JPH0463042U - - Google Patents

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JPH0463042U
JPH0463042U JP10501790U JP10501790U JPH0463042U JP H0463042 U JPH0463042 U JP H0463042U JP 10501790 U JP10501790 U JP 10501790U JP 10501790 U JP10501790 U JP 10501790U JP H0463042 U JPH0463042 U JP H0463042U
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pressure sensor
differential pressure
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hermetic seal
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る差圧センサの第１実施例
を示す縦断面図、第２図は第２実施例を示す縦断
面図、第３図はハーメチツクシール部の縦断面図
、第４図は第３実施例を示す縦断面図、第５図は
従来の差圧センサの構造を説明するための縦断面
図である。 符号の説明、１……ケース、２，２Ａ，２Ｂ…
…ケースカバー、４……ダイヤフラム部材、５…
…シールケース（金属構造体）、６，７，８……
Ｏリング、９……応力検出部、１０，１１……ポ
ート、１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ……ハーメ
チツクシール部、１３……信号取り出し用配線。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 金属材で形成されたダイヤフラムの一方の
    面に絶縁膜を形成し、この絶縁膜の上に歪みゲー
    ジ膜と配線膜を設けると共に、前記ダイヤフラム
    の表裏の各面に流体圧を直接導くように構成し、
    前記配線膜に生じる圧力検出信号を、別体に形成
    された金属構造体を通して引き出される配線で取
    り出すようにしたことを特徴とする差圧センサ。 (2) 請求項１記載の差圧センサにおいて、前記
    金属構造体に前記配線を引き出すハーメチツクシ
    ールを設けたことを特徴とする差圧センサ。 (3) 請求項２記載の差圧センサにおいて、前記
    ハーメチツクシールの材質はガラス又はセラミツ
    クスであることを特徴とする差圧センサ。 (4) 請求項３記載の差圧センサにおいて、前記
    ハーメチツクシールの材質がガラスである場合に
    、前記金属構造体の材料として、前記ガラスと同
    一の線膨張係数を有するニツケル合金を用いたこ
    とを特徴とする差圧センサ。 (5) 請求項１記載の差圧センサにおいて、前記
    金属構造体に熱可塑性樹脂によるハーメチツクシ
    ールを設けたことを特徴とする差圧センサ。 (6) 請求項１記載の差圧センサにおいて、前記
    金属構造体に熱硬化性樹脂によるハーメチツクシ
    ールを設けたことを特徴とする差圧センサ。 (7) 請求項１〜６のいずれか１項記載の差圧セ
    ンサにおいて、ハーメチツクシールの形状を前記
    金属構造体から離脱しにくい形状としたことを特
    徴とする差圧センサ。 (8) 請求項１記載の差圧センサにおいて、前記
    金属構造体の代わりに、すべてがプラスチツク材
    料で形成された構造体を用いたことを特徴とする
    差圧センサ。 (9) 請求項８記載の差圧センサにおいて、プラ
    スチツク製の前記構造体を、流体通路を形成する
    部材とダイヤフラム部材のうち少なくともいずれ
    か一方と一体的にモールデイングして形成する構
    造としたことを特徴とする差圧センサ。
JP1990105017U 1990-10-05 1990-10-05 差圧センサ Expired - Lifetime JP2539622Y2 (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431909A (en) * 1977-08-13 1979-03-09 Sumitomo Electric Industries Emergency repairing implement for air chamber product
JPS59135654U (ja) * 1983-03-02 1984-09-10 株式会社山武 半導体圧力変換器
JPS62242830A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Nippon Soken Inc 圧力検出器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431909A (en) * 1977-08-13 1979-03-09 Sumitomo Electric Industries Emergency repairing implement for air chamber product
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JPS62242830A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Nippon Soken Inc 圧力検出器

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JP2539622Y2 (ja) 1997-06-25

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