JPH0466446U - - Google Patents

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JPH0466446U
JPH0466446U JP1990108949U JP10894990U JPH0466446U JP H0466446 U JPH0466446 U JP H0466446U JP 1990108949 U JP1990108949 U JP 1990108949U JP 10894990 U JP10894990 U JP 10894990U JP H0466446 U JPH0466446 U JP H0466446U
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JP
Japan
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support
cushion material
fan
base portion
laser oscillator
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Application number
JP1990108949U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例による振動体取
付構造を示す部分断面図、第２図は第１図に示さ
れた振動体取付構造をもつレーザ発振装置を具備
したレーザ加工装置の顕微鏡の対物レンズでの振
動スペクトルを示す図、第３図は第１図に示され
た振動体取付構造の一変形例を示す部分断面図、
第４図は第１図に示された振動体取付構造の他の
変形例を示す部分断面図、第５図は本考案の第２
の実施例による振動体取付構造を示す部分断面図
、第６図は本考案が適用されるレーザ加工装置を
示す正面図、第７図は第６図のレーザ加工装置の
側面図、第８図は第６図のレーザ加工装置に使用
されるレーザ発振装置を示す部分破断図、第９図
は第８図の矢印方向から視た図、第１０図は第
８図のレーザ発振装置の内部を示す図、第１１図
は第９図の線−に関する従来の振動体取
付構造を示す断面図、第１２図は第１１図に示さ
れた振動体取付構造をもつレーザ発振装置を具備
したレーザ加工装置の顕微鏡の対物レンズでの振
動スペクトルを示す図である。 ３３……フアン、３９……支柱、４１……固定
板、４５……フアンベース、４５ａ……バカ穴、
４６……ネジ、４７，４７ａ……クツシヨン、４
９……ネジ、５０……平座金、５１……圧縮コイ
ルバネ、５１ａ……ゴムチユーブ、５１ｂ……蛇
腹、５２，５３……クツシヨン押さえ、５４……
ナツト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 振動体のベース部を支持体に、前記ベース部
    と前記支持体との間にクツシヨン材を介在させた
    状態で、軸部と該軸部の一端に設けられたフラン
    ジとを有する結合部材を用いて、前記軸部の他端
    を前記ベース部に空けられた穴を介して前記支持
    体に挿入・固定して取り付ける振動体取付構造に
    於いて、 前記穴は上記軸部の径より大きい径をもつバカ
    穴であり、 前記フランジと前記ベース部側との間に弾性部
    材を介在させた ことを特徴とする振動体取付構造。 ２ レーザビームを発振するレーザ発振器と、該
    レーザ発振器を支持する支持体と、前記レーザ発
    振器を強制空冷するためのフアンと、該フアンを
    前記支持体に取り付けるための取付け部材と、を
    有するレーザ発振装置に於いて、 前記取付け部材は、 前記フアンを固定するためのベース部と、 前記ベース部と前記支持体との間に介在し、前
    記フアンの振動よる前記ベース部の振動が前記支
    持体に伝わるのを減じるためのクツシヨン材と、 軸部と該軸部の一端に設けられたフランジとを
    有し、前記軸部の他端を前記ベース部に空けられ
    たバカ穴を介して前記支持体に挿入・固定するこ
    とにより、前記ベース部を上記支持体に結合する
    結合部材と、 前記フランジと前記ベース部との間に介在し、
    前記ベース部の振動が前記結合部材を介して前記
    支持体に伝わるのを減じるための弾性部材と、 を含むことを特徴とするレーザ発振装置。 ３ レーザビームを出射するレーザ発振器と、該
    出射されたレーザビームを被加工物に集光して該
    被加工物を加工するための対物レンズを含む顕微
    鏡と、該顕微鏡に前記レーザ発振器を固定・支持
    するための支持体と、前記レーザ発振器を強制空
    冷するためのフアンと、該フアンを前記支持体に
    取り付けるための取付け部材と、を有するレーザ
    加工装置に於いて、 前記取付け部材は、 前記フアンを固定するためのベース部と、 前記ベース部と前記支持体との間に介在し、前
    記フアンの振動による前記ベース部の振動が前記
    支持体に伝わるのを減じるためのクツシヨン材と
    、 軸部と該軸部の一端に設けられたフランジとを
    有し、前記軸部の他端を前記ベース部に空けられ
    たバカ穴を介して前記支持体に挿入・固定するこ
    とにより、前記ベース部を上記支持体に結合する
    結合部材と、 前記フランジと前記ベース部との間に介在し、
    前記ベース部の振動が前記結合部材を介して前記
    支持体に伝わるのを減じるための弾性部材と、 を含むことを特徴とするレーザ加工装置。 ４ 振動体のベース部を支持体に、前記ベース部
    と前記支持体との間にクツシヨン材を介在させた
    状態で、取り付ける振動体取付構造に於いて、 前記クツシヨン材の前記ベース部に対向する面
    に固着され、前記クツシヨン材を前記ベース部に
    結合するための第１の結合部材と、 前記クツシヨン材の前記支持体に対向する面に
    固着され、前記クツシヨン材を前記支持体に結合
    するための第２の結合部材と、 を含むことを特徴とする振動体取付構造。 ５ レーザビームを発振するレーザ発振器と、該
    レーザ発振器を支持する支持体と、前記レーザ発
    振器を強制空冷するためのフアンと、該フアンを
    上記支持体に取り付けるための取付け部材と、を
    有するレーザ発振装置に於いて、 前記取付け部材は、 前記フアンを固定するためのベース部と、 前記ベース部と前記支持体との間に介在し、前
    記フアンの振動よる前記ベース部の振動が前記支
    持体に伝わるのを減じるためのクツシヨン材と、 前記クツシヨン材の前記ベース部に対向する面
    に固着され、前記クツシヨン材を前記ベース部に
    結合するための第１結合部材と、 前記クツシヨン材の前記支持体に対向する面に
    固着され、前記クツシヨン材を前記支持体に結合
    するための第２の結合部材と、 を含むことを特徴とするレーザ発振装置。 ６ レーザビームを出射するレーザ発振器と、該
    出射されたレーザビームを被加工物に集光して該
    被加工物を加工するための対物レンズを含む顕微
    鏡と、該顕微鏡に前記レーザ発振器を固定・支持
    するための支持体と、前記レーザ発振器を強制空
    冷するためのフアンと、該フアンを前記支持体に
    取り付けるための取付け部材と、を有するレーザ
    加工装置に於いて、 前記取付け部材は、 前記フアンを固定するためのベース部と、 前記ベース部と前記支持体との間に介在し、前
    記フアンの振動による前記ベース部の振動が前記
    支持体に伝わるのを減じるためのクツシヨン材と
    、 前記クツシヨン材の前記ベース部に対向する面
    に固着され、前記クツシヨン材を前記ベース部に
    結合するための第１結合部材と、 前記クツシヨン材の前記支持体に対向する面に
    固着され、前記クツシヨン材を前記支持体に結合
    するための第２の結合部材と、 を含むことを特徴とするレーザ加工装置。
JP1990108949U 1990-10-19 1990-10-19 Pending JPH0466446U (ja)

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JP1990108949U JPH0466446U (ja) 1990-10-19 1990-10-19

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