JPH0444939A - 透明容器の検査装置 - Google Patents

透明容器の検査装置

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JPH0444939A
JPH0444939A JP14661990A JP14661990A JPH0444939A JP H0444939 A JPH0444939 A JP H0444939A JP 14661990 A JP14661990 A JP 14661990A JP 14661990 A JP14661990 A JP 14661990A JP H0444939 A JPH0444939 A JP H0444939A
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container
inspection
camera
images
drum
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JP14661990A
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Hideo Muramatsu
村松 英男
Takashi Otsuki
隆 大月
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Takeda Pharmaceutical Co Ltd
Original Assignee
Takeda Chemical Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は透明容器の検査装置に関し、詳しくは、透明容
器内に液体を充填しているアンプル、バイアルおよび点
滴用容器等の被検査物を搬送装置で順次搬送しながらカ
メラで撮り、その映像から上記透明容器の液体に混入さ
れる異物の有無を、容器自体の傷や汚れと区別して検出
するようにしたものである。
従来の技術 アンプル、バイアルおよび点滴用容器には、内部に充填
した液体にガラス片等の異物が誤って混入されることが
ある。そのため、従来から、内容物を旋回させてその中
に含まれる異物をカメラでとらえるようにした検査装置
が提供されている。
本出願人においても、この種の検査装置として、特願昭
56−58502号で、容器を連続的に搬送する検査ド
ラムの外側に周方向に間隔をあけて複数台の検査用のテ
レビ・カメラ(CODカメラ)を設置し、複数台のカメ
ラで検査することにより異物検知精度を上げるようにし
た装置を提供している。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、第12図に示すように、検査ドラム3の
外側に固定した検査用カメラ2で、検査ドラム3の外周
部に保持した容器lを撮った場合、検査ドラム3の回転
に応じた容器1の位置の移動により、同一容器の像が変
化することとなる。即ち、第12図と第13図に示すよ
うに、第一位置の容器Iの画像IM、第二位置の容器1
°の画像1’M、第三位置の容器の画像ビMは、カメラ
2から見た視覚が、第一位置と第二位置は角度(a)ず
れており、第二位置と第三位置は角度(b)ずれており
、第一位置と第三位置では(a+b)の角度変化が生じ
る。よって、容器lの正反対の位置にある傷イ、口の位
置は、第13図に示すように、傷の像も(イ)−(イ゛
)=(イ”)、(ロ)−(口°)−(口”)と変化し、
第二位置で画像1’Mの中心位置にある傷(イ′)、(
口°)は、第一位置の画像IMと第三位置の画像1”M
ではそれぞれ中心線を挟んで位置すると共に対称な位置
に移動している。
上記したように、容器1の移動により、容器表面の固定
した位置にある傷が、カメラで撮った画像上では移動し
ている物としてとらえられる。
透明容器内の異物をカメラで検査する場合、上記したよ
うに、カメラで検査する直前に、容器を高速回転した後
に急停止して、容器内の液体のみを旋回させる一方、容
器は固定した状態でカメラによる検査を行い、「動いて
いるものは、異物」、「静止しているものは、容器の傷
あるいは汚れ」として検出する方法が従来採用されてい
る。
従って、上記したように、容器の傷や汚れが画像上にお
いて移動するものとしてとらえられると、容器の傷や汚
れが異物として判定されることにな一 通常、異物の混入が認められると不良品と判定される一
方、傷や汚れの場合は大きなものを除いて良品と判定さ
れる為、容器の傷や汚れと容器内に混入される異物を正
確に区別することは、製品の歩留まりを上げるうえで極
めて重要なことである。しかしながら、上記したように
、容器の傷や汚れが異物として検出された場合、良品と
判定すべき程度の傷や汚れの場合でも不良品となること
がある。
このように、従来の検査方法では、検査ドラムの外側に
カメラを固定して、検査ドラムの回転に応じて移動する
容器を検査する方法を用いているため、容器表面の傷や
汚れも異物と同様に動く像としてとらえられ、これら傷
や汚れのある容器は異物として不良とされ、歩留まりの
悪い原因となっている。
本発明は上記した問題を解決するたtになされたもので
、容器の傷および汚れと容器内に混入される異物とを精
度よく区別出来る検査装置を提供し、良品として判定す
べき製品が不良品と判定される場合を減少し、製品の歩
留まりの向上を図ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段 上記した目的を達成するため、本発明は、容器の移動に
よる容器表面像の視覚変動を少なくずべく、検査用のカ
メラを、容器を外周に保持する検査ドラムの回転中心側
に配置し、あるいは、回転中心側に配置した場合と同様
の作用を生じるように反射ミラーを介設して検査ドラム
の外側を含む適宜な位置に配置することを特徴としてい
る。しかも、該検査用のカメラとして、検査ドラムの中
心位置に配置しえる小型カメラで、かつ、容器が一定角
度範囲で移動する間に該容器の移動に追従して連続的に
複数枚の移動した検査画像を撮ることができるカメラを
用い、該検査カメラで撮った複数枚の画像を基準画像と
比較画像とに分けて移動マスク方式で比較検査し、基準
画像になく比較画像に表れる物体およびこれら基準画像
と比較画像で所定の変動範囲を越えて移動している物体
は異物、移動していない物体は容器の傷あるいは汚れと
判定するようにしている。
即ち、本発明は、液体を充填している透明容器を回転搬
送装置で順次搬送しながら、該搬送装置に設置したカメ
ラにより内容物に異物が混入しているか否かを検査する
装置であって、 上記搬送装置は、検査ドラムの外周部に所定間隔をあけ
て容器保持部を備える一方、 上記カメラとして、容器が一定角度範囲で移動する間に
容器の移動に追従して連続的に複数枚の検査画像を撮る
ものを用いると共に、該カメラの設置位置は容器の移動
による容器表面像の視覚変動が少なくなるように検査ド
ラムの略回転中心位置より容器を見る位置に設定し、 かつ、上記複数枚の検査画像を基準画像と比較画像とに
分けて、移動マスク方式で両方の画像上の物体の位置を
比較して、異物の有無を容器の傷あるいは汚れと区別し
て検知する画像処理手段を備えていることを特徴とする
透明容器の検査装置を提供するものである。
作用 上記したように、検査用のカメラ2を、第1図に示すよ
うに、容器lを保持して回転する検査ドラム3の回転中
心側に設置した場合、容器の移動による容器表面画像の
視覚の変動を少なくすることが出来る。即ち、第2図に
示すように、容器lからの検査ドラム3の略回転中心ま
での距離りの位置にカメラ2を配置した場合と、同一距
離りだけ離して従来のように検査ドラムの外側にカメラ
2を配置した場合とを比較すると、傷イ、口を結ぶ線と
検査ドラムの中心とを合わして回転した場合の各々カメ
ラの変位角は、 カメラが検査ドラムの回転中心側にある時、容器が第一
位置から第二位置への移動時は、変位角度は(a′) 容器が第二位置から第三位置への移動時は、変位角度は
(b゛) カメラが検査ドラムの外側にある時は、容器が第一位置
から第二位置への移動時は、変位角度は(a) 容器が第二位置から第三位置への移動時は、変位角度は
(b) であり、図より明らかなように、a+b >a’十すと
なる。
このように、カメラを検査ドラムの回転中心側に配置す
ると、カメラの視覚の変動を少なく出来るため、第3図
に示す如き画像が得られる。即ち、カメラから見た容器
の姿は全く同一で、同一面を常に見ていることにより、
容器の位置が第−位置−第二位置−第三位置に移動して
も、容器の傷イ、口は、イーイ°→イ”、ロ→ロ゛−口
“と位置は変化しない。
上記したように、容器が移動した場合にも、容器自体に
固定的に存在する傷や汚れの位置がカメラで撮った画像
上で変化しない。これに対して、容器内に充填した内容
物内に異物が混入している場合は、異物は旋回により移
動しているため、容器が第二位置−第二位置−第三位置
に移動した場合に、これらの位置で撮った画像において
異物の位置は移動することとなる。従って、容器の移動
に追従して連続的に複数枚の検査画像を撮り、該検査画
像をマスク方式で比較検査し、画像の中てXおよびY位
置が移動しているもののみを異物として判定することに
より、容器の傷や汚れは画像の中で移動が生じないため
、異物と認められず良品と判定される。
かつ、上記した画像上における物体の移動の判定基準を
、変動範囲を設定して行う場合においても、この変動範
囲を小さくすることにより、不良品の検出性能を上げる
ことが出来る。
実施例 以下、本発明を図面に示す実施例により詳細に説明する
第4図中において、IOは検査ドラム、11は検査ドラ
ムlOにバイアルBを供給する供給スターホイル、12
は検査ドラム10から検査済みのバイアルBを取り出す
取出スターホイル、13は検査ドラム10の略回転中心
位置に配置した検査用のテレビ・カメラ(CODカメラ
)である。
上記供給スターホイル11は、その外周部に所定間隔を
あけて形成した搬送ポケットlla内に1個づつバイア
ルBを保持した状態で矢印の反時計方向に回転し、隣接
した位置で時計方向に回転している検査ドラムIOの容
器保持部15に順次バイアルBを供給している。
検査ドラム10は第4図および第5図に示すように、基
台20の中心部に略断面T状の固定台21を突設し、該
固定台21の上面部21aの中心に上記検査用のカメラ
13を固定している。該カメラ13は図示のように検査
ドラムの外周部に保持するバイアルBを一定角度の検査
範囲αでバイアルBの移動に追従して連続して撮るもの
で、本実施例では、1本のバイアルを30度の回転移動
範囲で追従して連続的に24枚撮るようにしている。バ
イアルBは後述するように15度間隔をあけて配置する
ため、1台のカメラ13により、1度に2本のバイアル
B、 B’を検査範囲αで検査するようにしている。尚
、該カメラI3による検査方法およびその画像の処理方
法については後述する。
上記カメラ13を中心に固定している固定台21の軸部
21bに、回転軸受22を介して回転自在に回転盤23
を外嵌すると共に、該回転盤23の中心部下面に大径ギ
ヤ24を固定している。
該大径ギヤ24は基台20に固定したモータ25により
回転する小径ギヤ26と噛み合わせており、よって、モ
ータ25を駆動することにより検査ドラム10の回転盤
23を図中矢印方向で示す時計方向へ回転させている。
該回転速度は上記検査用カメラ13の撮影速度との関係
で適宜に設定される。
上記回転盤23には図示の如く上面部の中央に形成した
凹部23aの周面に沿って円環状のガラス仕切板27を
立設すると共に、該ガラス仕切板27でカメラ13と遮
断された回転盤23の外周部に一定間隔をあけて上記容
器保持部15を設けている。本実施例では、前記したよ
うに15度間隔で24個の容器保持部15を設けている
。各容器保持部15は上下一対のホルダー29.30を
備え、上部ホルダー29でバイアルBの肩部を押下オ不
一方、下躯ホルグー30でバイアルRの府部を内嵌保持
している。下部ホルダー30は略E]筒状で、回転盤2
3に穿設した取付穴23bに幀受31を介して回転自在
に取り付けており、上面の広l】とした肩部30aでバ
イアルBの底部を保持すると共に、下方に配置した光源
31からの光を中空部30bを通して容器(バイアルB
)内に受けるようしている。また、回転盤23の下面よ
り突出した円筒部外周に保持枠部30cを固定している
上記保持枠部30cは検査範囲の前方に設置した容器高
速回転装置31のベルト32と当接させて高速回転させ
、該下部ホルダー30で保持しているバイアルBをその
軸芯を中心として高速回転するようにしている。該容器
高速回転装置31はモータ33により回転駆動されるプ
ーリ34と保持枠部30cに近接配置した従動プーリ3
4a、34bに上記ベルト32を巻掛けし、モータ33
によりベルト32を高速回転させることによりバイアル
を本実施例では約3000回転させている。
かっ、検査範囲に入る直前位置にはブレーキ35を設置
し、該ブレーキ35で保持枠部30cを急停止すること
により、高速回転しているバイアルBを急停止し、よっ
て、検査位置においてバイアルB自体を停止する一方、
バイアル内の液体を旋回させ、内容液中に異物が混入さ
れている場合は、異物が舞い上がるようにしている。
一方、上部ホルダー29は第6図に示すように、バイア
ルBの肩部に外嵌する嵌合部29aを外筒29bに回転
軸受29cを介して回転自在に取り付けると共に、外筒
29bを支持棒29dに取り付けている。該支持棒29
dは、回転盤23と仕切板27等を介して回転盤23と
連動するように連結した上部円板36に軸受37を介し
て上下摺動自在に支持され、かつ、スプリング38によ
り下方へ付勢している。支持棒29dの上端Iこはロー
ラ39を取り付け、該ローラ39をカム板40と係合さ
せ、該カム板40を動作することにより支持棒29dを
上下に移動させている。
上記上下ホルダー29.30により、供給スターホイル
11より検査ドラム10に1本づつ供給されるバイアル
Bは、まず、下部ホルダー30の上面肩部で保持され、
ついて、上部ホルダー29かカム板40により下降され
、その嵌合部29aによりバイアルBの肩部を付勢した
状態で押し下げ、上下ホルダー29と30にバイアルB
を保持している。検査ドラムIOより取出スターホイル
12に取り出す際には、上部ボルダ−29がカム板40
の段140aで昇降されることによりバイアルBより確
実に離脱させることが出来、バイアルBを検査ドラムI
Oより取出スターホイル12の搬送ポケット12aに確
実に移送することが出来る。
また、回転盤23の上面には、隣接する容器保持部!5
の間を遮光する遮光手段41を設置している。該遮光手
段41は容器保持部15の周方向の両側に配置する放射
方向の遮光板42A、42Bと、これら遮光板42Aと
42Bとを連結する連結板43と、連結板43に固定し
た作動筒44と、該作動筒44に下端を内嵌した作動棒
45とを備えている。該作動棒45は上部円板36に軸
受46を介して上下摺動自在に保持しており、かっ、上
部円板36より突出した先端部にローラ47を取り付け
、該ローラ47をカム板(図示仕ず)に係合している。
よって、供給スターホイル11より検査トラム10にバ
イアルBを取り入れる時および取出スターホイル12ヘ
バイアルBを搬出する時に、カム板により遮光板42A
、42Bを上昇させて、邪魔になることがないようにし
ている。一方、容器保持部15でバイアルBを保持して
回転している状態において、遮光板42A、42Bを下
降して隣接するバイアルからの光を遮断している。よっ
て、カメラI3による検査時において、バイアルBは底
部からの光のみで照射されるようにしている。
第4図中において、49A、4.9 Bはそれぞれ供給
スターホイル11および取出スターホイル12に設けた
ガイドである。
上記検査用のカメラI3は、第8図に示す如く、カメラ
13の作動を制御すると共に該カメラ13から出力され
る映像信号を処理する処理装置50と接続しており、か
つ、上記検査位置にパイアノ【Bが達すると検出信号を
上記処理装置50に出力する検出センサー51を検査ド
ラムI(Hこ設置している。
カメラ13は、上記したように、角度αの検査領域にお
いて、バイアルBの移動に追従して連続的に複数枚(本
実施例では24枚)の検査画像を撮るもので、第9図に
示すように、検査開始位置1から終了位置■までの間を
2分割し、開始位置1から中間位置■の間で12枚撮っ
て、このうちの最初の2枚を基準画像、残り10枚を比
較画像として移動マスク方式で検査し、比較画像を基準
画像とにおけるX、Y方向の物体の位置を比較すること
により、第1段階目の検出を行っている。同様に、中間
位置■から終了位置■までで第2段階目の検出を行って
いる。
第8図に示すようにカメラ13は処理装置50のクリッ
パー回路52に接続して、画像信号をクリッパー回路5
2に出力している。該クリッパー回路52では基準画像
の感度を比較画像の感度より高くなるように設定してい
る。該クリッパー回路52を基準画像メモリ53と比較
画像メモリ54に接続し、これらメモリ53.54を比
較判定回路55に接続している。該比較判定回路55は
不良品信号を出力するシフトレジスタ56と接続し、該
ソフトレジスタ56からの信号で良品・不良品振分装置
57を動作するようにしている。
該良品・不良品振分装置57は前記した取出スターホイ
ル12の下流に設置している。一方、上記検出センサー
51を検査同期60を介して同期信号発生回路61に接
続し、該同期信号発生回路61をカメラ13、基準画像
メモリ53、比較画像メモリ54、比較判定回路55及
び検査マスク発生回路62と夫々接続して同期信号を出
力している。上記検査マスク発生回路62は基準画像メ
モリ53、比較画像メモリ54および比較判定回路55
と接続している。
上記基準画像および比較画像は、第10図に示す実施例
ではX方向を8分割、Y方向を40分割して画面を32
0分割している。更に、細分割するほど検出精度は向上
する。これら基準画像と比較画像とを移動マスク方式で
検査し、基準画像上に映った物体が比較画像上で位置移
動が生じているか否かによって、異物か、或いは容器の
傷、汚れかを判定している。その際、容器の移動により
生じるわずかな画像のズレ分を見込んで、固定と見なす
変動範囲を設定している。即ち、第1O図に示すように
、基準画像上に移った物体(ハ)を中心としてX方向お
よびY方向の+、−の両方向の範囲で変動範囲D(図中
、斜線で囲む)を物体(ハ)の近傍に設定し、該変動範
囲り内で物体(ハ)が移動しても、移動していないと見
なしている。(即ち、容器の傷や汚れとみなしている)
一方、変動範囲りを越えて物体(ハ)が移動した場合は
物体の移動、即ち、異物が移動したものとみなしている
。該変動範囲の設定は、容器表面像の視覚変動が少ない
場合は、小さい範囲に設定するほど異物の検出精度か向
上する。
上記移動マスク方式による検査方法を第10図を参照し
て詳述すると、第1θ図(1)に示すように、基準画像
上での物体(ハ)の位置か比較画像(ml)上に示すよ
うに同一位置ある時、あるし)は比較画像(m2)上に
示すように変動範囲り内にある時は、物体(ハ)は固定
した物、即ち、容器の傷や汚れとみなし、当該バイアル
は良品であるとの判定を為す。これに対して、第10図
(II)に示すように、基準画像上での物体(ハ)の位
置が比較画像(ml)に示すように変動範囲りより外れ
た位置にある時、当該バイアルは不良品であるとの判定
を為す。また、第10図(III)に示すように、基準
画面上で物体が現れておらず、比較画面上で物体(ハ)
が現れれた場合も、物体(ハ)は異物であるとし、当該
バイアルは不良品であると判定している。
上記移動マスク方式による検査方法を用いていることに
より、異物と容器の傷や汚れが精度よく区別でき、容器
の傷や汚れを異物と誤認して不良品と判定する誤検知率
を減少することが出来る。
(実験例) 上記した本発明の実施例に係わる検査装置を用いす一搗
イト7μm  自nA−絡瘉頁昭F[−51’1511
 2 七÷に開示した従来の検査装置を用いた場合とに
おける、良品とされる容器の傷を異物として誤検知した
率とを比較実験した。その結果は下記の表に示す通りで
ある。
本発明に係わる検査装置は上記した実施例に限定されず
、例えば、第11図に示すように、検査カメラ13’を
検査ドラム10の回転中心に配置する代わりに、反射ミ
ラー100を介設して、図示のように中心より外れた適
宜の位置に配置することが出来る。同様に、反射ミラー
を複数個設置することにより検査ドラム10より離れた
外側に設置することも可能である。即ち、検査カメラが
検査ドラムIOの回転中心に位置しているのと同様とな
るように、反射ミラーを介設することにより適宜な位置
に検査カメラを配置することが出来る。かつ、検査カメ
ラは上記したいづれの実施例においてt、m杏l−″丹
ムじIal暦1てい7.M台の検査ドラムに複数台設置
して、複数台の検査カメラにより検査することにより、
さらに検出精度を高めることが出来る。
また、第11図に示すように仕切板27゛としてガラス
板に変えて遮光板を用い、容器保持部と対応する部分に
、容器を撮影することかできる適度の切欠部27°aを
穿設しておいても良い。
さらに、上記処理装置50においては、移動する異物と
固定的な傷や汚れの区別を行い、異物の場合は不良品、
傷の場合は良品との判定を行っているが、さらに、画像
上の物体の大きさに応じて、傷の場合にも、大きな傷の
場合には不良品であるとの判定手段を付加することも出
来る。
発明の効果 以上の説明より明らかなように、本発明に係わる液体を
充填したバイアル、アンプル、点滴用容器等の検査装置
においては、検査カメラを検査ドラムの回転側中心に配
置しているため、容器の移動による容器表面像の視覚の
変動を少なくすることができ、よって、連続的に撮る検
査画像では容器の傷や汚れは同一位置あるいは極めて変
動か少ない位置となっている。これに対して、容器に充
填された液体内部に混入している異物は検査画像上で移
動するため、これら画像を移動マスク方式で比較検査す
ることにより、精度よく異物を容器の傷や汚れと比較し
て検出することが出来る。よって、容器の傷や汚れを異
物と誤検出して不良品とすることを減少でき、歩留まり
を大幅に向上することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の検査方法の原理を示す概略図、第2図
は第1図に示す本発明の検査方法と従来の検査方法を比
較するための図面、第3図は本発明の検査方法により得
られる画像を示す図面、第4図は本発明に係わる検査装
置の実施例の平面図、第5図は第4図に示す検査ドラム
の垂直断面図、第6図は上部ホルダーを詳細に示す断面
図、第7図は上部ホルダーの昇降機構を示す一部断面正
面図、第8図は本発明の検査装置の制御装置の回路図、
第9図はカメラにより連続撮影してその画像を基準画像
と比較画像とに分ける方法を示す概略図、第1O図(I
XIIXI)は移動マスク方式による検査方法を説明す
るための図面、第11図は本発明の検査装置の変形例を
示す垂直断面図、第12図は従来の検査方法を示す概略
図、第13図は従来の検査方法の問題点を示す図面であ
る。 l、■゛、■”・・・容器、2.13・・・カメラ、3
、IO・検査ドラム、15・・容器保持部、21・固定
台、23・・・回転盤。 特許出願人 武田薬品工業株式会社 代理人 弁理士前 山 葆 ほか2名 第3図 第6図 第10図 幕f¥働面 比較画面

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、液体を充填している透明容器を回転搬送装置で順次
    搬送しながら、カメラにより透明容器を撮って内容物に
    異物が混入しているか否かを検査する装置であって、 上記搬送装置は、検査ドラムの外周部に所定間隔をあけ
    て容器保持部を備える一方、 上記カメラとして、容器が一定角度範囲で移動する間に
    容器の移動に追従して連続的に複数枚の検査画像を撮る
    ものを用いると共に、該カメラの設置位置は容器の移動
    による容器表面像の視覚変動が少なくなるように回転ド
    ラムの略中心位置より容器を見る位置に設定し、 かつ、上記複数枚の移動した検査画像を基準画像と比較
    画像とに分けて、移動マスク方式で両方の画像上の物体
    の位置を比較して、異物の有無を容器の傷や汚れと区別
    して検知する処理装置を備えていることを特徴とする透
    明容器の検査装置。 2、上記検査ドラムの略回転中心位置に上記カメラを設
    置していることを特徴とする請求項1記載の検査装置。 3、上記検査ドラム上に、検査範囲の容器の中心と検査
    ドラムの略回転中心とを結ぶ直線上に反射ミラーを設置
    し、該反射ミラーから反射される画像を受像し得る検査
    ドラムの外側あるいは検査ドラム上の適宜な位置に、上
    記カメラを設置していることを特徴とする請求項1記載
    の検査装置。 4、上記検査ドラムの検査位置の前方には、容器を高速
    回転させる手段と、検査位置の直前で容器の回転を停止
    させる手段とを設置し、検査位置における容器は、容器
    内部の液体のみが旋回した状態で容器自体は固定されて
    いるように構成していることを特徴とする請求項1から
    請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。 5、上記処理装置では、基準画面上の物体を中心として
    X、Y方向に変動範囲を設定し、比較画面上において上
    記変動範囲を越えて物体が移動している場合には異物と
    判定する一方、変動範囲を越えて移動していない場合に
    は容器の傷や汚れと判定する判定手段を設けていること
    を特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記
    載の検査装置。
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JPH0444939A true JPH0444939A (ja) 1992-02-14

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JP14661990A Pending JPH0444939A (ja) 1990-06-05 1990-06-05 透明容器の検査装置

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JP (1) JPH0444939A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011095107A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Mutual Corp 異物検査装置および異物検査方法

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JP2011095107A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Mutual Corp 異物検査装置および異物検査方法

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