JPH04506707A - 機械部品の寸法をダイナミックに検査する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 機械部品の寸法をダイナミックに検査する方法及び装置 技　術　分　野 本発明はケーシング、ケーシングに関して移動可能でありかつ部品の表面に接触 するようになっている少なくとも１つのツイータ及びツイータの位置に応じて信 号を供給するトランスデユーサ装置によって機械部品の寸法を検査する方法に関 する。その方法は所定の通路に沿って検査すべき位置に向けてツイータと部品の 表面との間に第１の相互摺動運動を得るために検査ヘッドと部品との間の相互変 位を制御し、検査すべき部分のツイータの第１の通路を検出し、第１の通路に相 応してトランスデユーサ装置によって供給される信号を検出する段階からなる。

また本発明は検査ヘッドによって機械部品の直線的な寸法を自動的に検査する装 置に関し、検査ヘッドはケーシングと、ケーシングに関するツイータの位置に相 応した信号を供給するためにケーシング及びトランスデユーサ装置に関して移動 可能な少なくとも１つのツイータと、所定の通路に沿って検査ヘッドと部品との 間のｍｌの相互変位を得る駆動手段と、前記相互変位を制御するために及び第１ の検出を実行し、トランスデユーサの信号を処理するためにトランスデユーサ装 置及び駆動手段に接続された処理及び制御手段を有する。

背　景　技　術 部品の表面に接触するツイータを有するヘッドで機械部品に接触することによっ て実行される寸法検査は検査する部分に相応してツイータを配置するためにツイ ータと部品表面との間の摺動運動を含む。特に、これらの検査はダイナミックな 方法、すなわち、移動可能なツイータの位置を摺動運動中に測定する方法で実行 することが　・でき、それは手動または自動的に制御し得る。例えばダイナミッ ク検査法に関して、機械的なまたは電気的な基準点によって検査すべき所定の点 に沿ってツイータの通路を検出することまたは摺動運動中のヘッドの出力信号に よってこの点を探すことは予期し得る。

このタイプの簡単な手動による検査は例えば米国特許第４８８４３４６号に開示 されているようなプラグゲージによって実行され、それによればプラグゲージを 直径を検査する穴に挿入し、フランジによって画定される所定の深さまで進める 。穴の表面上で摺動する２つのツイータを進める間にばね及びアームセットの構 造によって弾性的に押圧し、それはまたトランスデユーサ手段を有する。

トランスデユーサ手段をひずみゲージによって得る同様の装置が国際出願筒ＷＯ −Ａ−８９１０３５０７号に開示されており、請求の範囲１の先行技術の部分に 対応する方法にしたがって自動的に検査をするタイプに使用することができ、そ の場合にプラグゲージをスライド上に配置し、プラグゲージは休止位置から測定 位置までスライドによって移動するようになっている。

上記したもののような内側の寸法を測定するためのプラグゲージに加えて、ツイ ータと表面との間の摺動運動を特徴とする接触タイプの測定ヘッドを有する装置 及び・　器具が知られている。例としてのみ挙げるならば国際出願節ＷＯ−Ａ− ８９１０４４５５号に開示されているような装置に使用する外側の寸法を測定す るスナップゲージに言及することができ、そのゲージは円筒形の外表面に接触す るように転移し、機械的なデータによって探索された検査すべき部分に向かって 前記表面上を摺動するツイータを特徴としている。

上述した各々の場合において、部品の表面上のツイータの位置決めは所定の方向 または通路に沿った表面上のツイータの摺動運動を介して行われる。前記摺動運 動を介して生じる摩擦はツイータの特別な形状及び材料によって制限されるが、 無くすことはできない。測定ヘッドの構成要素に伝達される摩擦の結果として生 じるひずみは、例えばひずみがひずみゲージによって得られるときに、可動なア ームセット内の湾曲及び／またはトランスデユーサ構成要素内のひずみによる故 障を引き起こす。

主として、繰り返され得るヘッドのエラーは異なる部分の表面の仕上げの差異に よって起こり得、前記エラーは評価することが困難であり、または不可能である 。

小さな寸法及び低い重量を有し、アームセットを備えな非常に感度の高いゲージ ヘッドを有する高度に精密な装置においてこれらのエラーの影響はとくに大きい 。

発明の開示 本発明の目的は公知の方法において避けることのできない欠点を克服することの できる接触タイプの測定装置を得ることである。

本発明の他の目的は前記方法を使用することのできる接触タイプの自動的な検査 装置を提供することである。

これらまたは他の目的は請求の範囲１の方法及び請求の範囲１２の装置によって 達成することができる。

この方法及び装置は簡単で信頼性のある方法で及び高度の正確性と反復性によっ て機械部分上に接触するタイプの検査を実行する十分な成果を提供する。なぜな らば、検査すべき部品の表面とツイータとの間の摩擦によって生じる好ましくな い影響を無視することを可能とするからである。

図面の簡単な説明 本発明は、図面を参照して説明されるが、これらに限定されるものではない。

図１は、本発明の好ましい実施例による装置の概略図である。

図２は、本発明の第１の実施例による方法の主なステップ及び論理シーケンスを 示すフローチャートである。

図３は、本発明の好ましい実施例による他の方法の論理シーケンスにおける主な ステップを示す第２のフローチャートである。

本発明を実施する最良の態様 図１の概略図は、円筒形表面６を形成する開口部を特徴とする部品４の内径寸法 を検査するためのゲージヘッド、特にプラグゲージ装置２を示す。装置２は長手 方向の軸線を有する実質的に円筒形のプラグケーシング８、ケーシング８に固定 されたツイータ１０、ケーシング８のシート１６に端部が固定されかつケーシン グ８に関して横断する方向に回転軸線を形成し、構成要素１２の可撓性部分の周 りに制限された回転運動を行うようになっている自由端を備えた細長い構成要素 １２及び構成要素１２の前記自由端に固定された移動可能なツイータ１４を有す る。ツイータ１０及び１４はプラグケーシング８に関して正反対位置に配置され ており、ばね１８がシート１６内に入れられて、ツイータ１４が表面６を押し付 けるように構成要素１２に作用するようになっている。

トランスデユーサ装置は、図１に概略的に参照符号２０で示すひずみゲージから なり、ひずみゲージは横断方向の軸線の周りでケーシング８に関するツイータ１ ４の回転変位を検出するために（例えば上述した国際出願ＷＯ−Ａ−８９１０３ ５０７内で述べたような）公知の方法で構成要素１２に接続されている。

支持体及び基準装置は部品４のための基準点２４を支持する構造体２２及びフレ ーム２６を有する支持体及びガイド構成要素を有し、フレーム２６はプラグ装置 ２を支持し、それを長手方向に沿って構造体上に移動することができる。特にケ ーシング８をフレーム２６に結合する回動接合がツイータ１０．１４と表面６の 間で適当な接触を得るために図１の平面に垂直な軸線の周りでフレーム上のプラ グケーシングが回転変位をすることを可能にする。また回動接合は軸線方向に配 置された球形支持体２８、平坦な薄板３０．戻りばね３２及びガイド開口部３４ からなる。構造体２２に関してフレーム２６の移動を起こすための作動装置は回 転可能な軸３６、この軸に固定されかつフレーム２６と協働するカム３８及び軸 ３６に結合されたモータからなる。直線位置トランスデユーサ４２を有する検出 装置は構造体２２に沿ったフレーム２６の位置を測定する。

処理及び制御手段はひずみゲージ２０に接続したユニット４４、モータ４０及び 直線トランスデユーサ４２を有する。

図２のフローチャートのボックスの意味はつぎの通りである。

＝５０ニブラグゲージが休止位置にあるとき検査サイクルの開始ニ ー５２：フレーム２６の長手方向の移動を制御するためにモータ４０の作動ニ −５４＝直線トランスデユーサ４２の信号によって休止位置への戻りの制御及び 検出。

−５６：直線トランスデユーサ４２による検査すべき直径に相応してツイータ１ ０．１４の通路の制御及び検出ニー５８ニドランスデユーサ装置２０の信号を検 出し、ユニット４４内に関連した値を記憶するための制御；−６０＝ユニツト４ ４に記憶した値の処理；−６２：検査サイクルの終了。

図２のフローチャートに従った図１の装置の操作は次の通りである。

検査位相（図２）で結果として使用＋、、以下に説明するものと全く同様の手順 によってガイドヘッド２のゼロ設定をするに必要な操作を実行するために、基準 部分すなわち「マスタ」がまず構造体２２上に負荷され基準点の間に配置される 。

つぎに検査すべき部品４を基準点２４の間の構造体２２上に負荷し、検査サイク ルを開始する（ボックス５０）。

ユニット４４がモータ４０を制御し、モータ４０はフレーム２６を部品４に向け て前進させる（ボックス５２）。プラグケーシング８が部品４の開口部に入り、 ツイータ１０及び１４かプラグケーシング８とフレーム２６の間の回動接合及び ばね３２の作用によって直径上の反対位置で円筒形表面に接触する。ツイータ１ ０及び１４が表面６の直径上の反対側に発生するラインに沿って摺動する間にフ レーム２６はその運動を続ける。特にばね１８によって押され、移動するツイー タ１４に発生する摩擦は細長い構成要素１２及びひすみゲージ２０に長手方向の ひずみを加える。トランスデユーサ４２によって行われる測定によって指示され る場合、ツイータ１０及び１４が検査位置に対応しているときに、ユニット４４ はトランスデユーサ装置２０によって与えられる信号の値をストアする（ボック ス５６）。最初の方向に沿ったフレーム２６の移動が続き、移動の方向はカム３ ８の形状及び位置によって画定される端部停止位質に到達したときだけ反転し、 カム３８はモータ４０によって作動され、フレーム２６上に作用する。反対方向 すなわち休止位置に向けて移動中ツイータ特にツイータ１４上に作用する摩擦は 細長い構成要素１２及びひずみゲージ２０内に上述したものと同様ではあるが反 対の正弦の長手方向のひずみを発生する。検査位置上のツイータ１０．１４の第 ２の通路が直線トランスデユーサ４２を介して検出されるとき（ボックス５６） 、ユニット４４はひずみゲージ２０からの信号の値をス゛ドアする（ボックス５ ８）。

さらにフレーム２６の移動は休止位置（ボックス５４）に戻るまで続く　（ボッ クス５６）。ユニット４４はストアした２つの値を処理しそれらの平均をめ（ボ ックス６０）、検査サイクルを終了する（ボックス６２）。

図３のフローチャートは図２のそれと異なるいくつかのステップを特徴とする装 置の操作に言及している。特に、図２のボックス５６及び５８は次の意味を有す るボックスによって置き換えられる。

−６６：直線トランスデユーサ４２の信号を介して、所定の長さしを有しかつ検 査すべき直径を形成する断面を有する表面６の一部でツイータ１０．１４の存在 の検出及び制御； 一６８＝直線トランスデユーサ４２の信号を介して、前の通路に関して表面６の 前記部分からのツイータ１０゜１４の除去の検出及び制御； 一７０７トランスデユーサ装置２０の信号を検出し、ユニット４４内に関連する 値をストアするための制御（ボックス５８に全く同様）； −７２：ユニット４４内で前に記憶した値の処理（ボックス７０） 図２に言及した前の説明に関して、図３のフローチャートに従った図１の装置の 動作の差異は、実質的に表面６上をツイータ１４が同じ長手方向の通路に沿って 反対方向に摺動する間に信号を検出する方法に関する。特に、検査すべき直径に 相応した２つの信号、すなわち一方がある方向を他方か反対方向の２つの単一の 通過の間にひずみゲージ２０の信号の値を検出するかわりに操作は次のようであ るウフィーラ１４の２つ走査運動すなわち一方は長手方向に他方は反対の長手方 向の運動は検査すべき直径が位置する表面６の制限された部分上で制御される（ ボックス６６．６８）。ひすみゲージ２０の複数の信号の値がこれらの走査運動 中に検出され（すなわち所定の周波数で標本化され、ディジタル化されストアさ れる）（ボックス７０）。第１及び第２の平均値が各走査運動のためにストアさ れた複数のディジタル値を処理することによってそれぞれ得られる（ボックス７ ２）。ボックス７２によって処理された２つの平均値はつぎにストアされ、続い て図２の方法によって処理される（ボックス６０）。

相互の摺動運動の間にツイータ１４と部品４の表面６との間の摩擦によってヘッ ド２のアームセット、特に細長い構成要素１２内に生じ得る応力及び変形はエラ ーを引き起こすことが指摘される。なぜならば、それらは直径の値の変化によっ て生じる表面６に接触しているツイータ１４の位置の変化による変形とともにひ ずみゲージ２０によって検出されるからである。ツイータ１４の位置に対応し、 （それ故検査すべき直径の値に対応する）トランスデユーサ装置２０の出力信号 値は上述した摩擦の効果によって結果として決定できない程度まで変わる。

表面６上のツイータ１４の正逆方向に沿った２つの摺動運動を制御することによ って、前記摺動運動によって生しるダイナミックな摩擦による力は表面６上の同 じ点あるいは同じ位置に相応して両方の場合に値が等しく、平行で符号か逆であ る。ひずみゲージ２０の出力信号上に摩擦によって導入される変化は、その値を 決定することができないが、両方の場合において値が等しく、符号が反対である 。上述した方法によって起こるような検査すべき同じ点（または同じ部分の）に 相応した、これら２つの摺動運動中にトランスデユーサ装置２０の信号を検出す ることによって関連した値の代数的な平均を得るために信号を処理することによ って摩擦によって導入される変化が互いに相殺され、部品の直径の値とマスクの 直径の値相互の間の偏差に対応した所望の値を容易に得ることができる。

すでに指摘したように本発明による方法はまたまず検査装置をゼロ設定するため に適用される。この目的のために、図２または図３において言及したステップを マスク部品（ｐａｒｔ）を部品４として使用することによって実行し、処理ステ ップ６０の後に、さらに次のステップを実行する。すなわち、検査ヘッド２をゼ ロ設定するステップは、部品４上の検査すべき寸法に対応するマスタ部品の寸法 の既知の値及びその方法をマスク部品に適用することによって測定される値によ って決める。この方法は公知の方法で自動的にまたは手動によって実行され、そ れ故詳しくは説明しない。

もちろん、その方法は１つまたはそれ以上のゲージヘッドによって同じ部分上の （同じまたは異なる名目の値を有する）複数の寸法を検査するために及び対応す るゼロ設定を実行するために適用され得る。従って、その方法は検査すべき各寸 法のために及び寸法のグループのために繰り返され、すべての寸法は各寸法に必 要なステップを適当なシーケンスで繰り返すことによって１つのサイクルで検査 され得る。

上述した方法の確実性及び重要性は他のことに関しても注目すべきであり、例え ば、軽量の可撓性を有する材料（図１の細長い構成要素１２）で作られ、すべて の場合において容易に弾性変形を受ける非常に感度のよいアームセットを備える 小さいゲージヘッドによって実行される検査である。

本発明による方法は非常に高い正確性と反復性を有する検査を可能とする。例え ば、図１に概略的に示す装置と実質的に同じ装置を有する応用例によってマイク ロメータの百倍の範囲での正確性を得ることができる。

図１の装置の可能な変形は２つの静止したツイータと可動なツイータを有するプ ラグゲージの使用を予期することかでき、それらのツイータは穴の横断方向の断 面と協働するためにプラグケーシング８の軸線の周りで互いに１２０°で配置さ れている。この場合において、プラグケーシング８のフレーム２６への結合は断 面の平面上のツイータの変位を可能にするために異なる方法で行わなければなら ない。

もちろん本発明による方法は、図示した及び説明した例によりプラグゲージの用 途に限定されるものではなく、接触して検査するタイプすなわち外径、厚さ等の 検査に使用することができ、図示したヘッド２と異なる検査（または測定）装置 の使用をも含むものである。

もちろんフレーム２６と協働するカム３８、関連軸３６及びモータ４０を有する 図１に示された作動手段は、２つの反対方向におけるヘッドの移動を得るための 手段の好適な実施例であって、本発明の適当な使用をいかようにも制限するもの ではない。

変更例として、フレーム２６の移動は、例えば異なるように配置されたモータに よって第１の方向に制御され、制限停止への到達を直線トランスデユーサ４２の 信号によって検出し、移動の方向全逆転するためにモータを制御する。

他方、検出装置を得るために直線トランスデユーサ４２を使用することは本発明 の適用を制限しない。前記トランスデユーサの作用を他の装置、例えばカム３８ またはフレーム２６の所定の位置を検出するための近接センサ等によって行うこ とができる。

本発明は並進運動と異なる、検査または測定装置と部品との間の相互運動を含む ダイナミックな検査を実行するために適用することもできる。従って、これらの 相互運動は回転運動で、螺旋通路に沿った運動等である。

例えば、回転相互変位の場合において、プラグゲージ装置は、プラグゲージと部 品との間の時計方向の相互運動を制御し、つぎに反時計方向の相互運動を制御す ることによって部品の円筒形表面の円形の断面上に小さな弧を走査することがで きる。前記弧に従ってプラグゲージ装置は回転トランスデユーサまたは同様の方 法によって配置され得、測定装置がディジタル的に採取されかつストアされ、図 ２または図３を参照して説明したように実質的に平均化される。

測定サイクルを短時間で行うために、検査装置と部品との間の相互速度は異なる 値を有し、特に検査すべき部品部分に向かう接近は第１の（平均）速度Ｖ１で行 われ、前記部分の走査は相当低い速度で実行される。速度の変化は電気的にプロ グラム可能な制御手段や適当な形状のカム（図１のカム３８のような）等を使用 することによって得ることができる。

通常速度■２て検査装置によって走査される（通路の）部分の長さＬの値、検査 すべき部分上の走査運動中の検査装置と部品との間の速度ｖ２及び（移動可能な フイーラに関する信号のための）サンプリング周波数ｆの値は次の範囲である。

： ０．２≦Ｌ≦１１１１ Ｏ１２≦ｖ２≦２ＩＩＩＩ／５ｅＣ １００≦ｆ≦２０００Ｈｚ 好ましい値は次のようである。：　Ｌ−０，５ｍｍ；　Ｖ２−１ｍｍ／ｓｅｃ　 ；　ｆ−５００Ｈｚ各フイーラと部品の表面との間の接触力Ｆの値は好ましくは ０．１とＩＮの間の範囲で選択される。

ＦＩＧ、’１ ＦＩＧ、　２ 要　約　書 検査すべき部品（４）の表面（６）に接触する移動可能なツイータ（１４）と、 ツイータ（１４）の位置に応じた信号を供給するトランスデユーサ（２０）を有 するゲージヘッド（２）を使用する部品の寸法を検査する方法。検査は１つまた はそれ以上の位置に応じてダイナミックに行われ、ヘッド（２）及び部品（４） 間の相互運動と、可動なツイータ（１４）及び表面（６）間の摺動とを含む。

摺動中に生じる摩擦力によって導入される欠点を無くすために、本方法は２つの 互いに反対の方向において各検査位置に応じて２つの走査運動を実行し、各走査 運動についてトランスデユーサ（２０）の信号の値を検出し検査すべき寸法の代 表値、または所定値からの偏差を示す値を得るために検出した値を平均化するこ とを含む。

国際調査報告 ”’＃””””’Ａ””ｃａ”””ＰＣＴ／ＥＰ９１７００４８３国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ケーシング（８）と、ケーシング（８）に関して可動であり、部品（４）の 表面（６）に接触するようになっている少なくとも１つのフィーラ（１４）と、 フィーラ（１４）の位置に応じた信号を供給するトランスデューサ装置（２０） とを含む検査ヘッド（２）によって機械部品の寸法を検査する方法であって、検 査すべき部分に向かって所定の通路に沿ってフィーラ（１４）及び部品の表面（ ６）の間で第１の相互摺動運動を得るために検査ヘッド（２）及び部品（４）の 間の相互変位を制御する（５２）過程と、検査すべき部分（５６；６６，６８） でフィーラ（１４）の第１の通路を検出する過程と、前記第１の通路に相応して トランスデューサ装置（２０）によって供給される信号を検出する過程（５８； ７０）とを含む機械部品の寸法を検査する方法において、検査すべき部分に向か って所定の通路に沿ってフィーラ（１４）と部品の表面（６）との間で第１の相 互摺動運動と反対方向に実施される第２の相互摺動運動を行うために検査ヘッド （２）及び部品（４）の間の相互変位を制御する過程（５２）と、 第２の相互摺動運動中に検査すべき部分のフィーラ（１４）の第２の通路を検出 する過程（５６，６６，６８）と、 前記第２の通路に相応してトランスデューサ装置（２０）によって供給された信 号を検出する過程（５８，７０）と、 検査すべき寸法によって最終的な測定値を得るために前記第１及び第２の通路の 間中検出された信号の値を処理する過程（６０）とを備えることとを特徴とする 機械部品の寸法を検査する方法。 ２．検査ヘッド（２）と部品（４）との間の相互変位が平均接近速度（Ｖ１）及 びかなり低い走査速度（Ｖ２）で実行され、走査速度は０．２乃至２ｍｍ／ｓｅ ｃの間に含まれる値を有する請求項１に記載の方法。 ３．走査速度で走査された前記通路の部分は０．２乃至１ｍｍの間に含まれる長 さ（Ｌ）を有する請求項２に記載の方法。 ４．前記第１及び第２の相互摺動運動は直線運動である請求項１に記載の方法。 ５．前記第１及び第２の相互摺動運動は回転運動である請求項１に記載の方法。 ６．前記第１及び第２の通路の間中に検出された信号の値を処理する過程（６０ ）は前記値の間の平均を計算することを含み、前記平均は検査すべき寸法の値を 指示する請求項１に記載の方法。 ７．検査すべき場所でフィーラ（１４）の通路及び第２の通路を検出する過程及 びトランスデューサ装置（２０）によって供給される信号を検出する過程は検査 位置に相応したフィーラ（１４）の通路及び第２の通路を検出する過程（５６） 及び検査位置に相応したトランスデューサ装置によって供給された信号の第１及 び第２の値を検出する過程を含み、前記第１及び第２の測定値はフィーラ（１４ ）の第１及び第２の通路の間でそれぞれ検出される請求項６に記載の方法。 ８．検査すべき位置でフィーラ（１４）の通路及び第２の通路を検出し、トラン スデューサ装置（２０）によって供給される信号を検出し、信号の値を処理する 過程は検査位置を含む部品の表面の一部上のフィーラ（１４）の通路及び第２の 通路を検出し（６６，６８）、前記第１の通路及び第２の通路の間にトランスデ ューサ装置（２０）の信号の第１及び第２の複数の関連した値を検出しかつ記憶 し（７０）、前記平均を求めるために前記第１及び第２の複数の値を処理する（ ７２）過程を含む請求項６に記載の方法。 ９．前記第１及び第２の複数の値は１００乃至２０００Ｈｚの間に含まれる周波 数（ｆ）で採取される請求項８に記載の方法。 １０．前記第１及び第２の複数の値を処理する過程は前記複数の値の第１の平均 値及び第２の平均値をそれぞれ計算することからなる請求項９に記載の方法。 １１．機械的な部品はマスタ部品によって構成され、前記処理過程の後に検査ヘ ッドをゼロ設定する追加過程を含む請求項１に記載の方法。 １２．ケーシング（８）、ケーシング（８）に関して移動可能な少なくとも１つ のフィーラ（１４）及びケーシング（８）に関してフィーラ（１４）の位置に応 じて信号を供給するトランスデューサ装置（１４）を有する検査ヘッド（２）と 、 所定の通路に沿って検査ヘッド（２）及び部品（４）の間の第１の相互変位を得 るための駆動手段（３６，３８，４０）と、 前記相互変位を制御し、第１の検出を実行し、トランスデューサ装置（２０）の 信号を処理するためにトランスデューサ装置（２０）及び駆動手段（４０）に接 続された処理及び制御手段（４４）とを有する機械部分の直線寸法を自動的に検 査するための装置において、処理及び制御装置（４４）及び駆動手段（３６，３ ８，４０）は、前記通路に沿って検査ヘッド（２）及び部品（４）の間で第１の 相互変位の方向と逆の方向の第２の相互変位を制御し、 トランスデューサ装置（２０）の第２の検出及び処理を行い、 検査すべき寸法に相応した値を得るために前記第１及び第２の処理の結果を処理 するようになっていることを特徴とする装置。 １３．前記トランスデューサ装置は少なくとも１つのひずみゲージ（２０）を有 する請求項１２に記載の装置。 １４．部品（４）用の支持及び基準装置（２２，２４）と、検査ヘッド（２）を 支持する支持構成要素（２６）と、支持手段（２２）及び支持構成要素（２６） は前記通路に沿って相互に可動であり、検査ヘッド（２）及び部品（４）の間の 相互変位を得るために支持手段（２２）及び支持構成要素（２６）と協働する駆 動手段（３６，３８，４０）と、前記通路に沿って検査ヘッド（２）及び部品（ ４）の間の相互位置を検出するための検出手段（４２）と、部品（４）の検査す べき同じ位置に相応した第１及び第２の測定値を得るために検出手段（４２）に 接続された処理及び制御手段（４４）とを更に含む、請求項１２に記載の装置。 １５．検査ヘッドは支持構成要素（２６）に結合され、実質的に長手方向に沿っ て配置された少なくとも１つの細長い移動可能な構成要素（１２）を支持してい るプラグゲージ装置（２）を含み、フィーラ（１４）は前記移動可能な構成要素 （１２）に結合され、トランスデューサ装置は移動可能な構成要素（１２）に結 合されたひずみゲージ（２０）を有する請求項１４に記載の装置。