JPH0451358U - - Google Patents
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- JPH0451358U JPH0451358U JP9446090U JP9446090U JPH0451358U JP H0451358 U JPH0451358 U JP H0451358U JP 9446090 U JP9446090 U JP 9446090U JP 9446090 U JP9446090 U JP 9446090U JP H0451358 U JPH0451358 U JP H0451358U
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- Japan
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の被研磨物保持具の一例を示す
平面図、第２図は第１図の−線における断面
図、第３図は本考案の被研磨物保持具のさらに他
の例を示す平面図、第４図本考案の被研磨物保持
具のさらに他の例を示す断面図、第５図は従来の
被研磨物保持具の平面図、第６図は第５図の−
における断面図である。 １１……テンプレート、１１ａ……リセス孔、
１２……バツキング材、１４……支持材、１８…
…テンプレートリセス内周面、１９……段付嵌合
部。
平面図、第２図は第１図の−線における断面
図、第３図は本考案の被研磨物保持具のさらに他
の例を示す平面図、第４図本考案の被研磨物保持
具のさらに他の例を示す断面図、第５図は従来の
被研磨物保持具の平面図、第６図は第５図の−
における断面図である。 １１……テンプレート、１１ａ……リセス孔、
１２……バツキング材、１４……支持材、１８…
…テンプレートリセス内周面、１９……段付嵌合
部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 主としてフラツトデイスプレイ用のガラス、反
射鏡、水晶発振子、半導体ウエーハ等の被研磨物
の表面を研磨する際に使用される被研磨物保持具
であつて、 該被研磨物が保持されるリセス孔が開設された
テンプレートと、 該リセス孔に脱着自在に保持された挿入体とか
らなり、該挿入体は被研磨物の面に脱着自在に取
付けることができるようになされた高分子発泡弾
性体からなるバツキング材と、 該テンプレートと該バツキング材とを一体に接
着または粘着されているシート材料と、 を具備してなる被研磨物保持具であつて、 該テンプレートのリセス孔の内周面におけるバ
ツキング材側の角部において、バツキング材の厚
みに相当し且つ適宜の幅を有する段付部を設けた
ものとし、この段付部まで該バツキング材の外周
が嵌合されているよう構成された被研磨物保持具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9446090U JP2524692Y2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 被研磨物保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9446090U JP2524692Y2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 被研磨物保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451358U true JPH0451358U (ja) | 1992-04-30 |
| JP2524692Y2 JP2524692Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=31832428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9446090U Expired - Lifetime JP2524692Y2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 被研磨物保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524692Y2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650751U (ja) * | 1992-12-10 | 1994-07-12 | ロデール・ニッタ株式会社 | 被研磨物保持具 |
| JP2006522482A (ja) * | 2003-03-31 | 2006-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理部材上に隣接するコーティングを接合する方法。 |
| JP2010201534A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Fujibo Holdings Inc | 保持具 |
| WO2014189038A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 有限会社サクセス | 半導体ウエハ保持用冶具、半導体ウエハ研磨装置、及びワーク保持用冶具 |
| CN107457688A (zh) * | 2017-10-01 | 2017-12-12 | 德清凯晶光电科技有限公司 | 大基片游星轮 |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP9446090U patent/JP2524692Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650751U (ja) * | 1992-12-10 | 1994-07-12 | ロデール・ニッタ株式会社 | 被研磨物保持具 |
| JP2006522482A (ja) * | 2003-03-31 | 2006-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理部材上に隣接するコーティングを接合する方法。 |
| JP2010201534A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Fujibo Holdings Inc | 保持具 |
| WO2014189038A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 有限会社サクセス | 半導体ウエハ保持用冶具、半導体ウエハ研磨装置、及びワーク保持用冶具 |
| CN107457688A (zh) * | 2017-10-01 | 2017-12-12 | 德清凯晶光电科技有限公司 | 大基片游星轮 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2524692Y2 (ja) | 1997-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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