JPH0464175A - 画像取得処理装置及び画像入力方法 - Google Patents

画像取得処理装置及び画像入力方法

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JPH0464175A
JPH0464175A JP2176659A JP17665990A JPH0464175A JP H0464175 A JPH0464175 A JP H0464175A JP 2176659 A JP2176659 A JP 2176659A JP 17665990 A JP17665990 A JP 17665990A JP H0464175 A JPH0464175 A JP H0464175A
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image
image acquisition
data
group
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JP2176659A
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Shigeki Taniguchi
茂樹 谷口
Tetsuo Hizuka
哲男 肥塚
Giichi Kakigi
柿木 義一
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目 次〕 w1要 産業上の利用分野 従来の技術(第6図) 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段(第1図) 作用 実施例 (i)第1の実施例の説明(第2図〜第4図)に1)第
2の実施例の説明(第5図) 発明の効果 〔概 要〕 画像取得処理装置、特に設計データに基づいて実装され
た電子部品等の物体の画像を取得処理する装置に関し、 該物体の分布状況を認識して画像入力順序を決定し、画
像取得装置の無駄な動きを減らし、画像取得時間を短縮
することを目的とし、 第1の装置は、物体の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段からの画像データを処理する画像処理
手段と、前記物体の移動をする移動手段と、前記画像取
得手段1画像処理手段及び移動手段の入出力を制御する
制御手段とを具備し、前記制御手段が物体の配置データ
に基づいて前記画像取得手段を領域選択移動制御するこ
とを含み構成し 第2の装置は、物体の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段からの画像データを処理する画像処理
手段と、前記物体の移動をする移動手段と、前記画像取
得手段1画像処理手段及び移動手段の入出力を制御する
制御手段とを具備し、前記制御手段が物体の配置データ
に基づいて前記移動手段を領域選択移動制御することを
含み構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、画像取得処理装置及び画像入力方法に関する
ものであり、更に詳しく言えば、設計データに基づいて
実装された電子部品等の画像を取得する装置及び画像入
力領域の決定方法に関するものである。
近年、コンピュータの普及による産業の自動化に伴い、
組立・検査工程において、電子部品等の物体の有無・位
置ずれなどを高速に検査する処理装置が要求されている
0例えば、IC(半導体集積回路装置)等の部品の実装
状態は、実装部品検査装置により、その設計データと画
像取得データとが比較処理され、その良否が検査されて
いる。
これによれば、実装部品がプリント基板に分布して配置
されたり、組立工程の途中において、電子部品が部分的
に取り付けられた場合であっても、画像取得装置をプリ
ント基板の端から端まで往復走査し、その画像を取得し
ている。
このため、画像取得装置の移動走査に無駄を生じたり、
これにより画像取得時間が多くなって検査装置のスルー
プットの低下を招くことがある。
そこで、実装部品等の物体の分布状況を認識して画像入
力順序を決定し、画像取得装置の無駄な動きを減らし、
画像取得時間を短縮することができる装置とその方法が
望まれている。
〔従来の技術〕
第6図は、従来例に係る画像取得処理装置の構成図であ
る。
回において、例えば、実装部品検査装置に応用される画
像取得処理装置は、照明装置EI、カメラ2、信号処理
回路39画像メモIJ4.CPU(中央演算処理装置)
5及びステージ移動装置6から成る。
また、該処理装置の機能は、まず、実装部品7aに光L
12が照射され、その反射光L22がカメラ2により取
り込まれる。さらに、カメラ2から出力された画像取得
信号S2が信号処理回路3によりデジタル処理され、そ
れが画像データDI2となって画像メモリ4に格納され
る。画像データ012は、例えば、CPU5により設計
データD22と比較処理され、その判定結果データD4
2が出力される。
この際の画像入力方法は、同図破線円内図に示すように
、例えば、CPU5によりカメラ2がプリント基板7の
端に位置合わせされ、そのカメラ2が移動軌跡L3に示
すように該基板7の端から端まで往復走査されている。
これにより、実装部品7aの画像を取得することができ
る。
また、固定されたカメラ2の光軸がプリント基板7の端
に位置合わせされ、該基板7を載置したステージ移動装
置6がそのカメラ2の光軸を該基板の端から端まで往復
するように移動走査されている。
これにより、先のカメラ2を移動走査する場合と同様に
実装部品7aの画像を取得することができる。
〔発明が解決しようとする課題] ところで、従来例によればプリント基板7の実装部品7
aの配置に無関係に、カメラ2をその基板7の一端に位
置合わせし、該カメラ2をその端から他の端まで往復走
査している。
このため、設計データにより実装部品がプリント基板に
分布して配置された状態や、その組立工程の途中におい
て、電子部品が部分的に取り付けられた状態の画像を取
得する場合であっても、該カメラ2がその端から他の端
まで往復走査される。
このことから、画像取得装置の移動走査に無駄を生ずる
ことがある。これは、検査を必要とする検査対象領域か
ら外れた電子部品等が取り付けられていないプリント基
板の部分の画像データも取得することになるからである
これにより画像取得時間が多くなって検査装置のスルー
ブツトの低下を生ずるという問題がある。
本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作されたもの
であり、実装部品等の物体の分布状況を認識して画像入
力順序を決定し、画像取得装置の無駄な動きを減らし、
画像取得時間を短縮することが可能となる画像取得処理
装置及び画像入力方法の提供を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
第1図は、本発明に係る画像取得処理装置の原理図であ
る。
その第1の装置は、物体15の画像を取得する画像取得
手段11と、前記画像取得手段11からの画像データD
Iを処理する画像処理手段12と、前記物体15の移動
をする移動手段14と、前記画像取得手段11.Wi像
処理手段12及び移動手段14の入出力を制御する制御
手段13とを具備し、前記制御手段13が物体15の配
置データD2に基づいて前記画像取得手段11を領域選
択移動制御することを特徴とし、 その第2の装置は、物体15の画像を取得する画像取得
手段11と、前記画像取得手段11がらの画像データD
1を処理する画像処理手段12と、前記物体15の移動
をする移動手段14と、前記画像取得手段11.画像処
理手段12及び移動手段14の入出力を制御する制御手
段13とを具備し、前記制御手段14が物体15の配置
データD2に基づいて前記移動手段12を領域選択移動
制御することを特徴とし、 その方法は、分布配置をしている複数の物体15の画像
を取得する方法であって、前記物体15の配置データD
2に基づいて画像取得領域A1〜Anの決定処理をし、
前記決定処理に基づいて移動制御データD3の作成処理
をし、前記移動制御データD3に基づいて、前記物体1
5の画像の取得処理をすることを特徴とし、 前記方法において、前記決定処理は、画像取得手段11
の画像入力範囲に基づいて前記複数の物体15を第1の
グループに分割処理し、前記第1のグループに分割処理
された物体15の分布配置に基づいて第1のグループを
第2のグループに変更処理し、前記第2のグループに基
づいて前記画像取得領域A1〜Anの設定処理をするこ
とを特徴とし、上記目的を達成する。
〔作 用〕
本発明の第1の装置によれば、物体15の配置データD
2に基づいて画像取得手段11を領域選択移動制御をす
る制御手段13が設けられている。
このため、制御手段13が物体15の配置データD2に
基づいて、その分布状況を認識することにより、被検査
対象領域から外れた物体15が存在していない部分の画
像取得処理を省略する移動制御をすることができる。こ
のことで、画像取得装置の移動走査に無駄が無くなる。
これにより、画像入力回数の低減化及び画像取得時間の
短縮化を図ることが可能となる。このことで、高速画像
取得機能を備えた検査装置を製造することが可能となる
また、本発明の第2の装置によれば、物体I5の配置デ
ータD2に基づいて移動手段14を領域選択移動制御す
る制御手段13が設けられている。
このため、第1の装置と同様に被検査対象領域から外れ
た物体15が存在していない部分の画像取得処理が省略
される。このことで、見かけ上画像取得装置の移動走査
に無駄が無くなる。
これにより、第1の装置と同様に画像入力回数の低減化
及び画像取得時間の短縮化を図ることが可能となる。
また、本発明の方法によれば、物体15の配置データD
2に基づいて画像取得領域A1〜Anの決定処理をして
いる。
例えば、画像取得手段11の画像入力範囲に基づいて複
数の物体15が予備的に、幾つかの第1のグループに分
割処理され、該第1のグループに分割処理された物体1
5の分布配置が他のグループに分割処理された物体15
と近接する場合には、その第1のグループの物体15が
他のグループに変更処理され、該変更処理により得られ
た第2のグループに基づいて画像取得領域Al−Anの
設定処理をする決定処理がされている。
このため、該決定処理に基づいて作成処理された移動制
御データD3に基づいて、物体15の画像の取得処理を
することができる。このことで、物体15が分布配置さ
れている画像を取得する場合に、従来例のように画像取
得装置IIをその端から他の端まで往復走査することな
く、その領域を選択して画像取得手段IIや移動手段1
4を移動する領域選択移動制御をすることが可能となる
これにより、画像取得時間の短縮化が図られ、画像取得
処理の高速化により、当該画像取得処理装置を応用した
検査装置のスループットの向上を図ることが可能となる
〔実施例〕
次に図を参照しながら本発明の実施例について説明をす
る。
第2〜5図は、本発明の実施例に係る画像取得処理装置
及び画像入力方法を説明する図である。
(1)第1の実施例の説明 第2図は、本発明の実施例に係る画像取得処理装置の構
成図を示している。
図において、例えば、実装部品検査装置に応用する画像
取得処理装置について説明をする。
まず、20は照明装置であり、プリン14板26に照明
光Lllを照射するものである。照明装置20は白熱灯
や蛍光灯から成り、不図示のXYステージに載置された
プリント基板26の上面方向に設けられる。
21は画像取得手段11の一実施例となるカメラ21A
及び撮像系移動装置21Bを示している。カメラ21A
は、二次元画像を取得するCCD (光電撮像素子)装
置等を用い、実装部品26a等からの反射光L21を検
出して画像取得信号S1を出力するものである。
撮像系移動装置21Bは、照明袋220とカメラ21A
とを固定し、それを同時に移動走査するものである1本
発明の実施例では、CPU23から移動制御データD3
1に基づいて、プリント基板26上をXY力方向移動走
査をすることができる。
22A〜22Cは画像処理手段12の一実施例であり、
信号処理回路1画像入力回路2画像処理回路及び画像メ
モリから成る。信号処理面llI22Aは、画像取得信
号S1をアナログ/デジタル変換をして画像データDl
lを出力するものである。画像入力回路22Bは、画像
データDllを画像メモリ22Cに入力処理するもので
あり、画像処理回路22Cは、画像データDllを読み
出して、比較判定等の画像処理をするものである。
24は移動手段14の一実施例となるステージ移動装置
であり、プリント基板26を移動するものである。
26は物体15の一例となるプリント基板であり、設計
データD21に基づいて複数の実装部品26aが該基板
26に取り付けられている。この実装部品26aは設計
データD21と画像取得処理された画像データDllと
を比較判定することにより、設計通りに取り付けられて
いるか、否かが検査される。この判定結果データD41
を出力する検査装置に当該画像取得処理装置が用いられ
る。
23は制御手段13の一実施例となるCPU(中央演算
処理袋W)であり、照明装置20.カメラ21A、撮像
系移動装置21B1画像処理手段12及びステージ移動
装置24の入出力を制御するものである。
ここで、CPU23は、プリント基板26の実装部品2
6aの設計データD21を入力して同図破線円内図に示
すように撮像系移動袋W 21 Bを領域選択移動制御
するものである。
すなわち、同円内図において、カメラ21Aの移動軌跡
L1に沿って、画像取得領域A1〜A3の各位置P1〜
P6を通過するように撮像系移動袋221 Bを制御す
ることができる。
このようにして、本発明の第1の実施例に係る装置によ
れば、プリント基板26の実装部品26aの設計データ
D21に基づいて撮像系移動袋221 Bを領域選択移
動制御をするCPU23が設けられている。
このため、CPU23が該設計データD21に基づいて
その分布状況を認識することにより、被検査対象領域か
ら外れた実装部品26aが存在していない部分の画像取
得処理を省略する移動制御をすることができる。このこ
とで、カメラ21Aの移動走査に無駄が無くなる。
これにより、画像入力回数の低減化及び画像取得時間の
短縮化を図ることが可能となる。
次に、本発明の第1の実施例に係る画像入力方法につい
て、当該装置の動作を補足しながら説明をする。
第3図は、本発明の実施例に係る画像入力方法のフロー
チャートであり、第4図(a)〜(b)は、そのフロー
チャートの補足説明図をそれぞれ示している。
第3図において、例えば、プリント基板26に分布配置
をしている複数の実装部品26aの画像を取得する場合
を例にして説明をする。
まず、ステップP1〜P6で実装部品26aの設計デー
タD21に基づいて画像取得領域A1〜A3の決定処理
をする。
すなわち、ステップP1でカメラ21Aの画像入力範囲
に基づいて複数の実装部品26aを第1のグループに分
割処理する。この際に、まず、実装部品26aの設計デ
ータD21をメモリ上に展開する(第4図(a)参照)
。その後、カメラ21Aが同時に画像入力することがで
きる画像入力範囲(撮像系の視野)に基づいて、予備的
に被撮像領域を分割する。例えば、被撮像領域に3つの
第1のグループg1〜g3を設定する(第4図(b)参
照)。
次に、ステ・7プP2で第1のグループ内の実装部品2
6aの分布配置の識別判断をする。ここで、例えば、第
1のグループgl内の実装部品26aに比べて、離れて
いる実装部品26bが配置されている場合(YES)に
は、ステップP3に移行する。
また、第1のグループgl内に離れている実装部品26
bが配置されていない場合(No)には、ステップP7
に移行する。
ステップP3では、他のグループに近接する実装部品2
6aの認識判断をする。この際の認識判断は、第1のグ
ループgl内の実装部品26bの配置データと第2のグ
ループg2内の実装部品26aの配置データとがCPU
23により比較判断される。
ここで、他のグループに近接する実装部品26bがある
場合(YES)には、ステップP4に移行し、それが無
い場合(No)には、ステップP7に移行する。
本発明の実施例では、CPU23により、第1のグルー
プgl内の実装部品26bが第2のグループg2内の実
装部品26aに近接していることが識別される。
従って、ステップP4で実装部品26bの分布配置に基
づいて第1のグループを第2のグループに変更処理する
。この際に、第1のグループg1の実装部品26bが第
1のグループg2に吸収される。
また、実装部品26bが除かれた第1のグループg1を
新たに第2のグループG1とし、実装部品26bが吸収
された第1のグループg2を新たに第2のグループG2
と設定する(第4図(c)参照)。
その後、ステップP5で第1.第2のグループの面積の
大小判断をする。この際に、例えば、変更処理前の第1
のグループgl、g2に係る被撮像領域の面積の和と、
新たに第2のグループGIG2とした被撮像領域の面積
の和とが比較処理される。ここで、面積の和が少ない場
合(YES)には、ステップP7に移行する。逆にその
和が多くなる場合(NO)には、ステップP6に移行し
て、第2のグループGl、G2を元の第1のグループg
工、g2に変更処理をする。これは、実装部品26aが
均等に配置されているため、画像取得領域の削減を図れ
ない場合である。
本発明の実施例では、CPU23により、変更処理前の
第1のグループgl、g2に係る被撮像領域の面積の和
に比べて、新たに第2のグループGl、G2とした被撮
像領域の面積の和の方が少ないことが認識される。なお
、第1のグループg3を第2のグループG3とした被撮
像領域の面積の和が同等であるため、この場合の変更処
理はない。
これにより、新たな第2のグループ01〜G3の被撮像
領域が画像取得領域A1〜A3として設定処理される(
第4図(d)参照)。
次に、ステップP7で画像取得領域A1〜A3の最短経
路を求め、これに基づいて移動制御データD31の作成
処理をする。ここで第4図(d)において、画像取得領
域A1の検出幅Wを二分する位置PI(にI、yl )
を始点として設定する。この始点がカメラ21Aの撮像
開始点となる。
また、始点P 1 (xi、yl )から他の画像取得
領域A2.A3を通過する位置座標P2〜P6を最短経
路法により求める。
本発明の実施例では、画像取得M域A1のPl(xi、
yl )からP2 (xi、  y2)に移動経路■が
設定され、領域A1のP2から画像取得領域A2のP 
3 (x2.−y2)に移動経路■が設定される。
また、領域A2のP3から領域A2のP4(χ2−y3
)に移動経路■が設定され、領域A20P4から画像取
得領域A3のP5 (x3.  y3)に移動経路■が
設定される。さらに、GJi域A3のP5から同領域A
3の移動終了点となるP 6 (X3. y1)に移動
経路■が設定される。
この各位置座標PI−P6が移動制御データD31とし
てCPU23により演算処理される。
その後、ステップP8で移動#御データD31に基づい
て、撮像系移動装置21Bの移動制御をする。
これにより、分布配置された実装部品26aの画像の選
択取得処理をすることができる。
このようにして、本発明の実施例に係る画像入力方法に
よれば、ステップP1〜P6で実装部品26aの配置デ
ータD21に基づいて画像取得8JI 314 A1〜
A3の決定処理をしている。
すなわち、カメラ21Aの画像入力範囲に基づいて複数
の実装部品26aが予備的に、3つの第1のグループg
1〜g3に分割処理され、該第1のグループglに分割
処理された実装部品26aの分布配置が他のグループg
2に分割処理された実装部品26aと近接する場合には
、その第1のグループglの実装部品26bが他のグル
ープg2に変更処理され、該変更処理により得られた第
2のグループGI−G3に基づいて画像取得領域AI−
A、9の設定処理をする設定処理がされる。
このため、該決定処理に基づいて作成処理された移動制
御データD31により、カメラ21AJ?)I!!?明
装M20を固定した撮像系移動装置21Bを被撮像領域
を選択しながら移動をする領域遺択移動#潅をすること
が可能となる。
このことで、実装部品26aが分布配置されている画像
を取得する場合に、従来例のようにカメラ21Aをその
端から他の端まで往復走査することなく、実装部品26
aの配置領域を選択しながら画像取得処理をすることが
できる。
これにより、画像取得時間の短縮化が図られ、画像取得
処理の高速化により、当該画像取得処理装置を応用した
検査装置のスルーブツトの向上を図ることが可能となる
(ii)第2の実施例の説明 第5回は、本発明の第2の実施例に係る画像取得処理装
置の構成図である。
図において、第1の実施例と異なるのは、第2の実施例
では、CPU23が実装部品26aの設計データD21
に基づいてステージ移動袋’124を領域選択移動制御
するものである。
すなわち、照明装置20とカメラ21とは、当該装置本
体に固定されており、該カメラ21の光軸下をプリント
基板26を載置したXYステージ24Aが移動されるも
のである。
なお、第1の実施例と同じ記号及び同じ名称のものは、
同じ機能を有するため説明を省略する。
また、同図破線円内図において、L3はカメラ21の見
かけ上の移動軌跡であり、XYステージ24Aの位置座
標21〜p6を結ぶ経路となるものである。この際の移
動制御データD32は、第1の実施例のように実装部品
26aの設計データD21に基づいてCPU23により
演算処理され、各通過点の位置座標が、本発明の実施例
では、pi(xi、yl ) 、  p 2 (xi、
 y2) 、  p 3 (−x2. y2) 、 p
4 (−x2. y3) 、  p 5 (−x3. 
y3)及びp6(−X3. y1)として設定される。
これにより、ステージ移動装置24が移動制御データD
32に基づいて領域選択移動制御される。
このようにして、本発明の第2の実施例に係る装置によ
れば、実装部品26aの配置データD21に基づいてス
テージ移動装置24を領域選択移動制御するCPU23
が設けられている。
二のため、第1の実施例と同様に被検査対象領域から外
れた実装部品26aが存在していない部分の画像取得処
理が省略される。このことで、カメラ21の移動に無駄
が無くなる。
これにより、第1の実施例と同様に画像入力回数の低減
化及び画像取得時間の短縮化を図ることが可能となる。
なお、本発明の実施例では、移動制御データD3L  
D32に基づいて撮像系移動装置21Bやステージ移動
装置24を個々に移動制御する場合についいて説明をし
たが、両装置21Bや24を同時に制御することにより
、さらに、画像取得処理時間の短縮化を図ることが可能
となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の装置によれば、物体の配
置データに基づいて画像取得手段や移動手段を領域選択
移動制御をする制御手段が設けられている。
このため、被検査対象領域から外れた物体が存在してい
ない部分の画像取得処理を省略する移動制御をすること
ができる。このことで、画像取得装置の移動走査に無駄
が無くなる。
また、本発明の方法によれば、物体の配置データに基づ
いて画像取得領域の決定処理をしている。
このため、物体が分布配置されている画像を取得する場
合に、従来例のように画像取得装置をその端から他の端
まで往復走査することなく、その領域を選択して画像取
得手段や移動手段を移動する領域選択移動制御をするこ
とが可能となる。
これにより、画像入力回数の低減化及び画像取得時間の
短縮化を図ることが可能となる。このことで、高速画像
取得処理をする検査装置の製造に寄与するところが大き
い。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る画像取得処理装置の原理図、 第2図は、本発明の第1の実施例に係る画像取得処理装
置の構成図、 第3図は、本発明の第1の実施例に係る画像入力方法の
フローチャート、 第4図は、本発明の第1の実施例に係るフローチャート
の補足説明図、 第5図は、本発明の第2の実施例に係る画像取得処理装
置の構成図、 第6図は、従来例に係る画像取得処理装置の構成図であ
る。 (符号の説明) 11・・・画像取得手段、 12・・・画像処理手段、 13・・・制御手段、 14・・・移動手段、 A1〜An・・・画像取得領域、 Dl・・・画像データ、 D2・・・配置データ、 D 3−・・移動Mllデータ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)物体(15)の画像を取得する画像取得手段(1
    1)と、前記画像取得手段(11)からの画像データ(
    D1)を処理する画像処理手段(12)と、前記物体(
    15)の移動をする移動手段(14)と、前記画像取得
    手段(11),画像処理手段(12)及び移動手段(1
    4)の入出力を制御する制御手段(13)とを具備し、 前記制御手段(13)が物体(15)の配置データ(D
    2)に基づいて前記画像取得手段(11)を領域選択移
    動制御をすることを特徴とする画像取得処理装置。
  2. (2)物体(15)の画像を取得する画像取得手段(1
    1)と、前記画像取得手段(11)からの画像データ(
    D1)を処理する画像処理手段(12)と、前記物体(
    15)の移動をする移動手段(14)と、前記画像取得
    手段(11),画像処理手段(12)及び移動手段(1
    4)の入出力を制御する制御手段(13)とを具備し、 前記制御手段(13)が物体(15)の配置データ(D
    2)に基づいて前記移動手段(14)を領域選択移動制
    御することを特徴とする画像取得処理装置。
  3. (3)分布配置をしている複数の物体(15)の画像を
    取得する方法であって、前記物体(15)の配置データ
    (D2)に基づいて画像取得領域(A1〜An)の決定
    処理をし、前記決定処理に基づいて移動制御データ(D
    3)の作成処理をし、前記移動制御データ(D3)に基
    づいて、前記物体(15)の画像の取得処理をすること
    を特徴とする画像入力方法。
  4. (4)請求項3記載の画像入力方法において、前記決定
    処理は、画像取得手段(11)の画像入力範囲に基づい
    て前記複数の物体(15)を第1のグループに分割処理
    し、前記第1のグループに分割処理された物体(15)
    の分布配置に基づいて第1のグループを第2のグループ
    に変更処理し、前記第2のグループに基づいて前記画像
    取得領域(A1〜An)の設定処理をすることを特徴と
    する画像入力方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007178127A (ja) * 2005-12-26 2007-07-12 Toshiba Corp 外観検査システム、及び外観検査システムの制御方法
JP2016180717A (ja) * 2015-03-25 2016-10-13 日本電気株式会社 検査制御装置、検査装置および検査方法
WO2024057415A1 (ja) * 2022-09-13 2024-03-21 株式会社Fuji 検査装置及び検査方法

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