JPH0467783B2 - - Google Patents
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- JPH0467783B2 JPH0467783B2 JP16603486A JP16603486A JPH0467783B2 JP H0467783 B2 JPH0467783 B2 JP H0467783B2 JP 16603486 A JP16603486 A JP 16603486A JP 16603486 A JP16603486 A JP 16603486A JP H0467783 B2 JPH0467783 B2 JP H0467783B2
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- lead
- lead frame
- bonding
- film carrier
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はフイルムキヤリアから打抜かれた固形
デバイスの外部リードをリードフレーム又は基板
のリード接合部に接合する外部リード接合方法に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an external lead bonding method for bonding external leads of a solid device punched from a film carrier to lead bonding portions of a lead frame or a substrate.
[従来の技術]
外部リード接合装置は、第8図に示すように、
両側帯にスプロケツト穴1aを備えたフイルムキ
ヤリア1に外部リード2aによつて支えられた固
形デバイス2をパンチングにより打抜き、第9図
に示すリードフレーム3又は第10図に示す基板
4のリード接合部3a又は4aに外部リード2a
を位置合わせして載置し、第11図及び第12図
に示すように、外部リード2aとリード接合部3
aとをボンデイングによつて接合する工程を全自
動で行うものである。以下、リードフレームとい
う場合はリードフレーム3及び基板4の両方を指
す。[Prior Art] As shown in FIG. 8, an external lead bonding device has the following features:
A solid device 2 supported by an external lead 2a is punched out on a film carrier 1 having sprocket holes 1a on both side bands, and a lead joint part of a lead frame 3 shown in FIG. 9 or a board 4 shown in FIG. 10 is formed. External lead 2a to 3a or 4a
11 and 12, align and place the external leads 2a and lead joints 3.
The process of joining a and a by bonding is carried out fully automatically. Hereinafter, the term lead frame refers to both the lead frame 3 and the substrate 4.
従来用いられてきた外部リード接合装置は2つ
の方式に大別される。第1の方式は、フイルムキ
ヤリアとリードフレームを上下に重ねて配置し、
フイルムキヤリア上の固形デバイスを打抜くと同
時にその上方にあるリードフレームにそのまま熱
圧着する方式であり、他の第2の方式は、フイル
ムキヤリアとリードフレームを並行に配置し、フ
イルムキヤリア上の固形デバイスを打抜き、この
固形デバイスを真空吸着ヘツドで吸着してリード
フレーム上へ移送載置し、しかる後、別置のボン
デイング装置によつて接合する方式である。本発
明はこの第2の方式を対象としている。 Conventionally used external lead bonding devices can be roughly divided into two types. The first method is to arrange the film carrier and lead frame one above the other,
This is a method in which a solid device on a film carrier is punched out and at the same time it is thermocompression bonded to the lead frame above it.The other second method is to arrange the film carrier and lead frame in parallel, and then punch out the solid device on the film carrier. In this method, a device is punched out, this solid device is suctioned by a vacuum suction head, transferred and placed on a lead frame, and then bonded using a separate bonding device. The present invention is directed to this second method.
前記打抜かれた固形デバイスはリードフレーム
上に正しく位置決めするために、固形デバイスの
外部リードの位置ずれをカメラで認識する必要が
ある。このため、従来は打抜かれた固形デバイス
の外部リードに直接光を照射し、外部リードの表
面から反射させた映像をカメラでとらえている。 In order to correctly position the punched solid device on the lead frame, it is necessary to recognize the positional shift of the external lead of the solid device using a camera. For this reason, conventionally, light is irradiated directly onto the external leads of a punched solid device, and the image reflected from the surface of the external leads is captured by a camera.
[発明が解決しようとする問題点]
固形デバイス2の外部リード2aはパンチング
による切断で姿勢が変化し易いため、直接に照射
した光をその表面から反射させた映像をカメラで
見た場合、明るさのムラが生じやすく、その位置
を自動認識しようとすると認識エラーを起こすこ
とが多い。[Problems to be Solved by the Invention] Since the external lead 2a of the solid device 2 is easily changed in position by being cut by punching, when an image of directly irradiated light reflected from its surface is viewed with a camera, the brightness may vary. This tends to cause unevenness in the image size, and attempts to automatically recognize its position often result in recognition errors.
本発明の目的は、高精度の位置決めを行うこと
ができる外部リード接合方法を提供することにあ
る。 An object of the present invention is to provide an external lead joining method that allows highly accurate positioning.
[問題点を解決するための手段]
上記従来技術の問題点は、真空吸着ヘツドに保
持された固形デバイスを下方から透過するように
カメラに投光し、この透過による外部リードの影
の映像をカメラでとらえ、これを認識部で処理し
てリードフレームの位置との相対的な位置ずれを
演算し、これを固形デバイスの移送用XY方向移
動テーブルの移動制御系へフイードバツクして固
形デバイスをリードフレームの所定位置に位置決
めすることにより解決される。[Means for solving the problem] The problem with the above-mentioned conventional technology is that light is projected onto the camera so as to pass through the solid device held in the vacuum suction head from below, and the image of the shadow of the external lead due to this transmission is captured. Captured by a camera, this is processed by the recognition unit to calculate the relative positional deviation with the lead frame position, and this is fed back to the movement control system of the XY direction movement table for solid device transfer to read the solid device. This is solved by positioning the frame at a predetermined position.
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図乃至第7図に
従つて説明する。第1図乃至第3図に示すよう
に、本装置は、本体10とその上面に設けられた
制御筐体11とにより枠体を構成している。本体
10の内部にはフイルムキヤリア1の供給収納装
置12が設けられている。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 7. As shown in FIGS. 1 to 3, this device includes a frame body including a main body 10 and a control case 11 provided on the upper surface thereof. Inside the main body 10, a film carrier 1 supply/storage device 12 is provided.
フイルムキヤリア1の供給収納装置12の供給
側には本体10に回転可能に支持された供給リー
ル14があり、収納側には巻き取りリール15が
ある。これらこの供給リール14及び巻き取りリ
ール15はそれぞれ図示しない同期モータによつ
て回転させられる。前記供給リール14には、フ
イルムキヤリア1と、巻き取り時に固形デバイス
2が重なり合つて破損したりするのを防止するス
ペーサテープ16が一緒に巻かれている。 A supply reel 14 rotatably supported by the main body 10 is provided on the supply side of the supply and storage device 12 of the film carrier 1, and a take-up reel 15 is provided on the storage side. The supply reel 14 and take-up reel 15 are each rotated by a synchronous motor (not shown). The supply reel 14 is wound with a spacer tape 16 that prevents the film carrier 1 and the solid device 2 from being overlapped and damaged during winding.
本体10の上面には供給収納装置12から送ら
れたフイルムキヤリア1を定寸送りする定寸送り
装置20が設けられている。定寸送り装置20
は、供給リール14から繰り出されたフイルムキ
ヤリア1の進行経路上にあつて、本体10の上面
に設けられた支持台21に回転可能に支持された
2個一対のスプロケツト22,23と、図示しな
いベルト伝動手段によりこの2つのスプロケツト
22,23を同期回転させる図示しないスプロケ
ツト回転同期モータとを備えており、フイルムキ
ヤリア1のスプロケツト穴1a(第8図参照)に
スプロケツト22,23の外周に設けられた歯が
係合してスプロケツト回転同期モータの定角間欠
回転によりフイルムキヤリア1を定寸づつ順送り
することができる。 A sizing feeding device 20 is provided on the top surface of the main body 10 to feed the film carrier 1 sent from the supply/storage device 12 by a sizing amount. Sizing feed device 20
A pair of sprockets 22 and 23 (not shown) are rotatably supported on a support base 21 provided on the upper surface of the main body 10 on the traveling path of the film carrier 1 unreeled from the supply reel 14. It is equipped with a sprocket rotation synchronous motor (not shown) that rotates these two sprockets 22, 23 synchronously by means of a belt transmission means, and is provided on the outer periphery of the sprockets 22, 23 in the sprocket hole 1a (see FIG. 8) of the film carrier 1. When the sprocket rotation synchronous motor engages with the teeth, the film carrier 1 can be sequentially fed in fixed-length increments by constant-angle intermittent rotation of the sprocket rotation synchronous motor.
また本体10の上面にはフイルムキヤリア1上
の固形デバイス2を打抜くパンチユニツト30が
前記定寸送り装置20に併設されて設けられてい
る。パンチユニツト30は、スプロケツト22と
23を結ぶフイルムキヤリア1の定寸送り経路に
沿つて設けられ、フイルムキヤリア1をクランプ
しながらパンチングツールによつて固形デバイス
2を打抜くパンチングアクチユエータ31と、こ
のパンチングアクチユエータ31を昇降させるた
めにその下方に設けられた直動カムフオロア32
と、これに当接し、昇降せしめるエアシリンダ3
3によつて往復動するリニアカム34とより構成
されている。 Further, a punch unit 30 for punching out the solid device 2 on the film carrier 1 is provided on the upper surface of the main body 10, and is attached to the sizing feeding device 20. The punch unit 30 includes a punching actuator 31 that is provided along a fixed-length feed path of the film carrier 1 connecting the sprockets 22 and 23, and punches the solid device 2 with a punching tool while clamping the film carrier 1. A direct-acting cam follower 32 provided below the punching actuator 31 to raise and lower it.
and the air cylinder 3 that comes into contact with this and raises and lowers it.
3 and a linear cam 34 that reciprocates.
また本体10の上面には周知の爪式又はベルト
式搬送手段によつてリードフレーム3を間欠定寸
送りする送り装置35が設けられている。また図
示しないが、送り装置35の供給側と排出側には
それぞれ別置の搬送手段が設けられ、多数のリー
ドフレーム3は自動的に順送りされていくことが
できるようになつている。 Further, a feeding device 35 is provided on the upper surface of the main body 10 for feeding the lead frame 3 intermittently by a fixed distance using a well-known claw type or belt type conveying means. Further, although not shown, separate conveying means are provided on the supply side and the discharge side of the feeding device 35, respectively, so that a large number of lead frames 3 can be automatically fed sequentially.
また本体10の上面には、フイルムキヤリア1
から打抜かれた固形デバイス2をリードフレーム
3の所定位置に移送する移送アーム装置40が設
けられている。この移送アーム装置40は第1
図、第2図、第4図、第5図に示すように、本体
10の上面に設けられたフイルムキヤリア1の進
行経路に平行な方向(X方向)に沿つて伸長する
X方向ガイドレール41と、これに沿つて送りモ
ータ42により周知の送りねじ機構を介して送ら
れるX方向移動テーブル43と、X方向移動テー
ブル43上に設けられ、X方向と直交する方向
(Y方向)に沿つて伸長する第1Y方向ガイドレー
ル44と、これに沿つて送りモータ45により同
様の送りねじ機構を介して送られる第1Y方向移
動テーブル46と、第1Y方向移動テーブル46
上に設けられ、同じくY方向に沿つて伸長する第
2Y方向ガイドレール47と、これに沿つて送り
モータ48により送りねじ機構を介して送られる
第2Y方向移動テーブル49と、第2Y方向移動テ
ーブル49上に設けられた昇降レール50と、こ
れに沿つて昇降可能な昇降台51と、これを昇降
させるためのエアシリンダ52によつて往復動す
るリニアカム53と、昇降台51に固定され、Y
方向に沿つて伸長する昇降アーム54と、昇降ア
ーム54の先端に設けられた真空吸着ヘツド55
とよりなる。そして、前述のX及びY方向移動テ
ーブル43,46,49の移動により真空吸着ヘ
ツド55は、パンチユニツト30の真上に進出す
ることが可能で、パンチングツールによつて打抜
かれた固形デバイス2をそのまま吸着して保持す
ることが可能なようになつている。 Further, a film carrier 1 is provided on the top surface of the main body 10.
A transfer arm device 40 is provided for transferring the solid device 2 punched from the solid device 2 to a predetermined position on the lead frame 3. This transfer arm device 40
2, 4, and 5, an X-direction guide rail 41 provided on the upper surface of the main body 10 and extending along a direction (X direction) parallel to the traveling path of the film carrier 1. , an X-direction moving table 43 that is fed along this by a feed motor 42 via a well-known feed screw mechanism, and an X-direction moving table 43 that is provided on the A first Y-direction guide rail 44 that extends, a first Y-direction moving table 46 that is fed along this by a feed motor 45 via a similar feed screw mechanism, and a first Y-direction moving table 46 that extends.
A second section is provided above and also extends along the Y direction.
A 2Y-direction guide rail 47, a second Y-direction moving table 49 sent along this by a feed motor 48 via a feed screw mechanism, a lifting rail 50 provided on the second Y-direction moving table 49, and a An elevating table 51 that can be raised and lowered, a linear cam 53 that is reciprocated by an air cylinder 52 for raising and lowering the elevating table 51, and a Y
A lifting arm 54 extending along the direction and a vacuum suction head 55 provided at the tip of the lifting arm 54.
It becomes more. By moving the X- and Y-direction moving tables 43, 46, and 49, the vacuum suction head 55 can advance directly above the punch unit 30, and pick up the solid device 2 punched by the punching tool. It is designed to be able to be adsorbed and held as is.
また本体10の上面には移送アーム装置40の
移送に際し固形デバイス2の位置確認を行う光学
装置60が設けられている。この位置確認用光学
装置60は第1図乃至第3図及び第6図に示すよ
うに、移送アーム装置40によつて移送される固
形デバイス2の真空吸着ヘツド55に吸着された
姿勢での位置ずれ自体を確認する装置と、リード
フレーム3の送り装置35によつて送られるリー
ドフレーム3の基準位置からのずれを確認する装
置とよりなる。前者は、固形デバイス2の移送経
路の真上に設けられたカメラ61と、その真下に
設けられたプリズム62と、プリズム62により
光を屈折させてカメラ61に投光する投光器63
によつて構成され、後者は、リードフレーム3の
搬送経路に沿つて設けられた所定の第1のボンデ
イングステーシヨンの真上に設けられたカメラ7
4と、リードフレーム3に光を反射させてこのカ
メラ64に投光する投光器65によつて構成され
ている。 Further, an optical device 60 is provided on the upper surface of the main body 10 to confirm the position of the solid device 2 when the transfer arm device 40 is transferring the solid device 2 . As shown in FIGS. 1 to 3 and 6, this position confirmation optical device 60 determines the position of the solid device 2 transferred by the transfer arm device 40 when it is attracted to the vacuum suction head 55. It consists of a device for checking the deviation itself and a device for checking the deviation of the lead frame 3 sent by the lead frame 3 feeding device 35 from the reference position. The former includes a camera 61 provided directly above the transfer path of the solid device 2, a prism 62 provided directly below the camera 61, and a light projector 63 that refracts light with the prism 62 and projects it onto the camera 61.
The latter includes a camera 7 installed directly above a predetermined first bonding station provided along the conveyance path of the lead frame 3.
4, and a light projector 65 that reflects light onto the lead frame 3 and projects it onto the camera 64.
また本体10の上面にはリードフレーム3上に
移送された固形デバイス2をリードフレーム3の
送り装置35の搬送経路に沿つて設けられたボン
デイングステーシヨンでボンデイングする2つの
第1及び第2のボンデイング装置70,71が設
けられている。ボンデイング装置70,71は、
前述の第1のボンデイングステーシヨンと、これ
に隣接して同様にリードフレーム3の搬送経路上
に設けられた第2のボンデイングステーシヨンに
対しそれぞれ設けられ、周知のボンデイングヘツ
ドから伸長し、かつ昇降するボンデイングアーム
72の先端には、第7図に示すように中央部に逃
げ部73aを備えたボンデイングツール73が固
定されている。このボンデイングツール73は、
固形デバイス2の本体部分をまたぐようにして干
渉を避けながらその対向する2辺に設けられた外
部リード2aのボンデイングを行うことができ、
第1のボンデイングステーシヨンに設けられた第
1のボンデイング装置70では、ボンデイングツ
ール73の逃げ部73aは真空吸着ヘツド55を
も逃げることが可能に設けられ、第2のボンデイ
ングステーシヨンに設けられた第2のボンデイン
グ装置71では、ボンデイングツール73の逃げ
部73aは第1のボンデイング装置70のそれに
対し直交するように設けてある。 Further, on the upper surface of the main body 10, there are two first and second bonding devices for bonding the solid device 2 transferred onto the lead frame 3 with a bonding station provided along the conveyance path of the feed device 35 of the lead frame 3. 70 and 71 are provided. The bonding devices 70 and 71 are
A bonding device is provided for the first bonding station described above and a second bonding station adjacent thereto, which is also provided on the conveyance path of the lead frame 3, and extends from a well-known bonding head and moves up and down. A bonding tool 73 having a relief portion 73a in the center is fixed to the tip of the arm 72, as shown in FIG. This bonding tool 73 is
It is possible to bond the external leads 2a provided on two opposing sides of the solid device 2 while avoiding interference by straddling the main body of the solid device 2.
In the first bonding device 70 provided in the first bonding station, the relief portion 73a of the bonding tool 73 is provided so that the vacuum suction head 55 can also escape, and the second bonding device 70 provided in the second bonding station In the bonding device 71, the relief portion 73a of the bonding tool 73 is provided perpendicularly to that of the first bonding device 70.
次にかかる構成よりなる外部リード接合装置の
作用について説明する。フイルムキヤリア1は供
給リール14から繰り出されると、スプロケツト
22,23によつて定寸送りされる。この時、同
期モータはスプロケツト回転同期モータと同期し
て間欠回転し、フイルムキヤリア1に過大なテン
シヨンがかかつたり、逆にたるみが出てしまうの
を防止している。フイルムキヤリア1が定寸送り
されて固形デバイス2がパンチユニツト30のパ
ンチングアクチユエータ31上の所定位置に位置
決めされると、次にエアシリンダ33が動作して
リニアカム34が右側へ移動し、これによつて直
動カムフオロア32が上昇し、パンチングアクチ
ユエータ31の図示しないパンチを押し上げ、周
知の機構によりフイルムキヤリア1をクランプし
て固定した後、パンチングツールによつて固形デ
バイス2を上方に打抜く。この時、固形デバイス
2はパンチングツール上にフイルムキヤリア1よ
り分離されて置かれた状態となる。 Next, the operation of the external lead bonding device having such a configuration will be explained. When the film carrier 1 is unwound from the supply reel 14, it is fed by sprockets 22 and 23 by a fixed length. At this time, the synchronous motor rotates intermittently in synchronization with the sprocket rotation synchronous motor to prevent excessive tension from being applied to the film carrier 1 or from causing slack. When the film carrier 1 is fed a fixed distance and the solid device 2 is positioned at a predetermined position on the punching actuator 31 of the punch unit 30, the air cylinder 33 is operated and the linear cam 34 is moved to the right side. The linear-acting cam follower 32 rises, pushes up a punch (not shown) of the punching actuator 31, and after the film carrier 1 is clamped and fixed by a well-known mechanism, the solid device 2 is punched upward by the punching tool. Pull it out. At this time, the solid device 2 is placed on the punching tool separated from the film carrier 1.
次に送りモータ42,45,48の回転によ
り、XYテーブルが移動して昇降アーム54の先
端に設けられた真空吸着ヘツド55がその固形デ
バイス2の真上に位置決めされる。そして、エア
シリンダ52が動作してリニアカム53が後退す
ると昇降台51が下降し、これによつて昇降アー
ム54も下降して真空吸着ヘツド55が固形デバ
イス2を吸着保持する。この後エアシリンダ52
は逆動作してリニアカム53が前進すると昇降台
51が上昇し、昇降アーム54が固形デバイス2
を保持して上昇する。 Next, the XY table is moved by the rotation of the feed motors 42, 45, and 48, and the vacuum suction head 55 provided at the tip of the lifting arm 54 is positioned directly above the solid device 2. Then, when the air cylinder 52 operates and the linear cam 53 retreats, the elevating table 51 descends, whereby the elevating arm 54 also descends and the vacuum suction head 55 suction-holds the solid device 2. After this, air cylinder 52
When the linear cam 53 moves forward, the lifting platform 51 rises, and the lifting arm 54 lifts the solid device 2.
hold and rise.
そして再びXYテーブルが動作して昇降アーム
54を移動させ、固形デバイス2をその位置確認
用光学装置60の下方に位置せしめる。この時、
投光器63から照射された光はプリズム62によ
つて屈折され、固形デバイス2を下方から透過す
るようにカメラ61に投光される。この透過光に
よる映像では、外部リード2a、固形デバイス2
は影として映るため、コントラストが明確にな
り、カメラ61による自動認識のエラーは極めて
発生しにくくなり都合がよい。こうしてカメラ6
1でとらえた映像は図示しない認識部で処理さ
れ、同時に投光器65から照射された光をリード
フレーム3の表面に反射させてカメラ64に投光
することによつて得られたリードフレーム3の映
像も同じ認識部で処理されて、この2つの位置ず
れの認識結果に基づき、そのずれを修正するよう
に送りモータ42,45,48の回転量にフイー
ドバツクされる。そして、その結果、昇降アーム
54は更に移動して固形デバイス2をリードフレ
ーム3の所定位置の真上に正しく位置決めする。 Then, the XY table operates again to move the lifting arm 54 and position the solid device 2 below the optical device 60 for confirming its position. At this time,
The light emitted from the light projector 63 is refracted by the prism 62 and is projected onto the camera 61 so as to pass through the solid device 2 from below. In this image using transmitted light, the external lead 2a, the solid device 2
is reflected as a shadow, the contrast becomes clear, and errors in automatic recognition by the camera 61 are extremely unlikely to occur, which is convenient. In this way camera 6
The image captured in step 1 is processed by a recognition unit (not shown), and at the same time, an image of the lead frame 3 obtained by reflecting the light emitted from the light projector 65 on the surface of the lead frame 3 and projecting it onto the camera 64 is obtained. are also processed by the same recognition unit, and based on the recognition result of these two positional deviations, feedback is given to the rotation amounts of the feed motors 42, 45, and 48 so as to correct the deviations. As a result, the lifting arm 54 moves further to correctly position the solid device 2 directly above the predetermined position of the lead frame 3.
位置決めが終ると、次にエアシリンダ52が再
び動作してリニアカム53が後退し、昇降アーム
54が下降して真空吸着ヘツド55が固形デバイ
ス2をリードフレーム3上の所定位置に正しく載
置し、そのままこれを下方に軽く押圧しながら保
持する。そして、この状態で第1のボンデイング
装置70のボンデイングアーム72が周知の機構
によつて下降し、そのボンデイングツール73は
固形デバイス2と真空吸着ヘツド55の両方を逃
げ部73aによつて逃げ、干渉を避けながら固形
デバイス2の対向する2辺に設けられた外部リー
ド2aを同時にリードフレーム3にボンデイング
する。 When the positioning is completed, the air cylinder 52 operates again, the linear cam 53 retreats, the elevating arm 54 descends, and the vacuum suction head 55 correctly places the solid device 2 at a predetermined position on the lead frame 3. Hold this while pressing lightly downwards. Then, in this state, the bonding arm 72 of the first bonding device 70 is lowered by a well-known mechanism, and the bonding tool 73 escapes both the solid device 2 and the vacuum suction head 55 through the relief part 73a and interferes with the The external leads 2a provided on two opposing sides of the solid device 2 are bonded to the lead frame 3 at the same time while avoiding the above.
この後、ボンデイングアーム72が上昇する
と、真空吸着ヘツド55も固形デバイス2の吸着
を止めて上昇し、再び一連の動作を繰り返すべく
パンチユニツト30の上方へ進出していく。一
方、外部リード2aの半分をボンデイングされた
固形デバイス2は送り装置35によつて間欠送り
されて第2のボンデイングステーシヨンへ送ら
れ、ここで第1のボンデイング装置70と全く同
様に第2のボンデイング装置71によつて他の対
向する2辺の外部リード2aをリードフレーム3
に対し同時にボンデイングされ、ここで外部リー
ド2aの接合が完了する。 Thereafter, when the bonding arm 72 rises, the vacuum suction head 55 also stops adsorbing the solid device 2, rises, and advances above the punch unit 30 to repeat the series of operations again. On the other hand, the solid device 2 to which half of the external leads 2a have been bonded is intermittently fed by the feeding device 35 to the second bonding station, where it is bonded to the second bonding station in exactly the same way as the first bonding device 70. The device 71 connects the external leads 2a on the other two opposing sides to the lead frame 3.
At this point, bonding of the external leads 2a is completed.
さて、フイルムキヤリア1はパンチユニツト3
0を通過すると、スプロケツト23を経由してス
ペーサテープ16と共に巻き取りリール15に巻
き取られる。 Now, film carrier 1 is punch unit 3.
When it passes through 0, it passes through the sprocket 23 and is taken up on the take-up reel 15 together with the spacer tape 16.
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、固形デバイスの打抜き後の保持位置とリード
フレームの位置の両方を自動認識して、そこに生
じる相対的な位置ずれの量と方向を演算し、これ
を固形デバイスの移送用XY方向移動テーブルの
移動制御系へフイードバツクして最終位置決めを
行うため、接合位置精度が高い。また固形デバイ
スの保持位置の認識に下方からの透過光を用いる
ことにより、その影を撮影して外部リードの切断
時の状況にかかわらず均一な画像が得られ、自動
認識エラーがなく確実な作業が可能である。[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the present invention, both the holding position of the solid device after punching and the position of the lead frame are automatically recognized, and relative positional deviations occurring therein can be corrected. The bonding position accuracy is high because the amount and direction are calculated and fed back to the movement control system of the XY direction moving table for solid device transfer for final positioning. In addition, by using transmitted light from below to recognize the holding position of the solid device, its shadow can be photographed and a uniform image can be obtained regardless of the situation when cutting the external lead, ensuring reliable work without automatic recognition errors. is possible.
第1図は本発明になる外部リード接合方法の一
実施例を示す正面図、第2図は第1図の右側面
図、第3図は第1図の平面図、第4図は固形デバ
イスの移送部の部分詳細正面図、第5図は第4図
の部分詳細右側面図、第6図は固形デバイス移送
部に設けられた光学的位置認識手段の動作説明
図、第7図はボンデイング時の動作状態図、第8
図はフイルムキヤリアの平面図、第9図はリード
フレームの平面図、第10図は基板の平面図、第
11図はリードフレームに接合された固形デバイ
スの平面図、第12図は基板に接合された固形デ
バイスの平面図及び側面図である。
1……フイルムキヤリア、2……固形デバイ
ス、2a……外部リード、3……リードフレー
ム、3a……リード接合部、30……パンチユニ
ツト、40……移送アーム装置、43……X方向
移動テーブル、46……第1Y方向移動テーブル、
49……第2Y方向移動テーブル、55……真空
吸着ヘツド、60……光学装置、61……カメ
ラ、62……プリズム、63……投光器。
Fig. 1 is a front view showing an embodiment of the external lead joining method according to the present invention, Fig. 2 is a right side view of Fig. 1, Fig. 3 is a plan view of Fig. 1, and Fig. 4 is a solid device. 5 is a partial detailed right side view of the transfer section of FIG. 4, FIG. 6 is an explanatory diagram of the operation of the optical position recognition means provided in the solid device transfer section, and FIG. 7 is a bonding Operating state diagram at time, No. 8
The figure is a plan view of the film carrier, Fig. 9 is a plan view of the lead frame, Fig. 10 is a plan view of the substrate, Fig. 11 is a plan view of the solid device bonded to the lead frame, and Fig. 12 is a plan view of the solid device bonded to the substrate. FIG. 3 is a top view and a side view of a solid state device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Film carrier, 2... Solid device, 2a... External lead, 3... Lead frame, 3a... Lead joint part, 30... Punch unit, 40... Transfer arm device, 43... X direction movement Table, 46...first Y direction moving table,
49... Second Y direction moving table, 55... Vacuum suction head, 60... Optical device, 61... Camera, 62... Prism, 63... Light projector.
Claims (1)
られた固形デバイスをパンチングにより打抜き、
この打抜かれた固形デバイスを真空吸着ヘツドで
吸着してリードフレーム上のリード接合部へ移送
載置し、前記外部リードと前記リード接合部とを
接合する外部リード接合方法において、前記真空
吸着ヘツドに保持された固形デバイスを下方から
透過するようにカメラに投光し、この透過による
外部リードの影の映像をカメラでとらえ、これを
認識部で処理してリードフレームの位置との相対
的な位置ずれを演算し、これを固形デバイスの移
送用XY方向移動テーブルの移動制御系へフイー
ドバツクして固形デバイスをリードフレームの所
定位置に位置決めすることを特徴とする外部リー
ド接合方法。1 Punching a solid device supported by external leads on a film carrier,
In an external lead bonding method, the punched solid device is sucked by a vacuum suction head, transferred and placed on a lead joint portion on a lead frame, and the external lead and the lead joint portion are bonded. Light is projected onto the camera so as to pass through the held solid device from below, and the camera captures an image of the shadow of the external lead due to this transmission.This is processed by the recognition unit to determine the position relative to the position of the lead frame. An external lead bonding method characterized by calculating the deviation and feeding it back to a movement control system of an XY direction moving table for transferring the solid device to position the solid device at a predetermined position on the lead frame.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16603486A JPS6320847A (en) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | External lead junction method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16603486A JPS6320847A (en) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | External lead junction method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6320847A JPS6320847A (en) | 1988-01-28 |
JPH0467783B2 true JPH0467783B2 (en) | 1992-10-29 |
Family
ID=15823716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16603486A Granted JPS6320847A (en) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | External lead junction method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6320847A (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2687122B2 (en) * | 1987-01-26 | 1997-12-08 | 株式会社ジャパンエナジー | Multilayer CdTe radiation detection element |
US7071992B2 (en) | 2002-03-04 | 2006-07-04 | Macronix International Co., Ltd. | Methods and apparatus for bridging different video formats |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP16603486A patent/JPS6320847A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6320847A (en) | 1988-01-28 |
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