−(CF2−CF2−CF2−0)n−CF2−CF
3    ・・・圓整数を表す。
本発明において、ジオキシ型PPPHの、全PFPE中
に占める割合が50重量%を超えると、アウトガスの発
生量が多くなると共に、周囲の環境を汚染したり、蒸発
損などの問題か生じ、軸受寿命が低下する。
なお上記ジオキシ型PPPHの、全PFPE中に占める
割合は、特に限定されないが、5重量%以上であること
が好ましい。
上記ジオキシ型PPPHの割合が5重量%未満ては、潤
滑剤の潤滑性か低下し、特に真空中で、高荷重、高速回
転させた際に焼付を生しるおそれがある。
〈実施例〉 摩擦、摩耗試験(1) 以下に示す各PFPEを潤滑剤として使用して、真空四
球式試験機により、下記の条件下において、各潤滑剤の
摩擦係数を測定した。
*PFPE 潤滑剤A:モンデジソン社製の商品名フォンブリン(前
記一般式(II)で表されるジオキシ型PFPE) 20℃における粘度: 255cS t20℃における
蒸気圧:4X10−10a 潤滑剤B:ダイキン工業社製の商品名デムナム(前記−
数式圓て表される非ジオキシ型PFPE) 20℃における粘度:500cSt 20℃における蒸気圧ニアX1O−9Pa潤滑剤C:デ
ュポン社製の商品名クライトツクス140(前記一般式
(財)で表される非ジオキシ型P F P E) 20℃における粘度:2700cSt 20℃ニオケル蒸気圧: 4 X 10  ”’a 本試験球の組み合わせ に上球(1個)、、・5US440C製の1/4インチ
鋼球 下球(3個)・・・同上 ■二上球(1個)・・・5L3N4製のセラミック球下
球(3個)−=SUS440C製の1/4インチ鋼球 本試験条件 雰囲気圧カニ大気圧または5Xlo−5Pa雰囲気温度
:室温 荷     重 :100N ヘルツ面圧:3.4GPa (試験球の組み合わせIの
場合) 3.9GPa (試験球の組み合わ せ■の場合) 回転速度:132rpm (0,025m/s)試験時
間・60分 潤滑剤塗布量:約100μg 上記の結果を第1図に示す。
また、上記摩擦係数測定後の下味の摩耗痕径を測定した
結果を、第2図に示す。
なお、上記両図中の符号は、それぞれ下記の潤滑剤、お
よび試験球の組み合わせを示して0る。
O・・・潤滑剤A1試験球の組み合わせ1口・・・潤滑
剤B1試験球の組み合わせI△・・・潤滑剤C1試験球
の組み合わせI・・・・潤滑剤A1試験球の組み合わせ
■■・・・潤滑剤B、試験球の組み合わせ■ム・・・潤
滑剤C1試験球の組み合わせ■第1図および第2図にみ
るように、何れの潤滑剤を使用した場合でも、大気中よ
り真空中の方か摩擦係数および摩耗痕径か大きくなる傾
向かみられ、このことから、雰囲気圧力か、試験球の摩
擦、摩耗に影響を及はすことか確認された。
また、潤滑剤Aを使用した場合には、何れの条件下にお
いても、潤滑剤B、Cを使用した場合に比べて、摩擦係
数か小さく、且つ摩耗痕径か大きい値を示した。このこ
とから、ジオキシ型PFPEである潤滑剤Aは、非ジオ
キシ型PFPEである潤滑剤B、Cよりも潤滑性に優れ
るものの、試験球を摩耗しやすいことか確認された。
さらに、潤滑剤Aを使用した場合には、潤滑剤B、Cを
使用した場合に比べて、摩擦係数および摩耗痕径の上昇
率か大きく、このことから、上記ジオキシ型PFPEで
ある潤滑剤Aは、真空中において、非ジオキシ型PFP
Eである潤滑剤B。
Cよりも劣化しやすいことか判明した。
摩擦、摩耗試験(2) 雰囲気圧力を5X10”Paとし、荷重およびヘルツ面
圧を次表に示す値としたこと以外は、上記摩擦、摩耗試
験(1)と同様にして、真空四球式試験機を60分間回
転させた後、下球の摩耗痕径を測定した。結果を第3図
に示す。なお、同図中の符号は、何れも前記と同し潤滑
剤、および試験球の組み合わせを示している。
表 図の結果より、各荷重時の摩耗痕径は、何れの条件下に
おいても、荷重が大きくなるほど大きくなり、しかも、
潤滑剤C−潤滑剤B→潤滑剤Aの順に大きくなる傾向を
示した。また、潤滑剤Aを使用した場合には、潤滑剤B
、Cを使用した場合に比べて、荷重の増加に伴う摩耗痕
径の増加の度合いが大きく、特に、試験球の組み合わせ
Iにおいては、潤滑剤Aを使用した場合に、荷重の増加
に伴って、摩耗痕径か若しく増加した。このことから、
ジオキシ型PFPEである潤滑剤Aの劣化は、真空中の
摩擦、摩耗により発生することか判明した。
摩耗痕観察試験 上記摩擦、摩耗試験(2)のうち、荷重を30ON加え
た試験の下球の摩耗痕を、走査電子顕微鏡で観察したと
ころ、試験球の組み合わせIにおいては、潤滑剤B、C
を使用した場合には、摩耗痕に金属接触による凝着か観
察されたか、潤滑剤Aを使用した場合には、上記凝着は
観察されなかった。
一方、試験球の組み合わせHにおいては、潤滑剤A−C
の何れを使用した場合にも、凝着は観察されず、筋状の
摩耗痕のみか観察された。このことから、ジオキシ型P
FPEである潤滑剤Aによる鋼球の摩耗は、通常の機械
的摩耗でないことが確認された。
アウトガス測定 雰囲気圧力を5X10−”Pa、荷重を30ONとした
こと以外は、上記摩擦、摩耗試験(1)と同様にして、
真空四球式試験機を回転させなから、四重極型質量分析
計を用いて、アウトガス中に含まれる質量数1から10
0までの成分の変化を1分毎に測定した。
その結果、潤滑剤Aを使用した場合には、試験球の組み
合わせI、IFの何れにおいても、真空四球式試験機の
回転開始から終了まで、継続的に、下記の化合物に相当
する質量数47.66.69の成分が検出された。なお
、上記各質量数の成分は、真空四球式試験機の回転開始
前、および回転終了後には検出されなかった。
質量数47:CFO” 質量数66 : CF2O” 質量数69=CF3+ 一方、潤滑剤B、Cを使用した場合には、試験球の組み
合わせI、ffの何れにおいても、質量数66のCF2
O+に相当する成分のみが、真空四球式試験機の回転開
始から終了まで、継続的に検出された。なお、上記質量
数66の成分は、先の場合と同様に、真空四球式試験機
の回転開始前、および回転終了後には検出されなかった
また、各試験においては、潤滑剤B、Cを使用した場合
よりも、潤滑剤Aを使用した場合の方か、上記各質量数
のアウトガス成分の量が多く、同じ潤滑剤では、試験球
の組み合わせ■よりも組み合わせIの方か、上記各質量
数のアウトガス成分の量か多いという結果か得られた。
さらに、各試験においては、真空四球式試験機の回転開
始から終了まで、試験機内の圧力上昇か観察された。
以上の結果より、ジオキシ型PFPEである潤滑剤Aは
、真空中の摩擦、摩耗によって、非ジオキシ型PFPE
である潤滑剤B、Cに比べ、より多量の腐蝕性ガスを放
出して、特に鋼球を化学的に摩耗することか推察された
以上の各試験の結果より、特に真空中で高い潤滑性を有
するジオキシ型PFPEを、真空中で比較的安定な非ジ
オキシ型ジオキシ型PFPEと配合すれば、真空中ての
高い潤滑性を確保しつつ、アウトガスの発生を抑制でき
ることか推察される。
〈発明の効果〉 本発明の潤滑剤は以上のように構成されており、ジオキ
ン型PFPEによって高い潤滑性を確保てきると共に、
このジオキン型PFPEの含有割合を、全PFPE中の
50重量%以下にすることでアウトカスの発生を抑制す
ることかできる。したがって、本発明の潤滑剤は、特に
真空中において優れた潤滑性を有すると共に、アウトガ
スの発生量の少ないものとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は真空四球式試験機を用いて測定した各種潤滑剤
の摩擦係数を示すグラフ、第2図は上記測定後の試験球
における摩耗痕径を示すグラフ、第3図は摩耗痕径と荷
重との関係を示すグラフである。 第2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、パーフルオロアルキルポリエーテルからなる潤滑剤
    であって、下記式〔 I 〕で表される結合を主鎖中に含
    むパーフルオロアルキルポリエーテルを、全パーフルオ
    ロアルキルポリエーテル中、50重量%以下の割合で含
    有することを特徴とする潤滑剤。 −O−CF_2−O−・・・〔 I 〕
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000303088A (ja) * 1999-04-16 2000-10-31 Koyo Seiko Co Ltd 潤滑剤組成物とそれを用いた転がり軸受
WO2006090641A1 (ja) * 2005-02-22 2006-08-31 Nok Kluber Co., Ltd. 潤滑剤
JP2007141741A (ja) * 2005-11-22 2007-06-07 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置
JP2011233532A (ja) * 2011-06-24 2011-11-17 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置

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JP2011233532A (ja) * 2011-06-24 2011-11-17 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置

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