JPH0467839A - 接触圧センサ - Google Patents
接触圧センサInfo
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
対象物との間の接触圧を検出する為に用いられる脈波セ
ンサに関するものである。
間の接触圧を検出する接触圧センサが提案されている。
観血的に検出するためにその動脈の真上を皮膚上から押
圧する際に用いられる脈波センサがそれであり、本出願
人が先に出願した特願平1−151106号や特願平2
−41050号に記載されている。生体の動脈内におい
て周期的に発生する圧力変動波、すなわち圧脈波は血圧
値だけでなく循環器の作動状態を反映していることから
、血圧値の測定あるいは循環器の診断などのために生体
動脈内の圧脈波を非観血的に検出することが望まれるた
め、上記のような接触圧センサが用いられるのである。
に装着されるハウジング内に設けられ、表面に圧力検出
素子が配設された半導体チップと、その半導体チップを
裏面から支持するスペーサ部材と、そのスペーサ部材が
固定される基板とを備え、上記半導体チップの表面が生
体の表皮下に存在する動脈に向かって押圧され、動脈内
の圧力振動である圧脈波が検出されるようになっている
。
体チップと基板との間は可撓性シートに支持された複数
本の箔状配線、すなわちフレキシブルフラットケーブル
(F F C)により接続される。この場合、半導体チ
ップの表面に配列されているバンプと基板上の所定の接
続端子のフレキシブルフラットケーブルは、それらバン
プと接続端子とを結ぶ斜めの線に沿った状態とされる。
記フレキシブルフラットケーブルに作用したり、或いは
温度変化による基板の反りやフレキシブルフラットケー
ブル自体の収縮が発生すると、そのフレキシブルフラッ
トケーブルの一端が接続されている半導体チップに直接
応力が伝達されて半導体チップに歪が発生し、圧力検出
が不正確となって精度が低下する不都合があった。
、その目的と、するところは、皮膚からの押圧反力が加
えられたり、或いは温度変化があったとしても、測定精
度が影響されない脈波センサを提供することにある。
は、表面に圧力検出素子が配設された半導体チップと、
その半導体チップを裏面から支持するスペーサ部材と、
そのスペーサ部材が固定される基板とを備え、前記半導
体チップの表面が被測定圧を発生する対象物に向かって
押圧されて接触圧力を検出するための接触圧センサにお
いて、前記半導体チップの表面に設けられた接続端子と
前記基板との間を、前記スペーサ部材の側壁面に沿った
状態で該基板から立ち上がるフレキシブルフラットケー
ブルを用いて接続したことにある。
ペーサ部材の側壁面に沿って基板から立ち一トがった状
態で配設されているので、皮膚からの押圧反力がフレキ
シブルフラットケーブルに作用することが殆ど解消され
る。また、温度変化による基板の反りやフレキシブルフ
ラットケーブル自体の収縮が発生しても、フレキシブル
フラットケーブルがバンプと接続端子とを結ぶ斜めの最
短距離を示す斜めの線に沿っておらず、張力を伝達でき
ない状態となっているので、フレキシブルフラットケー
ブルの一端が接続されている半導体チップに応力が伝達
されない。したがって、皮膚からの押圧反力が加えられ
たり、或いは温度変化があったとしても、半導体チップ
に歪が発生することが防止されるので、測定精度が影響
されず、圧脈波が正確に測定されるのである。
る。
ローブの一例を示す図であって、10はハウジングであ
る。ハウジング10は、全体として容器状を成し、後述
の手首34側において開口する第1ハウジング12と、
ピン14により第1ハウジング12に回動可能に連結さ
れた第2ハウジング16とから構成されている。第1ハ
ウジング12内には、容器状を成し、手首34側におい
て開口するケーシング18が、それに一体的に設けられ
た一対のアーム部20.22において、図示しない送り
ねしおよび案内ロンドにより第2図および第3図中左右
方向の移動可能に設けられている。また、第1ハウジン
グ12内には、図示はL[いが、前記送りねじの第2ハ
ウジング16側に位置する端部と作動的に連結する減速
ギヤユニットが設けられており、その減速ギヤユニット
は第2ハウジング16内に設けられた図示しない電動モ
ータの出力軸と可撓性カップリング(図示せず)を介し
て作動的に連結されている。これにより、第1ハウジン
グ12および第2ハウジング16間の回動角度に拘わら
ず、電動モータの駆動力が減速ギヤユニットを介して送
りねじへ伝達されるようになっている。
ており、これにより、ケーシング18内の底部側に圧力
室(図示せず)が形成されている。
圧面26にたとえば複数の感圧素子28がケーシング1
8の移動方向に沿って配列された脈波センサ30が固着
されており、脈波センサ30は、前記圧力室内の圧力に
応じてケーシング18および第1ハウジング12内から
突き出されるようになっている。
て取り着けられており、ノ\ウジング10をたとえば手
首34の表面上に配設し、その手首34を巻回したバン
ド32の他端部側をファスナ36を介して第1ハウジン
グ12の底部外面に係止することにより、ハウジングl
Oが手首34の表面に装着されるようになっている。こ
のとき、脈波センサ30の感圧素子28の配列方向は、
手首34の皮膚直下にある撓骨動脈35と略直交する方
向に位置している。そして、図示しない制御装置により
、前記圧力室の圧力を図示しない調圧装置を介して調節
するとともに前記電動モータを駆動し、脈波センサ30
を動脈上に位置決めして最適感圧素子をおよび最適押圧
力を決定した後、その最適押圧力において最適感圧素子
から出力された脈波信号に基づいて脈波が検出されるよ
うになっている。なお、第1ハウジング12の開口側の
端面には、長手状を成す一対のスポンジ38゜40が固
着されており、第1ハウジング12はスポンジ3840
において手首34の表面に接触させられるようになって
いる。スポンジ38.40の手首34との接触面には、
両面粘着シート42.44がそれぞれ固着されている。
.44の粘着力に基づいて手首34の表面に固着される
ようになっている。
記ダイヤフラム24の中央部に固定されるプラスチック
類のセンサヘッドケース50と、回路膜52が一面に固
着され、他面において接着層54を介してこのセンサヘ
ッドケース50の中央凹部内に固定されるセラミック製
の板部材56と、この板部材56の中央部に固定された
直方体状のスペーサ58と、このスペーサ58に接着さ
れたセンサチップ60と、回路膜52やその接続部分を
保護するためにセンサヘッドケース50に接着された金
属製の保護プレート62などを備えている。上記スペー
サ58は、電気的絶縁体として取り扱われ得るように少
なくとも表面が絶縁処理された物質、たとえばプラスチ
ックやアルマイト処理されたアルミニウムが用いられる
。上記回路膜52が固着された板部材56は、センサチ
ップ60から外部の測定装置本体に至る電気的接続の中
継回路であり、必要に応じてマルチプレクサ、プリアン
プ、レギュレータなどの能動素子が設けられると同時に
、センサチップ60を機械的に支持するための部材とし
ても機能しているものであり、請求の範囲の基板に対応
している。
、ガラスなどの比較的剛性の高いバンクアップ板64と
、このバックアツプ板64の一面に接着されたシリコン
単結晶板等から成る半導体チップ66とから構成されて
いる。スペーサとしても機能する上記バックアツプ板6
4には、スペーサ58および板部材56の中央穴(図示
せず)を通して半導体チップ66の裏面(非押圧側の面
)に大気圧を導くための図示しない2本の貫通穴が設け
られている。上記半導体チンプロ6は、300ミクロン
程度の厚みを備えており、その裏面に図示しない長手状
の凹陥部が形成されることにより、厚みが数乃至十数ミ
クロンの薄肉部68が長手状に形成されている。この薄
肉部68には、たとえば本出願人が先に出願した特願平
12293号の明細書および図面に記載されているよう
に、不純物の拡散あるいは注入などの良く知られた半導
体製造手法を用いて形成された4つの歪抵抗素子を有す
るブリッジから成り、接触圧を検知するための複数の感
圧素子70が一方向に沿って所定間隔毎に配列されてい
る。脈波センサ30は、これら感圧素子70が動脈35
の真上に位置し且つそれらの配列方向が動脈35と直交
する姿勢で生体の皮膚に押圧され、これにより、各感圧
素子70からは、薄肉部66に加えられた歪に対応した
電気信号、すなわち感圧素子70に作用する圧力変動で
ある前記圧脈波を表す脈波信号が出力される。
の表面に設けられた複数の端子(バンプ)76と板部材
56の一面に設けられた回路膜52の複数の端子78と
は、銅箔から所定の間隔に形成された多数本の導体80
がたとえばポリイミドのような樹脂フィルム82により
支持されている可撓性を備えた所謂フレキシブルフラッ
トケーブル84により接続されている。このフレキシブ
ルフラットケーブル84は、両端部において導体80を
露出させるために樹脂フィルム82が除去されているだ
けでなく、折曲げ性を高めるために中間部においても除
去されている。そして、このフレキシブルフラットケー
ブル84は、中間部において略直角に折り曲げられてお
り、折り曲げられた部分を境にして一方が板部材56の
表面に沿い且つ他方がスペーサ58の側壁面に沿った姿
勢とされ、その両端部が半導体チップ66の端子76お
よび回路膜52の端子78にそれぞれ半田接着されてい
る。すなわち、フレキシブルフラットケーブル84は、
スペーサ58の側壁面に沿って、板部材56から垂直に
立ち上がった状態で配設されているのである。
には、フレキシブルフラットケーブル84の一部と重ね
た状態でアイソレーションシール86が設けられるとと
もに、端子78の一部の接地端子と保護プレート62と
は導電製ゴム片88により接続されている。また、セン
サチップ60の上面はシリコンゴム90により薄く塗布
されているとともに、スペーサ5日の周囲には、シリコ
ンコム90が充填されており、センサチップ60の周囲
に保護プレート62の表面に続く傾斜面が形成されてい
る。上記センサチップ60の上面のシリコンゴム層に重
ねて薄い黒色導電性ゴムN92が形成されている。さら
に、保護プレート62の表面には、絶縁のための樹脂製
アイソレーションシール層94が塗布されている。なお
、96はセンサチップ60とスペーサ58との間の接着
層であり、98は保護プレート62とセンサヘッドケー
ス50との間の接着層である。接着層には、紫外線硬化
樹脂が好適に用いられる。
ブルフラットケーブル84がスペーサ58の側壁面に沿
って板部材56から垂直に立ち上がった状態で配設され
ているので、皮膚からの押圧反力がフレキシブルフラッ
トケーブル84に作用することが殆ど解消される。また
、温度変化による板部材56の反りやフレキシブルフラ
ツトケーブル84自体の収縮が発生しても、フレキシブ
ルフラットケーブル84がバンプ76と接続端子78と
を結ぶ斜めの最短距離を示す斜めの線に沿っておらず、
張力を伝達できない状態となっているので、フレキシブ
ルフラットケーブル84の一端が接続されている半導体
チップ66に応力が伝達されない。したがって、皮膚か
らの押圧反力が加えられたり、或いは温度変化があった
としても、半導体チップ66に歪が発生することが防止
されるので、測定精度が影響されず、圧脈波が正確に測
定されるのである。
して機能する黒色導電性ゴムN92により覆われている
ので、半導体チップ66の薄肉部68に設けられた感圧
素子70に対する光の影響が解消され、測定精度が大幅
に高められるとともに、黒色導電性ゴム層92によって
静電気の影響が抑制される。
ていることからガードリング機能が備えられており、た
とえば電気メスなどによる高周波ノイズによる影響を好
適に抑制することができる。
本発明はその他の態様においても適用される。
は、複数の・感圧素子70が設けられていたが、1個で
あってもよいのである。
4には、板部材56と平行な部分が設けられていたが、
回路膜52から直接に立ち上げられていてもよいのであ
り、また、若干傾斜して略垂直に立ち上げられても一応
の効果が得られるのである。
2が固着されることにより基板が構成されていたが、−
面に厚膜導体が配線されたセラミック板などであっても
よいのである。
部68に所定間隔毎に設けられていたが、個々の独立し
た凹陥部の薄肉部に感圧素子が設けられてもよいのであ
る。
用いられていたが、ガリウム−砒素などの化合物半導体
の単結晶板が用いられてもよい。
素子を有して構成されているが、感圧ダイオードや感圧
トランジスタなどにて構成されてもよい。
ための手首34に装着される形式の脈波検出用プローブ
について説明されていたが、頚動脈や足背動脈に対して
適用されるものであってもよいのである。
、本発明はその主旨を逸脱しない範囲で種々変更が加え
られ得るものである。
である。第2図は本発明の脈波センサを含む脈波検出用
プローブの装着状態を示す図である。第3図は第2図の
脈波検出用プローブを手首側から見た図である。第4図
は、第2図および第3図の脈波検出用プローブ内に備え
られた脈波センサの構成を説明する断面図である。第5
図は、第4図のセンサチップの構成を説明する斜視図で
ある。 30:脈波センサ(接触圧センサ) 35:撓骨動脈 58;スペーサ 66二半導体チップ 84:フレキシブルフラットケーブル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 表面に圧力検出素子が配設された半導体チップと、該半
導体チップを裏面から支持するスペーサ部材と、該スペ
ーサ部材が固定される基板とを備え、前記半導体チップ
の表面が被測定圧を発生する対象物に向かって押圧され
て接触圧力を検出するための接触圧センサにおいて、 前記半導体チップの表面に設けられた接続端子と前記基
板との間を、前記スペーサ部材の側壁面に沿った状態で
該基板から立ち上がるフレキシブルフラットケーブルを
用いて接続したことを特徴とする接触圧センサ。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP18025990A JP2863281B2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 接触圧センサ |
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