JPH044737U - - Google Patents

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JPH044737U
JPH044737U JP4489490U JP4489490U JPH044737U JP H044737 U JPH044737 U JP H044737U JP 4489490 U JP4489490 U JP 4489490U JP 4489490 U JP4489490 U JP 4489490U JP H044737 U JPH044737 U JP H044737U
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impurity
semiconductor substrate
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【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の半導体製造装置（エピタキ
シヤル成長装置）の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図に示す装置でエピタキシヤル層を形成
する場合の半導体サブストレートの加熱温度の変
化を示す図、第３図はエピタキシヤル層を形成し
た半導体サブストレートを示す断面図、第４図は
不純物の高濃度埋込み拡散領域を持つ半導体サブ
ストレートの断面図、第５図はエピタキシヤル層
を形成した半導体サブストレートを示す第３図の
Ａ−Ａ線に沿つて厚さ方向に切断した場合の不純
物濃度の変化を示す図である。 １……半導体サブストレート、２……エピタキ
シヤル層、３……埋込み拡散領域、５……半導体
製造装置、１３……ドーピングガスの流量制御手
段、１４……排気路、１６……不純物センサ、１
７……演算制御部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体サブストレート上に、エピタキシヤル層
    を成長させる装置において、 エピタキシヤル層の成長工程の装置内雰囲気の
    不純物濃度を検出する不純物センサと、 検出された不純物濃度から、エピタキシヤル層
    の不純物濃度を所期のものにするために必要な装
    置内への不純物の供給量を算出する演算制御部と
    、 算出された不純物の供給量にしたがつて装置内
    への不純物の供給量を制御する流量制御手段とを
    具備したことを特徴とする半導体製造装置。
JP4489490U 1990-04-25 1990-04-25 Pending JPH044737U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5617795A (en) * 1979-06-06 1981-02-19 Newnham John Harold Rotary vane material

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5617795A (en) * 1979-06-06 1981-02-19 Newnham John Harold Rotary vane material
JPS6346706B2 (ja) * 1979-06-06 1988-09-16

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