JPH0450712A - 円筒体の形状測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はローラベアリング等の円筒体の形状測定装置に
関する。

（従来技術） 従来、ローラベアリング等の円筒体の形状を測定するた
めにレーザ方式、触針式等の測定機が用いられていた。

これは、点に絞ったレーザスポットまたは鋭利な針の先
端を円筒体の側面に沿って走査し、−次元的に凹凸形状
を得る方法である。

（発明が解決しようとする課題） 上記従来技術にあっては一次元的な測定を繰り返し行っ
て円筒体の母線形状の測定は行えるが、測定した母線形
状と円筒体の中心線との関係は不明であった。ところが
円すいころ軸受等においては母線形状と中心線との関係
（角度）も重要な測定要素であるが、直接測定する方法
はなく、円筒体の中心線は測定後に結果を解析してはし
めてわかるため、測定に当っては被測定物の位置決めが
非常に困難であり、極めて長時間を要するという問題点
があった。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決することを目的とし、円筒体
の稜線部に当接する２枚の基準面を有し、該基準面直角
方向外方より光線を照射する光学系と、被測定面よりの
反射光及び基準面からの反射光との間の干渉により生ず
る干渉縞を得る光学系と干渉縞解析処理装置を備えてい
ることを特徴とするものである。

この方法では、円筒体が基準面に接するのは円筒体のも
っとも高い部品に沿ってであり、中心線が容易に視認で
きるため被測定物の位置決めが容易となる。また、基準
面間の角度をあらかじめ測定しておくことにより、母線
形状と中心線との位置関係も同様に測定ができ１゜（実
施例） 本発明の実施例を第１図乃至第３図を参照して以下に説
明する。

１は例えばテーパーローラベアリング等のテーパー状円
筒体の被測定部品で、Ｙ、Ｚ方向に微動する支持台２上
面のＶ溝２ａ、及び固定支持台３上面の片側傾斜面３ａ
上に載置支持し、その両側に基準面４，５を配設し、上
記支持台２をＹ、Ｚ方向に微動して被測定部品１の稜線
部が基準面４，５と平行になるように設置する。

基準面４の右側には光源６、ビームエキスパンダ７、円
筒レンズ８、ハーフミラ−９、結像レンズ１０を配設し
、結像レンズ１０の後方には画像入力部１１を設けであ
る。１２は干渉縞解析処理装置で、画像入力部１１に入
力された被測定面及び基準面での反射光の干渉により生
ずる干渉縞からなる画像入力１３の画像処理部１４、干
渉縞解析部１５、解析結果表示部１６からなっている。

左側にも右側と同様の装置が配設されている。

次に作用について説明する。

光源より出た単色光を拡大して部品面及び基準面を照明
し、反射された光を集光して画像人力部にレンズで結像
する。このとき、Ｉ！察される干渉縞から基準面をもと
にした部品面の形状を得る。即ち、像面の各点における
基準面と、被測定面の間隔と使用光源の波長λの間の一
定の等高線となる。これを画像入力部においてとりこみ
、画像処理、解析を行い、形状を得ることができる。両
側面を測定した後、基準面の間隔角度をもとに断面形状
を構成する。

（効　果） 本発明によると、円筒体の稜線部に当接する２枚の基準
面を有し、該基準面直角方向外方より光線を照射する光
学系と、被測定面よりの反射光及び基準面からの反射光
との間の干渉により生ずる干渉縞を得る光学系の干渉縞
解析処理装置を備えているので、テーパローラベアリン
グ等の円筒体の両端部のクラウニング形状と中心線に対
する角度を簡単に正確に短時間で測定でき、ベアリング
形状と耐久性、精度等の関係を明らかにすることを可能
とし、品質の向上に資することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明図、第２図は第１図の被測
定部品及びその支持部、基準面の外観斜視図、第３図は
第２図の正面図である。 １・・・被測定部品 ２．３・・・支持台 ４．５・・・基準面 ６・・・光源 ７・・・ビームエキスパンダ ８・・・円筒レンズ ９・ハーフミラ− １０・・・結像レンズ １１・・・画像入力部 １２・・・干渉縞解枦処理装置 第２ 図 第３ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円筒体の稜線部に当接する２枚の基準面を有し、該基準
   面直角方向外方より光線を照射する光学系と、被測定面
   よりの反射光及び基準面からの反射光との間の干渉によ
   り生ずる干渉縞を得る光学系の干渉縞解析処理装置を備
   えた円筒体の形状測定装置。