JPH0447206A - 垂直光切断計測方法および装置 - Google Patents
垂直光切断計測方法および装置Info
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- JPH0447206A JPH0447206A JP2154606A JP15460690A JPH0447206A JP H0447206 A JPH0447206 A JP H0447206A JP 2154606 A JP2154606 A JP 2154606A JP 15460690 A JP15460690 A JP 15460690A JP H0447206 A JPH0447206 A JP H0447206A
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- Pending
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- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 abstract 3
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直光切断計測方法および装置に関する。
従来、この種の光切断法は、第３図（ａ）〜（ｄ）に示
す様に、スリット光３−１は被測定物３−２の垂直面内
に含まれていなかった。
す様に、スリット光３−１は被測定物３−２の垂直面内
に含まれていなかった。
この為、点称で示される垂直断面３−３のデータを得る
為には光切断法を反復し、かつ補間処理を行うことで第
３図（ｄ）に示す合成光条像から垂直断面３−３の形状
を求めていた。
為には光切断法を反復し、かつ補間処理を行うことで第
３図（ｄ）に示す合成光条像から垂直断面３−３の形状
を求めていた。
また、これ以外にレーザビームスポットを垂直面内で走
査する方法もある。
査する方法もある。
上述した従来の技術は各々次の様な欠点がある。
まず、光切断法では直接垂直断面形状が求まらず、かな
りの計算量が必要であった。かつ補間を行なわずに充分
な精度で垂直断面を求めようとすると、被測定物の搬送
速度を遅くシ、密に第３図（Ｃ）の光条像を得て、解析
する必要があった。
りの計算量が必要であった。かつ補間を行なわずに充分
な精度で垂直断面を求めようとすると、被測定物の搬送
速度を遅くシ、密に第３図（Ｃ）の光条像を得て、解析
する必要があった。
レーザスポット走査方法では、搬送が停止していないと
タスキ状の走査になり垂直断面形像が得られないことと
、機械的走査なのでコスト、信頼正、速度面で問題があ
った。かつまた多くのレーザスポット走査方法による装
置でもレーザの照射面が被測定物の垂直面に含まれない
ものが多く、前記と同様の欠点があった。
タスキ状の走査になり垂直断面形像が得られないことと
、機械的走査なのでコスト、信頼正、速度面で問題があ
った。かつまた多くのレーザスポット走査方法による装
置でもレーザの照射面が被測定物の垂直面に含まれない
ものが多く、前記と同様の欠点があった。
なお第３図の白黒カメラ３−４とスリット光３−１との
位置関係を逆にした光切断法もあるがレンズ３−５の収
差補正、調整が困難の為あまり使用されていない。
位置関係を逆にした光切断法もあるがレンズ３−５の収
差補正、調整が困難の為あまり使用されていない。
本発明の垂直光切断計測方法は、（Ａ）被測定物の垂直
線上にカメラを設置し、垂直線＝カメラ視野中心とする
手順、 （Ｂ）垂直線を含み、カメラの走査線方法と直交する垂
直面内で、波長に対して照射角の定まった扇吠若しくは
平行レインボースリット光を被測定物の垂直断面線上に
照射する手順、 （Ｃ）このレインボー光条をカメラで撮像するにあたり
、光条像をスペクトル分解することで、波長をカメラの
走査線方向の位置に置き直す手順、 （Ｄ）各走査線毎でピークのある画条から、各走査的に
対応する光条像の各点の波長を求める手順、とを含んで
構成される。
線上にカメラを設置し、垂直線＝カメラ視野中心とする
手順、 （Ｂ）垂直線を含み、カメラの走査線方法と直交する垂
直面内で、波長に対して照射角の定まった扇吠若しくは
平行レインボースリット光を被測定物の垂直断面線上に
照射する手順、 （Ｃ）このレインボー光条をカメラで撮像するにあたり
、光条像をスペクトル分解することで、波長をカメラの
走査線方向の位置に置き直す手順、 （Ｄ）各走査線毎でピークのある画条から、各走査的に
対応する光条像の各点の波長を求める手順、とを含んで
構成される。
第１図は本発明の一実施例の模式図である。
白黒ビーム光１−１は回折格子又は分光プリズム１−２
によりレインボースリット光１−３になる。これを被測
定物１−４の垂直面内で照射する。
によりレインボースリット光１−３になる。これを被測
定物１−４の垂直面内で照射する。
この照射によって生じた光条の像をレンズ１−５で結像
し、コリメータレンズ１−６、回折格子１−７で分光後
、白黒２次元ＣＣＤｌ−８上に結像させる。
し、コリメータレンズ１−６、回折格子１−７で分光後
、白黒２次元ＣＣＤｌ−８上に結像させる。
この際、分光を行なわなかった時０次光＝非分光時の光
条像１−９と、分光された時＝１次光像１−１０との位
置差から各走査数１−１１に対応する光条上の点の波長
が決定される。
条像１−９と、分光された時＝１次光像１−１０との位
置差から各走査数１−１１に対応する光条上の点の波長
が決定される。
これから三角測定で被測定物１−４の垂直断面形状が決
定される。
定される。
次に、第２図（ａ）〜（ｄ）の様に、被測定物２−１の
垂直線上に設定された白黒ＣＯＤカメラ２−２で左右か
らのレインボースリット光ａ、ｂ２−３の光条を撮像す
る。
垂直線上に設定された白黒ＣＯＤカメラ２−２で左右か
らのレインボースリット光ａ、ｂ２−３の光条を撮像す
る。
このまま撮像したのでは第２図（Ｃ）に示す様に一直線
になっているだけなので回折格子で分光し、撮像すると
第２図（ｄ）に示す様に各レインボースリット光の一次
回折光２−４及び０次回折光２−５の像が得られる。
になっているだけなので回折格子で分光し、撮像すると
第２図（ｄ）に示す様に各レインボースリット光の一次
回折光２−４及び０次回折光２−５の像が得られる。
ここで−次回折光の各走査線２−６上のピーク位置から
波長が求まり、ここから更に三角測定で垂直断面２−７
の形状が得られる。
波長が求まり、ここから更に三角測定で垂直断面２−７
の形状が得られる。
以上説明したように、本発明はレインボースリット光と
分光した光条像を用いることで、垂直断面形状が一度に
高精度で得られる効果がある。
分光した光条像を用いることで、垂直断面形状が一度に
高精度で得られる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の模式図、第２図（ａ）〜（
ｄ）はその詳細を示す模式図、第３図（ａ）〜（ｄ）は
従来の一例を示す模式図である。 １−１・・・白色ビーム光、１−２・・・回折格子又は
分光プリズム、１−３・・・レインボースリット光、１
−４・・・被測定物、１−５・・・レンズ、１−６・・
・コリメータレンズ、１−７・・・回折格子、１−８・
・・白黒２次元ＣＣＤ、１−９・・・非分光時の光条像
二〇次構造、１−１０・・・１次光像、１−１１・・・
走査線、２−１・・・被測定物、２−２・・・白黒ＣＣ
Ｄカメラ、１−３・・・レインボースリット光、２−４
・・・−次回折光、２−５・・・０次回折光、２−６・
・・走査線、２−７・・・垂直断面、３−１・・・スリ
ット光、３−２・・・被測定物、３−３・・・垂直断面
、３−４・・・白黒ＣＣＤカメラ。
ｄ）はその詳細を示す模式図、第３図（ａ）〜（ｄ）は
従来の一例を示す模式図である。 １−１・・・白色ビーム光、１−２・・・回折格子又は
分光プリズム、１−３・・・レインボースリット光、１
−４・・・被測定物、１−５・・・レンズ、１−６・・
・コリメータレンズ、１−７・・・回折格子、１−８・
・・白黒２次元ＣＣＤ、１−９・・・非分光時の光条像
二〇次構造、１−１０・・・１次光像、１−１１・・・
走査線、２−１・・・被測定物、２−２・・・白黒ＣＣ
Ｄカメラ、１−３・・・レインボースリット光、２−４
・・・−次回折光、２−５・・・０次回折光、２−６・
・・走査線、２−７・・・垂直断面、３−１・・・スリ
ット光、３−２・・・被測定物、３−３・・・垂直断面
、３−４・・・白黒ＣＣＤカメラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（Ａ）被測定物の垂直線上にカメラを設置し、垂直
線＝カメラ視野中心とする手順、（Ｂ）垂直線を含み、
カメラの走査線方法と直交する垂直面内で、波長に対し
て照射角の定まった扇状若しくは平行レインボースリッ
ト光を被測定物の垂直断面線上に照射する手順、 （Ｃ）このレインボー光条をカメラで撮像するにあたり
、光条像をスペクトル分解することで、波長をカメラの
走査線方向の位置に置き直す手順、 （Ｄ）各走査線毎でピークのある画条から、各走査的に
対応する光条像の各点の波長を求める手順、 （Ｅ）前記照射レインボースリット光のスペクトルの空
間分布と（Ｄ）で求まったデータから三角測定法で各点
の凹凸を求める手順、とを含むことを特徴とする垂直光
切断計測方法。 ２、（Ａ）被測定物の垂直線上にカメラを設置し、垂直
線＝カメラ視野中心とする手段、（Ｂ）垂直線を含み、
カメラの走査線方法と直交する垂直面内で、波長に対し
て照射角の定まった扇状若しくは平行レインボースリッ
ト光を被測定物の垂直断面線上に照射する手段、 （Ｃ）このレインボー光条をカメラで撮像するにあたり
、光条像をスペクトル分解することで、波長をカメラの
走査線方向の位置に置き直す手段、 （Ｄ）各走査線毎でピークのある画条から、各走査的に
対応する光条像の各点の波長を求める手段、 （Ｅ）前記照射レインボースリット光のスペクトルの空
間分布と（Ｄ）で求まったデータから三角測定法で各点
の凹凸を求める手段、とを含むとをと特徴とする垂直光
切断計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2154606A JPH0447206A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 垂直光切断計測方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2154606A JPH0447206A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 垂直光切断計測方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447206A true JPH0447206A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15587858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2154606A Pending JPH0447206A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 垂直光切断計測方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447206A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6636310B1 (en) * | 1998-05-12 | 2003-10-21 | Metroptic Technologies, Ltd. | Wavelength-dependent surface contour measurement system and method |
| JP2010145230A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置計測装置 |
-
1990
- 1990-06-13 JP JP2154606A patent/JPH0447206A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6636310B1 (en) * | 1998-05-12 | 2003-10-21 | Metroptic Technologies, Ltd. | Wavelength-dependent surface contour measurement system and method |
| JP2010145230A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置計測装置 |
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