JPH044577A - 気密端子及びその製造方法 - Google Patents

気密端子及びその製造方法

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JPH044577A
JPH044577A JP10596990A JP10596990A JPH044577A JP H044577 A JPH044577 A JP H044577A JP 10596990 A JP10596990 A JP 10596990A JP 10596990 A JP10596990 A JP 10596990A JP H044577 A JPH044577 A JP H044577A
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JP
Japan
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lead
glass
airtight terminal
outer ring
sealed
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Pending
Application number
JP10596990A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Okuno
晃 奥野
Hiroshi Maruyama
博 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、水晶振動子等の密閉容器内に給電するための
気密端子とその製造方法に関する。
〔従来の技術〕
時計の基準周波数を発生するための水晶発振素子は、第
4図に示すように、音叉型の水晶振動片1を気密端子2
に取り付け、これをキャップ3で覆い密封したものであ
る。この音叉型の水晶振動片1は、両面に形成された電
極膜1aの下端部を、気密端子2から突出した2本のり
一ト4の先端部で、それぞれ導電性接着剤や半田により
接続支持させている。また、キャップ3は、この水晶振
動子lを覆うと共に、下端開口部に気密端子2の金属外
環5の外周を圧入することにより内部を密封するように
なっている。
また、テレビジョンやマイクロコンピュータ等の基準周
波数を発生するための水晶振動子には、第5図に示すよ
うに、円盤状の水晶振動片1を気密端子2に取り付け、
これをキャップ3内で覆い密封したものもある。この円
盤状の水晶振動片1は、両端部を気密端子2から突出し
た2本のり一ド4にそれぞれ嵌め込み支持させ、この水
晶振動片1の両面に形成された電極膜1aを導電性接着
剤や半田によりそれぞれリード4に接続するようにして
いる。また、キャップ3は、この水晶振動片lを覆うと
共に、下端鍔部を金属外環5の周縁部に抵抗溶接するこ
とにより内部を密封するようになっている。
これら水晶振動子の気密端子2は、金属外環5を貫通し
て上下に突出する2本のり一ト4をガラス6で封着し−
たものである。即ち、第4図に示した気密端子2の場合
は、円筒状の金属外環δ内に2本のり一ド4を所定の距
離を置いて配置し、この金属外環50円筒状内に溶融し
たガラス6を充填することにより封着している。また、
第5図に示した気密端子2の場合は、板状の金属外環5
に設けられた2箇所の貫通孔5a内に2本のり−ド4を
それぞれ配置し、これらの貫通孔5a内に溶融したガラ
ス6を充填することにより封着している。
ここで、上記リード4は、コバールと称される鉄・ニッ
ケル・コバルト合金(Fe:55重量%。
Ni:2B重量%、Co:17重量%)の線材が使用さ
れている。また、ガラス6は、コバールガラスと称され
るホウケイ酸ガラスが使用されている。更に、金属外環
5は鉄、低炭素鋼又は42合金(Fe:5B重量%、N
i :42重量%〉が使用されている。そして、従来は
、第6図に示すように、このリード4に対して、まず脱
脂処理S1を行い、次に酸洗処理S2を行い、さらに水
素処理S3と予備酸化処理S4を行った後に、金属外環
5と組み合わせる組立処理S5を行い、最後にガラス6
による封着処理S6を行うことにより気密端子2を製造
していた。水素処理S3は、リード4の表面の炭素がガ
ラス6内に侵入しシール強度が低下するのを防止するた
めの脱炭処理であり、例えば、900°Cに加熱した湿
潤水素雰囲気中に30分間置くことにより処理される。
また、予備酸化処理S4は、ガラス6との密着性がよく
なるようにリード表面に酸化膜を形成するためのもので
あり、例えば、soo” cに加熱し雰囲気中の酸素に
よって適当な膜厚の酸化膜を形成させることにより処理
する。このようにして製造された従来の気密端子2は、
第7図に示すように、リード4の表面にこの素材である
コバール中の主にFeが酸化した酸化膜4aが形成され
るため、リード4がこの酸化膜4aを介してガラス6に
接し封着されるようになっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、上記リード4のような細かい部品を多数治具
に整列させて各種の処理を行うことは、作業が極めて面
倒なものとなる。また、特に上記水素処理S3や予備酸
化処理S4は、処理に長時間を要するだけでなく、水素
等の資材や加熱のための光熱費を必要とし、しかもそれ
らの処理を行う度に、脆弱なリード4等が変形していた
このため、従来は、気密端子を製造するために処理工程
を複雑化させていたために、この処理作業が面倒なもの
となったり、製造コストを上昇させるという問題を生じ
ていた。
〔課題を解決するための手段〕
上記問題を解決するために、第1請求項の発明は、鉄・
ニッケル・コバルト合金Fが金属外環にガラスを介して
封着された気密端子において、リートの金属材料がこの
リードの表面で酸化膜を介することなく直接ガラスに密
着して封着されたことを特徴としている。
また、第2請求項の発明は、組立処理により金属外環の
ガラス充填部内にリードを配置し、封着処理によりこの
金属外環のガラス充填部に溶融したガラスを充填するこ
とによってリードの到着を行う気密端子の製造方法にお
いて、リードに付着した脂質を除去する脱脂処理を行い
、必要に応じてこのリードを酸洗処理した後に、予備酸
化処理を施すことなく、朝立処理と封着処理とを行うこ
とを特徴としている。
〔作 用〕
上記気密端子の製造方法により、リードは、脱脂処理が
施され必要に応じて酸洗処理が施された後に、直ちに組
立処理と封着処理が行われてガラスにより金属外環に封
着される。そして、このようにして予備酸化処理等が行
われることなく封着されると、リードの金属材料がこの
リードの表面で酸化されることがなくなり、酸化膜を介
することなく直接ガラスに密着することになる。この結
果、本発明によれば、リートを多数治具に整列させて各
種の処理を行う必要がなくなり、作業が容易になるだけ
でなく、処理時間を短縮させ、資材や光熱費等のコスト
も低減させることができる。
しかも、従来行フでいた水素処理や予備酸化処理を省略
することによる不都合もほとんどなく、実用上全く支障
が生じない。
〔実施例〕
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例を詳述する
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示すものであっ
て、第1図(イ)及び(ロ)はそれぞれ気密端子の製造
方法を示す工程図、第2図は気密端子におけるリード封
着部の部分拡大縦断面図、第3図(イ)及び(ロ)はそ
れぞれツイスト強度と折り曲げ強度を従来例と比較した
ヒストグラムである。なお、第6図及び第7図に示した
従来例と同様の機能を有する構成部材には、同じ番号を
付記する。
本実施例は、前記第5図に示した水晶振動子に使用され
る気密端子2について示す。
コバールの線材からなるリート4は、第1図(イ)に示
すように、脱脂処理Slが施されると直ちに組立処理S
5と封着処理S6が行われる。
脱脂処理S1は、リード4をアルカリ溶液中に浸し、こ
のリード4に付着した脂質を除去する処理工程である。
リード4に脂質が付着したまま封着処理S6を行うと、
この脂質がガラス6との密着性を阻害してシール強度を
著しく低下させるため、この処理は必須のものとなる。
朝立処理S5は、このリート4を金属外環5の貫通孔5
aに挿通させて位置決めを行い、必要に応じてハトメ等
を取り付ける処理工程である。封着処理S6は、この金
属外環50貫通孔5aにコバールガラスからなるガラス
6を溶融させて充填する処理工程であり、これによって
リード4が金属外環5に封着される。
また、第1図(ロ)に示すように、脱脂処理S1の後、
酸洗処理S2を施してから直ちに朝立処理S5と封着処
理S6を行うようにしてもよい、酸洗処理S2は、塩酸
溶液中に20〜30秒間浸した後に乾燥させることによ
り、このり−ト4の表面の各種付着物や自然に形成され
た酸化膜等を除去するための処理工程である。この酸洗
処理S2は、上記脱脂処理S1を補足するものであり、
必ずしも必須の工程ではない。
上記方法によって製造された気密端子2は、第2図に示
すように、リート4をガラス6で金属外環50貫通孔5
aに封着したものとなる。この際、リード4を構成する
コバールは、表面で酸化されることがないので、酸化膜
を介することなく直接ガラス6に密着する。そして、前
記第5図に示すように、2本のり一部4の上方突出部に
水晶振動片1を接続支持し、キャップ3を抵抗溶接すれ
ば、この水晶振動片1を収納した水晶振動子の内部を密
封することができる。
上記水晶振動子を従来の気密端子2を使用して製造した
場合と、本実施例による気密端子2を使用して製造した
場合とで比較した結果を次に示す。
キャップ3を気密端子2に溶接するキャップ溶接試験と
、350°Cの半田槽にリード4を浸す等の半田耐熱試
験と、65°Cと125°Cとの間で温度を急変させる
熱衝撃試験と、リート4を引っ張るリート引張試験につ
いては、ワークテストの結果、実施例の場合も従来例と
ほぼ同様の成績が得られた。ただし、リート4を一旦折
り曲げ90°の範囲で回転を繰り返させるリートツイス
ト試験では、第3図(イ)に示すように、酸洗処理S2
を行う本実施例(第1図(ロ))による気密端子2の場
合に、切断回数の大きなバラツキが観測され、ツイスト
を多数回縁り返すと一部にリード4の抜は落ちも発生し
た。また、この場合のリークテストの結果ても、僅かに
リークが発生したものもあった。しかしながら、このよ
うなバラツキや僅かなリークの発生等は、実用上全く支
障のない程度のものであり、規格上も問題はなかった。
そして、リート4を90″の範囲で折り曲げを繰り返す
リード折り曲げ試験でも、第3図(ロ)に示すように、
本実施例による気密端子2は、従来例のものに比べ全く
遜色のない結果が得られた。
なお、上記各試験におけるリークテストは、ヘリウムデ
ィテクタを使用して行った。
この結果、本実施例によれば、気密端子2を製造する際
に、従来必須とされた水素処理や予備酸化処理を省略す
ることができるので、作業が容易になるばかりでなく、
処理時間が短縮され、資材や光熱費等を低減することが
できる。しかも、このように水素処理や予備酸化処理を
省略しても、実用上は全く支障を生しるようなことがな
い。
〔発明の効果〕
以上の説明から明かなように、本発明の気密端子及びそ
の製造方法は、リードの水素処理や予備酸化処理を省略
することができ、しかもこれによって製造された気密端
子は、実用上の支障を全く生じないため、気密端子の処
理工程の煩わしい作業をなくし、製造コストを低減する
ことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示すものであっ
て、第1図(イ)及び(ロ)はそれぞれ気密端子の製造
方法を示す工程図、第2図は気密端子におけるリード封
着部の部分拡大縦断面図、第3図(イ)及び(ロ)はそ
れぞれツイスト強度と折り曲げ強度を従来例と比較した
ヒストグラムである。第4図及び第5図はそれぞれ気密
端子を用いた水晶振動子の縦断面図である。第6図及び
第7図は従来例を示すものであって、第6図は気密端子
の製造方法を示す工程図、第7図は気密端子におけるリ
ード封着部の部分拡大縦断面図である。 2・・・気密端子、4・・・リード、 5・・・金属外
環、5a・・・貫通孔(ガラス充填部)、 6・・・ガ
ラス、Sl・・・脱脂処理、S2・・・酸洗処理、S5
・・・組立処理、 S6・・・封着処理。 特 許 出 願 人  間西日本電気株式会社\、〆 /1N ン \−/ u

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)鉄・ニッケル・コバルト合金製のリードが金属外
    環にガラスを介して封着された気密端子において、 リードの金属材料がこのリードの表面で酸化膜を介する
    ことなく直接ガラスに密着して封着されたことを特徴と
    する気密端子。
  2. (2)組立処理により金属外環のガラス充填部内にリー
    ドを配置し、封着処理によりこの金属外環のガラス充填
    部に溶融したガラスを充填することによってリードの封
    着を行う気密端子の製造方法において、 リードに付着した脂質を除去する脱脂処理を行い、予備
    酸化処理を施すことなく、組立処理と封着処理とを行う
    ことを特徴とする気密端子の製造方法。
JP10596990A 1990-04-20 1990-04-20 気密端子及びその製造方法 Pending JPH044577A (ja)

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