JPH0450801A - 導電性反射防止コートを有する光学部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザプリンタ、ファクシミリ、光ディスク
や光磁気ディスクの記録再生装置等におけるレンズ、ミ
ラー　プリズム等として特に好適に用いられる導電性反
射防止コートを有する光学部品に関する。

〔従来の技術〕

従来、光学部品の透明基体上の第１層が設計入射光波長
をλ。とじて光学的膜厚λ。／４の酸化インジューム層
、その上の第２層が同様の光学的膜厚のＭｇＦ、層の２
層から成る導電性反射防止コートを有する光学部品が、
４００〜７００ｎｍの範囲にある波より知られており、
また同じく第１層が光学的膜厚λ。／４のｈＱｘｏ、ま
たはＣｅＦ、層、その上の第２層が適当な光学的膜厚の
５ｉ０２乃至Ｓｉ０層、その上の第３層が光学的膜厚λ
。／２のインジューム乃至酸化インジューム層、その上
の第４層が第２層と同様の酸化シリコン層、その上の第
５層が光学的膜厚λ。／４のＭｇＦ　、層の５層から成
る導電性反射防止コートを有する光学部品か、同様の効
果を有する光学部品として、特公昭５３−２８２１４号
公報により知られている。

しかし、実公昭４９−１２６１４号公報に記載の導電性
反射防止コートは、光学部品の透明基体がアクリル系樹
脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスチレン系樹脂等の
高分子物質から成る場合、基体の耐熱性が低いことから
、第１層や第２層を蒸着する際の基体温度を２００℃以
下にしなくてはならず、そのために耐環墳性特Ｊ二、耐
湿性に優れたＭｇＦ２層を形成することが困難であり、
導電性反射防止コートの耐湿性が低いと言う問題がある
。また、特公昭５３−２８２１４号公報に記載の導電性
反射防止コートは、上述の問題のほか、構成層数が多く
て生産性が低いと言う問題、および第３層がイ）ジュー
ム層の場合、吸収成分が生じるために、その成分波長の
光を入射する光学部品は光学特性が劣ったものになると
言う問題もある。

なお、設計入射光波長λ。は、反射防止コートの設計波
長で、光反射率が極小になる波長を意味する。また以下
、光学的膜厚を単＋：ｇ厚とも言う。

〔発明か解決しようとする課題〕

本発明は、上述のような導電性反射防止コートの問題を
解消するためになされたものであり、導電性反射防止コ
ートの構成層数か少なくて、生産性が高く、しかも光学
部品の透明基体が高分子物質から成るものであっても耐
湿性に優れ又、剥かれが生じ難く、吸収成分の生じるこ
とがなくて、少なくとも４００〜８００ｎｍの範囲にあ
る任意の波長を設計入射光波長λ。に設定することがで
きて、λ。

の波長の入射光に対し安定して高い透光性すなわち反射
防出効果を与え、帯電による埃等の付着も効果的に防止
する導電性反射防止コートを有する光学部品の提供を目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、基体温度が低くても蒸着により容易に耐湿性
に優れて剥がれにくい薄膜を形成し得て、比抵抗が１０
１２Ω・ｃｍ程度と冨ったように高いＳｉＯ□でも、こ
れを導電性と透光性の高い適当な膜厚の酸化インジュー
ムと酸化錫との混合物層・：１７０層）又は屈折率が２
．０〜１．９である１７０層と略等に形成すれば、表層
をＭｇＦ２層にした場合に優るとも劣らない、帯電によ
る埃等の付着の防止効果と高い透光性を与える導電性反
射防止コートが得られることを本発明者らが見出した結
果なされたものであり、導電性反射防止コートを有する
光学部品において、導電性反射防止コートが、設計入射
光波長をλ０として、光学部品の透明基体上の第１層の
膜厚ｄ１がλ。／７０≦ｄ工≦λ。／２０を満足する酸
化インジュームと酸化錫の混合物層又（＝酸化錫と酸化
アンチモンの混合物層又は酸化イ）・ジューム層又は酸
化錫層と、その上の第２層の７１＊厚ｄ２がλ、１５≦
ｄ２≦λ。７２．５を満足する酸化シリコン層とから成
ることを特徴とする導電性反射防止コートを有する光学
部品にあり、この構成によって前記目的を達成する。

〔作用〕

すなわち本発明の光学部品は、上述の２′層構成の導電
性反射防止コートを有することによって、生産性か高く
、少なくとも４００〜８００ｎｍの範囲にある波長λ。

の入射光に対して透光性に優れ、帯電により埃等の付着
することも少なく、導電性反射防止コートが耐湿性に優
れて剥がれにくし・。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例によって説明する。

′Ｍ１図は本発明の光学部品の模式的断面図であり、１
はアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスチ
レン系樹脂等の高分子物質、あるいは各種ガラス、弗化
リチウムや弗化カルシウム等の無機物質から成るレンズ
、プリズム、ミラー等の光学部品形状を有する透明な基
体、２は第１層の酸化インジューム（Ｉｎｔｏ、、）と
酸化錫（Ｓｎ、Ｏ□）の混合物から成る１７０層又は酸
化錫と酸化アンチモンの混合物層又は酸化インジューム
層又は酸化錫層、３は第２層のＳｉＯ２を主体とした酸
化シリコンすなわち５ｉｎｘ層である。第１層２はＩＴ
ｏ層又は酸化錫と酸化アンチモンの混合物層であること
が好ましい。第１層がＩＴｏ層の場合、Ｉｎ、Ｏ。

とＳｎＯ□の混合割合は、蒸着時の基体温度に対して安
定して高い導電性が得られる点から、ＳｎＯ２の含有量
を５０重量％以下好ましくは５〜１０重量％とするのが
よい。ＳｎＯ□の含有量が５重量％より少ないと、蒸着
時の基体温度を１００℃以上にしたとき導電性が低下傾
向を示し、５０重量％より多くなると、基体温度がｉ　
ｏ　ｏ　’ｃ以下においても導電性が低下傾向を示して
、Ｓｉｎ、層である第２層３の表面電気抵抗が高くなり
、埃等の付着防止効果が得にくくなる。第１層２が酸化
錫と酸化アンチモンの混合物層の場合は酸化アンチモン
の含有量が５〜ｌＯ重量％であることが同様に好ましい
。

以上の第１層２の膜厚ｄ＋は、入射光りの波長をλ。と
すると、λ。／７０〜λ。／２０の範囲にあることが必
要であり、λ０／５０〜λ。／２５の範囲にあることが
好ましい。また、第２層３の膜厚ｄ、は、λ。

１５〜λ。／２，５の範囲にあることが必要であり、λ
′。

７３〜λ。７２．７の範囲にあることが好ましい。膜厚
ｄ１とｄ２の反射防止効果および帯電防止効果に及ぼす
影響は以下述べる通りである。

基体１として透明なアクリル系機脂板を用い、基体温度
を２５〜３０℃に保って、例えばＳｎ含有量か５−１０
重量％、２５ｍｍ　ｌ、厚さ５ｍｍのＩＴＯタブレット
を蒸着材料とし、特公昭５６−４０４４９号公報に記載
の電子銃加熱と高周波放電を用いた反応蒸着法により酸
素ガスを導入しながらガス圧力２〜３Ｘ　１０−’Ｔｏ
ｒｒ、蒸漕速度５−３ＯＡ　／ｓｅｃの条件で１７０層
の第１層２を蒸着する。次に同様に基体温度を保って、
粒状５１０８を蒸着材料とし、同様の反応蒸着法により
酸素ガスを導入しながらガス圧力１〜２　Ｘ　１０−’
Ｔｏｒｒ、蒸着速度２０−３０人／ｓｅｃの条件でｗＥ
１層２上にＳｉｎ、層の第２層３を蒸着する。これによ
り第１層２の膜ＩＩ　ｄｓと第２層３の膜厚ｄ２が種々
異なる組合わせの多数の光学部品を作り、それを表１の
ように分類した。そして、波長λ。の入射光りに対する
反射率、表面の帯電防止効果、７０℃、９０％ＲＨの雰
囲気に１週間放置した後の膜剥離と光学特性の劣化の有
無によって判定し、た耐環・境性を分類別に第１表に合
わせて示した。

なお、反射率を測定した波長λ０は設計波長であり、反
射率Ｒ％は２≧Ｒを非常に良好の０．２くＲ≦３を良好
の△、３＜Ｒを不十分の×とした。

帯電防止効果は、東亜電機製表面電気抵抗測定器５Ｍ−
１０Ｅを用いて中央電極と周囲電極間に１００ＯＶの電
圧を印加する条件で表面電気抵抗を測定し、その値が、
同じ基体ｌ上に１７０層をλ。／４の膜厚に形成し、そ
の上にＭｇＦ　２ペレツトを蒸着材料として電子銃加熱
を用いた真空蒸着法によりλ。／４の膜厚のＭｇＦ、層
を形成した、参考例の光学部品の同じ条件で測定した表
面電気抵抗と同オーダ以下のものを良好の０１それより
高オーダのものを不十分の×として示した。また耐環境
性は、膜剥離も光学特性の劣化も認められないものを良
好の０１認められたものを不良のＸで示した。

第１表は、設計波長λ。が５００層ｍについての結果で
あるが、４００〜８００ｎｍの範囲の他の波長を設計波
長λ０としてもこれと殆ど変わらない。すなわち、１７
０層の第１層２の膜厚ｄ１がλ。／７０〜λ。／２０の
範囲から外れてもＳｉＯｘ層の第２層３の膜厚ｄ。

がλ０／５〜λ。７２．５の範囲から外れても反射率が
大きくなって、導電性反射防止コートの逆光性が悪くな
るし、また第１層２の膜厚ｄ、が薄くなり過ぎると帯電
防止効果が得られなくなる。そして、Ｓｉｎ、層を表層
の第２層とした導電性反射防止コートは耐環境性は良好
である。特に、分類Ｎ００８の範囲が反射率が低くて良
い特性の導電性反射防止コートを与える。

５００層ｍの設計波長λ。に対して分類Ｎｏ、１２に属
する第１層２の膜厚ｄ、が２１ｎｍ、第２層３の膜厚ｄ
２が１７２ｒ＋ａ＋の光学部品実施例１と、同じく分類
Ｎ００８に属する第１層２の膜厚ｄ、がｌＯｎｍ、第２
層３の膜厚ｄ２が１７２層ｍの光学部品実施例２と、同
じく分類Ｎ０２４に属する第１層２の膜厚ｄ、が９ｎｍ
、第２層３の膜厚ｄ、が９８ｎｍの光学部品比較ｆ１１
の入射光りの波長λを４００〜７００ｎｍの領域で変化
させた場合の反射率の変化を第２図に示した。この第２
図から、分類Ｎ０７８に属する実施例２は設計波長５０
０ｎｍで最少の反射率を示し、分類ＮＯ，１２に属する
実施例１は設計波長で通常使用し得る反射率２〜３％を
達成していること、および入射光の波長が設計波長から
多少ずれても帯電反射防止コートの透光性は余り低下し
ないことが分かる。実施例Ｉと同様な反射率の傾向は分
類Ｎｏ、３．７．９でも得′られる。

また、前述と同様の基体１上に、酸化錫と酸化アンチモ
ンの混合物、例えば酸化アンチモンの含有量が５重量％
の混合物を用いて１７０層の形成と同様の方法で第１層
２を蒸着し、その上に前述と同様に８１０、層の第２層
３を蒸着して、第１層２の膜厚ｄ１及び第２層３の膜厚
ｄ２か種々異なる光学部品を得、それらについて同様に
反対案、帯電防止効果、耐環境性を測定したところ、第
１層２に１７０層を用いた表１と同様な軸条が得られた
。

〔発明の効果〕

本発明の導電性反射防止コートを有する光学部品は、生
産性が高く、光学部品の透明基体が高分子物質から成る
ものであっても導電性反射防止コートの耐湿性が優れて
、剥離が生じ難く、導電性反射防止コートが設計波長の
入射光に対して安定した高い透光性を与え、帯電による
択等の付着も少ないと言う優れた特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光学部品の模式的断面図、第２図は本
発明の光学部品と比較部品の反射率スペクトルグラフで
ある。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）導電性反射防止コートを有する光学部品において
   、導電性反射防止コートが、設計入射光波長をλ＿０と
   して、光学部品の透明基体上の第１層の光学的膜厚ｄ＿
   １がλ＿０／７０≦ｄ＿１≦λ＿０／２０を満足する酸
   化インジュームと酸化錫の混合物層又は酸化錫と酸化ア
   ンチモンの混合物層又は酸化インジューム層又は酸化錫
   層と、その上の第２層の光学的膜厚ｄ＿２がλ＿０／５
   ≦ｄ＿２≦λ＿０／２．５を満足する酸化シリコン層と
   から成ることを特徴とする導電性反射防止コートを有す
   る光学部品。
2. （２）前記第１層の膜厚ｄ＿１がλ＿０／５０≦ｄ＿１
   ≦λ＿０／２５を満足し、前記第２層の膜厚ｄ＿２がλ
   ／３≦ｄ＿２≦λ／２．７を満足する特許請求の範囲第
   １項記載の導電性反射防止コートを有する光学部品。