JPH045342B2 - - Google Patents
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- JPH045342B2 JPH045342B2 JP26726284A JP26726284A JPH045342B2 JP H045342 B2 JPH045342 B2 JP H045342B2 JP 26726284 A JP26726284 A JP 26726284A JP 26726284 A JP26726284 A JP 26726284A JP H045342 B2 JPH045342 B2 JP H045342B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- inspected
- gear
- rotating body
- inspection
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、例えば、タービンロータ及びタービ
ン発電機ロータによる被検査体の中心孔等の長孔
周壁の亀裂や傷損等をC.C.Dカラーカメラで目視
探傷する長孔周壁検査装置に関する。
ン発電機ロータによる被検査体の中心孔等の長孔
周壁の亀裂や傷損等をC.C.Dカラーカメラで目視
探傷する長孔周壁検査装置に関する。
一般に、タービンロータ及びタービン発電機ロ
ータによる被検査体の中心孔は、ロータ製造時、
ロータ軸中心部に集中し易い偏析などの非金属介
在物を除去するために穿設されている。
ータによる被検査体の中心孔は、ロータ製造時、
ロータ軸中心部に集中し易い偏析などの非金属介
在物を除去するために穿設されている。
このように、タービンロータ等による被検査体
の中心孔を穿設すると、ロータの回転中に、上記
中心孔の近傍は、高応力を受けるため、上記ター
ビンロータ等による被検査体の中心孔の内周壁面
は、例えば、超音波探傷、磁粉探傷又は目視検査
等によつて定期的に検査を施している。
の中心孔を穿設すると、ロータの回転中に、上記
中心孔の近傍は、高応力を受けるため、上記ター
ビンロータ等による被検査体の中心孔の内周壁面
は、例えば、超音波探傷、磁粉探傷又は目視検査
等によつて定期的に検査を施している。
従来の長孔周壁検査装置は、第１０図及び第１
１図に示されるように、タービンロータＷによる
被検査体の中心孔Ｗ１を検査する場合、水平架台
ａ上に駆動治具ｂを走行自在に設け、この駆動治
具ｂの先端部に支え杆ｃを備えた駆動棒ｄを延設
し、この駆動棒ｄの端部に、例えば、撮像管によ
るモノクロTVカメラによる検査ヘツドｅを上記
中心孔Ｗ１内に挿入して探傷検査するようになつ
ており、上記検査ヘツドｅを構成するモノクロ
TVカメラには、撮像窓e1が付設されている。
１図に示されるように、タービンロータＷによる
被検査体の中心孔Ｗ１を検査する場合、水平架台
ａ上に駆動治具ｂを走行自在に設け、この駆動治
具ｂの先端部に支え杆ｃを備えた駆動棒ｄを延設
し、この駆動棒ｄの端部に、例えば、撮像管によ
るモノクロTVカメラによる検査ヘツドｅを上記
中心孔Ｗ１内に挿入して探傷検査するようになつ
ており、上記検査ヘツドｅを構成するモノクロ
TVカメラには、撮像窓e1が付設されている。
従つて、上述した周壁検査装置は、上記駆動治
具ｂによつて、上記駆動棒ｄを回転しながら、中
心孔Ｗ１を直進することにより、上記検査ヘツド
ｅが、上記タービンロータＷによる被検査体の中
心孔Ｗ１の亀裂やピンホール等を検査するように
なつている。
具ｂによつて、上記駆動棒ｄを回転しながら、中
心孔Ｗ１を直進することにより、上記検査ヘツド
ｅが、上記タービンロータＷによる被検査体の中
心孔Ｗ１の亀裂やピンホール等を検査するように
なつている。
しかしながら、上述した長孔周壁検査装置は、
検査中に、上記駆動棒ｄを、順次、継ぎ足さなけ
ればならないばかりでなく、継ぎ足すごとに、検
査が中断され、検査時間が長くなると共に、上記
駆動棒ｄを継ぎ足すことによつて、上記駆動治具
ｂの回転動作が駆動棒ｄの先端部に設けられたモ
ノクロTVカメラによる検査ヘツドｅに有効に伝
達されず、駆動棒ｄの捩れや撓みによつて、上記
中心孔Ｗ１の内周壁に生じた亀裂やピンホールの
位置を正確に検出することが困難である。さら
に、上記駆動棒ｄを継ぎ足すとき、一旦、上記検
査ヘツドｅからの電気信号や光信号による情報が
とぎれるため、連続した検査記録が得られず、し
かも、駆動治具ｂの位置ずれを生じ易く、上記検
査ヘツドｅのロータ軸方向の位置の検査精度も低
下する等の欠点がある。
検査中に、上記駆動棒ｄを、順次、継ぎ足さなけ
ればならないばかりでなく、継ぎ足すごとに、検
査が中断され、検査時間が長くなると共に、上記
駆動棒ｄを継ぎ足すことによつて、上記駆動治具
ｂの回転動作が駆動棒ｄの先端部に設けられたモ
ノクロTVカメラによる検査ヘツドｅに有効に伝
達されず、駆動棒ｄの捩れや撓みによつて、上記
中心孔Ｗ１の内周壁に生じた亀裂やピンホールの
位置を正確に検出することが困難である。さら
に、上記駆動棒ｄを継ぎ足すとき、一旦、上記検
査ヘツドｅからの電気信号や光信号による情報が
とぎれるため、連続した検査記録が得られず、し
かも、駆動治具ｂの位置ずれを生じ易く、上記検
査ヘツドｅのロータ軸方向の位置の検査精度も低
下する等の欠点がある。
さらに又、上記検査ヘツドｅのモノクロTVカ
メラは、撮像管によつているため、このモノクロ
TVカメラの移動速度が速くなると、画像が流
れ、高速な検査を困難にしている。しかも、上記
検査ヘツドは、モノクロTVカメラであるから、
中心孔Ｗ１内に生じた錆、塵埃、亀裂、ピンホー
ル等の判定を困難にしている。特に、磁粉探傷時
の観察模様が磁粉によるものか、さらに、他の原
因に起因したものか、その判定が不正確であり、
信頼性に問題がある。
メラは、撮像管によつているため、このモノクロ
TVカメラの移動速度が速くなると、画像が流
れ、高速な検査を困難にしている。しかも、上記
検査ヘツドは、モノクロTVカメラであるから、
中心孔Ｗ１内に生じた錆、塵埃、亀裂、ピンホー
ル等の判定を困難にしている。特に、磁粉探傷時
の観察模様が磁粉によるものか、さらに、他の原
因に起因したものか、その判定が不正確であり、
信頼性に問題がある。
又一方、第１２図に示されるように、例えば、
ボアスコープ等の内視鏡（硬鏡ともいう）e′を使
用したものもあるが、これは、内視鏡e′を駆動治
具ｂに設けられている関係上、被写体への光量が
低下し、鮮明な画像（映像）を得ることが困難で
ある。
ボアスコープ等の内視鏡（硬鏡ともいう）e′を使
用したものもあるが、これは、内視鏡e′を駆動治
具ｂに設けられている関係上、被写体への光量が
低下し、鮮明な画像（映像）を得ることが困難で
ある。
本発明は、上述した難点を解消するために、駆
動棒による捩れや撓みを解消して、被検査体の中
心孔による長孔周壁をC.C.Dカラーカメラで正確
に検査し、併せて、測定精度の向上を図るように
したことを目的とする長孔周壁検査装置を提供す
るものである。
動棒による捩れや撓みを解消して、被検査体の中
心孔による長孔周壁をC.C.Dカラーカメラで正確
に検査し、併せて、測定精度の向上を図るように
したことを目的とする長孔周壁検査装置を提供す
るものである。
本発明は、複数の支持ローラを備えたケース本
体内にカメラ回路基板を内蔵した回転体を回転自
在に嵌装し、この回転体の内端部に歯車を設け、
この歯車にエンコーダの歯車及び駆動歯車を噛合
して設け、上記回転体の先端部に調整螺杆を軸心
方向へ調整できるように螺装し、この調整螺杆の
一端部に窓部を有する筐体を被検査体の孔の長手
方向へ設け、この筐体内に光源を備えたC.C.Dカ
ラーカメラを上記被検査体の孔周壁へ当接するよ
うにコイルばねの弾力で付勢して撮影し得るよう
に設け、測定精度の向上を図るように構成したも
のである。
体内にカメラ回路基板を内蔵した回転体を回転自
在に嵌装し、この回転体の内端部に歯車を設け、
この歯車にエンコーダの歯車及び駆動歯車を噛合
して設け、上記回転体の先端部に調整螺杆を軸心
方向へ調整できるように螺装し、この調整螺杆の
一端部に窓部を有する筐体を被検査体の孔の長手
方向へ設け、この筐体内に光源を備えたC.C.Dカ
ラーカメラを上記被検査体の孔周壁へ当接するよ
うにコイルばねの弾力で付勢して撮影し得るよう
に設け、測定精度の向上を図るように構成したも
のである。
以下、本発明を、タービンロータよる被検査体
の中心孔を検査するのに適用した図示の一実施例
について説明する。
の中心孔を検査するのに適用した図示の一実施例
について説明する。
第１図乃至第７図において、符号１は、有底円
筒形をなすケース本体であつて、このケース本体
の外がわには、複数の支持ローラ２がタービンロ
ータＷの中心孔Ｗ１の内径に応じて伸縮自在に設
けられており、このケース本体１の先端部１ａ及
び内がわには、一対の軸受３が設けられている。
又、この軸受３にはカメラ回路基板４を内蔵した
回転体５が回転自在に嵌装されており、この回転
体５の内端部５ａには、内歯歯車（インターナル
ギヤ）６が設けられている。さらに、この内歯歯
車６には、これに噛合する小歯車７を有するエン
コーダ８及び駆動歯車９を有する駆動モータ１０
が設けられており、このエンコーダ８は、上記中
心孔Ｗ１内の回転量を検出するようになつてい
る。さらに、上記駆動モータ１０は、上記回転体
５を回転するようになつている。なお、上記エン
コーダ８及び駆動モータ１０は、図示されないリ
ード線を介してコネクタ１１に接続されている。
筒形をなすケース本体であつて、このケース本体
の外がわには、複数の支持ローラ２がタービンロ
ータＷの中心孔Ｗ１の内径に応じて伸縮自在に設
けられており、このケース本体１の先端部１ａ及
び内がわには、一対の軸受３が設けられている。
又、この軸受３にはカメラ回路基板４を内蔵した
回転体５が回転自在に嵌装されており、この回転
体５の内端部５ａには、内歯歯車（インターナル
ギヤ）６が設けられている。さらに、この内歯歯
車６には、これに噛合する小歯車７を有するエン
コーダ８及び駆動歯車９を有する駆動モータ１０
が設けられており、このエンコーダ８は、上記中
心孔Ｗ１内の回転量を検出するようになつてい
る。さらに、上記駆動モータ１０は、上記回転体
５を回転するようになつている。なお、上記エン
コーダ８及び駆動モータ１０は、図示されないリ
ード線を介してコネクタ１１に接続されている。
一方、上記回転体５の先端部５ｂには、ナツト
部材１２が一体的に付設されており、このナツト
部材１２には、調整螺杆１３が軸心方向へ調整で
きるように螺装されている。又、この調整螺杆１
３の一端部１３ａには、検査ヘツドとしての光源
１４を備えたC.C.D（電荷結合素子）カラーカメ
ラ１５が、上記被検査体Ｗの中心孔Ｗ１の孔周壁
にコイルばね１６の弾力によつて付勢して撮影し
得るようにして設けられている。
部材１２が一体的に付設されており、このナツト
部材１２には、調整螺杆１３が軸心方向へ調整で
きるように螺装されている。又、この調整螺杆１
３の一端部１３ａには、検査ヘツドとしての光源
１４を備えたC.C.D（電荷結合素子）カラーカメ
ラ１５が、上記被検査体Ｗの中心孔Ｗ１の孔周壁
にコイルばね１６の弾力によつて付勢して撮影し
得るようにして設けられている。
即ち、このC.C.Dカラーカメラ１５は、第３図
及び第４図に拡大して示されるように構成されて
いる。
及び第４図に拡大して示されるように構成されて
いる。
つまり、上記調整螺杆１３の一端部１３ａに
は、有底筒状をなす筐体１７が上記被検査体Ｗの
長手方向へ設けられており、この筐体１７の外周
面には、窓部が形成されている。又、上記筐体１
７内には、C.C.Dカラーカメラ本体１８が上記中
心孔Ｗ１の孔周壁へ上記窓部を貫通して上記コイ
ルばね１６の弾力で付勢して当接できるように設
けられており、このC.C.Dカラーカメラ本体１８
内には、撮影レンズ１９、これをフオーカツシン
グするパルスモータ２０によるフオーカツシング
機構２１、パルスモータ２２ａによる焦点合せ機
構２２、反射鏡２３、カラーC.C.D（カラー電荷
結合素子）２４及び上記光源１４がそれぞれ設け
られている。
は、有底筒状をなす筐体１７が上記被検査体Ｗの
長手方向へ設けられており、この筐体１７の外周
面には、窓部が形成されている。又、上記筐体１
７内には、C.C.Dカラーカメラ本体１８が上記中
心孔Ｗ１の孔周壁へ上記窓部を貫通して上記コイ
ルばね１６の弾力で付勢して当接できるように設
けられており、このC.C.Dカラーカメラ本体１８
内には、撮影レンズ１９、これをフオーカツシン
グするパルスモータ２０によるフオーカツシング
機構２１、パルスモータ２２ａによる焦点合せ機
構２２、反射鏡２３、カラーC.C.D（カラー電荷
結合素子）２４及び上記光源１４がそれぞれ設け
られている。
特に、上記光源１４は、第５図に示されるよう
に、撮影窓２５の周りに中心孔Ｗ１の軸方向の照
明ランプ１４ａと中心孔Ｗ１の周方向の照明ラン
プ１４ｂとで構成されており、これによつて被検
査体からのハレーシヨンを打消して孔周壁の亀裂
Ｗ１′やピンホールを探傷し易くしている（第６
図Ａ，Ｂ及び第７図参照）。
に、撮影窓２５の周りに中心孔Ｗ１の軸方向の照
明ランプ１４ａと中心孔Ｗ１の周方向の照明ラン
プ１４ｂとで構成されており、これによつて被検
査体からのハレーシヨンを打消して孔周壁の亀裂
Ｗ１′やピンホールを探傷し易くしている（第６
図Ａ，Ｂ及び第７図参照）。
従つて、今、図示されないタコジエネレータを
備えた直進車によつて、上記ケース本体１を押進
すると共に、上記駆動モータ１０を駆動し、同時
に、上記C.C.Dカラーカメラ１５を上記被検査体
Ｗの中心孔Ｗ１の周壁に弾発的に当接することに
より、このC.C.Dカラーカメラ１５は、中心孔Ｗ
１内を回転しながら直進する。そして、上記エン
コーダ８は、上記C.C.Dカラーカメラ１５の回転
量を測定しながら、上記中心孔Ｗ１の周壁に生じ
た亀裂やピンホール等の位置を正確に検出して記
録し得るようになつている。
備えた直進車によつて、上記ケース本体１を押進
すると共に、上記駆動モータ１０を駆動し、同時
に、上記C.C.Dカラーカメラ１５を上記被検査体
Ｗの中心孔Ｗ１の周壁に弾発的に当接することに
より、このC.C.Dカラーカメラ１５は、中心孔Ｗ
１内を回転しながら直進する。そして、上記エン
コーダ８は、上記C.C.Dカラーカメラ１５の回転
量を測定しながら、上記中心孔Ｗ１の周壁に生じ
た亀裂やピンホール等の位置を正確に検出して記
録し得るようになつている。
次に、第８図に示される本発明の他の実施例
は、上記ナツト部材１２に逆ねじを刻設した螺杆
２７を螺装し、この螺杆２７の一端部に重錘２６
を付設したものであつて、この重錘２６の荷重に
より、上記ケース本体１の先端部の浮上がりを防
止し、このケース本体１の先端部に設けられた上
記C.C.Dカラカメラ１５に対して押圧力を幇助す
るように構成したものであり、上述した具体例と
同じ構成をなすものである。
は、上記ナツト部材１２に逆ねじを刻設した螺杆
２７を螺装し、この螺杆２７の一端部に重錘２６
を付設したものであつて、この重錘２６の荷重に
より、上記ケース本体１の先端部の浮上がりを防
止し、このケース本体１の先端部に設けられた上
記C.C.Dカラカメラ１５に対して押圧力を幇助す
るように構成したものであり、上述した具体例と
同じ構成をなすものである。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、複数の支持
ローラを備えたケース本体内にカメラ回路基板を
内蔵した回転体を回転自在に嵌装し、この回転体
の内端部に歯車を設け、この歯車にエンコーダの
歯車及び駆動歯車を噛合して設け、上記回転体の
先端部に調整螺杆を軸心方向へ調整できるように
螺装し、この調整螺杆の一端部に窓部を有する筐
体を被検査体の孔の長手方向へ設け、この筐体内
に光源を備えたC.C.Dカラーカメラを上記被検査
体の孔周壁へ当接するようにコイルばねの弾力で
付勢して撮影し得るように設けてあるので、正確
な探傷検査をすることができるばかりでなく、連
続的に効率よく探傷できるし、さらに、画像倍率
を一定にして、画像の判定を容易にすると共に、
C.C.Dカラーカメラを使用しているから、孔表面
の塵埃や錆、磁粉模様を有効適切に判別できるよ
うになり、検査精度の向上を図ることができる。
ローラを備えたケース本体内にカメラ回路基板を
内蔵した回転体を回転自在に嵌装し、この回転体
の内端部に歯車を設け、この歯車にエンコーダの
歯車及び駆動歯車を噛合して設け、上記回転体の
先端部に調整螺杆を軸心方向へ調整できるように
螺装し、この調整螺杆の一端部に窓部を有する筐
体を被検査体の孔の長手方向へ設け、この筐体内
に光源を備えたC.C.Dカラーカメラを上記被検査
体の孔周壁へ当接するようにコイルばねの弾力で
付勢して撮影し得るように設けてあるので、正確
な探傷検査をすることができるばかりでなく、連
続的に効率よく探傷できるし、さらに、画像倍率
を一定にして、画像の判定を容易にすると共に、
C.C.Dカラーカメラを使用しているから、孔表面
の塵埃や錆、磁粉模様を有効適切に判別できるよ
うになり、検査精度の向上を図ることができる。
第１図は、本発明による長孔周壁検査装置の側
面図、第２図は、第１図中の鎖線Ａ−Ａに沿う拡
大断面図、第３図は、第１図中の鎖線Ｂ−Ｂに沿
う拡大断面図、第４図は、第３図中の鎖線Ｃ−Ｃ
に沿う断面図、第５図は、第３図中の鎖線Ｄ−Ｄ
に沿う底面図、第６図Ａ，Ｂは本発明の作用を説
明するための図、第７図は、本発明の被検査体の
周壁の傷損等を示す図、第８図は、本発明の他の
実施例を示す図、第９図は、従来の長孔周壁検査
装置の側面図、第１０図は、上記長孔周壁検査装
置の検査ヘツドの斜面図、第１１図は、従来の他
の長孔周壁検査装置の斜面図である。 １……ケース本体、２……支持ローラ、４……
カメラ回路基板、５……回転体、８……エンコー
ダ、１３……調整螺杆、１４……光源、１５……
C.C.Dカラーカメラ、１９……撮影レンズ、２３
……反射鏡、２４……カラーC.C.D。
面図、第２図は、第１図中の鎖線Ａ−Ａに沿う拡
大断面図、第３図は、第１図中の鎖線Ｂ−Ｂに沿
う拡大断面図、第４図は、第３図中の鎖線Ｃ−Ｃ
に沿う断面図、第５図は、第３図中の鎖線Ｄ−Ｄ
に沿う底面図、第６図Ａ，Ｂは本発明の作用を説
明するための図、第７図は、本発明の被検査体の
周壁の傷損等を示す図、第８図は、本発明の他の
実施例を示す図、第９図は、従来の長孔周壁検査
装置の側面図、第１０図は、上記長孔周壁検査装
置の検査ヘツドの斜面図、第１１図は、従来の他
の長孔周壁検査装置の斜面図である。 １……ケース本体、２……支持ローラ、４……
カメラ回路基板、５……回転体、８……エンコー
ダ、１３……調整螺杆、１４……光源、１５……
C.C.Dカラーカメラ、１９……撮影レンズ、２３
……反射鏡、２４……カラーC.C.D。
Claims (1)
- １ 複数の支持ローラを備えたケース本体内にカ
メラ回路基板を内蔵した回転体を回転自在に嵌装
し、この回転体の内端部に歯車を設け、この歯車
にエンコーダの歯車及び駆動歯車を噛合して設
け、上記回転体の先端部に調整螺杆を軸心方向へ
調整できるように螺装し、この調整螺杆の一端部
に窓部を有する筐体を被検査体の孔の長手方向へ
設け、この筐体内に光源を備えたC.C.Dカラーカ
メラを上記被検査体の孔周壁へ当接するようにコ
イルばねの弾力で付勢して撮影するように設けた
ことを特徴とする長孔周壁検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26726284A JPS61144551A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 長孔周壁検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26726284A JPS61144551A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 長孔周壁検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144551A JPS61144551A (ja) | 1986-07-02 |
| JPH045342B2 true JPH045342B2 (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=17442396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26726284A Granted JPS61144551A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 長孔周壁検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144551A (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0749459Y2 (ja) * | 1989-11-27 | 1995-11-13 | 中部電力株式会社 | 光学顕微鏡装置 |
| KR101202185B1 (ko) | 2010-10-21 | 2012-11-20 | 주식회사 에네스지 | 터빈로터 중심공을 통한 휠 도브테일 자동 초음파탐상 방법 |
| JP5880096B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
| JP5880097B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
| JP5915222B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
| JP5884838B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-15 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
| JP5915223B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置及び内径測定方法 |
| JP5821675B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-11-24 | 株式会社Ihi | 回転機器の回転制限装置 |
| JP2013164274A (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Ihi Corp | 内径測定装置 |
| WO2013118916A1 (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-15 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
| JP6643657B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2020-02-12 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
-
1984
- 1984-12-18 JP JP26726284A patent/JPS61144551A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61144551A (ja) | 1986-07-02 |
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