JPH0447464B2 - - Google Patents

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JPH0447464B2
JPH0447464B2 JP11732281A JP11732281A JPH0447464B2 JP H0447464 B2 JPH0447464 B2 JP H0447464B2 JP 11732281 A JP11732281 A JP 11732281A JP 11732281 A JP11732281 A JP 11732281A JP H0447464 B2 JPH0447464 B2 JP H0447464B2
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Japan
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memory cell
selection
cell groups
mos transistors
series
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Takaaki Hayashi
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Seiko Epson Corp
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Publication of JPH0447464B2 publication Critical patent/JPH0447464B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B20/00Read-only memory [ROM] devices

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、リードオンリメモリ(ROM)集積
回路の記憶回路のメモリ・セル配列に関する。本
発明は、その中でも、記憶回路部がMOSトラン
ジスタからなる記憶素子(以後、メモリ・セルと
呼ぶ)の直列かつ並列接続(以後、直並列接続と
呼ぶ)により構成されるリードオンリメモリ集積
回路(以後、ROMと呼ぶ)に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a memory cell arrangement of a storage circuit of a read-only memory (ROM) integrated circuit. Among other things, the present invention provides a read-only memory integrated circuit (hereinafter referred to as series-parallel connection) in which the memory circuit portion is constructed by serial and parallel connections (hereinafter referred to as series-parallel connections) of memory elements (hereinafter referred to as memory cells) consisting of MOS transistors. (hereinafter referred to as ROM).

[従来の技術及び発明が解決しようとする課題] 最近の大規模集積回路(LSI)の発展は目覚し
く、マイクロプロセツサの高性能化及び半導体メ
モリの高速化、高密度化に対する進歩は著しい。
この様な状況において、マイクロプロセツサ応用
製品が数多く開発され、それに伴い小型で大容量
化されたROMが要求されている。
[Prior Art and Problems to be Solved by the Invention] The recent development of large-scale integrated circuits (LSI) has been remarkable, and remarkable progress has been made in increasing the performance of microprocessors and increasing the speed and density of semiconductor memories.
Under these circumstances, many microprocessor-applied products have been developed, and as a result, there has been a demand for smaller, larger-capacity ROMs.

一般的なROMの構成は、第1図に示される。
図中の1はアドレス信号の入力端子、2はアドレ
スバツフア、3はアドレス列デコーダ、4はアド
レス行デコーダ、5はメモリ・セル・マトリクス
配列部(以後、セル・アレーと呼ぶ)、6は列セ
レクタとセンスアツプ部、7は出力バツフア、8
は出力信号の出力端子である。
The configuration of a typical ROM is shown in FIG.
In the figure, 1 is an address signal input terminal, 2 is an address buffer, 3 is an address column decoder, 4 is an address row decoder, 5 is a memory cell matrix array section (hereinafter referred to as cell array), and 6 is an address signal input terminal. Column selector and sense up section, 7 is output buffer, 8
is the output terminal of the output signal.

この中において、ROMチツプ面積を一番占有
する部分は、メモリ・セルから構成されるセル・
アレー5である。ゆえに、メモリの大容量化に際
し、このセル・アレーの面積を小さくすることが
要求されている。
Among these, the part that occupies the most area of the ROM chip is the cell consisting of memory cells.
This is array 5. Therefore, when increasing the memory capacity, it is required to reduce the area of this cell array.

従来のROMは、基本的に、アドレス信号を
ROMチツプ内部において2分割して行選択信号
と列選択信号にデコードし、セル・アレーの行列
の各交点に配置したメモリ・セル用MOSトラン
ジスタに固定された1ビツトデータを、行選択信
号と列選択信号により選択する方法がとられてい
る。
Conventional ROM basically uses address signals as
The ROM chip is divided into two parts and decoded into a row selection signal and a column selection signal, and the 1-bit data fixed in the memory cell MOS transistors placed at each intersection of the matrix of the cell array is sent to the row selection signal and column selection signal. A method is used in which selection is performed using a selection signal.

第2図は基本的なメモリ・セル1個とコンタク
ト部1個で構成されるセル・アレーである。図中
の1は読み出し線(列線)となるメタル、2は行
選択線となるポリシリコン、3はコンタクト部、
4は拡散層、6はフイールド部であり、5はメモ
リ・セル・サイズを示している。このセル・アレ
ーは、メモリ・セル1個に対してコンタクト部が
1個使われるため、メモリ・セルと同容量数のコ
ンタクトが必要となり、セル・アレーの面積は大
きい。
FIG. 2 shows a cell array consisting of one basic memory cell and one contact portion. In the figure, 1 is the metal that becomes the readout line (column line), 2 is the polysilicon that is the row selection line, 3 is the contact part,
4 is a diffusion layer, 6 is a field portion, and 5 is a memory cell size. In this cell array, one contact portion is used for each memory cell, so the number of contacts with the same capacity as the memory cells is required, and the area of the cell array is large.

第3図はコンタクト1個に対してメモリ・セル
2個を並列に接続した場合である。図中の1は読
み出し線(列線)となるメタル、2は行選択線と
なるポリシリコン、3はコンタクト部、4は拡散
層、6はフイールド部であり、5はメモリ・セ
ル・サイズを示している。このセル・アレーは、
1個のメモリ・セル・サイズに占めるコンタクト
部の面積が、第2図のセル・アレーに対して半分
となり、第2図よりはセル・アレーの面積は小さ
くなる。また1個のメモリ・セルMOSトランジ
スタがコンタクトに対して並列接続される構成の
ため、アクセスタイムは速い。しかし、メモリ・
セルの容量数の半分の数のコンタクトが必要であ
り、まだチツプの面積は大きいという欠点を有し
ている。
FIG. 3 shows a case where two memory cells are connected in parallel to one contact. In the figure, 1 is the metal that will be the readout line (column line), 2 is the polysilicon that will be the row selection line, 3 is the contact part, 4 is the diffusion layer, 6 is the field part, and 5 is the memory cell size. It shows. This cell array is
The area of the contact portion in one memory cell size is half that of the cell array of FIG. 2, and the area of the cell array is smaller than that of FIG. Furthermore, since one memory cell MOS transistor is connected in parallel to the contact, the access time is fast. However, memory
It has the disadvantage that half the number of contacts as the number of cell capacities is required, and the chip area is still large.

これに対して、第4図はメモリ・セルがコンタ
クト1個に対して直列に接続されている場合であ
る。第4図中の1は読み出し線(列線)となるメ
タル、2は行選択線となるポリシリコン、3はコ
ンタクト部、6はフイールド部であり、5はメモ
リ・セル・サイズを示している。
On the other hand, FIG. 4 shows a case where memory cells are connected in series to one contact. In Figure 4, 1 is the metal that will be the readout line (column line), 2 is the polysilicon that will be the row selection line, 3 is the contact part, 6 is the field part, and 5 is the memory cell size. .

この直列接続されたメモリ・セルMOSトラン
ジスタの直列段数は一般的には2n段(n=1、
2、3、…)となり、メモリ・セル・サイズ1個
に対するコンタクト部の占める面積は1/2nであ
る。従つて、直列段数を増やせば、メモリ・セ
ル・サイズに対してコンタクト部の占める面積は
ほぼ無視できるようになり、この直列接続方式
は、第3図の並列接続方式に比べてメモリ・セ
ル・サイズが小さくなつて、大量のROMデータ
を高密度に集積できる。しかし、アクセスタイム
がMOSトランジスタの直列段数に依存し、直列
段数の増加と共に遅くなる欠点を有している。
The number of series-connected memory cell MOS transistors is generally 2 n stages (n=1,
2, 3, ...), and the area occupied by the contact portion for one memory cell size is 1/2 n . Therefore, if the number of series stages is increased, the area occupied by the contact portion can be almost ignored relative to the memory cell size, and this series connection method has a smaller memory cell size than the parallel connection method shown in FIG. The smaller size allows large amounts of ROM data to be integrated at high density. However, it has the disadvantage that the access time depends on the number of series stages of MOS transistors, and becomes slower as the number of series stages increases.

本発明は、以上に述べた従来のROMの欠点を
解決し、メモリ・セル・アレーの高密度化が可能
であつて、チツプサイズも小さくでき、アクセス
タイムも高くできるROMのメモリ・セル配列を
提供するものである。
The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the conventional ROM, and provides a ROM memory cell array that can increase the density of the memory cell array, reduce the chip size, and increase access time. It is something to do.

[課題を解決するための手段] かかる本発明は、 複数個のメモリセルMOSトランジスタ及び選
択用MOSトランジスタを各々直列接続した複数
個のメモリセル群をマトリクス配置してアレーを
形成するリードオンリメモリ集積回路において、 前記アレーは4個のメモリセル群を一単位のブ
ロツクとして構成され、該4個のメモリセル群を
前記選択用MOSトランジスタにより選択して共
通配線に結合してなり、 前記ブロツクは前記4個のメモリセル群として
第1、第2、第3及び第4のメモリセル群を有
し、 前記第1及び第2のメモリセル群は直列接続さ
れる前記MOSトランジスタを形成するための拡
散層が前記アレーの第1列内に各々配置され、 前記第3及び第4のメモリセル群は直列接続さ
れる前記MOSトランジスタを形成するための拡
散層が前記第1列に隣接する第2列内に各々配置
され、 前記第1及び第3のメモリセル群の2個のメモ
リセル群と前記第2及び第4のメモリセル群の2
個のメモリセル群の各々は、前記メモリセル
MOSトランジスタを選択するための複数本の行
選択用配線を共通とすると共に前記メモリセル群
を選択するための2本の群選択用配線を共通と
し、前記アレーの行方向に延在配置される前記行
選択用配線と前記第1及び第2列の交差領域に前
記メモリ・セルMOSトランジスタが各々形成さ
れ、前記アレーの行方向に延在配置される前記群
選択用配線と前記第1及び第2列の交差領域に前
記選択用MOSトランジスタが各々形成されてな
り、 前記第1、第2、第3及び第4のメモリセル群
の直列接続される前記MOSトランジスタを形成
する拡散層の各々の一端は共通拡散層を形成し、
該共通拡散層に形成した1個のコンタクトホール
を介して金属からなる前記共通配線に接続される
ことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The present invention provides a read-only memory integration in which a plurality of memory cell groups each having a plurality of memory cell MOS transistors and a selection MOS transistor connected in series are arranged in a matrix to form an array. In the circuit, the array is configured of four memory cell groups as one unit block, and the four memory cell groups are selected by the selection MOS transistors and coupled to a common wiring, and the block is configured as described above. It has first, second, third, and fourth memory cell groups as four memory cell groups, and the first and second memory cell groups are diffused to form the MOS transistors connected in series. the third and fourth groups of memory cells are arranged in a second column adjacent to the first column, the third and fourth groups of memory cells are arranged in a second column adjacent to the first column to form the MOS transistors connected in series; two memory cell groups of the first and third memory cell groups and two memory cell groups of the second and fourth memory cell groups;
Each of the memory cell groups includes the memory cell
A plurality of row selection wirings for selecting MOS transistors are shared in common, and two group selection wirings for selecting the memory cell group are shared in common and are arranged to extend in the row direction of the array. The memory cell MOS transistors are formed in the intersection areas of the row selection wiring and the first and second columns, respectively, and the group selection wiring and the first and second columns are arranged to extend in the row direction of the array. The selection MOS transistors are formed in the intersection regions of two columns, and each of the diffusion layers forming the MOS transistors connected in series of the first, second, third, and fourth memory cell groups is One end forms a common diffusion layer;
It is characterized in that it is connected to the common wiring made of metal through one contact hole formed in the common diffusion layer.

[実施例] 第5図は本発明による直並列型ROMのセル・
アレーである。
[Example] Fig. 5 shows the cells and cells of the serial-parallel ROM according to the present invention.
It is an array.

図中の1は読み出し線(列線)となるメタル
(共通配線)、2,15はメモリ・セルMOSトラ
ンジスタを選択するための行選択線となるポリシ
リコン(行選択用配線)、3,4は直列接続され
たメモリ・セルMOSトランジスタのメモリ・セ
ル群を選択するための群選択線となるポリシリコ
ン(群選択用配線)、5〜9はMOSトランジスタ
の拡散層、10,11はコンタクト部(コンタク
ト・ホール)、12はデプレシヨン型MOSトラン
ジスタ(選択用MOSトランジスタ)、13はエン
ハンスメント型MOSトランジスタ(選択用MOS
トランジスタ)、14はフイールド部を示してい
る。
In the figure, 1 is a metal (common wiring) that becomes a readout line (column line), 2 and 15 are polysilicon (row selection wiring) that become row selection lines for selecting memory cell MOS transistors, 3 and 4 is polysilicon (group selection wiring) that serves as a group selection line for selecting a memory cell group of memory cell MOS transistors connected in series, 5 to 9 are diffusion layers of MOS transistors, and 10 and 11 are contact portions. (contact hole), 12 is a depletion type MOS transistor (selection MOS transistor), 13 is an enhancement type MOS transistor (selection MOS transistor), and 13 is an enhancement type MOS transistor (selection MOS transistor).
(transistor), 14 indicates a field section.

第5図においては、列方向に形成される拡散層
6,7,8,9と行方向に配置されるポリシリコ
ン2,15の交差領域にメモリ・セルMOSトラ
ンジスタが形成され、同じく行方向に配置される
ポリシリコン3,4との交差領域に選択用MOS
トランジスタが形成される。それによつて、メモ
リ・セルMOSトランジスタを8個直列接続し、
さらに選択用MOSトランジスタを2個直列接続
した4つのメモリ・セル群を形成している。この
メモリ・セル群の拡散層6,7,8,9の一端は
コンタクト部10で共通拡散層を構成し、コンタ
クト10に並列に接続される。つまり、第5図は
4並列8段直列接続のROMセル・アレーであ
る。
In FIG. 5, memory cell MOS transistors are formed in the intersection regions of diffusion layers 6, 7, 8, 9 formed in the column direction and polysilicon 2, 15 arranged in the row direction; A selection MOS is placed in the intersection area with polysilicon 3 and 4 to be placed.
A transistor is formed. Thereby, eight memory cell MOS transistors are connected in series,
Further, two selection MOS transistors are connected in series to form four memory cell groups. One end of the diffusion layers 6, 7, 8, and 9 of this memory cell group constitutes a common diffusion layer at a contact portion 10, and is connected to the contact 10 in parallel. In other words, FIG. 5 shows a ROM cell array with 4 parallel and 8 stages connected in series.

コンタクト10に並列接続された拡散層6,
7,8,9に形成されるメモリ・セル群は、群選
択線3,4により選択される。例えば、選択用
MOSトランジスタ12がデプレシヨン型、選択
用MOSトランジスタ13がエンハンスメント型
であれば、群選択線3が選択状態にされたとき、
拡散層6側の群選択用MOSトランジスタ13は
オフであり、拡散層7側の群選択用MOSトラン
ジスタ13はオンであるから、拡散層7側のメモ
リ・セル群が電源のソース5と接続されて選択さ
れた状態となる。従つて、行選択線15と群選択
線3が選択された場合、コンタクト10には拡散
層7に形成されたメモリ・セル群が選択され、接
続される。
a diffusion layer 6 connected in parallel to the contact 10;
The memory cell groups formed at 7, 8 and 9 are selected by group selection lines 3 and 4. For example, for selection
If the MOS transistor 12 is a depletion type and the selection MOS transistor 13 is an enhancement type, when the group selection line 3 is set to the selected state,
Since the group selection MOS transistor 13 on the diffusion layer 6 side is off and the group selection MOS transistor 13 on the diffusion layer 7 side is on, the memory cell group on the diffusion layer 7 side is connected to the power source 5. It will be in the selected state. Therefore, when the row selection line 15 and the group selection line 3 are selected, the memory cell group formed in the diffusion layer 7 is selected and connected to the contact 10.

次にメモリ、セル・アレーについて述べる。 Next, we will discuss memory and cell arrays.

メモリ・セルを構成するMOSトランジスタの
チヤンネル幅(各拡散層の幅に相当)とメタル幅
は等しくなつているが、コンタクト部のメタル幅
はそこにコンタクト・ホールをあけるため、チヤ
ンネル幅よりも広くなる。セル・アレーの行の間
隔を考えると、チヤンネル幅は小さくできるが、
コンタクト部は拡散層とメタルの合わせ余裕を必
要とするため小さくすることが困難であり、コン
タクト部のメタル幅により間隔は決まることとな
る。これは従来例の第2、第3及び第4図でも、
本発明の第5図でも同様である。従来例では1個
のコンタクト部の幅に対して列方向には1つの拡
散層しか形成されておらず、スペースに無駄があ
つた。しかし、本発明では1個のコンタクト部の
幅に対して列方向に2つの拡散層が隣接配置され
ており、セル・アレーのスペースを効率的に利用
して高密度化できている。
The channel width (corresponding to the width of each diffusion layer) and metal width of the MOS transistors that make up the memory cell are equal, but the metal width of the contact part is wider than the channel width because a contact hole is made there. Become. Considering the row spacing of the cell array, the channel width can be reduced, but
It is difficult to make the contact portion small because it requires a margin for alignment between the diffusion layer and the metal, and the spacing is determined by the metal width of the contact portion. This also applies to Figures 2, 3, and 4 of the conventional example.
The same applies to FIG. 5 of the present invention. In the conventional example, only one diffusion layer was formed in the column direction for the width of one contact portion, resulting in wasted space. However, in the present invention, two diffusion layers are arranged adjacent to each other in the column direction with respect to the width of one contact portion, so that the space of the cell array can be efficiently utilized to achieve high density.

また、第5図では4並列8段直列接続の4×8
個のMOSトランジスタに1個のコンタクトが存
在しており、メモリ・セル・サイズに対してコン
タクト部が占める面積は極めて小さくなる。特
に、第5図のように直列段数を増やさなくともメ
モリ・セル・サイズの面積を小さくできるので、
アクセスタイムの高速化と高密度化の両面を達成
することができる。
In addition, in Figure 5, 4 x 8 with 4 parallel 8 stages connected in series
One contact exists for each MOS transistor, and the area occupied by the contact portion is extremely small relative to the memory cell size. In particular, as shown in Figure 5, the area of the memory cell size can be reduced without increasing the number of series stages.
Both faster access time and higher density can be achieved.

さらに、従来例と本発明において、同容量(メ
モリ・セルMOSトランジスタの数が同数)の
ROMに必要なコンタクトの数は本発明の方が極
めて少なくなるので、セル・アレーの面積は非常
に小さくでき、非常に高密度化されたセル・アレ
ーとなる。
Furthermore, the conventional example and the present invention have the same capacity (the same number of memory cell MOS transistors).
Since the number of contacts required for the ROM is much smaller in the present invention, the area of the cell array can be made very small, resulting in a very dense cell array.

加えて、第4図の従来例と同一面積のROMを
構成するのに必要なメモリ・セルの直列段数は、
第4図が16個であれば本発明第5図では8個であ
り(但し、2個の選択用MOSトランジスタが加
わるので実際は10個)、直列段数の少なくなるた
め、アクセスタイムが高速化できる。
In addition, the number of series stages of memory cells required to configure a ROM with the same area as the conventional example shown in FIG.
If the number in Figure 4 is 16, the number in Figure 5 of the present invention is 8 (however, since two selection MOS transistors are added, the actual number is 10), and the number of series stages is reduced, making the access time faster. .

また、本発明は1個のコンタクトに対して、互
いに隣接する2つの列に形成される4個のメモ
リ・セル群を接続することに特徴を有している。
比較のため、例えば8個のメモリ・セル群を接続
する構成を考えるとする。メモリ・セル群は4つ
の列の上下に形成されるから、コンタクトの形成
される共通拡散層は4つの拡散層の幅を持つこと
になる。また、各メモリ・セル群には4個の選択
用MOSトランジスタが直列接続される。この場
合、本発明に比べれば直列段数は増加し、コンタ
クト部の寄生容量は増加するため、アクセスタイ
ムは遅くなる。一方、面積についてはあまり小さ
くなるわけではない。従つて、本発明のように2
つの隣接列の4個のメモリ・セル群を1個のコン
タクトに接続する構成が、アクセスタイムを遅く
せずにセル・アレーの高密度化を達成するための
最適なメモリ・セル配列なのである。
Furthermore, the present invention is characterized in that four memory cell groups formed in two adjacent columns are connected to one contact.
For comparison, let us consider, for example, a configuration in which eight memory cell groups are connected. Since the memory cells are formed above and below the four columns, the common diffusion layer in which the contacts are formed has a width of four diffusion layers. Furthermore, four selection MOS transistors are connected in series to each memory cell group. In this case, compared to the present invention, the number of series stages increases and the parasitic capacitance of the contact portion increases, so the access time becomes slower. On the other hand, the area does not become much smaller. Therefore, as in the present invention, 2
The configuration in which four groups of memory cells in two adjacent columns are connected to one contact is the optimal memory cell arrangement for achieving high density cell arrays without slowing down access time.

[発明の効果] 以上に述べたように、本発明による直並列接続
のメモリ・セル・アレーを用いれば、アクセスタ
イムを遅くせずに大容量をROMセル・アレーが
実現できる。
[Effects of the Invention] As described above, by using the series-parallel connected memory cell array according to the present invention, a ROM cell array with a large capacity can be realized without slowing down the access time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は一般的なROMのブロツク・ダイヤグ
ラムを示す図。 1……アドレス信号の入力端子、2……アドレ
スバツフア、3……アドレス列デコーダ、4……
アドレス行デコーダ、5……メモリ・セル・マト
リクス配列部、6……列セレクタとセンスアンプ
部、7……出力バツフア、8……出力信号の出力
端子, 第2図はメモリ・セル1個につきコンタクト1
個の基本的なメモリ・セル・アレーを示す図。 1……メタル(列線)、2……ポリシリコン
(行選択線)、3……コンタクト部、4……拡散
層、5……メモリ・セル・サイズ、6……フイー
ルド部。 第3図は2個のメモリ・セルが1個のコンタク
トに並列接続されるメモリ・セル・アレーを示す
図。 1……メタル(列線)、2……ポリシリコン
(行選択線)、3……コンタクト部、4……拡散
層、5……メモリ・セル・サイズ、6……フイー
ルド部。 第4図は1個のコンタクトにメモリ・セルが直
列接続されるメモリ・セル・アレーを示す図。 1……メタル(列線)、2……ポリシリコン
(行選択線)、3……コンタクト部、4……拡散
層、5……メモリ・セル・サイズ、6……フイー
ルド部。 第5図は直並列型メモリ・セル・アレーを示す
図。 1……メタル(列線)、2,15……ポリシリ
コン(行選択線)、3,4……ポリシリコン(メ
モリ・セル群選択線)、5……拡散層(ソース
側)、6,7,8,9……拡散層、10,11…
…コンタクト部、12……デプレシヨン型MOS
トランジスタ(選択用MOSトランジスタ)、13
……エンハンスメント型MOSトランジスタ(選
択用MOSトランジスタ)、14……フイールド
部。
FIG. 1 is a diagram showing a block diagram of a general ROM. 1...Address signal input terminal, 2...Address buffer, 3...Address string decoder, 4...
Address row decoder, 5...Memory cell matrix arrangement section, 6...Column selector and sense amplifier section, 7...Output buffer, 8...Output signal output terminal, Figure 2 shows each memory cell. contact 1
FIG. 2 is a diagram illustrating a basic memory cell array. 1...Metal (column line), 2...Polysilicon (row selection line), 3...Contact section, 4...Diffusion layer, 5...Memory cell size, 6...Field section. FIG. 3 is a diagram showing a memory cell array in which two memory cells are connected in parallel to one contact. 1...Metal (column line), 2...Polysilicon (row selection line), 3...Contact section, 4...Diffusion layer, 5...Memory cell size, 6...Field section. FIG. 4 is a diagram showing a memory cell array in which memory cells are connected in series to one contact. 1...Metal (column line), 2...Polysilicon (row selection line), 3...Contact section, 4...Diffusion layer, 5...Memory cell size, 6...Field section. FIG. 5 is a diagram showing a series-parallel memory cell array. 1... Metal (column line), 2, 15... Polysilicon (row selection line), 3, 4... Polysilicon (memory cell group selection line), 5... Diffusion layer (source side), 6, 7, 8, 9...diffusion layer, 10, 11...
...Contact part, 12...Depression type MOS
Transistor (MOS transistor for selection), 13
...Enhancement type MOS transistor (selection MOS transistor), 14...Field section.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 複数個のメモリセルMOSトランジスタ及び
選択用MOSトランジスタを各々直列接続した複
数個のメモリセル群をマトリクス配置してアレー
を形成するリードオンリメモリ集積回路におい
て、 前記アレーは4個のメモリセル群を一単位のブ
ロツクとして構成され、該4個のメモリセル群を
前記選択用MOSトランジスタにより選択して共
通配線に結合してなり、 前記ブロツクは前記4個のメモリセル群として
第1、第2、第3及び第4のメモリセル群を有
し、 前記第1及び第2のメモリセル群は直列接続さ
れる前記MOSトランジスタを形成するための拡
散層が前記アレーの第1列内に各々配置され、 前記第3及び第4のメモリセル群は直列接続さ
れる前記MOSトランジスタを形成するための拡
散層が前記第1列に隣接する第2列内に各々配置
され、 前記第1及び第3のメモリセル群の2個のメモ
リセル群と前記第2及び第4のメモリセル群の2
個のメモリセル群の各々は、前記メモリセル
MOSトランジスタを選択するための複数本の行
選択用配線を共通とすると共に前記メモリセル群
を選択するための2本の群選択用配線を共通と
し、前記アレーの行方向に延在配置される前記行
選択用配線と前記第1及び第2列の交差領域に前
記メモリセルMOSトランジスタが各々形成され、
前記アレーの行方向に延在配置される前記群選択
用配線と前記第1及び第2列の交差領域に前記選
択用MOSトランジスタが各々形成されてなり、 前記第1、第2、第3及び第4のメモリセル群
の直列接続される前記MOSトランジスタを形成
する拡散層の各々の一端は共通拡散層を形成し、
該共通拡散層に形成した1個のコンタクトホール
を介して金属からなる前記共通配線に接続される ことを特徴とするリードオンリメモリ集積回路。
[Scope of Claims] 1. A read-only memory integrated circuit in which a plurality of memory cell groups each having a plurality of memory cell MOS transistors and a selection MOS transistor connected in series are arranged in a matrix to form an array, wherein the array comprises four memory cell groups. The memory cell group is configured as one unit block, and the four memory cell groups are selected by the selection MOS transistor and connected to a common wiring, and the block is configured as the four memory cell groups. first, second, third, and fourth memory cell groups, wherein the first and second memory cell groups are connected in series, and a diffusion layer for forming the MOS transistor is connected to the first memory cell group in the array. the third and fourth memory cell groups are each arranged in a second column adjacent to the first column, and diffusion layers for forming the MOS transistors are connected in series; two memory cell groups, the first and third memory cell groups; and two memory cell groups, the second and fourth memory cell groups.
Each of the memory cell groups includes the memory cell
A plurality of row selection wirings for selecting MOS transistors are shared in common, and two group selection wirings for selecting the memory cell group are shared in common and are arranged to extend in the row direction of the array. The memory cell MOS transistors are each formed in an intersection region of the row selection wiring and the first and second columns,
The selection MOS transistors are formed in the intersection areas of the group selection wiring extending in the row direction of the array and the first and second columns, and the selection MOS transistors are formed in the first, second, third, and third columns. One end of each of the diffusion layers forming the series-connected MOS transistors of the fourth memory cell group forms a common diffusion layer;
A read-only memory integrated circuit, characterized in that it is connected to the common wiring made of metal through one contact hole formed in the common diffusion layer.
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