JPS6357057U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6357057U JPS6357057U JP1986148659U JP14865986U JPS6357057U JP S6357057 U JPS6357057 U JP S6357057U JP 1986148659 U JP1986148659 U JP 1986148659U JP 14865986 U JP14865986 U JP 14865986U JP S6357057 U JPS6357057 U JP S6357057U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- polishing device
- carrier
- view
- holding member
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る研摩装置の一実施例を示
す半断面図、第２図はキヤリアの平面図、第３図
は第２図―線拡大断面図、第４図は被加工物
の平面図、第５図は第４図―線断面図、第６
図は本考案の他の実施例を示す要部断面図、第７
図は研摩装置の従来例を示す半断面図、第８図は
同装置の半平面図である。 ２…被加工物、３…上定盤、４…下定盤、５，
６…研摩布、７…キヤリア、８…収納孔、１１…
太陽歯車、１２…内歯車、３０，３１…保持部材
、３２…段部、３３…面取り部、５０…保持部材
。
す半断面図、第２図はキヤリアの平面図、第３図
は第２図―線拡大断面図、第４図は被加工物
の平面図、第５図は第４図―線断面図、第６
図は本考案の他の実施例を示す要部断面図、第７
図は研摩装置の従来例を示す半断面図、第８図は
同装置の半平面図である。 ２…被加工物、３…上定盤、４…下定盤、５，
６…研摩布、７…キヤリア、８…収納孔、１１…
太陽歯車、１２…内歯車、３０，３１…保持部材
、３２…段部、３３…面取り部、５０…保持部材
。
Claims (1)
- それぞれ回転する上下の定盤間に配設され、被
加工物を収納保持して自転しながら公転する板状
のキヤリアを備え、前記両定盤の少なくともいず
れか一方に設けられた研摩布により前記被加工物
の主表面を研摩するようにした研摩装置において
、前記キヤリアに設けられ前記被加工物を収納す
る収納孔の内面に、前記被加工物の表面周縁部に
設けられた段部もしくは面取り部に上方から係合
し、該被加工物の上昇を阻止する伸縮自在もしく
は弾性変形自在な保持部材を設けたことを特徴と
する研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986148659U JPS6357057U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986148659U JPS6357057U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6357057U true JPS6357057U (ja) | 1988-04-16 |
Family
ID=31063141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986148659U Pending JPS6357057U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6357057U (ja) |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP1986148659U patent/JPS6357057U/ja active Pending